特許 6194372 センサモジュール、並びに、これに用いるセンサチップ及び処理回路チップ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6194372

(24)【登録日】2017年8月18日

(45)【発行日】2017年9月6日

(54)【発明の名称】センサモジュール、並びに、これに用いるセンサチップ及び処理回路チップ

(51)【国際特許分類】

   H01L 25/04 20140101AFI20170828BHJP

   H01L 25/18 20060101ALI20170828BHJP

   H01L 43/02 20060101ALI20170828BHJP

   H01L 25/065 20060101ALI20170828BHJP

   H01L 25/07 20060101ALI20170828BHJP

   G01P 15/08 20060101ALI20170828BHJP

   H01L 21/60 20060101ALI20170828BHJP

   H01L 23/52 20060101ALI20170828BHJP

   H01L 23/00 20060101ALI20170828BHJP

   H01L 27/04 20060101ALI20170828BHJP

   H01L 21/822 20060101ALI20170828BHJP

【ＦＩ】

   H01L25/04 Z

   H01L43/02 Z

   H01L25/08 E

   G01P15/08 102B

   H01L21/60 301N

   H01L23/52

   H01L23/54

   H01L27/04

【請求項の数】9

【全頁数】24

(21)【出願番号】特願2015-558833(P2015-558833)

(86)(22)【出願日】2015年1月19日

(86)【国際出願番号】JP2015051189

(87)【国際公開番号】WO2015111534

(87)【国際公開日】20150730

【審査請求日】2016年7月5日

(31)【優先権主張番号】特願2014-9074(P2014-9074)

(32)【優先日】2014年1月22日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000010098

【氏名又は名称】アルプス電気株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100085453

【弁理士】

【氏名又は名称】野▲崎▼ 照夫

(74)【代理人】

【識別番号】100120204

【弁理士】

【氏名又は名称】平山 巌

(74)【代理人】

【識別番号】100108006

【弁理士】

【氏名又は名称】松下 昌弘

(74)【代理人】

【識別番号】100135183

【弁理士】

【氏名又は名称】大窪 克之

(72)【発明者】

【氏名】斉藤 潤一

【審査官】 秋山 直人

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００８−１０７１８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−１９１８５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平３−８８３５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−６６２９８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２５／０４

Ｇ０１Ｐ １５／０８

Ｈ０１Ｌ ２１／６０

Ｈ０１Ｌ ２１／８２２

Ｈ０１Ｌ ２３／００

Ｈ０１Ｌ ２３／５２

Ｈ０１Ｌ ２５／０６５

Ｈ０１Ｌ ２５／０７

Ｈ０１Ｌ ２５／１８

Ｈ０１Ｌ ２７／０４

Ｈ０１Ｌ ４３／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

差動型で検出するセンサ素子が１組以上内蔵された差動型のセンサチップと、前記センサチップからの差動検出信号を処理する処理回路チップと、を内蔵するセンサモジュールにおいて、
前記センサチップは、その外周に臨んで配列されたセンサパッドを備え、前記センサパッドが電源パッドとグランドパッドと少なくとも一対の差動検出信号用パッドを有し、前記一対の差動検出信号用パッドは前記電源パッド又は前記グランドパッドのいずれか一方の両側に配置されるとともに、前記電源パッド又は前記グランドパッドのいずれか他方は前記センサパッドの両端のうちの少なくとも一端に配置され、
前記処理回路チップは、前記センサチップの前記電源パッド、前記グランドパッド、及び前記一対の差動検出信号用パッドに対応して、電源接続パッド、グランド接続パッド、及び少なくとも一対の差動検出信号用接続パッドからなるセンサ接続用パッドを備え、
前記センサチップの前記電源パッド又は前記グランドパッドのいずれか他方が前記センサパッドの両端に複数配置されているか、又は、前記センサチップの前記電源パッド又は前記グランドパッドの前記他方に接続可能な前記電源接続パッド又は前記グランド接続パッドが前記センサ接続用パッドの両端に複数配置されているか、のいずれか又は両方であることを特徴とするセンサモジュール。

【請求項2】

前記センサチップには、ｎ組（ｎは２以上）の前記センサ素子が内蔵されるとともに、
ｎ組の前記一対の差動検出信号用パッド及び対応する前記一対の差動検出信号用接続パッドであるパッド対は、それぞれ、前記電源パッド又は前記グランドパッドの前記一方を中心として１組目のパッド対である第１パッド対を両側に配置し、以降第ｎ−１パッド対の両側に第ｎパッド対が順次配置されることを特徴とする請求項１に記載のセンサモジュール。

【請求項3】

前記センサ素子が、前記センサチップの表面に平行な方向に検出軸を有し、前記検出軸の方向の物理量を検出する物理量センサであって、互いに直交する前記検出軸を有することを特徴とする請求項２に記載のセンサモジュール。

【請求項4】

前記処理回路チップは、前記一対の差動検出信号用接続パッドから入力されたから入力された信号の極性を切り替える極性切り替え手段を備えることを特徴とする請求項１に記載のセンサモジュール。

【請求項5】

前記センサチップには、前記センサ素子が複数組内蔵され、前記センサ素子の組数に応じて、前記一対の差動検出信号用パッドが複数組配置されるとともに、
前記処理回路チップは、前記センサ素子の組数に応じて前記一対の差動検出信号用接続パッドが複数組配置されるとともに、前記一対の差動検出信号用接続パッドから入力された信号の組を他の信号の組と切り替える複数組切り替え手段を備えることを特徴とする請求項１又は請求項４に記載のセンサモジュール。

【請求項6】

差動型で検出するセンサ素子が１組以上内蔵された差動型のセンサチップの差動検出信号を処理する処理回路チップにおいて、
前記センサチップの外周に臨んで配列されたセンサ接続用パッドを備え、前記センサ接続用パッドが電源接続パッドとグランド接続パッドと少なくとも一対の差動検出信号用接続パッドからなり、前記一対の差動検出信号用接続パッドは前記電源接続パッド又は前記グランド接続パッドのいずれか一方の両側に配置されるとともに、前記電源接続パッド又は前記グランド接続パッドのいずれか他方は前記センサ接続用パッドの両端に配置されていることを特徴とする処理回路チップ。

【請求項7】

前記一対の差動検出信号用接続パッドから入力された信号の極性を切り替える極性切り替え手段を備えることを特徴とする請求項６に記載の処理回路チップ。

【請求項8】

前記センサチップには、前記センサ素子が複数組内蔵され、
前記センサ素子の組数に応じて、前記一対の差動検出信号用接続パッドが複数組配置されるとともに、前記一対の差動検出信号用接続パッドから入力された信号の組を他の信号の組と切り替える複数組切り替え手段を備えることを特徴とする請求項６又は請求項７に記載の処理回路チップ。

【請求項9】

差動型で検出するセンサ素子が１組以上内蔵された差動型のセンサチップにおいて、
前記センサチップの外周に臨んで配列されたセンサパッドを備え、前記センサパッドが電源パッドとグランドパッドと少なくとも一対の差動検出信号用パッドからなり、前記一対の差動検出信号用パッドは前記電源パッド又は前記グランドパッドのいずれか一方の両側に配置されるとともに、前記電源パッド又は前記グランドパッドのいずれか他方は前記センサパッドの両端に配置されていることを特徴とするセンサチップ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、サイドバイサイド構造及びチップスタック構造のセンサモジュール、並びに、これに用いるセンサチップ及び処理回路チップに関する。

【背景技術】

【0002】

各種センサによってユーザーの動きやユーザーが使用している機器の状態をセンシングし、機器の制御に活用されている。

【0003】

このようなセンサは、通常、センサチップと処理回路チップを一つのモールドパッケージに収めてあり、電源と必要最低限のピンを接続することで動作できるようにされたセンサモジュールとして提供される。勿論、センサチップと処理回路チップを別々にモールドしてユーザーがプリント配線基板上で接続して実現することも可能であるが、モールドされたセンサチップから出ているピンと、モールドされた処理回路チップから出たピン同士を接続することが必要であり、サイズが大きくなることや、性能面、信頼性の面であまり良くない。センサチップと処理回路チップを一つのモールドパッケージに収めることにより、小型で高性能かつ高品質のセンサモジュールが、様々な用途で使用されるようになっている。

【0004】

センサチップと処理回路チップを一つのモールドパッケージに収め、その間を接続する方法はいろいろあるが、コストが低く技術的にも確立されている方法の一つに、ワイヤボンディングで接続する方法がある。ワイヤボンディングは通常交差して接続することは出来ないため、センサチップおよび処理回路チップのパッド配置及び並びの順番を決める必要がある。モールドパッケージに収めたセンサモジュールにおけるセンサチップと処理回路チップの配置は、代表的なものとして、平面上に並べたサイドバイサイド構造と、一方に他方を重ねたチップスタック構造が知られている。

【0005】

例えば、特許文献１にサイドバイサイド構造でのセンサ装置が開示されている。図１８は特許文献１のセンサ装置１００に配置されたセンサ部の説明図である。

【0006】

センサチップ１１０と、処理回路チップ１２０と、がケース１０３の突出部１０２の先端に搭載され、ボンディングワイヤ１１１によって接続されている。このように平面的に配置されたセンサチップ１１０と処理回路チップ１２０とをボンディングワイヤ１１１によって接続したサイドバイサイド構造は、製造が比較的に容易であるため、大きさの制約が少ないセンサモジュールで広く使用されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特開２００９−２７０９０５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

しかしながら、近年のセンサモジュールの小型化に伴い、厚みを犠牲にして面積を小さくする必要がある場合、処理回路チップの上にセンサチップを載せるチップスタック構造が使用される。そのとき、センサチップを平行移動して処理回路チップの上に載せる方法もあるが、これではボンディングワイヤがセンサの検出部の上部を通ることになり、センサとしての検出精度に問題をもたらす。上記問題を避けるために、センサチップを回転させて処理回路チップの上に載せる場合には、センサチップと処理回路チップの配置と、それぞれのパッド配置と、の順番が合わなくなってしまう。したがって、センサチップまたは処理回路チップのパッド配置・順番を変更して、チップから製作し直さなければならず、開発コストが増大する課題があった。

【0009】

本発明は、上述した課題を解決するものであり、特に、サイドバイサイド構造又はチップスタック構造であるとともにセンサチップ及び処理回路チップの少なくとも一方がサイドバイサイド構造及びチップスタック構造の両方に対応可能なセンサモジュール、並びに、これに用いるセンサチップ及び処理回路チップを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明のセンサモジュールは、差動型で検出するセンサ素子が１組以上内蔵された差動型のセンサチップと、前記センサチップからの差動検出信号を処理する処理回路チップと、を内蔵し、前記センサチップは、その外周に臨んで配列されたセンサパッドを備え、前記センサパッドが電源パッドとグランドパッドと少なくとも一対の差動検出信号用パッドを有し、前記一対の差動検出信号用パッドは前記電源パッド又は前記グランドパッドのいずれか一方の両側に配置されるとともに、前記電源パッド又は前記グランドパッドのいずれか他方は前記センサパッドの両端のうちの少なくとも一端に配置され、前記処理回路チップは、前記センサチップの前記電源パッド、前記グランドパッド、及び前記一対の差動検出信号用パッドに対応して、電源接続パッド、グランド接続パッド、及び少なくとも一対の差動検出信号用接続パッドからなるセンサ接続用パッドを備え、前記センサチップの前記電源パッド又は前記グランドパッドのいずれか他方が前記センサパッドの両端に複数配置されているか、又は、前記センサチップの前記電源パッド又は前記グランドパッドの前記他方に接続可能な前記電源接続パッド又は前記グランド接続パッドが前記センサ接続用パッドの両端に複数配置されているか、のいずれか又は両方であることを特徴とする。

【0011】

この構成によれば、センサチップが処理回路チップの横に配置されたサイドバイサイド構造とする場合にも、センサチップが処理回路チップの上に搭載されたチップスタック構造とする場合にも、センサチップや処理回路チップのパッド配置を変更して製作し直すことなしに実現可能である。すなわち、サイドバイサイド構造及びチップスタック構造の両方に対応可能となる。また、センサチップや処理回路チップの変更に係るコストを削減できる。

【0012】

また、上記のセンサモジュールにおいて、前記センサチップには、ｎ組（ｎは２以上）の前記センサ素子が内蔵されるとともに、ｎ組の前記一対の差動検出信号用パッド及び対応する前記一対の差動検出信号用接続パッドであるパッド対は、それぞれ、前記電源パッド又は前記グランドパッドの前記一方を中心として１組目のパッド対である第１パッド対を両側に配置し、以降第ｎ−１パッド対の両側に第ｎパッド対が順次配置されることを特徴とする。

【0013】

この構成によれば、サイドバイサイド構造とする場合にも、チップスタック構造とする場合にも、センサチップや処理回路チップのパッド配置を変更して製作し直すことなしにセンサモジュールが実現可能となる。

【0014】

また、上記のセンサモジュールにおいて、前記センサ素子が、前記センサチップの表面に平行な方向に検出軸を有し、前記検出軸の方向の物理量を検出する物理量センサであって、互いに直交する前記検出軸を有することを特徴とする。

【0015】

この構成によれば、センサチップの表面に平行な検出軸方向の物理量センサであれば、処理回路チップの出力は、サイドバイサイド構造とする場合とチップスタック構造とする場合とで極性が変わらないので、処理回路チップに極性を切り替える手段を構成する必要がない。したがって、それに係るコストを削減できる。

【0016】

また、上記のセンサモジュールにおいて、前記処理回路チップは、前記一対の差動検出信号用接続パッドから入力された信号の極性を切り替える極性切り替え手段を備えるものであってもよい。

【0017】

この構成によれば、センサチップの表面に平行な検出軸方向以外の物理量センサであれば、処理回路チップの出力は、サイドバイサイド構造とする場合とチップスタック構造とする場合とで極性が変わるので、極性切り替え手段で信号の極性を切り替えればよい。こうすれば、サイドバイサイド構造とする場合にも、チップスタック構造とする場合にも、センサチップや処理回路チップのパッド配置を変更して製作し直すことなしにセンサモジュールが実現可能となる。

【0018】

また、上記のセンサモジュールにおいて、前記センサチップには、前記センサ素子が複数組内蔵され、前記センサ素子の組数に応じて、前記一対の差動検出信号用パッドが複数組配置されるとともに、前記処理回路チップは、前記センサ素子の組数に応じて前記一対の差動検出信号用接続パッドが複数組配置されるとともに、前記一対の差動検出信号用接続パッドから入力された信号の組を他の信号の組と切り替える複数組切り替え手段を備えるものであってもよい。

【0019】

この構成によれば、サイドバイサイド構造とする場合とチップスタック構造とする場合とで複数組のセンサ素子の検出軸が入れ替わるときに、複数組切り替え手段で他の信号の組と切り替え、さらに必要に応じて信号の極性を切り替えればよい。こうすれば、サイドバイサイド構造とする場合にも、チップスタック構造とする場合にも、センサチップや処理回路チップのパッド配置を変更して製作し直すことなしにセンサモジュールが実現可能となる。

【0020】

また、本発明の処理回路チップは、差動型で検出するセンサ素子が１組以上内蔵された差動型のセンサチップの差動検出信号を処理するものであり、前記センサチップの外周に臨んで配列されたセンサ接続用パッドを備え、前記センサ接続用パッドが電源接続パッドＰとグランド接続パッドと少なくとも一対の差動検出信号用接続パッドからなり、前記一対の差動検出信号用接続パッドは前記電源接続パッド又は前記グランド接続パッドのいずれか一方の両側に配置されるとともに、前記電源接続パッド又は前記グランド接続パッドのいずれか他方は前記センサ接続用パッドの両端に配置されていることを特徴とする。

【0021】

この構成によれば、センサチップが処理回路チップの横に配置されたサイドバイサイド構造とする場合にも、センサチップが処理回路チップの上に搭載されたチップスタック構造とする場合にも、センサチップや処理回路チップのパッド配置を変更して製作し直すことなしに実現可能となる。また、センサチップや処理回路チップの変更に係るコストを削減できる。

【0022】

また、上記の処理回路チップは、前記一対の差動検出信号用接続パッドから入力された信号の極性を切り替える極性切り替え手段を備えるものであってもよい。

【0023】

この構成によれば、センサチップの表面に平行な検出軸方向以外の物理量センサであれば、処理回路チップの出力は、サイドバイサイド構造とする場合とチップスタック構造とする場合とで極性が変わるので、極性切り替え手段で信号の極性を切り替えればよい。こうすれば、サイドバイサイド構造とする場合にも、チップスタック構造とする場合にも、センサチップや処理回路チップのパッド配置を変更して製作し直すことなしにセンサモジュールが実現可能となる。

【0024】

また、前記センサチップに前記センサ素子が複数組内蔵されている場合に、上記の処理回路チップは、前記センサ素子の組数に応じて前記一対の差動検出信号用接続パッドが複数組配置されるとともに、前記一対の差動検出信号用接続パッドから入力された信号の組を他の信号の組と切り替える複数組切り替え手段を備えるものであってもよい。

【0025】

この構成によれば、サイドバイサイド構造とする場合にも、チップスタック構造とする場合にも、センサチップや処理回路チップのパッド配置を変更して製作し直すことなしにセンサモジュールが実現可能となる。また、センサチップや処理回路チップの変更に係るコストを削減できる。

【0026】

また、本発明のセンサチップは、差動型で検出するセンサ素子が１組以上内蔵された差動型のセンサチップであって、前記センサチップの外周に臨んで配列されたセンサパッドを備え、前記センサパッドが電源パッドとグランドパッドと少なくとも一対の差動検出信号用パッドからなり、前記一対の差動検出信号用パッドは前記電源パッド又は前記グランドパッドのいずれか一方の両側に配置されるとともに、前記電源パッド又は前記グランドパッドのいずれか他方は前記センサパッドの両端に配置されていることを特徴とする。

【0027】

この構成によれば、センサチップが処理回路チップの横に配置されたサイドバイサイド構造とする場合にも、センサチップが処理回路チップの上に搭載されたチップスタック構造とする場合にも、センサチップや処理回路チップのパッド配置を変更して製作し直すことなしに実現可能となる。また、センサチップや処理回路チップの変更に係るコストを削減できる。

【発明の効果】

【0028】

本発明によれば、センサチップが処理回路チップの横に配置されたサイドバイサイド構造とする場合にも、センサチップが処理回路チップの上に搭載されたチップスタック構造とする場合にも、センサチップ及び処理回路チップの少なくとも一方が両方に対応可能なパッド配置を有している。したがって、サイドバイサイド構造又はチップスタック構造であるとともに、センサチップや処理回路チップのパッド配置を変更して製作し直すことなしに、サイドバイサイド構造及びチップスタック構造の両方に対応可能なセンサモジュールを提供することができる。

【0029】

また、本発明によれば、サイドバイサイド構造及びチップスタック構造の両方に対応可能なセンサモジュールに用いるセンサチップ及び処理回路チップを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0030】

【図1】本発明の第１実施形態のセンサモジュールの斜視図であり、サイドバイサイド構造のセンサモジュールの封止樹脂を部分透過した斜視図である。

【図2】本発明の第１実施形態のセンサモジュールの斜視図であり、チップスタック構造のセンサモジュールの封止樹脂を部分透過した斜視図である。

【図3】第１実施形態のセンサチップを示す説明図である。

【図4】第１実施形態のサイドバイサイド構造のセンサモジュールの封止樹脂を部分透過した平面図である。

【図5】第１実施形態のチップスタック構造のセンサモジュールの封止樹脂を部分透過した平面図である。

【図6】本発明の第２実施形態のセンサモジュールの斜視図であり、サイドバイサイド構造のセンサモジュールの封止樹脂を部分透過した斜視図である。

【図7】本発明の第２実施形態のセンサモジュールの斜視図であり、チップスタック構造のセンサモジュールの封止樹脂を部分透過した斜視図である。

【図8】第２実施形態のサイドバイサイド構造のセンサモジュールの封止樹脂を部分透過した平面図である。

【図9】第２実施形態のチップスタック構造のセンサモジュールの封止樹脂を部分透過した平面図である。

【図10】第２実施形態の処理回路チップが備える極性切り替え手段を示す回路図である。

【図11】本発明の第３実施形態のセンサモジュールの斜視図であり、サイドバイサイド構造のセンサモジュールの封止樹脂を部分透過した斜視図である。

【図12】本発明の第３実施形態のセンサモジュールの斜視図であり、チップスタック構造のセンサモジュールの封止樹脂を部分透過した斜視図である。

【図13】第３実施形態のサイドバイサイド構造のセンサモジュールの封止樹脂を部分透過した平面図である。

【図14】第３実施形態のチップスタック構造のセンサモジュールの封止樹脂を部分透過した平面図である。

【図15】第３実施形態の処理回路チップが備える複数組切り替え手段を示す回路図である。

【図16】第１変形例のサイドバイサイド構造のセンサモジュールの封止樹脂を部分透過した平面図である。

【図17】第２変形例の処理回路チップが備える極性切り替え手段を示す回路図である。

【図18】従来のセンサ装置に配置されたセンサ部の説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0031】

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、分かりやすいように、図面は寸法を適宜変更している。

【0032】

［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態のセンサモジュール１の斜視図であり、サイドバイサイド構造のセンサモジュール１の封止樹脂６１を部分透過した斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態のセンサモジュール２の斜視図であり、チップスタック構造のセンサモジュール２の封止樹脂６２を部分透過した斜視図である。図３は、第１実施形態のセンサチップ１１を示す説明図である。図４は、サイドバイサイド構造のセンサモジュール１の封止樹脂６１を部分透過した平面図である。図５は、チップスタック構造のセンサモジュール２の封止樹脂６２を部分透過した平面図である。

【0033】

図１に示すセンサモジュール１及び図２に示すセンサモジュール２は、センシング対象が外部の物理量であるセンサを構成している。図１及び図２に示すように、複数のチップ（本実施形態では、センサチップ１１及び処理回路チップ２１）が配置されたモジュールはマルチチップモジュールと呼ばれている。図１に示すように複数のチップが平面的に配置されている構造をサイドバイサイド構造と呼称し、図２に示すように複数のチップが積層配置されている構造をチップスタック構造と呼称している。

【0034】

センサチップ１１は、図３に示すように、差動型で検出するＸセンサ素子１１Ｘ及びＹセンサ素子１１Ｙが内蔵され、配線によって接続されたセンサパッドＰ１を備えている。Ｘセンサ素子１１Ｘ及びＹセンサ素子１１Ｙは、それぞれ固有の感度軸方向を有しているので、センサチップ１１の配置方向によって、物理量センサとしての検出軸方向が変化する。本明細書で、「配置方向」とは、例えば図１に示す座標を用いて表現される。

【0035】

図１では、センサモジュール１は、配線基板３１が、Ｚ１−Ｚ２方向に直交する平面上に、センサチップ１１がＹ２側となり、処理回路チップ２１がＹ１側となるように接続されて配置されている。図３に示すＸセンサ素子１１Ｘは、図１に示すように配置されたときに、Ｘ１−Ｘ２方向に感度軸を有し、Ｘ１側からＸ２側に向かう向きの特定の物理量を検出する物理量センサである。図３に示すＹセンサ素子１１Ｙは、図１に示すように配置されたときに、Ｙ１−Ｙ２方向に感度軸を有し、Ｙ１側からＹ２側に向かう向きの特定の物理量を検出する物理量センサである。一方、図２に示すように配置された場合は、感度軸方向が１８０度回転しているので、Ｘ２側からＸ１側に向かう向きと、Ｙ２側からＹ１側に向かう向きと、の物理量を検出する。

【0036】

このように配置方向によって検出軸方向が変わる物理量センサは、例えば、検出軸方向が２軸の磁気センサ、加速度センサ、角速度センサ、等である。本実施形態では、感度軸方向の検出値に応じて抵抗値が変化する抵抗式の検出素子を用いたブリッジ回路からの出力電圧を得る事例にて説明する。通常は、検出素子の感度軸方向が、センサモジュールとしたときの検出軸方向になる。

【0037】

処理回路チップ２１は、センサチップ１１から入力された信号を所望の電気信号に変換して出力する。本実施形態では、シリコンウエハに集積回路を形成してから個片化されたベアチップである。処理回路チップ２１は、差動増幅器と呼ばれる差動入力を増幅する増幅回路を備えている。なお、センサチップ１１又は処理回路チップ２１がベアチップでなく、単体でパッケージに収納された状態であってもよい。その場合のモジュールの構造は、マルチパッケージと呼ばれることもある。

【0038】

センサモジュール１のセンサチップ１１は、Ｚ２側の裏面が配線基板３１に接着材で固定され、Ｚ１側の表面にワイヤボンディング用のセンサパッドＰ１を備えている。処理回路チップ２１は、Ｚ２側の裏面が配線基板３１に接着材で固定され、Ｚ１側の表面にワイヤボンディング用のセンサ接続用パッドＰ２ａ及び基板接続用パッドＰ２ｂを備えている。また、配線基板３１は、Ｚ１側の表面にワイヤボンディング用の端子部Ｐ３ｂを備えている。ワイヤボンディング用のセンサパッドＰ１とセンサ接続用パッドＰ２ａとはボンディングワイヤＢＷ１を介して電気的に接続されている。さらに、処理回路チップ２１の基板接続用パッドＰ２ｂと配線基板３１の端子部Ｐ３ｂとは、ボンディングワイヤＢＷ２を介して電気的に接続されている。

【0039】

センサモジュール２の処理回路チップ２１は、Ｚ２側の裏面が配線基板３２に接着材で固定され、Ｚ１側の表面にワイヤボンディング用のセンサ接続用パッドＰ２ａ及び基板接続用パッドＰ２ｂを備えている。そして、センサモジュール２のセンサチップ１１は、Ｚ２側の裏面が処理回路チップ２１に接着材で固定され、Ｚ１側の表面にワイヤボンディング用のセンサパッドＰ１を備えている。また、配線基板３２は、Ｚ１側の表面にワイヤボンディング用の端子部Ｐ３ｂを備えている。ワイヤボンディング用のセンサパッドＰ１とセンサ接続用パッドＰ２ａとはボンディングワイヤＢＷ１を介して電気的に接続されている。さらに、処理回路チップ２１の基板接続用パッドＰ２ｂと配線基板３２の端子部Ｐ３ｂとは、ボンディングワイヤＢＷ２を介して電気的に接続されている。

【0040】

次に、本実施形態において、センサパッドＰ１とセンサ接続用パッドＰ２ａとが配置されている特徴部分について詳述する。

【0041】

センサチップ１１のセンサパッドＰ１は、処理回路チップ２１のセンサ接続用パッドＰ２ａとボンディングワイヤＢＷ１で接続するために、センサチップ１１の外周の一辺に臨んで配置され、この一辺に沿って一列に配列されている。センサパッドＰ１は、図３〜図５に示すように、電源パッドＰ１ＶとグランドパッドＰ１Ｇと２組の差動検出信号用パッドＰＸＡ、ＰＸＢ、ＰＹＡ、ＰＹＢからなる。差動検出信号用パッドＰＸＡ、ＰＸＢはグランドパッドＰ１Ｇの両側に配置されるとともに、差動検出信号用パッドＰＹＡ、ＰＹＢはそれらの両側に配置され、さらに、電源パッドＰ１ＶはセンサパッドＰ１の両端のうちの一端（Ｙ＋側）に配置される。言い換えれば、グランドパッドＰ１Ｇを中心として、２組の差動検出信号用パッドＰＸＡ、ＰＸＢと差動検出信号用ＰＹＡ、ＰＹＢとがそれぞれ左右対称に配置されている。

【0042】

処理回路チップ２１のセンサ接続用パッドＰ２ａは、センサチップ１１の外周の一辺に対向する処理回路チップ２１の一辺に沿って一列に配列されている。基板接続用パッドＰ２ｂは、センサ接続用パッドＰ２ａが配列された一辺とは異なる辺に沿って配列される。本実施形態では、基板接続用パッドＰ２ｂがＸ１側とＸ２側の２列に配列されている。

【0043】

処理回路チップ２１のセンサ接続用パッドＰ２ａは、図４に示すように電源接続パッドＰ２Ｖ、グランド接続パッドＰ２Ｇ、及び２組の差動検出信号用接続パッドＰＸ１、ＰＸ２、ＰＹ１、ＰＹ２からなる。センサチップ１１の電源パッドＰ１Ｖ、グランドパッドＰ１Ｇ、及び２組の差動検出信号用パッドＰＸＡ、ＰＸＢ、ＰＹＡ、ＰＹＢに対応して、差動検出信号用接続パッドＰＸ１、ＰＸ２はグランド接続パッドＰ２Ｇの両側に対称配置され、差動検出信号用接続パッドＰＹ１、ＰＹ２はそれらの両側に対称配置され、さらに電源接続パッドＰ２Ｖはセンサ接続用パッドＰ２ａの両端２箇所に配置される。言い換えれば、グランド接続パッドＰ２Ｇを中心として、２組の差動検出信号用接続パッドＰＸ１、ＰＸ２と差動検出信号用接続パッドＰＹ１、ＰＹ２と、２箇所の電源接続パッドＰ２Ｖと、がそれぞれ左右対称に配置されている。図４に示すように、電源接続パッドＰ２Ｖは２箇所のうち、１箇所（Ｘ２側）がセンサチップ１１の電源パッドＰ１ＶにボンディングワイヤＢＷ１を介して接続されるが、もう１箇所（Ｘ１側）は接続されない。

【0044】

図５に示すように、チップスタック構造のセンサモジュール２においては、上述したセンサチップ１１が処理回路チップ２１に積層配置され、モジュール外形がより小型化される。具体的には、配線基板３２の寸法が配線基板３１の寸法よりも小さい。図５に示すチップスタック構造のセンサモジュール２においては、センサパッドＰ１がセンサ接続用パッドＰ２ａと近づけられるようにセンサチップ１１の配置方向が図４とは異なっている。

【0045】

複数のボンディングワイヤを互いに交差するように設けることは通常困難であり、接触して電気的に短絡する等の不具合を引き起こしやすい。このため、図４及び図５に示すように、隣り合うボンディングワイヤＢＷ１が並行するように設けられる。図５では、センサチップ１１の配置方向が図４とは異なっているため、差動検出信号用パッドＰＸＡと差動検出信号用接続パッドＰＸ１とを接続することができず、差動検出信号用パッドＰＸＡは差動検出信号用接続パッドＰＸ２と接続される。同様に、差動検出信号用パッドＰＸＢは差動検出信号用接続パッドＰＸ１と接続され、差動検出信号用パッドＰＹＡは差動検出信号用接続パッドＰＹ２と接続され、差動検出信号用パッドＰＹＢは差動検出信号用接続パッドＰＹ１と接続される。

【0046】

グランドパッドＰ１Ｇはグランド接続パッドＰ２Ｇと接続され、電源パッドＰ１Ｖは前述のように２箇所の電源接続パッドＰ２Ｖのうちの１箇所（Ｘ２側）と接続される。

【0047】

このようにセンサチップ１１の電源パッドＰ１Ｖ及びグランドパッドＰ１Ｇは、サイドバイサイド構造又はチップスタック構造のいずれの配置においても同じ状態で処理回路チップ２１に接続される。一方、差動検出信号用パッドＰＸＡ、ＰＸＢは配置によって、差動検出信号用接続パッドＰＸ１、ＰＸ２が入れ替わり、差動検出信号用パッドＰＹＡ、ＰＹＢも同様に差動検出信号用接続パッドＰＹ１、ＰＹ２が入れ替わって接続され、極性が変わることになる。しかしながら、センサチップ１１の配置が異なるため、感度軸方向が１８０度回転しており、検出する物理量の向きも１８０度異なっている。このため、差動検出信号用接続パッドＰＸ１、ＰＸ２、ＰＹ１、ＰＹ２が入れ替わったことによって、処理回路チップ２１において電気信号に変換して出力するときには検出軸方向が同じ状態になっている。したがって、センサチップ１１及び処理回路チップ２１を変更したり、処理回路チップ２１に特別な回路を付加したりすることなく、サイドバイサイド構造又はチップスタック構造のいずれの配置においても、対象とする物理量を同じ状態で検出することができる。

【0048】

以下、本実施形態としたことによる効果について説明する。

【0049】

本実施形態のセンサモジュール１、２は、差動型で検出するＸセンサ素子１１Ｘ及びＹセンサ素子１１Ｙが内蔵されたセンサチップ１１と、センサチップ１１からの差動検出信号を処理する処理回路チップ２１と、を内蔵している。センサチップ１１には、互いに直交する感度軸を有するＸセンサ素子１１Ｘ及びＹセンサ素子１１Ｙが内蔵される。センサチップ１１は、その外周に臨んで配列されたセンサパッドＰ１を備え、このセンサパッドＰ１が電源パッドＰ１ＶとグランドパッドＰ１Ｇと２組の差動検出信号用パッドＰＸＡ、ＰＸＢ、ＰＹＡ、ＰＹＢとを有する。１組目の差動検出信号用パッドＰＸＡ、ＰＸＢは、グランドパッドＰ１Ｇを中心として、その両側に対称配置され、２組目の差動検出信号用パッドＰＹＡ、ＰＹＢは１組目の両側に配置されるとともに、電源パッドＰ１ＶはセンサパッドＰ１の両端のうちの一端に配置される。処理回路チップ２１は、センサチップ１１の電源パッドＰ１Ｖ、グランドパッドＰ１Ｇ、及び２組の差動検出信号用パッドＰＸＡ、ＰＸＢ、ＰＹＡ、ＰＹＢに対応して、電源接続パッドＰ２Ｖ、グランド接続パッドＰ２Ｇ、及び２組の差動検出信号用接続パッドＰＸ１、ＰＸ２、ＰＹ１、ＰＹ２からなるセンサ接続用パッドＰ２ａを備える。さらに、センサチップ１１の電源パッドＰ１Ｖに接続可能な電源接続パッドＰ２Ｖがセンサ接続用パッドＰ２ａの両端に複数配置されている。

【0050】

この構成によれば、サイドバイサイド構造とする場合にも、チップスタック構造とする場合にも、センサチップ１１や処理回路チップ２１のパッド配置を変更して製作し直すことなしにセンサモジュール１、２が実現可能となる。また、センサチップ１１の表面に平行な感度軸方向の物理量センサであれば、処理回路チップ２１の出力は、サイドバイサイド構造とする場合とチップスタック構造とする場合とで極性が変わらないので、処理回路チップ２１に極性を切り替える手段を構成する必要がない。したがって、それに係るコストを削減できる。

【0051】

また、本実施形態の処理回路チップ２１は、差動型で検出するＸセンサ素子１１Ｘ及びＹセンサ素子１１Ｙが内蔵された差動型のセンサチップ１１の差動検出信号を処理するものであり、センサチップ１１の外周に臨んで配列されたセンサ接続用パッドＰ２ａを備え、センサ接続用パッドＰ２ａが電源接続パッドＰ２Ｖとグランド接続パッドＰ２Ｇと２組の差動検出信号用接続パッドＰＸ１、ＰＸ２、ＰＹ１、ＰＹ２を有し、差動検出信号用接続パッドＰＸ１、ＰＸ２、ＰＹ１、ＰＹ２はグランド接続パッドＰ２Ｇの両側に配置されるとともに、電源接続パッドＰ２Ｖはセンサ接続用パッドＰ２ａの両端に配置されている。

【0052】

この構成によれば、センサチップ１１が処理回路チップ２１の横に配置されたサイドバイサイド構造とする場合にも、センサチップ１１が処理回路チップ２１の上に搭載されたチップスタック構造とする場合にも、センサチップ１１や処理回路チップ２１のパッド配置を変更して製作し直すことなしに実現可能となる。また、センサチップ１１や処理回路チップ２１の変更に係るコストを削減できる。

【0053】

［第２実施形態］ 図６は、本発明の第２実施形態のセンサモジュール３の斜視図であり、サイドバイサイド構造のセンサモジュール３の封止樹脂６３を部分透過した斜視図である。図７は、本発明の第２実施形態のセンサモジュール４の斜視図であり、チップスタック構造のセンサモジュール４の封止樹脂６４を部分透過した斜視図である。図８は、第２実施形態のサイドバイサイド構造のセンサモジュール３の封止樹脂６３を部分透過した平面図である。図９は、第２実施形態のチップスタック構造のセンサモジュール４の封止樹脂６４を部分透過した平面図である。図１０は、第２実施形態の処理回路チップ２２が備える極性切り替え手段２２ｃを示す回路図である。

【0054】

図６に示すセンサモジュール３及び図７に示すセンサモジュール４は、センシング対象が外部の物理量である３軸センサを構成している。図６及び図７に示すように、センサチップ１２及び処理回路チップ２２が配置されたマルチチップモジュールとなっている。図６に示すように複数のチップが平面的に配置されている構造をサイドバイサイド構造と呼称し、図７に示すように複数のチップが積層配置されている構造をチップスタック構造と呼称している。

【0055】

センサチップ１２は、差動型で検出するＸセンサ素子１２Ｘ、Ｙセンサ素子１２Ｙ、及びＺセンサ素子１２Ｚが内蔵されている。Ｘセンサ素子１２Ｘ、Ｙセンサ素子１２Ｙ、及びＺセンサ素子１２Ｚは、それぞれ固有の感度軸方向を有しているので、センサチップ１２の配置方向によって、物理量センサとしての検出軸方向が変化する。

【0056】

図６では、センサモジュール３は、配線基板３３が、Ｚ１−Ｚ２方向に直交する平面上に、センサチップ１２がＹ２側となり、処理回路チップ２２がＹ１側となるように接続されて配置されている。Ｘセンサ素子１２Ｘは、図６に示すように配置されたときに、Ｘ１−Ｘ２方向に感度軸を有し、Ｘ１側からＸ２側に向かう向きの特定の物理量を検出する物理量センサである。Ｙセンサ素子１２Ｙは、図６に示すように配置されたときに、Ｙ１−Ｙ２方向に感度軸を有し、Ｙ１側からＹ２側に向かう向きの特定の物理量を検出する物理量センサである。一方、図７に示すように配置された場合は、感度軸方向が１８０度回転しているので、Ｘ２側からＸ１側に向かう向きと、Ｙ２側からＹ１側に向かう向きと、の物理量を検出する。Ｚセンサ素子１２Ｚは、図６及び図７に示す配置ではＺ１−Ｚ２方向に感度軸を有し、Ｚ１側からＺ２側に向かう向きの特定の物理量を検出する物理量センサである。

【0057】

このように、図６のサイドバイサイド構造と図７のチップスタック構造とで、検出軸方向が１８０度回転する物理量センサと検出軸方向が変わらない物理量センサとが一体でセンサチップ１２に内蔵されている。

【0058】

処理回路チップ２２は、センサチップ１２から入力された信号を所望の電気信号に変換して出力する。本実施形態では、シリコンウエハに集積回路を形成してから個片化されたベアチップである。図１０に示すように、処理回路チップ２２は、差動増幅器と呼ばれる差動入力を増幅する増幅回路２２ｄを備えている。

【0059】

さらに、処理回路チップ２２は、増幅回路２２ｄの前段において、Ｚセンサ素子１２Ｚから入力された信号の極性を切り替える極性切り替え手段２２ｃを備えている。具体的には、図１０に示すように、複数のスイッチで配線を切り替える回路によって、極性切り替え手段２２ｃが構成されている。

【0060】

センサモジュール３のセンサチップ１２は、Ｚ２側の裏面が配線基板３３に接着材で固定され、Ｚ１側の表面にワイヤボンディング用のセンサパッドＰ１を備えている。処理回路チップ２２は、Ｚ２側の裏面が配線基板３３に接着材で固定され、Ｚ１側の表面にワイヤボンディング用のセンサ接続用パッドＰ２ａ及び基板接続用パッドＰ２ｂを備えている。また、配線基板３３は、Ｚ１側の表面にワイヤボンディング用の端子部Ｐ３ｂを備えている。ワイヤボンディング用のセンサパッドＰ１とセンサ接続用パッドＰ２ａとはボンディングワイヤＢＷ１を介して電気的に接続されている。さらに、処理回路チップ２２の基板接続用パッドＰ２ｂと配線基板３３の端子部Ｐ３ｂとは、ボンディングワイヤＢＷ２を介して電気的に接続されている。

【0061】

センサモジュール４の処理回路チップ２２は、Ｚ２側の裏面が配線基板３４に接着材で固定され、Ｚ１側の表面にワイヤボンディング用のセンサ接続用パッドＰ２ａ及び基板接続用パッドＰ２ｂを備えている。センサモジュール４のセンサチップ１２は、Ｚ２側の裏面が処理回路チップ２２に接着材で固定され、Ｚ１側の表面にワイヤボンディング用のセンサパッドＰ１を備えている。また、配線基板３４は、Ｚ１側の表面にワイヤボンディング用の端子部Ｐ３ｂを備えている。ワイヤボンディング用のセンサパッドＰ１とセンサ接続用パッドＰ２ａとはボンディングワイヤＢＷ１を介して電気的に接続されている。さらに、処理回路チップ２２の基板接続用パッドＰ２ｂと配線基板３４の端子部Ｐ３ｂとは、ボンディングワイヤＢＷ２を介して電気的に接続されている。

【0062】

次に、本実施形態において、センサパッドＰ１とセンサ接続用パッドＰ２ａとが配置されている特徴部分について詳述する。

【0063】

センサチップ１２のセンサパッドＰ１は、処理回路チップ２２のセンサ接続用パッドＰ２ａとボンディングワイヤＢＷ１で接続するために、センサチップ１２の外周の一辺に臨んで配置され、この一辺に沿って一列に配列されている。センサパッドＰ１は、図８〜図９に示すように、電源パッドＰ１ＶとグランドパッドＰ１Ｇと３組の差動検出信号用パッドＰＸＡ、ＰＸＢ、ＰＹＡ、ＰＹＢ、ＰＺＡ、ＰＺＢからなる。差動検出信号用パッドＰＸＡ、ＰＸＢはグランドパッドＰ１Ｇの両側に対称配置されるとともに、差動検出信号用パッドＰＹＡ、ＰＹＢはそれらの両側に対称配置され、差動検出信号用パッドＰＺＡ、ＰＺＢはさらにそれらの両側に対象配置され、さらに、電源パッドＰ１ＶはセンサパッドＰ１の両端のうちの一端（Ｙ＋側）に配置される。

【0064】

処理回路チップ２２のセンサ接続用パッドＰ２ａは、センサチップ１２の外周の一辺に対向する処理回路チップ２２の一辺に沿って一列に配列されている。基板接続用パッドＰ２ｂは、センサ接続用パッドＰ２ａが配列された一辺とは異なる辺に沿って配列される。本実施形態では、基板接続用パッドＰ２ｂがＸ１側とＸ２側の２列に配列されている。

【0065】

処理回路チップ２２のセンサ接続用パッドＰ２ａは、図８に示すように電源接続パッドＰ２Ｖ、グランド接続パッドＰ２Ｇ、及び３組の差動検出信号用接続パッドＰＸ１、ＰＸ２、ＰＹ１、ＰＹ２、ＰＺ１、ＰＺ２からなる。センサチップ１２の電源パッドＰ１Ｖ、グランドパッドＰ１Ｇ、及び３組の差動検出信号用パッドＰＸＡ、ＰＸＢ、ＰＹＡ、ＰＹＢ、ＰＺＡ、ＰＺＢに対応して、差動検出信号用接続パッドＰＸ１、ＰＸ２はグランド接続パッドＰ２Ｇの両側に対称配置され、差動検出信号用接続パッドＰＹ１、ＰＹ２はそれらの両側に対称配置され、差動検出信号用接続パッドＰＺ１、ＰＺ２はさらにそれらの両側に対称配置され、さらに電源接続パッドＰ２Ｖはセンサ接続用パッドＰ２ａの両端２箇所に配置される。図８に示すように、電源接続パッドＰ２Ｖは２箇所のうち、１箇所（Ｘ２側）がセンサチップ１２の電源パッドＰ１ＶにボンディングワイヤＢＷ１を介して接続されるが、もう１箇所（Ｘ１側）は接続されない。

【0066】

図９に示すように、チップスタック構造のセンサモジュール４においては、上述したセンサチップ１２が処理回路チップ２２に積層配置され、モジュール外形がより小型化される。図９に示すセンサパッドＰ１がセンサ接続用パッドＰ２ａと近づけられるようにセンサチップ１２の配置方向が図８とは異なっている。

【0067】

複数のボンディングワイヤを互いに交差するように設けることは通常困難であり、接触して電気的に短絡する等の不具合を引き起こしやすい。このため、図８及び図９に示すように、隣り合うボンディングワイヤＢＷ１が並行するように設けられる。図９では、センサチップ１２の配置方向が図８とは異なっているため、差動検出信号用パッドＰＸＡと差動検出信号用接続パッドＰＸ１とを接続することができず、差動検出信号用パッドＰＸＡは差動検出信号用接続パッドＰＸ２と接続される。同様に、差動検出信号用パッドＰＸＢは差動検出信号用接続パッドＰＸ１と接続され、差動検出信号用パッドＰＹＡは差動検出信号用接続パッドＰＹ２と接続され、差動検出信号用パッドＰＹＢは差動検出信号用接続パッドＰＹ１と接続され、差動検出信号用パッドＰＺＡは差動検出信号用接続パッドＰＺ２と接続され、差動検出信号用パッドＰＺＢは差動検出信号用接続パッドＰＺ１と接続される。

【0068】

グランドパッドＰ１Ｇはグランド接続パッドＰ２Ｇと接続され、電源パッドＰ１Ｖは前述のように２箇所の電源接続パッドＰ２Ｖのうちの１箇所（Ｘ２側）と接続される。

【0069】

このようにセンサチップ１２の電源パッドＰ１Ｖ及びグランドパッドＰ１Ｇは、サイドバイサイド構造又はチップスタック構造のいずれの配置においても同じ状態で処理回路チップ２２に接続される。一方、差動検出信号用パッドＰＸＡ、ＰＸＢは配置によって、差動検出信号用接続パッドＰＸ１、ＰＸ２が入れ替わり、差動検出信号用パッドＰＹＡ、ＰＹＢも同様に差動検出信号用接続パッドＰＹ１、ＰＹ２が入れ替わって接続され、極性が変わることになる。しかしながら、センサチップ１２の配置が異なるため、感度軸方向が１８０度回転しており、検出する物理量の向きも１８０度異なっている。このため、差動検出信号用接続パッドＰＸ１、ＰＸ２、ＰＹ１、ＰＹ２が入れ替わったことによって、処理回路チップ２２において電気信号に変換して出力するときには検出軸方向が同じ状態になっている。

【0070】

一方、図９に示すチップスタック構造の差動検出信号用パッドＰＺＡは差動検出信号用接続パッドＰＺ２と接続され、差動検出信号用パッドＰＺＢは差動検出信号用接続パッドＰＺ１と接続されるが、サイドバイサイド構造又はチップスタック構造のいずれの配置においても感度軸方向は変わらない。このため、これだけでは、検出する物理量の向きが入れ替わって、極性が変わる。しかしながら、図１０に示すように、極性切り替え手段２２ｃが構成されているので、スイッチで配線を切り替えることによって、対象とする物理量の向きを所望の同じ状態にすることができる。

【0071】

したがって、センサチップ１２及び処理回路チップ２２を変更することなく、サイドバイサイド構造又はチップスタック構造のいずれの配置においても、対象とする物理量を同じ状態で検出することができる。

【0072】

以下、本実施形態としたことによる効果について説明する。

【0073】

本実施形態のセンサモジュール３、４は、差動型で検出するＸセンサ素子１２Ｘ、Ｙセンサ素子１２Ｙ、及びＺセンサ素子１２Ｚが内蔵された差動型のセンサチップ１２と、センサチップ１２の差動検出信号を処理する処理回路チップ２２と、を内蔵している。センサチップ１２は、その外周に臨んで配列されたセンサパッドＰ１を備え、センサパッドＰ１が電源パッドＰ１ＶとグランドパッドＰ１Ｇと３組の差動検出信号用パッドＰＸＡ、ＰＸＢ、ＰＹＡ、ＰＹＢ、ＰＺＡ、ＰＺＢを有し、差動検出信号用パッドＰＸＡ、ＰＸＢ、ＰＹＡ、ＰＹＢ、ＰＺＡ、ＰＺＢはグランドパッドＰ１Ｇの両側に対称配置されるとともに、電源パッドＰ１ＶはセンサパッドＰ１の両端のうちの少なくとも一端に配置されている。処理回路チップ２２は、センサチップ１２の電源パッドＰ１Ｖ、グランドパッドＰ１Ｇ、及び３組の差動検出信号用パッドＰＸＡ、ＰＸＢ、ＰＹＡ、ＰＹＢ、ＰＺＡ、ＰＺＢに対応して、電源接続パッドＰ２Ｖ、グランド接続パッドＰ２Ｇ、及び３組の差動検出信号用接続パッドＰＸ１、ＰＸ２、ＰＹ１、ＰＹ２、ＰＺ１、ＰＺ２からなるセンサ接続用パッドＰ２ａを備えている。さらに、センサチップ１２の電源パッドＰ１Ｖに接続可能な電源接続パッドＰ２Ｖがセンサ接続用パッドＰ２ａの両端に複数配置されている。

【0074】

この構成によれば、センサチップ１２が処理回路チップ２２の横に配置されたサイドバイサイド構造とする場合にも、センサチップ１２が処理回路チップ２２の上に搭載されたチップスタック構造とする場合にも、センサチップ１２や処理回路チップ２２のパッド配置を変更して製作し直すことなしに実現可能である。すなわち、サイドバイサイド構造及びチップスタック構造の両方に対応可能となる。また、センサチップ１２や処理回路チップ２２の変更に係るコストを削減できる。

【0075】

また、本実施形態のセンサモジュール３、４は、処理回路チップ２２が、１組の差動検出信号用接続パッドＰＺ１、ＰＺ２から入力された信号の極性を切り替える極性切り替え手段２２ｃを備える。

【0076】

この構成によれば、センサチップ１２の表面に平行な感度軸方向以外の物理量センサであれば、処理回路チップ２２の出力は、サイドバイサイド構造とする場合とチップスタック構造とする場合とで極性が変わるので、極性切り替え手段２２ｃで信号の極性を切り替えればよい。こうすれば、サイドバイサイド構造とする場合にも、チップスタック構造とする場合にも、センサチップ１２や処理回路チップ２２のパッド配置を変更して製作し直すことなしにセンサモジュール３、４が実現可能となる。

【0077】

また、本実施形態の処理回路チップ２２は、差動型で検出するＸセンサ素子１２Ｘ、Ｙセンサ素子１２Ｙ、及びＺセンサ素子１２Ｚが３組内蔵された差動型のセンサチップ１２の差動検出信号を処理するものであり、センサチップ１２の外周に臨んで配列されたセンサ接続用パッドＰ２ａを備え、センサ接続用パッドＰ２ａが電源接続パッドＰ２Ｖとグランド接続パッドＰ２Ｇと３組の差動検出信号用接続パッドＰＸ１、ＰＸ２、ＰＹ１、ＰＹ２、ＰＺ１、ＰＺ２を有し、３組の差動検出信号用接続パッドＰＸ１、ＰＸ２、ＰＹ１、ＰＹ２、ＰＺ１、ＰＺ２はグランド接続パッドＰ２Ｇの両側に対称配置されるとともに、電源接続パッドＰ２Ｖはセンサ接続用パッドＰ２ａの両端に配置されている。さらに、処理回路チップ２２は、一対の差動検出信号用接続パッドＰＺ１、ＰＺ２から入力された信号の極性を切り替える極性切り替え手段２２ｃを備える。

【0078】

この構成によれば、センサチップ１２の表面に平行な感度軸方向以外の物理量センサであれば、処理回路チップ２２の出力は、サイドバイサイド構造とする場合とチップスタック構造とする場合とで極性が変わるので、極性切り替え手段２２ｃで信号の極性を切り替えればよい。こうすれば、サイドバイサイド構造とする場合にも、チップスタック構造とする場合にも、センサチップ１２や処理回路チップ２２のパッド配置を変更して製作し直すことなしにセンサモジュール３、４が実現可能となる。

【0079】

なお、第２実施形態の特徴について、３軸センサモジュールのセンサモジュール３、４を用いて説明したが、本実施形態は３軸センサモジュールに限定されるものではない。例えば、Ｚセンサ素子のみの１軸センサモジュールであってもよい。また、複数種の物理量センサを一体化した多軸センサモジュールであってもよい。

【0080】

［第３実施形態］
図１１は、本発明の第３実施形態のセンサモジュール５の斜視図であり、サイドバイサイド構造のセンサモジュール５の封止樹脂６５を部分透過した斜視図である。図１２は、本発明の第３実施形態のセンサモジュール６の斜視図であり、チップスタック構造のセンサモジュール６の封止樹脂６６を部分透過した斜視図である。図１３は、第３実施形態のサイドバイサイド構造のセンサモジュール５の封止樹脂６５を部分透過した平面図である。図１４は、第３実施形態のチップスタック構造のセンサモジュール６の封止樹脂６６を部分透過した平面図である。図１５は、第３実施形態の処理回路チップ２３が備える複数組切り替え手段２３ｃを示す回路図である。

【0081】

図１１に示すセンサモジュール５及び図１２に示すセンサモジュール６は、センシング対象が外部の物理量である２軸センサを構成している。図１１及び図１２に示すように、センサチップ１３及び処理回路チップ２３が配置されたマルチチップモジュールとなっている。図１１に示すように複数のチップが平面的に配置されている構造をサイドバイサイド構造と呼称し、図１２に示すように複数のチップが積層配置されている構造をチップスタック構造と呼称している。

【0082】

センサチップ１３は、差動型で検出するＸセンサ素子１３Ｘ及びＹセンサ素子１３Ｙが内蔵されている。Ｘセンサ素子１３Ｘ及びＹセンサ素子１３Ｙは、それぞれ固有の感度軸方向を有しているので、センサチップ１３の配置方向によって、物理量センサとしての検出軸方向が変化する。

【0083】

図１１では、センサモジュール５は、配線基板３５が、Ｚ１−Ｚ２方向に直交する平面上に、センサチップ１３がＹ２側となり、処理回路チップ２３がＹ１側となるように接続されて配置されている。Ｘセンサ素子１３Ｘは、図１１に示すように配置されたときに、Ｘ１−Ｘ２方向に感度軸を有し、Ｘ１側からＸ２側に向かう向きの特定の物理量を検出する物理量センサである。Ｙセンサ素子１３Ｙは、図１１に示すように配置されたときに、Ｙ１−Ｙ２方向に感度軸を有し、Ｙ１側からＹ２側に向かう向きの特定の物理量を検出する物理量センサである。一方、図１２に示すように配置された場合は、感度軸方向が１８０度回転しているので、Ｘ２側からＸ１側に向かう向きと、Ｙ２側からＹ１側に向かう向きと、の物理量を検出する。

【0084】

処理回路チップ２３は、センサチップ１３から入力された信号を所望の電気信号に変換して出力する。本実施形態では、シリコンウエハに集積回路を形成してから個片化されたベアチップである。図１５に示すように、処理回路チップ２３は、差動増幅器と呼ばれる差動入力を増幅する増幅回路２３ｄを備えている。図１５は、増幅回路２３ｄを複数組備える事例である。

【0085】

さらに、処理回路チップ２３は、増幅回路２３ｄの前段において、入力された信号の組を他の組と切り替える複数組切り替え手段２３ｃを備えている。具体的には、図１５に示すように、複数のスイッチで配線を切り替える回路によって、複数組切り替え手段２３ｃが構成されている。

【0086】

センサモジュール５のセンサチップ１３は、Ｚ２側の裏面が配線基板３５に接着材で固定され、Ｚ１側の表面にワイヤボンディング用のセンサパッドＰ１を備えている。処理回路チップ２３は、Ｚ２側の裏面が配線基板３５に接着材で固定され、Ｚ１側の表面にワイヤボンディング用のセンサ接続用パッドＰ２ａ及び基板接続用パッドＰ２ｂを備えている。また、配線基板３５は、Ｚ１側の表面にワイヤボンディング用の端子部Ｐ３ｂを備えている。ワイヤボンディング用のセンサパッドＰ１とセンサ接続用パッドＰ２ａとはボンディングワイヤＢＷ１を介して電気的に接続されている。さらに、処理回路チップ２３の基板接続用パッドＰ２ｂと配線基板３５の端子部Ｐ３ｂとは、ボンディングワイヤＢＷ２を介して電気的に接続されている。

【0087】

センサモジュール６の処理回路チップ２３は、Ｚ２側の裏面が配線基板３６に接着材で固定され、Ｚ１側の表面にワイヤボンディング用のセンサ接続用パッドＰ２ａ及び基板接続用パッドＰ２ｂを備えている。センサモジュール６のセンサチップ１３は、Ｚ２側の裏面が処理回路チップ２３に接着材で固定され、Ｚ１側の表面にワイヤボンディング用のセンサパッドＰ１を備えている。また、配線基板３６は、Ｚ１側の表面にワイヤボンディング用の端子部Ｐ３ｂを備えている。ワイヤボンディング用のセンサパッドＰ１とセンサ接続用パッドＰ２ａとはボンディングワイヤＢＷ１を介して電気的に接続されている。さらに、処理回路チップ２３の基板接続用パッドＰ２ｂと配線基板３６の端子部Ｐ３ｂとは、ボンディングワイヤＢＷ２を介して電気的に接続されている。

【0088】

次に、本実施形態において、センサパッドＰ１とセンサ接続用パッドＰ２ａとが配置されている特徴部分について詳述する。

【0089】

センサチップ１３のセンサパッドＰ１は、処理回路チップ２３のセンサ接続用パッドＰ２ａとボンディングワイヤＢＷ１で接続するために、センサチップ１３の外周の一辺に臨んで配置され、この一辺に沿って一列に配列されている。センサパッドＰ１は、図１３〜図１４に示すように、電源パッドＰ１ＶとグランドパッドＰ１Ｇと２組の差動検出信号用パッドＰＸＡ、ＰＸＢ、ＰＹＡ、ＰＹＢからなる。差動検出信号用パッドＰＸＡ、ＰＸＢはグランドパッドＰ１Ｇの片側に隣り合って配置されるとともに、差動検出信号用パッドＰＹＡ、ＰＹＢはグランドパッドＰ１Ｇの他の側に隣り合って配置され、さらに、電源パッドＰ１ＶはセンサパッドＰ１の両端のうちの一端（Ｙ＋側）に配置される。

【0090】

処理回路チップ２３のセンサ接続用パッドＰ２ａは、センサチップ１３の外周の一辺に対向する処理回路チップ２３の一辺に沿って一列に配列されている。基板接続用パッドＰ２ｂは、センサ接続用パッドＰ２ａが配列された一辺とは異なる辺に沿って配列される。本実施形態では、基板接続用パッドＰ２ｂがＸ１側とＸ２側の２列に配列されている。

【0091】

処理回路チップ２３のセンサ接続用パッドＰ２ａは、図１３に示すように電源接続パッドＰ２Ｖ、グランド接続パッドＰ２Ｇ、及び２組の差動検出信号用接続パッドＰＸ１、ＰＸ２、ＰＹ１、ＰＹ２からなる。センサチップ１３の電源パッドＰ１Ｖ、グランドパッドＰ１Ｇ、及び２組の差動検出信号用パッドＰＸＡ、ＰＸＢ、ＰＹＡ、ＰＹＢに対応して、差動検出信号用接続パッドＰＸ１、ＰＸ２はグランド接続パッドＰ２Ｇの片側に隣り合って配置され、差動検出信号用接続パッドＰＹ１、ＰＹ２はグランド接続パッドＰ２Ｇの他の側に隣り合って配置され、さらに電源接続パッドＰ２Ｖはセンサ接続用パッドＰ２ａの両端２箇所に配置される。図１３に示すように、電源接続パッドＰ２Ｖは２箇所のうち、１箇所（Ｘ２側）がセンサチップ１３の電源パッドＰ１ＶにボンディングワイヤＢＷ１を介して接続されるが、もう１箇所（Ｘ１側）は接続されない。

【0092】

図１４に示すように、チップスタック構造のセンサモジュール６においては、上述したセンサチップ１３が処理回路チップ２３に積層配置され、モジュール外形がより小型化される。図１４に示すセンサパッドＰ１がセンサ接続用パッドＰ２ａと近づけられるようにセンサチップ１３の配置方向が図１３とは異なっている。

【0093】

複数のボンディングワイヤを互いに交差するように設けることは通常困難であり、接触して電気的に短絡する等の不具合を引き起こしやすい。このため、図１３及び図１４に示すように、隣り合うボンディングワイヤＢＷ１が並行するように設けられる。図１４では、センサチップ１３の配置方向が図１３とは異なっているため、差動検出信号用パッドＰＸＡと差動検出信号用接続パッドＰＸ１とを接続することができず、差動検出信号用パッドＰＸＡは差動検出信号用接続パッドＰＹ２と接続される。同様に、差動検出信号用パッドＰＸＢは差動検出信号用接続パッドＰＹ１と接続され、差動検出信号用パッドＰＹＡは差動検出信号用接続パッドＰＸ２と接続され、差動検出信号用パッドＰＹＢは差動検出信号用接続パッドＰＸ１と接続される。

【0094】

グランドパッドＰ１Ｇはグランド接続パッドＰ２Ｇと接続され、電源パッドＰ１Ｖは前述のように２箇所の電源接続パッドＰ２Ｖのうちの１箇所（Ｘ２側）と接続される。

【0095】

このようにセンサチップ１３の電源パッドＰ１Ｖ及びグランドパッドＰ１Ｇは、サイドバイサイド構造又はチップスタック構造のいずれの配置においても同じ状態で処理回路チップ２３に接続される。一方、差動検出信号用パッドＰＸＡ、ＰＸＢは配置によって、差動検出信号用接続パッドＰＹ２、ＰＹ１に接続され、差動検出信号用パッドＰＹＡ、ＰＹＢも同様に差動検出信号用接続パッドＰＸ２、ＰＸ１に接続されて、感度軸と極性とが変わることになる。しかしながら、図１５に示すように、複数組切り替え手段２３ｃが構成されているので、スイッチで配線を切り替えることによって、対象とする物理量の向きを所望の同じ状態にすることができる。

【0096】

以下、本実施形態としたことによる効果について説明する。

【0097】

本実施形態のセンサモジュール５、６は、差動型で検出するＸセンサ素子１３Ｘ及びＹセンサ素子１３Ｙが内蔵されたセンサチップ１３と、センサチップ１３からの差動検出信号を処理する処理回路チップ２３と、を内蔵している。センサチップ１３には、互いに直交する感度軸を有するＸセンサ素子１３Ｘ及びＹセンサ素子１３Ｙが内蔵される。センサチップ１３は、その外周に臨んで配列されたセンサパッドＰ１を備え、このセンサパッドＰ１が電源パッドＰ１ＶとグランドパッドＰ１Ｇと２組の差動検出信号用パッドＰＸＡ、ＰＸＢ、ＰＹＡ、ＰＹＢとを有する。２組の差動検出信号用パッドＰＸＡ、ＰＸＢ、ＰＹＡ、ＰＹＢは、グランドパッドＰ１Ｇを中心として、差動検出信号用パッドＰＸＡ、ＰＸＢはグランドパッドＰ１Ｇの片側に隣り合って配置されるとともに、差動検出信号用パッドＰＹＡ、ＰＹＢはグランドパッドＰ１Ｇの他の側に隣り合って配置され、さらに、電源パッドＰ１ＶはセンサパッドＰ１の両端のうちの一端（Ｙ＋側）に配置される。処理回路チップ２３は、センサチップ１３の電源パッドＰ１Ｖ、グランドパッドＰ１Ｇ、及び２組の差動検出信号用パッドＰＸＡ、ＰＸＢ、ＰＹＡ、ＰＹＢに対応して、電源接続パッドＰ２Ｖ、グランド接続パッドＰ２Ｇ、及び２組の差動検出信号用接続パッドＰＸ１、ＰＸ２、ＰＹ１、ＰＹ２からなるセンサ接続用パッドＰ２ａを備える。そして、センサチップ１３の電源パッドＰ１Ｖに接続可能な電源接続パッドＰ２Ｖがセンサ接続用パッドＰ２ａの両端に複数配置されている。さらに、差動検出信号用接続パッドＰＸ１、ＰＸ２、ＰＹ１、ＰＹ２から入力された信号の組を切り替える複数組切り替え手段２３ｃを備える。

【0098】

この構成によれば、サイドバイサイド構造とする場合とチップスタック構造とする場合とでセンサチップ１３と処理回路チップ２３とをボンディングワイヤＢＷ１で接続し、複数組切り替え手段２３ｃによって入力された信号を適切に出力するように切り替えることができる。これにより、サイドバイサイド構造とする場合にも、チップスタック構造とする場合にも、センサチップ１３や処理回路チップ２３のパッド配置を変更して製作し直すことなしにセンサモジュール５、６が実現可能となる。また、センサチップ１３や処理回路チップ２３の変更に係るコストを削減できる。

【0099】

なお、第３実施形態の処理回路チップ２３は、センサチップ１３の差動検出信号用パッドＰＸＡ、ＰＸＢ、ＰＹＡ、ＰＹＢの配置に限定されず、例えば、その並び順が一部入れ替わっていても適切に切り替えることが可能である。また、センサチップ１１と組み合せる場合にも、複数組切り替え手段２３ｃを適切に切り替えることが可能である。

【0100】

また、第３実施形態の特徴について、２軸センサモジュールのセンサモジュール５、６を用いて説明したが、本実施形態は２軸センサモジュールに限定されるものではない。例えば、３軸センサモジュールであって、センサチップと処理回路チップとが３組の差動検出信号を処理する構成としてもよい。

【0101】

以上のように、本発明の実施形態のセンサモジュール、並びに、これに用いるセンサチップ及び処理回路チップを具体的に説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲で種々変更して実施することが可能である。例えば次のように変形して実施することができ、これらも本発明の技術的範囲に属する。

【0102】

（１）第１実施形態〜第３実施形態のセンサモジュール、並びに、これに用いるセンサチップ及び処理回路チップにおいて、グランドパッドＰ１Ｇを中心として電源パッドＰ１Ｖを両端に複数配置する構成としていたが、電源パッドＰ１Ｖを中心にグランドパッドＰ１Ｇを両端に複数配置するように変更してもよい。

【0103】

（２）第１実施形態〜第３実施形態のセンサモジュール、並びに、これに用いるセンサチップ及び処理回路チップにおいて、処理回路チップの電源接続パッドＰ２Ｖがセンサ接続用パッドの両端に複数配置されているとしたが、センサチップの電源パッドＰ１Ｖがパッドの両端に複数配置されるものであってもよい。図１６に第１変形例を示す。図１６は、第１変形例のサイドバイサイド構造のセンサモジュール７の封止樹脂を部分透過した平面図である。第１実施形態のセンサモジュール１と同じ符号を用いて、第１変形例のパッド配置が異なる並びであることを示している。この場合、電源パッドＰ１Ｖ及び電源接続パッドＰ２Ｖのいずれか一方又は両方が複数配置されていればよい。また、電源パッドＰ１Ｖを中心にグランドパッドＰ１Ｇが複数配置された構成としてもよい。

【0104】

（３）第２実施形態のセンサモジュール３、４、並びに、これに用いる処理回路チップ２２において、極性切り替え手段２２ｃが増幅回路２２ｄの前段に配置されているが、極性切り替え手段２２ｃの前段に入力信号を増幅する増幅器を配置してもよい。図１７に第２変形例を示す。図１７は、第２変形例の処理回路チップ２４が備える極性切り替え手段２４ｃを示す回路図である。図１７に示す処理回路チップ２４では、増幅回路２４ｄの後段に極性切り替え手段２４ｃを配置し、マルチセレクタを備えたＡ／Ｄ変換回路２４ｅに接続されている。Ａ／Ｄ変換回路２４ｅの出力は図示しないデジタル回路によって差動処理が行われる。同様に、第３実施形態のセンサモジュール５、６、並びに、これに用いる処理回路チップ２３において、複数組切り替え手段２３ｃが増幅回路２３ｄの前段に配置されているが、逆にしてもよい。

【0105】

（４）第１実施形態〜第３実施形態のセンサモジュールは配線基板を用いたパッケージ形態であったが、金属のリードフレームを加工して形成された端子部とチップの載置部とが設けられたパッケージ形態であってもよい。

【0106】

（５）第１実施形態〜第３実施形態のセンサモジュールは封止樹脂に覆われたパッケージ形態であったが、ボンディングワイヤの周りが気体や真空のキャビティとなるパッケージ形態であってもよい。

【符号の説明】

【0107】

１、２、３、４、５、６、７ センサモジュール
１１、１２、１３ センサチップ
１１Ｘ、１２Ｘ、１３Ｘ Ｘセンサ素子
１１Ｙ、１２Ｙ、１３Ｙ Ｙセンサ素子
１２Ｚ Ｚセンサ素子 ２１、２２、２３、２４、２５ 処理回路チップ
２２ｃ、２４ｃ 極性切り替え手段
２２ｄ、２３ｄ、２４ｄ 増幅回路
２３ｃ 複数組切り替え手段
２４ｅ Ａ／Ｄ変換回路
３１、３２、３３、３４、３５、３６ 配線基板
６１、６２、６３、６４、６５、６６ 封止樹脂
ＢＷ１、ＢＷ２ ボンディングワイヤ
Ｐ１ センサパッド
Ｐ１Ｇ グランドパッド
Ｐ１Ｖ 電源パッド
ＰＸＡ、ＰＸＢ、ＰＹＡ、ＰＹＢ、ＰＺＡ、ＰＺＢ 差動検出信号用パッド
Ｐ２ａ センサ接続用パッド
Ｐ２ｂ 基板接続用パッド
Ｐ２Ｇ グランド接続パッド
Ｐ２Ｖ 電源接続パッド
ＰＸ１、ＰＸ２、ＰＹ１、ＰＹ２、ＰＺ１、ＰＺ２ 差動検出信号用接続パッド
Ｐ３ｂ 端子部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】