特許 6195421 研削装置及び研削装置の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6195421

(24)【登録日】2017年8月25日

(45)【発行日】2017年9月13日

(54)【発明の名称】研削装置及び研削装置の製造方法

(51)【国際特許分類】

   B24B 55/02 20060101AFI20170904BHJP

   B24D 5/10 20060101ALI20170904BHJP

【ＦＩ】

   B24B55/02 Z

   B24D5/10

【請求項の数】8

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2015-79365(P2015-79365)

(22)【出願日】2015年4月8日

(65)【公開番号】特開2016-198836(P2016-198836A)

(43)【公開日】2016年12月1日

【審査請求日】2016年4月12日

(73)【特許権者】

【識別番号】514030104

【氏名又は名称】三菱日立パワーシステムズ株式会社

(73)【特許権者】

【識別番号】510296993

【氏名又は名称】株式会社名光精機

(73)【特許権者】

【識別番号】597010824

【氏名又は名称】平和産業株式会社

(73)【特許権者】

【識別番号】508336757

【氏名又は名称】株式会社ナサダ

(74)【代理人】

【識別番号】100134544

【弁理士】

【氏名又は名称】森 隆一郎

(74)【代理人】

【識別番号】100064908

【弁理士】

【氏名又は名称】志賀 正武

(74)【代理人】

【識別番号】100108578

【弁理士】

【氏名又は名称】高橋 詔男

(74)【代理人】

【識別番号】100126893

【弁理士】

【氏名又は名称】山崎 哲男

(74)【代理人】

【識別番号】100149548

【弁理士】

【氏名又は名称】松沼 泰史

(72)【発明者】

【氏名】福原 義也

(72)【発明者】

【氏名】松原 光作

(72)【発明者】

【氏名】福島 誠

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 幸男

(72)【発明者】

【氏名】八尾 泰弘

(72)【発明者】

【氏名】進藤 茂實

(72)【発明者】

【氏名】武田 幸久

(72)【発明者】

【氏名】山本 博雅

【審査官】 亀田 貴志

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１０−２８４７９１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−２００８６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−３３８０１６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０４−０６９１７０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６０−１６７７６９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２４Ｂ ５５／００ − ５５／１２

Ｂ２４Ｂ ４９／０８ − ４９／１０

Ｂ２３Ｑ １１／１０

Ｂ２４Ｄ ５／１０

ＤＷＰＩ（Ｔｈｏｍｓｏｎ Ｉｎｎｏｖａｔｉｏｎ）

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

環状に形成され、内周側から外周側に研削液を噴出させる噴出流路を有する砥石部材が取り付けられる研削装置であって、
前記砥石部材の内周に嵌め入れられて前記砥石部材を回転駆動する回転軸部と、
前記研削液を前記噴出流路に供給するポンプと、
前記ポンプから吐出される前記研削液の少なくとも吐出流量を検知する検知器と、
前記検知器からの出力に応じて、前記噴出流路が目詰まりした旨を示す警報、あるいは、前記噴出流路が目詰まりしたことに基づく指令を出力する出力部と、
を備え、
前記砥石部材は、砥石粉を焼結または接着させて多孔質に形成された円環状の砥粒層のみによって構成されており、
前記噴出流路は多孔質とされた前記砥粒層の空間部分によって構成されており、
補助ポンプが、前記研削液が流れる補助系配管によって前記ポンプから吐出された前記研削液が流れる外部配管に接続され、又は、前記噴出流路に接続されており、前記補助系配管には、前記補助ポンプの下流側に前記補助系配管を開閉する補助系バルブが設けられている研削装置。

【請求項2】

前記検知器が、前記ポンプから吐出される前記研削液の吐出圧力を検知し、
前記検知器から出力される前記吐出圧力が一定に保持されるように前記ポンプの動作を制御するポンプ制御部、を備え、
前記出力部は、前記検知器から出力される前記吐出流量が所定値以下になった際に前記警報、あるいは、前記指令を出力する請求項１に記載の研削装置。

【請求項3】

前記検知器が、前記ポンプから吐出される前記研削液の吐出圧力を検知し、
前記検知器から出力される前記吐出流量が一定に保持されるように前記ポンプの動作を制御するポンプ制御部、を備え、
前記出力部は、前記検知器から出力される前記吐出圧力が所定値以上になった際に前記警報、あるいは、前記指令を出力する請求項１に記載の研削装置。

【請求項4】

前記検知器が、前記ポンプの駆動力を検知し、
前記検知器から出力される前記吐出流量が一定に保持されるように前記ポンプの動作を制御するポンプ制御部、を備え、
前記出力部は、前記検知器から出力される前記ポンプの駆動力が所定値以上となった際に前記警報、あるいは、前記指令を出力する請求項１に記載の研削装置。

【請求項5】

前記出力部は、前記噴出流路が目詰まりした旨を示す警報を出力する警報出力部、を備える請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の研削装置。

【請求項6】

前記出力部は、前記噴出流路が目詰まりしたことに基づいて、前記回転軸部を回転駆動する駆動源に対して前記回転軸部の回転停止指令を出力する回転制御部、を備える請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の研削装置。

【請求項7】

前記研削液を前記噴出流路に追加で供給する前記補助ポンプ、を備え、
前記出力部は、前記噴出流路が目詰まりしたことに基づいて、前記補助ポンプに対して動作開始指令を出力する補助系制御部、を備える請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の研削装置。

【請求項8】

砥石粉を焼結または接着させて多孔質に形成された円環状の砥粒層のみによって構成され、多孔質とされた前記砥粒層の空間部分によって構成されて内周側から外周側に研削液を噴出させる噴出流路を有する砥石部材が取り付けられる研削装置の製造方法であって、
前記砥石部材の内周に嵌め入れられて前記砥石部材を回転駆動する回転軸部と、前記研削液を前記噴出流路に供給するポンプと、を備える装置本体を準備する準備工程と、
前記ポンプから吐出される前記研削液の少なくとも吐出流量を検知する検知器、及び、前記検知器からの出力に応じて、前記噴出流路が目詰まりした旨を示す警報、あるいは、目詰まりしたことに基づく指令を出力する出力部を設置する設置工程と、
を含み、
前記準備工程では、補助ポンプが、補助系配管によって前記ポンプから吐出された前記研削液が流れる外部配管に接続され、又は、前記噴出流路に接続され、前記補助系配管には、前記補助ポンプの下流側に前記補助系配管を開閉する補助系バルブが設けられる研削装置の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、研削装置及び研削装置の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来の研削装置には、円形状あるいは円環状の砥石を回転させながら、砥石の外周面に被削材（ワーク）を接触させることで、被削材を研削するものがある。
この種の研削装置では、例えば特許文献１のように、被削材を研削する際に、研削液を砥石の内周側から外周側に放射状に噴出させて、砥石の外周面及び被削材の研削面を冷却させる。これにより、研削時に被削材に研削焼けが発生すること防いでいる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１０−２８４７９１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、上記従来の研削装置では、砥石の内周側から外周側に向けて流れる研削液の噴出流路が、砥石の砥粒や被削材の切粉によって目詰まりすることがある。この場合、互いに接触する砥石の外周部及び被削材の研削面の冷却が不十分となるため、噴出流路が目詰まりした状態で被削材の研削を継続すると、被削材の研削焼けが発生する、という問題がある。
特許文献１では、研削液を高圧で砥石の内周側から外周側に噴出させることで、砥石表面の目詰まり防止を図っているが、噴出流路の目詰まりを完全に防ぐことは難しい。このため、噴出流路の目詰まりを管理することが必要となる。

【0005】

そこでなされた本発明の目的は、噴出流路の目詰まりを容易に管理することが可能な研削装置及び研削装置の製造方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明に係る一態様としての研削装置は環状に形成され、内周側から外周側に研削液を噴出させる噴出流路を有する砥石部材が取り付けられる研削装置であって、前記砥石部材の内周に嵌め入れられて前記砥石部材を回転駆動する回転軸部と、前記研削液を前記噴出流路に供給するポンプと、前記ポンプから吐出される前記研削液の少なくとも吐出流量を検知する検知器と、前記検知器からの出力に応じて、前記噴出流路が目詰まりした旨を示す警報、あるいは、前記噴出流路が目詰まりしたことに基づく指令を出力する出力部と、を備え、前記砥石部材は、砥石粉を焼結または接着させて多孔質に形成された円環状の砥粒層のみによって構成されており、前記噴出流路は多孔質とされた前記砥粒層の空間部分によって構成されており、補助ポンプが、前記研削液が流れる補助系配管によって前記ポンプから吐出された前記研削液が流れる外部配管に接続され、又は、前記噴出流路に接続され、前記補助系配管には、前記補助ポンプの下流側に前記補助系配管を開閉する補助系バルブが設けられている。

【0007】

上記構成の研削装置によれば、被削材を研削する際に、ポンプから吐出される研削液の少なくとも吐出流量を検知部によって検知することで、砥石部材の噴出流路が目詰まりしているか否かを判定することが可能となる。また、検知器からの出力に応じて、砥石部材の噴出流路が目詰まりした旨を示す警報、あるいは、噴出流路が目詰まりしたことに基づく指令が、出力部から出力されるため、噴出流路の目詰まりを容易に管理することが可能となる。

【0008】

前記研削装置では、前記検知器が、前記ポンプから吐出される前記研削液の吐出圧力を検知し、前記検知器から出力される前記吐出圧力が一定に保持されるように前記ポンプの動作を制御するポンプ制御部、を備え、前記出力部は、前記検知器から出力される前記吐出流量が所定値以下になった際に前記警報、あるいは、前記指令を出力してもよい。

【0009】

上記構成の研削装置によれば、ポンプから吐出される研削液の吐出圧力が一定に保持されるため、ポンプから吐出される研削液の吐出流量が所定値以下になったことが検知器において検知されることで、噴出流路の目詰まりを正しく判定できる。これにより、出力部は噴出流路の目詰まりに関して信頼性の高い警報あるいは指令を出力することができる。

【0010】

また、前記研削装置では、前記検知器が、前記ポンプから吐出される前記研削液の吐出圧力を検知し、前記検知器から出力される前記吐出流量が一定に保持されるように前記ポンプの動作を制御するポンプ制御部、を備え、前記出力部は、前記検知器から出力される前記吐出圧力が所定値以上になった際に前記警報、あるいは、前記指令を出力してもよい。

【0011】

上記構成の研削装置によれば、ポンプから吐出される研削液の吐出流量が一定に保持されるため、ポンプから吐出される研削液の吐出圧力が所定値以上になったことが検知器において検知されることで、噴出流路の目詰まりを正しく判定できる。これにより、出力部は噴出流路の目詰まりに関して信頼性の高い警報あるいは指令を出力することができる。

【0012】

また、前記研削装置では、前記検知器が、前記ポンプの駆動力を検知し、前記検知器から出力される前記吐出流量が一定に保持されるように前記ポンプの動作を制御するポンプ制御部、を備え、前記出力部は、前記検知器から出力される前記ポンプの駆動力が所定値以上となった際に前記警報、あるいは、前記指令を出力してもよい。

【0013】

上記構成の研削装置によれば、ポンプから吐出される研削液の吐出流量が一定に保持されるため、ポンプの駆動力が所定値以上になったことが検知器において検知されることで、噴出流路の目詰まりを正しく判定できる。これにより、出力部は噴出流路の目詰まりに関して信頼性の高い警報あるいは指令を出力することができる。

【0014】

また、前記研削装置では、前記出力部は、前記噴出流路が目詰まりした旨を示す警報を出力する警報出力部、を備えてもよい。

【0015】

上記構成の研削装置によれば、噴出流路が目詰まりした際に警報が出力されるため、研削装置の管理者に対して噴出流路の目詰まりを確実に報知することができる。

【0016】

また、前記研削装置では、前記出力部は、前記噴出流路が目詰まりしたことに基づいて、前記回転軸部を回転駆動する駆動源に対して前記回転軸部の回転停止指令を出力する回転制御部、を備えてもよい。

【0017】

上記構成の研削装置によれば、噴出流路が目詰まりした際に回転軸部の回転が停止するため、すなわち、被削材の研削が停止するため、被削材の研削焼けが発生することをより確実に防ぐことができる。

【0018】

また、前記研削装置では、前記研削液を前記噴出流路に追加で供給する補助ポンプ、を備え、前記出力部は、前記噴出流路が目詰まりしたことに基づいて、前記補助ポンプに対して動作開始指令を出力する補助系制御部、を備えてもよい。

【0019】

上記構成の研削装置によれば、噴出流路が目詰まりした際に、研削液が砥石部材の噴出流路に追加で供給されるため、被削材の研削を継続しても、被削材の研削焼けが発生することを防ぐことができる。

【0020】

また、本発明に係る一態様としての研削装置の製造方法は、砥石粉を焼結または接着させて多孔質に形成された円環状の砥粒層のみによって構成され、多孔質とされた前記砥粒層の空間部分によって構成されて内周側から外周側に研削液を噴出させる噴出流路を有する砥石部材が取り付けられる研削装置の製造方法であって、前記砥石部材の内周に嵌め入れられて前記砥石部材を回転駆動する回転軸部と、前記研削液を前記噴出流路に供給するポンプと、を備える装置本体を準備する準備工程と、前記ポンプから吐出される前記研削液の少なくとも吐出流量を検知する検知器、及び、前記検知器からの出力に応じて、前記噴出流路が目詰まりした旨を示す警報、あるいは、目詰まりしたことに基づく指令を出力する出力部を設置する設置工程と、を含み、前記準備工程では、補助ポンプが、補助系配管によって前記ポンプから吐出された前記研削液が流れる外部配管に接続され、又は、前記噴出流路に接続され、前記補助系配管には、前記補助ポンプの下流側に前記補助系配管を開閉する補助系バルブが設けられる。

【0021】

上記した研削装置の製造方法によれば、検知器及び出力部を従来周知の装置本体に適宜取り付けるだけで、砥石部材における噴出流路の目詰まりを容易に管理することが可能な研削装置を、容易に製造することができる。

【発明の効果】

【0022】

本発明によれば、砥石部材における噴出流路の目詰まりを容易に管理することができる。したがって、被削材の研削焼けが発生することを防ぐことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】本発明の第一参考例に係る研削装置を示す模式図である。

【図2】本発明の第二参考例に係る研削装置を示す模式図である。

【図3】本発明の第三参考例に係る研削装置を示す模式図である。

【図4】本発明の第四参考例に係る研削装置を示す模式図である。

【図5】本発明の実施形態に係る研削装置を示す模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0024】

以下、添付図面を参照して、本発明による研削装置及び研削装置の製造方法を実施するための形態を説明する。しかし、本発明は以下の実施形態のみに限定されるものではない。

【0025】

〔第一参考例〕
はじめに、図１を参照して第一参考例に係る研削装置及び研削装置の製造方法について説明する。
図１に示すように、研削装置１は、環状に形成された砥石部材２を取り付けるものであり、回転軸部１１と、ポンプ１２と、検知器１３と、出力部１４と、を備える。

【0026】

砥石部材２は、その内周側から外周側に研削液Ｗを噴出させる噴出流路を有する。本参考例の砥石部材２は、砥石粉を焼結または接着させて多孔質に形成された円環状の砥粒層３のみによって構成されている。このため、本参考例では、砥石部材２の噴出流路が多孔質とされた砥粒層３の空間部分によって構成されている。

【0027】

回転軸部１１は、砥石部材２の内周に嵌め入れられて砥石部材２を回転駆動する。回転軸部１１はモータ（駆動源）１５によって回転駆動される。図１においては、かさ歯車１６によってモータ１５の動力が回転軸部１１に伝達されるが、これに限ることはない。モータ１５は、回転制御部１７からの指令に基づいて動作する。回転制御部１７は、回転軸部１１の回転開始指令、回転停止指令、回転速度指令をモータ１５に出力する。

【0028】

回転軸部１１には、砥石部材２に研削液Ｗを供給するための供給流路１８が形成されている。供給流路１８は、回転軸部１１の内部において軸方向に延びると共に、砥石部材２が取り付けられる回転軸部１１の軸方向の第一端部１１Ａにおいて回転軸部１１の径方向外側に放射状に延びて回転軸部１１の外周面に開口している。回転軸部１１の第一端部１１Ａにおける供給流路１８の開口は、研削液Ｗを供給流路１８内から導出させて砥石部材２に供給する導出口となっている。図１では、回転軸部１１の軸方向の第二端部１１Ｂにおいて研削液Ｗを供給流路１８内に導入する導入口が、回転軸部１１の外周面に開口している。このため、回転軸部１１の第二端部１１Ｂは、回転軸部１１の他の部分と共に回転しないように、軸受（不図示）を介して回転軸部１１の他の部分に連結されている。

【0029】

本参考例の回転軸部１１は、モータ１５によって回転駆動される主軸１９と、主軸１９の軸方向端部に着脱自在に装着されるアーバー２０と、を備える。主軸１９側から延びるアーバー２０の軸方向の先端部は、砥石部材２の内周に嵌め入れられて砥石部材２を保持するシャンクとなっている。前述した供給流路１８の導出口は、このシャンクの外周面に開口している。図１において、砥石部材２は、上記したアーバー２０のシャンクに嵌め合せた上で、円環状の保持板２１やネジ２２によってシャンクにネジ止めされている。

【0030】

本参考例の研削装置１では、上記のように砥石部材２が回転軸部１１に対して着脱自在であるため、回転軸部１１には、例えば切削工具など他の種類の工具も取り付けることが可能である。また、本参考例の研削装置１では、アーバー２０が主軸１９に対して着脱自在であるため、主軸１９にはホルダやチャックなどを装着することも可能である。すなわち、本参考例の研削装置１は、例えば切削装置など、他の工作装置として機能させることが可能である。

【0031】

ポンプ１２は、研削液Ｗを砥石部材２の噴出流路に供給する。本参考例のポンプ１２は、外部配管２３によって回転軸部１１に形成された供給流路１８の導入口に接続されている。すなわち、ポンプ１２から吐出された研削液Ｗは、外部配管２３、供給流路１８を介して砥石部材２の噴出流路に供給される。本参考例において、ポンプ１２の動作はポンプ制御部２４によって制御される。ポンプ制御部２４は、ポンプ１２の駆動力（例えば駆動電力や駆動電流）を制御する。

【0032】

また、ポンプ１２は、供給源配管２５によって研削液Ｗの供給源２６に接続されている。これにより、ポンプ１２は、供給源２６にある研削液Ｗを砥石部材２の噴出流路に供給する。本参考例において、研削液Ｗの供給源２６は、回転軸部１１に取り付けられた砥石部材２よりも鉛直方向下側に設けられた研削液Ｗの貯留槽２６である。貯留槽２６には、砥石部材２から噴出した研削液Ｗが流れ込む。すなわち、本参考例の研削装置１では、研削液Ｗを循環させて被削材の研削に再利用している。
砥石部材２から噴出した研削液Ｗには、砥石部材２（砥粒層３）による被削材の研削に伴って生じる砥粒層３の砥粒や被削材の切粉などが含まれる。このため、供給源配管２５には、砥粒層３の砥粒や被削材の切粉を研削液Ｗから除去するフィルタ２７が設けられている。

【0033】

検知器１３は、ポンプ１２から吐出される研削液Ｗの吐出流量を検知する流量計２８を備える。また、本参考例の検知器１３は、ポンプ１２から吐出される研削液Ｗの吐出圧力を検知する圧力計２９も備える。本参考例において、ポンプ制御部２４は、圧力計２９から出力される研削液Ｗの吐出圧力が一定に保持されるようにポンプ１２の動作を制御する。

【0034】

本参考例の出力部１４は、検知器１３からの出力に応じて砥石部材２の噴出流路が目詰まりした旨を示す警報を出力する警報出力部１４である。本参考例の警報出力部１４は、上記した流量計２８から出力される研削液Ｗの吐出流量が所定値以下になった際に、砥石部材２の噴出流路が目詰まりした旨を示す警報を出力する。警報出力部１４から出力される警報は、例えば光や音や振動などである。

【0035】

以上のように構成される本参考例の研削装置１では、砥石部材２を回転させながら砥石部材２の外周を被削材に接触させることで、被削材の研削が行われる。また、研削の際に、ポンプ１２によって研削液Ｗを砥石部材２の外周から噴出させることで、砥石の外周面及び被削材の研削面を研削液Ｗによって冷却する。

【0036】

さらに、本参考例では、研削の際に、ポンプ１２から吐出される研削液Ｗの吐出圧力が一定に保持されるように、ポンプ制御部２４がポンプ１２の動作を制御する。このため、砥石部材２の噴出流路が砥粒層３の砥粒や被削材の切粉などによって目詰まりすると、ポンプ１２から吐出される研削液Ｗの吐出流量が低下する。すなわち、研削液Ｗの吐出流量の低下は、噴出流路が目詰まりしていることを意味する。そして、警報出力部１４は、流量計２８において研削液Ｗの吐出流量が所定値以下になったことが検知された際に、砥石部材２の噴出流路が目詰まりした旨を示す警報を出力する。

【0037】

次に、上記した研削装置１の製造方法の一例について説明する。
本参考例の研削装置１を製造するためには、はじめに、回転軸部１１とポンプ１２とを備える装置本体１Ｚを予め準備する準備工程を実施する。装置本体１Ｚは、例えば従来周知の研削装置である。装置本体１Ｚには、例えばモータ１５、回転制御部１７、ポンプ制御部２４、供給源２６、フィルタ２７等が適宜含まれていてよい。
準備工程後には、検知器１３及び出力部１４を設置する設置工程を実施する。検知器１３のうち圧力計２９が装置本体１Ｚに含まれている場合、設置工程では、ポンプ１２から吐出される研削液Ｗの吐出流量を検知する流量計２８のみを設置すればよい。また、本参考例の設置工程では、出力部１４として、検知器１３からの出力に応じて砥石部材２の噴出流路が目詰まりした旨を示す警報を出力する警報出力部１４を設置すればよい。
以上により、研削装置１の製造が完了する。

【0038】

以上説明したように本参考例の研削装置１によれば、被削材を研削する際に、ポンプ１２から吐出される研削液Ｗの吐出流量を検知器１３によって検知することで、噴出流路が目詰まりしているか否かを判定することが可能となる。また、検知器１３からの出力に応じて、砥石部材２の噴出流路が目詰まりした旨を示す警報が警報出力部１４から出力されるため、噴出流路の目詰まりを容易に管理することが可能となる。したがって、被削材の研削焼けが発生することを防ぐことが可能となる。

【0039】

本参考例の研削装置１では、ポンプ１２から吐出される研削液Ｗの吐出圧力が一定に保持されるため、ポンプ１２から吐出される研削液Ｗの吐出流量が所定値以下になったことが検知器１３の流量計２８において検知されることで、噴出流路の目詰まりを正しく判定することができる。これにより、警報出力部１４は噴出流路の目詰まりに関して信頼性の高い警報を出力することができる。

【0040】

また、本参考例の研削装置１では、噴出流路が目詰まりした際に警報が警報出力部１４から出力されるため、研削装置１の管理者に対して噴出流路の目詰まりを確実に報知することができる。

【0041】

また、本参考例の研削装置１の製造方法によれば、検知器１３（特に流量計２８）及び警報出力部１４を従来周知の装置本体１Ｚに適宜取り付けるだけで、砥石部材２における噴出流路の目詰まりを容易に管理することが可能な研削装置１を、容易に製造することができる。

【0042】

〔第二参考例〕
次に、図２を参照して第二参考例に係る研削装置について説明する。第二参考例において、上記第一参考例と共通する構成については図中に同符号を付してその説明を省略する。

【0043】

図２に示すように、本参考例の研削装置１Ａは、第一参考例と同様の回転軸部１１、ポンプ１２、ポンプ制御部２４、検知器１３、警報出力部１４等を備える。
ただし、本参考例において、ポンプ制御部２４は、検知器１３の流量計２８から出力される研削液Ｗの吐出流量が一定に保持されるようにポンプ１２の動作を制御する。また、本参考例の警報出力部１４は、検知器１３の圧力計２９から出力される研削液Ｗの吐出圧力が所定値以上になった際に、砥石部材２の噴出流路が目詰まりした旨を示す警報を出力する。

【0044】

本参考例の研削装置１Ａでは、研削の際に、ポンプ１２から吐出される研削液Ｗの吐出流量が一定に保持されるように、ポンプ制御部２４がポンプ１２の動作を制御する。このため、砥石部材２の噴出流路が砥粒層３の砥粒や被削材の切粉などによって目詰まりすると、ポンプ１２から吐出される研削液Ｗの吐出圧力が上昇する。すなわち、研削液Ｗの吐出圧力の上昇は、噴出流路が目詰まりしていることを意味する。そして、警報出力部１４は、圧力計２９において研削液Ｗの吐出圧力が所定値以上になったことが検知された際に、砥石部材２の噴出流路が目詰まりした旨を示す警報を出力する。

【0045】

以上のように構成される研削装置１Ａの製造方法は、第一参考例と同様に実施することが可能である。

【0046】

本参考例の研削装置１Ａ及び研削装置１Ａの製造方法によれば、第一参考例と同様の効果を奏する。
また、本参考例の研削装置１Ａによれば、ポンプ１２から吐出される研削液Ｗの吐出流量が一定に保持されるため、ポンプ１２から吐出される研削液Ｗの吐出圧力が所定値以上になったことが検知器１３の圧力計２９において検知されることで、噴出流路の目詰まりを正しく判定することができる。これにより、警報出力部１４は噴出流路の目詰まりに関して信頼性の高い警報を出力することができる。

【0047】

〔第三参考例〕
次に、図３を参照して第三参考例に係る研削装置について説明する。第三参考例において、上記第一、第二参考例と共通する構成については図中に同符号を付してその説明を省略する。

【0048】

図３に示すように、本参考例の研削装置１Ｂは、第一、第二参考例と同様に、回転軸部１１、ポンプ１２、ポンプ制御部２４、検知器１３Ｂ、警報出力部１４等を備える。
また、本参考例の研削装置１Ｂにおいて、検知器１３Ｂは第一参考例と同様の流量計２８を備える。ポンプ制御部２４は、第二参考例と同様に、流量計２８から出力される研削液Ｗの吐出流量が一定に保持されるようにポンプ１２の動作を制御する。

【0049】

ただし、本参考例の検知器１３Ｂは、ポンプ１２の駆動力を検知する出力検知部３０を備える。出力検知部３０は、ポンプ１２の駆動力として、例えば駆動電力や駆動電流を検知する。図３において、本参考例の検知器１３Ｂは、例えば第一、第二参考例と同様の圧力計２９（図１，２参照）を備えていないが、例えば備えてもよい。
本参考例の警報出力部１４は、検知器１３Ｂの出力検知部３０から出力されるポンプ１２の駆動力が所定値以上になった際に、砥石部材２の噴出流路が目詰まりした旨を示す警報を出力する。

【0050】

本参考例の研削装置１Ｂでは、研削の際に、ポンプ１２から吐出される研削液Ｗの吐出流量が一定に保持されるように、ポンプ制御部２４がポンプ１２の動作を制御する。このため、砥石部材２の噴出流路が砥粒層３の砥粒や被削材の切粉などによって目詰まりすると、ポンプ１２の駆動力が上昇する。すなわち、ポンプ１２の駆動力の上昇は、噴出流路が目詰まりしていることを意味する。そして、警報出力部１４は、出力検知部３０においてポンプ１２の駆動力が所定値以上になったことが検知された際に、砥石部材２の噴出流路が目詰まりした旨を示す警報を出力する。

【0051】

以上のように構成される研削装置１Ｂの製造方法は、第一参考例と同様に実施することが可能である。ただし、本参考例では、設置工程において、流量計２８の他に出力検知部３０も設置するとよい。

【0052】

本参考例の研削装置１Ｂ及び研削装置１Ｂの製造方法によれば、第一参考例と同様の効果を奏する。
また、本参考例の研削装置１Ｂによれば、ポンプ１２から吐出される研削液Ｗの吐出流量が一定に保持されるため、ポンプ１２の駆動力が所定値以上になったことが検知器１３Ｂの出力検知部３０において検知されることで、噴出流路の目詰まりを正しく判定することができる。これにより、警報出力部１４は噴出流路の目詰まりに関して信頼性の高い警報を出力することができる。

【0053】

〔第四参考例〕
次に、図４を参照して第四参考例に係る研削装置について説明する。第四参考例において、上記第一参考例と共通する構成については図中に同符号を付してその説明を省略する。

【0054】

図４に示すように、本参考例の研削装置１Ｃは、第一参考例と同様の回転軸部１１、ポンプ１２、ポンプ制御部２４、流量計２８、圧力計２９、出力部１４Ｃ等を備える。
また、本参考例において、ポンプ制御部２４は、第一参考例と同様に、検知器１３の圧力計２９から出力される研削液Ｗの吐出圧力が一定に保持されるようにポンプ１２の動作を制御する。

【0055】

ただし、本参考例の出力部１４Ｃは、検知器１３からの出力に応じて、噴出流路が目詰まりしたことに基づく指令を出力する。本参考例の出力部１４Ｃは、モータ１５の動作を制御する回転制御部１７である。本参考例において、回転制御部１７は、噴出流路が目詰まりしたことに基づいて、モータ１５に対して回転軸部１１の回転停止指令を出力する。回転制御部１７は、検知器１３の流量計２８から出力される研削液Ｗの吐出流量が所定値以下になった際に、モータ１５に対して回転軸部１１の回転停止指令を出力する。

【0056】

本参考例の研削装置１Ｃでは、第一参考例の場合と同様に、研削の際に、ポンプ１２から吐出される研削液Ｗの吐出圧力が一定に保持されるように、ポンプ制御部２４がポンプ１２の動作を制御する。このため、砥石部材２の噴出流路が砥粒層３の砥粒や被削材の切粉などによって目詰まりすると、ポンプ１２から吐出される研削液Ｗの吐出流量が低下する。そして、回転制御部１７は、流量計２８において研削液Ｗの吐出流量が所定値以下になったことが検知された際に、モータ１５に対して回転軸部１１の回転停止指令を出力する。

【0057】

以上のように構成される研削装置１Ｃの製造方法は、第一参考例と同様に実施することが可能である。ただし、回転制御部１７が装置本体１Ｚに含まれている場合、設置工程では、検知器１３のみを設置すればよい。

【0058】

本参考例の研削装置１Ｃ及び研削装置１Ｃの製造方法によれば、第一参考例と同様の効果を奏する。
また、本参考例の研削装置１Ｃによれば、噴出流路が目詰まりした際に回転軸部１１の回転が停止するため、すなわち、被削材の研削が停止するため、被削材の研削焼けが発生することをより確実に防ぐことができる。

【0059】

上記した第四参考例の研削装置１Ｃは、例えば、噴出流路が目詰まりした際に回転軸部１１の回転が停止した後に、砥石部材２を自動で交換する機能を有してもよい。この場合には、被削材の研削を自動的に再開することが可能となる。

【0060】

上記した第四参考例の研削装置１Ｃの出力部１４Ｃは、例えば第一〜第三参考例と同様の警報出力部１４をさらに備えてもよい。この場合には、例えば、流量計２８から出力される研削液Ｗの吐出流量が第一の所定値以下になった際に、警報出力部１４から警報を出力し、その後、流量計２８において研削液Ｗの吐出流量が第一の所定値よりも低い第二の所定値以下となったことが検知された際に、回転制御部１７がモータ１５に対して回転軸部１１の回転停止指令を出力してもよい。

【0061】

また、第四参考例の研削装置１Ｃのように、回転制御部１７を、検知器１３からの出力に応じて噴出流路が目詰まりしたことに基づく指令を出力する出力部１４Ｃとして構成することは、第二、第三参考例の研削装置１Ａ，１Ｂにおいても同様に可能である。

【0062】

〔実施形態〕
次に、図５を参照して実施形態に係る研削装置について説明する。実施形態において、上記第一参考例と共通する構成については図中に同符号を付してその説明を省略する。

【0063】

図５に示すように、本実施形態の研削装置１Ｄは、第一参考例と同様の回転軸部１１、ポンプ１２、ポンプ制御部２４、流量計２８、圧力計２９、出力部１４Ｄ等を備える。
また、本実施形態において、ポンプ制御部２４は、第一参考例と同様に、検知器１３の圧力計２９から出力される研削液Ｗの吐出圧力が一定に保持されるようにポンプ１２の動作を制御する。

【0064】

ただし、本実施形態の研削装置１Ｄは、研削液Ｗを砥石部材２の噴出流路に追加で供給する補助ポンプ３１を備える。補助ポンプ３１は、例えば図５に示すように、補助系配管３２によってポンプ１２から吐出された研削液Ｗが流れる外部配管２３に接続されてもよいが、例えば補助系配管３２によって回転軸部１１の供給流路１８の導入口に直接接続されてもよい。また、補助系配管３２には、補助系配管３２を開閉する補助系バルブ３３が設けられている。

【0065】

また、補助ポンプ３１は、補助系供給源配管３４によって研削液Ｗの供給源２６に接続されている。これにより、補助ポンプ３１は、ポンプ１２と同様に、供給源２６にある研削液Ｗを砥石部材２の噴出流路に供給する。本実施形態の研削装置１Ｄでは、第一参考例と同様に供給源配管２５にフィルタ２７が設けられている。このため、補助系供給源配管３４は、フィルタ２７と補助ポンプ３１との間において供給源配管２５から独立して設けられ、フィルタ２７と供給源２６との間において供給源配管２５と一体に形成されている。

【0066】

また、本実施形態の出力部１４Ｄは、前述した第一〜第四参考例と同様に、検知器１３からの出力に応じて、砥石部材２の噴出流路が目詰まりしたことに基づく指令を出力する。本実施形態の出力部１４Ｄは、上記した補助ポンプ３１の動作を制御する補助系制御部３５である。
補助系制御部３５は、砥石部材２の噴出流路が目詰まりしたことに基づいて、補助ポンプ３１に対して動作開始指令を出力する。また、補助系制御部３５は、噴出流路が目詰まりしたことに基づいて、補助系バルブ３３に対して補助系配管３２を開く指令を出力する。本実施形態において、補助系制御部３５は、検知器１３の流量計２８から出力される研削液Ｗの吐出流量が所定値以下になった際に、補助ポンプ３１に対して動作開始指令を出力し、補助系バルブ３３に対して補助系配管３２を開く指令を出力する。

【0067】

本実施形態の研削装置１Ｄでは、第一参考例の場合と同様に、研削の際に、ポンプ１２から吐出される研削液Ｗの吐出圧力が一定に保持されるように、ポンプ制御部２４がポンプ１２の動作を制御する。このため、砥石部材２の噴出流路が砥粒層３の砥粒や被削材の切粉などによって目詰まりすると、ポンプ１２から吐出される研削液Ｗの吐出流量が低下する。そして、補助系制御部３５は、流量計２８において研削液Ｗの吐出流量が所定値以下になったことが検知された際に、補助ポンプ３１に対して動作開始指令を出力し、補助系バルブ３３に対して補助系配管３２を開く指令を出力する。これにより、砥石部材２の噴出流路に供給される研削液Ｗの流量を増加させることができる。

【0068】

以上のように構成される研削装置１Ｄの製造方法は、第一参考例と同様に実施することが可能である。ただし、設置工程では、出力部１４Ｄである補助系制御部３５に加え、補助ポンプ３１や補助系配管３２、補助系供給源配管３４も設置する。また、必要に応じて補助系バルブ３３を補助系配管３２に設ける。

【0069】

そして、本実施形態の研削装置１Ｄ及び研削装置１Ｄの製造方法によれば、第一参考例と同様の効果を奏する。
また、本実施形態の研削装置１Ｄによれば、砥石部材２の噴出流路が目詰まりした際に、研削液Ｗが噴出流路に対して追加で供給されるため、被削材の研削を継続しても、被削材の研削焼けが発生することを防ぐことができる。

【0070】

上記した実施形態の研削装置１Ｄの出力部１４Ｄは、例えば第一〜第三参考例と同様の警報出力部１４をさらに備えてもよい。この場合には、例えば、流量計２８から出力される研削液Ｗの吐出流量が所定値以下になった際に、警報出力部１４から警報を出力すると同時に、補助ポンプ３１により研削液Ｗを噴出流路に追加で供給するとよい。

【0071】

また、実施形態の研削装置１Ｄの出力部１４Ｄは、例えば第四参考例と同様に、回転制御部１７をさらに備えてもよい。この場合には、例えば、流量計２８から出力される研削液Ｗの吐出流量が第一の所定値以下になった際に、補助ポンプ３１により研削液Ｗを噴出流路に追加で供給し、その後、流量計２８において研削液Ｗの吐出流量が第一の所定値よりも低い第二の所定値以下となったことが検知された際に、回転制御部１７がモータ１５に対して回転軸部１１の回転停止指令を出力してもよい。

【0072】

また、実施形態の研削装置１Ｄのように、検知器１３からの出力に応じて補助ポンプ３１により研削液Ｗを噴出流路に追加で供給する構成は、第二、第三参考例の研削装置１Ａ，１Ｂにも適用できる。

【0073】

以上、本発明の詳細について説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることができる。

【0074】

例えば、砥石部材２の砥粒層３は、多孔質に形成されなくてもよい。この場合、砥石部材２の噴出流路は、例えば砥粒層３の内周から外周まで径方向に貫通する貫通孔によって構成されればよい。
また、砥石部材２は、例えば砥粒層３の内周側に環状の砥石基台を取り付けて構成されてもよい。この場合、砥石基台には、その内周側から外周側まで貫通して、多孔質とされた砥粒層３の空間部分や前述の貫通孔に連通し、これらと共に噴出流路を構成する連通孔が形成されればよい。

【符号の説明】

【0075】

１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ…研削装置、１Ｚ…装置本体、２…砥石部材、１１…回転軸部、１２…ポンプ、１３，１３Ｂ…検知器、１４…警報出力部（出力部）、１４Ｃ，１４Ｄ…出力部、１５…モータ（駆動源）、１７…回転制御部、２８…流量計、２９…圧力計、３０…出力検知部、３１…補助ポンプ、３５…補助系制御部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】