特許第6192948号(P6192948)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6192948ＳｉＣ単結晶、ＳｉＣウェハ、ＳｉＣ基板、及び、ＳｉＣデバイス
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