特許 6195763 漏れ検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6195763

(24)【登録日】2017年8月25日

(45)【発行日】2017年9月13日

(54)【発明の名称】漏れ検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01M 3/20 20060101AFI20170904BHJP

【ＦＩ】

   G01M3/20 E

   G01M3/20 B

【請求項の数】8

【全頁数】15

(21)【出願番号】特願2013-174485(P2013-174485)

(22)【出願日】2013年8月26日

(65)【公開番号】特開2015-42948(P2015-42948A)

(43)【公開日】2015年3月5日

【審査請求日】2016年5月13日

(73)【特許権者】

【識別番号】390005555

【氏名又は名称】高千穂精機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100167184

【弁理士】

【氏名又は名称】井上 真一郎

(72)【発明者】

【氏名】堀田 滋

【審査官】 素川 慎司

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０９−１８９６３８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１０−１５６１７７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭５７−０３７２４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−２０９０８２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０７−１８７１５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１０−０３８７４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００５／０１４３９３９（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｍ ３／２０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

所定のガスが封入された密封体が載置される検査室を備える漏れ検査装置において、
前記検査室を密閉して減圧し、前記密封体の内部と外部の圧力差を発生させることで欠陥が存在する前記密封体から前記ガスを漏れ出させる第１の処理と、
前記第１の処理後に前記検査室の密閉を開放し、前記検査室内の気体の全てを前記検査室外部に排出する第２の処理と、
を実行する制御部を有し、
前記検査室は、前記検査室に連通して設けられ、ガス漏れの有無を分析する分析部に接続され、前記第２の処理において気体が排出される排気部と、前記第１の処理において閉塞状態となり、前記第２の処理において開口状態となる入気部とを有し、
前記密封体が前記検査室に載置された状態で前記入気部と前記排気部とが前記密封体の上方に位置し、
前記第２の処理において外部から前記検査室に入り込む気体の量が、前記検査室から流出する気体の量より大きくなるよう調整されている、
ことを特徴とする漏れ検査装置。

【請求項2】

前記第１の処理において、欠陥が存在する前記密封体から前記ガスを漏れ出させるのに十分な時間のうち、最も短い時間、または最も短い時間より若干長い時間だけ前記検査室を減圧する請求項１に記載の漏れ検査装置。

【請求項3】

前記検査室は、前記検査室内部の気体を吸い出すポンプ機構に接続され、前記排気部の開口部の面積より大きい開口部を備える孔部を有し、
前記孔部と前記排気部の流路それぞれを開放または閉塞する開閉機構を備え、
前記第１の処理では前記開閉機構が前記排気部の流路を閉塞し、前記孔部の流路を開放し、前記第２の処理では前記開閉機構が前記排気部の流路を開放し、前記孔部の流路を閉塞する請求項１または２に記載の漏れ検査装置。

【請求項4】

前記検査室内の気体を、前記分析部に導く際に、前記検査室内における気流の乱れを抑制する気流調整部をさらに備える請求項１ないし３のいずれかに漏れ検査装置。

【請求項5】

前記気流調整部は、前記検査室内の気体を前記分析部に導く際、所定時間内に前記検査室内部を大気圧に戻す請求項４に記載の漏れ検査装置。

【請求項6】

前記気流調整部は、前記入気部から入気する気体の量を調整する調整器具を備える請求項４または５に記載の漏れ検査装置。

【請求項7】

前記気流調整部は、前記排気部に連通する気体の流路に設けられたテーパ状をなすテーパ部を備える請求項４ないし６のいずれかに記載の漏れ検査装置。

【請求項8】

前記検査室の幅と前記入気部の幅とが同一である請求項１ないし７のいずれかに記載の漏れ検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は漏れ検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

密封袋の漏れ検査方法が知られている。例えば、封入物と共にヘリウムガスを封入した密封袋を気流のある容器中に収めてその内部で機械的押圧手段により該袋の内圧を上昇させ、該気流をヘリウムリークディテクターに導いてこれで該気流中のヘリウムの存在を判別することにより該袋の密閉性を検査する方法が知られている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平７−１８７１５２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

例えば、密封袋を容器内に収め、その容器を減圧して密封袋の内圧を上昇させ、その状態で容器内部の気体を吸引することにより密封袋の密閉性を検査する場合を考える。

【0005】

検査効率の観点から、検査時間の短縮が望まれる。しかしながら、減圧した状態において容器内部の気体を吸引すると、吸引できる流量が徐々に減少するため、容器の内部の気体をヘリウムリークディテクターに導くのに時間がかかり、検査時間が増大するという問題がある。
また、検査効率の観点から、ヘリウムガスが密封袋から漏れ出ると、速やかに気体を入れ替え、次の密閉性の検査を開始することが検査時間の短縮に繋がる。
１つの側面では、本発明は、検査時間を短縮することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記目的を達成するために、開示の漏れ検査装置が提供される。この漏れ検査装置は、所定のガスが封入された密封体が載置される検査室を備え、検査室を密閉して減圧し、密封体の内部と外部の圧力差を発生させることで欠陥が存在する密封体からガスを漏れ出させる第１の処理と、第１の処理後に検査室の密閉を開放し、検査室内の気体の全てを検査室外部に排出する第２の処理と、を有する。

【発明の効果】

【0007】

１態様では、検査時間を短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】実施の形態の漏れ検査装置を示す図である。

【図2】実施の形態の漏れ検査装置のハードウェア構成を示す図である。

【図3】搬送部周辺の構成を説明する図である。

【図4】搬送部周辺の構成を説明する図である。

【図5】検査容器の形状を説明する図である。

【図6】検査容器の内部に密封体が載置されたときの様子を説明する図である。

【図7】漏れ検査装置の動作を説明するタイムチャートである。

【図8】検査台での検査の内容を説明するタイムチャートである。

【図9】調整器具の変形例を示す図である。

【図10】調整器具の変形例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、実施の形態の漏れ検査装置を、図面を参照して詳細に説明する。
＜実施の形態＞
図１は、実施の形態の漏れ検査装置を示す図である。

【0010】

図１に示す漏れ検査装置１は、検査対象である密封体からのガス漏れの有無を検査する装置である。密封体としては、例えば、お菓子等の製品を包装体で密封した密封包装体や、自動車用のエアバッグ起爆部、タンク、小型密閉部品等のように、製品そのものが密封構造になっているもの、あるいは、一部の開口部を閉ざすことで密封構造になるもの等が挙げられる。また、密封体に封入するガスの種類は、特に限定されないが、例えばヘリウムガスが挙げられる。
漏れ検査装置１は、搬送部２と操作部３とを有している。

【0011】

搬送部２は、検査対象である密封体を、漏れ検査装置１内部の検査位置（後述）に搬送する。図１中、右側が密封体の搬入口である。ここから密封体は、漏れ検査装置１内部の検査位置に導かれてガス漏れの有無の検査が行われる。そして、検査が終了すると、密封体は、図１中左側に移動する。

【0012】

操作部３には、タッチパネル３ａと、電源スイッチ３ｂと、手動自動切り替えスイッチ３ｃと、運転開始ボタン３ｄと、運転停止ボタン３ｅと、ブザー停止ボタン３ｆと、警報リセットボタン３ｇと、非常停止ボタン３ｈとが設けられている。
タッチパネル３ａには、漏れ検査装置１の現在の動作状態等が表示される。
電源スイッチ３ｂは、漏れ検査装置１に供給される電力をオンまたはオフするときにユーザが操作するスイッチである。
手動自動切り替えスイッチ３ｃは、漏れ検査装置１の自動運転と手動運転を切り替えるときにユーザが操作するスイッチである。
運転開始ボタン３ｄは、漏れ検査装置１にガス漏れの検査を開始させるときにユーザが押下するボタンである。
運転停止ボタン３ｅは、漏れ検査装置１にガス漏れの検査を停止させるときにユーザが押下するボタンである。

【0013】

ブザー停止ボタン３ｆは、漏れ検査装置１に何らかの異常が発生したときに漏れ検査装置１が発生させるブザー（警告音）を停止させるときにユーザが押下するボタンである。

【0014】

警報リセットボタン３ｇは、所定の原因により漏れ検査装置１に異常が発生したときに、漏れ検査装置１が発生させた警報をリセットするときにユーザが押下するボタンである。
非常停止ボタン３ｈは、漏れ検査装置１がガス漏れの検査を行っているときに漏れ検査装置１を緊急停止させるときにユーザが押下するボタンである。
次に、漏れ検査装置１の制御機能を実現するハードウェアの構成を説明する。

【0015】

図２は、実施の形態の漏れ検査装置の制御機能を実現するハードウェア構成を示す図である。
漏れ検査装置１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）１０１によって装置全体が制御されている。ＣＰＵ１０１には、バス１０６を介してＲＡＭ（Random Access Memory）１０２と複数の周辺機器が接続されている。

【0016】

ＲＡＭ１０２は、漏れ検査装置１の主記憶装置として使用される。ＲＡＭ１０２には、ＣＰＵ１０１に実行させるＯＳ（Operating System）のプログラムやアプリケーションプログラムの少なくとも一部が一時的に格納される。また、ＲＡＭ１０２には、ＣＰＵ１０１による処理に使用する各種データが格納される。
バス１０６には、ＲＯＭ（Read Only Memory）１０３、グラフィック処理装置１０４、および入力インタフェース１０５が接続されている。

【0017】

ＲＯＭ１０３は、磁気的にデータの書き込みおよび読み出しを行う。ＲＯＭ１０３は、漏れ検査装置１の二次記憶装置として使用される。ＲＯＭ１０３には、ＯＳのプログラム、アプリケーションプログラム、および各種データが格納される。

【0018】

グラフィック処理装置１０４には、タッチパネル３ａが接続されている。グラフィック処理装置１０４は、ＣＰＵ１０１からの命令に従って、画像をタッチパネル３ａの画面に表示させる。

【0019】

入力インタフェース１０５には、タッチパネル３ａおよび各ボタンやスイッチの信号線が接続されている。入力インタフェース１０５は、タッチパネル３ａやボタンから送られてくる信号をＣＰＵ１０１に送信する。なお、タッチパネル３ａは、ポインティングデバイスの一例であり、他のポインティングデバイスを使用することもできる。他のポインティングデバイスとしては、例えばタブレット、タッチパッド、トラックボール等が挙げられる。
以上のようなハードウェア構成によって、本実施の形態の制御機能を実現することができる。

【0020】

図３および図４は、搬送部周辺の構成を説明する図である。
図４に示すように、密封体１００は、箱２００内に載置されている。具体的には、箱２００は、仕切りにより６つの区画に区切られており、各区画それぞれに密封体１００が載置されている。

【0021】

搬送部２は、コンベアベルト２１と、ローラー部２２と、製品位置決めストッパー２３と、製品搬入プッシャー（Pusher）２４と、製品ストッパー２５と、検査台２６、２７と、製品搬出プッシャー２８、２９と、ＮＧ品排出シリンダー３０とを有している。

【0022】

箱２００は、図示していない供給部により一個ずつコンベアベルト２１上に供給され、図４中、右側から左側に搬送される。供給部としては、例えば、搬送部２に接続されるように配置された別のベルトコンベアや、箱２００を上方からコンベアベルト２１上に搭載する構造のもの等を用いることができる。
ローラー部２２は、制御部６の指示に応じて回転することで、コンベアベルト２１を所定の方向に移動させる。

【0023】

製品位置決めストッパー２３は、図示しない支持機構により支持されている。製品位置決めストッパー２３は、コンベアベルト２１の上方位置に待機しており、所定のタイミングで下降することでコンベアベルト２１上に近接した位置に配置され、箱２００の図４中左方向への移動を規制する。

【0024】

また、製品位置決めストッパー２３には、位置検出センサが配置されている。位置検出センサは、コンベアベルト２１が移動し、箱２００が製品位置決めストッパー２３に接触した場合、接触信号を制御部６に送る。

【0025】

製品搬入プッシャー２４は、図示しない支持機構により支持されている。製品搬入プッシャー２４は、コンベアベルト２１の上方位置に配置されており、所定のタイミングで検査台２６近傍の位置（図３に示す位置、以下「第１の位置」と言う）と検査台２７近傍の位置（図４に示す位置、以下「第２の位置」と言う）との間を行ったり来たりする。これにより、コンベアベルト２１上を移動する箱２００が検査台２６または検査台２７に交互に押し出される。

【0026】

製品ストッパー２５は、図示しない支持機構により支持されている。製品位置決めストッパー２３は、コンベアベルト２１の上方位置に待機しており、所定のタイミングで下降することでコンベアベルト２１上に近接した位置に配置され、箱２００の図４中左方向への移動を規制する。具体的には、製品ストッパー２５は、検査台２６または検査台２７にて検査が可能である状態では、コンベアベルト２１の上方に位置することで、箱２００が検査台２６、２７側に移動することを許可する。また、それ以外は下降することで箱２００が検査台２６、２７側に移動することを規制する。製品ストッパー２５が下降するタイミングは、箱２００が製品搬入プッシャー２４により検査台２６、２７に押し出されるタイミングに同期している。

【0027】

検査台２６、２７は、それぞれ密封体１００の漏れ検査を行う場所である。検査台２６、２７は、それぞれ制御部６の制御により上昇または下降する。例えば検査台２６が下降を完了した位置（下降位置）は、コンベアベルト２１の移動面とほぼ並行になっている。これにより、検査台２６の下降位置においては、コンベアベルト２１と検査台２６との間に段差が生じることなく、コンベアベルト２１と検査台２６との間を箱２００が滑らかに（段差にひっかからずに）移動できるようになっている。

【0028】

ところで、検査容器１０は、図示しない支持部により支持されており、検査台２６、２７それぞれの上方に位置している。なお、図４においては、検査容器１０の図示を省略している。

【0029】

例えば検査台２６が上昇を完了した位置が検査位置である。検査位置においては、検査台２６の上に検査容器１０が覆い被さった状態となる。この状態において制御部は、密封体１００の検査を行う。検査容器１０の上部には吸引管３１が接続されている。吸引管３１は、検査台２６の上に検査容器１０が覆い被さることにより画成される検査室（検査チャンバー）内の空間（以下、検査空間と言う）の気体を吸引し、検査空間を減圧するときの気体の流路となる。吸引管３１の内径は例えば６ｍｍ〜８ｍｍ程度である。

【0030】

また、検査容器１０の後述する吸入部には、減圧状態が解除されたと同時に検査空間内の気体を吸引する吸引管３２が接続されている。吸引管３２の内径は例えば２ｍｍ〜４ｍｍ程度である。
製品搬出プッシャー２８、２９は、検査が終了した箱２００をコンベアベルト２１側に押し出す。

【0031】

ＮＧ品排出シリンダー３０は、検査台２６または検査台２７での検査の結果、漏れがある（ＮＧ）と判定された密封体１００が載置された箱２００を図４中上方向に押し出すことによりコンベアベルト２１から排出する。
また、漏れ検査装置１は、ポンプ機構４と、ガス分析部５と、制御部６とを有している。

【0032】

ポンプ機構４は、吸引管３１に接続されている。また、吸引管３１には吸引管３１の気体の流路を開放または閉塞するバルブ（開閉機構）３１ａが取り付けられている。検査空間内の気体を吸引するときには制御部６はバルブ３１ａを開く。そして、ポンプ機構４が吸引管３１を介して検査空間内の気体を吸引することで、検査空間を減圧する。

【0033】

ガス分析部５は、前述した検査位置において、検査台２６と検査容器１０および検査台２７と検査容器１０により画成される検査空間内部の気体を吸引してガス分析を行う。
ガス分析部５は、図示しないポンプ機構（ポンプ機構４とは別個のポンプ機構）を有している。

【0034】

ガス分析部５は、吸引管３２に接続されている。また、吸引管３２には吸引管３２の気体の流路を開放または閉塞するバルブ（開閉機構）３２ａが取り付けられている。ガスの分析をするときには制御部６はバルブ３２ａを開く。そして、ガス分析部５は吸引管３２を介して検査空間内の気体を吸引する。そして、ガス分析部５は、吸引管３２から吸引した気体に密封体内のヘリウムガスが含まれているかどうかを分析する。なお、ガス分析部５としては従来公知のものを用いることができる。

【0035】

制御部６は、前述したＣＰＵ１０１等により実現される。制御部６は、搬送部２の動作や、バルブ３１ａ、３２ａ等、漏れ検査装置１全体を制御する。また、制御部６は、ガス分析部５から分析結果を受け取り、特定ガスであるヘリウムガスが検出された場合には、検査した密封体１００のいずれかに漏れがあると判定する。
次に、検査容器１０の形状を説明する。

【0036】

図５は、検査容器の形状を説明する図である。
検査容器１０の上部には、検査室に連通する円形の孔部（真空ポート）１０ａが設けられている。この孔部１０ａには吸引管３１が接続されている。孔部１０ａの内径（開口部の面積）は、一例として十数ｍｍ程度である。

【0037】

また、検査容器１０の上部側面には、円形の排気部（排気孔）１０ｂが設けられている。この排気部１０ｂには、吸引管３２が接続されている。排気部１０ｂの内径（開口部の面積）は、一例として２ｍｍ〜数ｍｍ程度である。
また、検査容器１０の排気部１０ｂが設けられている面とは反対側には入気部（入気口）１０ｃが設けられている。

【0038】

図６は、検査容器の内部に密封体が載置されたときの様子を説明する図である。
図６（ａ）は、検査容器１０を上から見た図であり、図６（ｂ）は、検査容器１０を横から見た図である。なお、説明を分かり易くするために、図６（ａ）においては、検査容器１０の天板の記載を省略している。また、図６（ｂ）においては、検査容器１０の図６（ｂ）中、紙面手前側の側板の記載を省略している。

【0039】

図６（ｂ）に示すように、検査容器１０が検査台２６（または検査台２７）に覆い被さることにより、検査室１１が画成される。検査室１１の形状は箱２００の形状（幅および高さ）に対応して形成されており、本実施の形態では、ほぼ直方体である。

【0040】

検査容器１０が検査台２６に被せられた状態では、排気部１０ｂと入気部１０ｃ以外からは、検査室１１内部の気体が、検査容器１０の外部に露出しないようになっている。

【0041】

ガス分析部５が、検査容器１０の内部の気体を吸引することにより、検査容器１０の内部の気体は、排気部１０ｂから吸引管３１を通ってガス分析部５に送り込まれる。

【0042】

入気部１０ｃには、検査室１１に流入する気体の量を調整するための調整器具１２が設けられている。調整器具１２の形状は、入気部１０ｃに対応して設けられており、図６においては三角柱である。調整器具１２は、制御部６の制御により移動する。具体的には、制御部６が調整器具１２を図６中右方向に移動させると入気部１０ｃが全て塞がりパッキンとして機能する。これにより、外部から入気部１０ｃに空気が流入することを抑制することができるようになっている。以下、この位置を閉塞位置と言う。また、閉塞位置から調整器具１２を図６中左側に移動させることにより、入気部１０ｃの開口面積が徐々に大きくなり、単位時間当たりに検査室１１に流入できる空気の量も増加する。本実施の形態では、検査室１１が減圧されているときには、制御部６は、閉塞位置に調整器具１２を移動させる。また、検査室１１内部の圧力を減圧状態から大気圧に戻す際には、制御部６は、閉塞位置から調整器具１２を図６中左側の所定位置までに移動させる。以下、この所定位置を開放位置という。

【0043】

ところで、図６（ａ）に示すように、入気部１０ｃの開口部の幅Ｗ１は、検査容器１０の内側の幅Ｗ２に対応している。例えば、幅Ｗ１と幅Ｗ２が同一であるのが好ましい。これにより、排気部１０ｂを介して検査室１１から気体を排出する際に、検査室１１内の気流の乱れを抑制し、気流を安定させることができる。なお、入気部１０ｃの開口部の高さは、例えば１ｍｍ〜２ｍｍ程度である。

【0044】

また、検査容器１０の箱２００が載置される箇所から排気部１０ｂに連通する気体の流路には、テーパ状をなすテーパ部１０ｄが設けられている。これにより、検査室１１から気体を排出する際に、検査室１１内の気流の乱れを抑制し、気流を安定させることができる。

【0045】

制御部６、および調整器具１２の機能、並びにテーパ部１０ｄ、検査室１１および入気部１０ｃの形状により、検査室１１内における気流の乱れを抑制する気流調整部の主要部が形成される。

【0046】

また、図６（ｂ）に示すように、排気部１０ｂおよび入気部１０ｃは、それぞれ検査対象の密封体１００に対し、上方に位置するよう設けられている。これにより、入気部１０ｃから排気部１０ｂに至る気体の流れが遮られることを抑制し、検査室１１内の気流をスムーズにすることができる。

【0047】

なお、本実施の形態では、排気部１０ｂおよび入気部１０ｃは、それぞれ検査対象の密封体１００に対し、上方に位置している。しかし、これに限らず、排気部１０ｂおよび入気部１０ｃは、それぞれ検査対象の密封体１００に対し、側方に位置するように設けるようにしてもよい。
次に、漏れ検査装置１の動作を説明する。

【0048】

図７は、漏れ検査装置の動作を説明するタイムチャートである。
なお、図７においては検査台２６を「第１検査台」、検査台２７を「第２検査台」と表記している。また、図７において「第１検査台検査」は、検査台２６にて漏れ検査が行われている区間を示している。「第２検査台検査」は、検査台２７にて漏れ検査が行われている区間を示している。
まず、図示しない供給部により密封体１００が載置された箱２００が搬送部２のコンベアベルト２１上に載置される。
電源スイッチ３ｂがオンの状態で運転開始ボタン３ｄが押下されると、制御部６は、搬送部２を動作させ、箱２００をコンベアベルト２１により搬送させる。

【0049】

製品位置決めストッパー２３に箱２００が到達したことをセンサが検出すると、制御部６は、製品ストッパー２５を下降させてコンベアベルト２１への近接を開始する（時刻Ｔ１）。これにより、新たな箱２００がコンベアベルト２１の検査台２６、２７側に移動することが規制される。また、制御部６が、前述した第１の位置から第２の位置に製品搬入プッシャー２４を移動させることにより、製品位置決めストッパー２３により移動が規制されている箱２００が検査台２６側に移動する（時刻Ｔ１−Ｔ２間）。その後、制御部６は、検査台２６の上昇を開始させる（時刻Ｔ２）。検査台２６が上昇を完了した時点では、検査台２６の上面は検査容器１０により覆われた状態となる（時刻Ｔ３）。この状態で制御部６は漏れ検査を実行する（時刻Ｔ３−Ｔ６間）。なお、漏れ検査の詳細については、後に詳述する。

【0050】

ところで、検査台２６にて検査が行われている間に制御部６は、製品ストッパー２５の上昇を開始させる（時刻Ｔ４）。これにより、コンベアベルト２１に載置された新たな箱２００が検査台２６、２７側に移動することが可能となる。

【0051】

その後、製品位置決めストッパー２３に新たな箱２００が到達したことをセンサが検出すると、制御部６は、製品ストッパー２５を下降させてコンベアベルト２１への近接を開始する（時刻Ｔ５）。これにより、新たな箱２００がコンベアベルト２１の検査台２６、２７側に移動することが規制される。また、制御部６は、製品搬入プッシャー２４を第２の位置から第１の位置に移動させることにより、製品位置決めストッパー２３により移動が規制されている箱２００が検査台２７側に移動する（時刻Ｔ５−Ｔ６間）。

【0052】

その後、制御部６は、検査台２７の上昇を開始させる（時刻Ｔ６）。検査台２７が上昇を完了した時点では、検査台２７の上面は検査容器１０により覆われた状態となる（時刻Ｔ７）。この状態で制御部６は漏れ検査を実行する（時刻Ｔ７−Ｔ９間）。

【0053】

ところで、時刻Ｔ６において検査台２６での密封体１００の検査が完了すると、制御部６は、検査台２６の下降を開始させる（時刻Ｔ６）。検査台２６の下降が完了した時点で（時刻Ｔ６７）、制御部６は、検査台２６上に載置されている箱２００のコンベアベルト２１側への押し出しを製品排出プッシャー２９に開始させる（時刻Ｔ６７）。押し出しが完了すると、制御部６は、製品排出プッシャー２９を元の位置に戻す（時刻Ｔ８）。

【0054】

ところで、時刻Ｔ６において製品位置決めストッパー２３が下降を開始し、製品排出プッシャー２９が押し出しを完了した時点では、製品位置決めストッパー２３は上方位置に待機している。このため、検査台２６にて検査が完了した箱２００は、製品位置決めストッパー２３に移動を規制されることなくコンベアベルト２１上を左方向に移動する。図７においては、検査に成功した例を示している。このため、ＮＧ品排出シリンダー３０は、動作せず、検査が完了した箱２００は、コンベアベルト２１上をそのまま左方向に流れていく。時刻Ｔ７８−Ｔ８間において検査が完了した箱２００は、製品位置決めストッパー２３を通過する。その後、時刻Ｔ８において、製品位置決めストッパー２３は下降を開始する。
なお、検査台２７の検査においても、検査台２６の検査と同様の処理が行われる。このため、検査台２７の検査については詳細な説明を省略する。
次に、検査台２６および検査台２７での検査の内容を詳しく説明する。以下、時刻Ｔ３−Ｔ６間における検査台２６での検査を例に説明する。

【0055】

図８は、検査台での検査の内容を説明するタイムチャートである。なお、図８においてはバルブ３１ａを「第１バルブ」、バルブ３２ａを「第２バルブ」と表記している。
時刻Ｔ３において、調整器具１２は、閉塞位置に位置している。また、ポンプ機構４は、動作しているが、バルブ３１ａ、３２ａは、ともに閉められている。

【0056】

箱２００が載置された検査台２６が上昇し、時刻Ｔ３において検査台２６に検査容器１０が被せられると、制御部６は、バルブ３１ａを開く。これにより、ポンプ機構４により検査室１１内の気体の吸引が開始される。これにより、検査室１１内部の気体は、孔部１０ａから吸い出され、検査室１１は減圧された状態となる。従って、密封体１００にピンホール等の欠陥が存在する場合には、この欠陥から密封体１００内部のヘリウムガスが密封体１００の外部に漏れ出る。その後、制御部６は、ポンプ機構４の動作を停止するとともにバルブ３１ａを閉じる（時刻Ｔ３ａ）。このとき、密封体１００は検査容器１０により覆われているため、外部に漏れ出たヘリウムガスは検査室１１の内部に留まる。この時刻Ｔ３−Ｔ３ａ間は、第１の処理の一例であり、欠陥がある密封体１００からヘリウムガスが検査室１１の内部に漏れ出させるのに十分な時間のうち、最も短い時間、または最も短い時間より若干長く設定されている。この時間は、例えば１秒である。

【0057】

また、制御部６は、バルブ３２ａを開き、検査室１１内の気体を吸引させるようガス分析部５に指示する（時刻Ｔ３ａ）。これにより、ガス分析部５は、排気部１０ｂから気体の吸引を開始する。また、制御部６は、ガス分析部５に指示するのと同じタイミングで調整器具１２を閉塞位置から開放位置に移動させる。調整器具１２が開放位置に移動すると、入気部１０ｃから検査室１１に気体が入り込む。また、検査室１１内の気体は、排気部１０ｂから吸い出される。

【0058】

ここで、外部から入気部１０ｃを介して検査容器１０に入り込む気体の量が、排気部１０ｂから流出する気体の量より大きくなるよう、ガス分析部５の吸入量および開放位置が調整されている。具体的には、１秒〜２秒で検査室１１内部の気圧が大気圧に戻るようにガス分析部５の吸入量および開放位置が調整されている。これにより、検査室１１内部の気圧は、減圧状態から大気圧に戻る。また、検査室１１内部の気圧が減圧状態から大気圧に戻る際にも検査容器１０の検査室１１における気流が安定し、乱気流の発生を抑制することができる。また、入気部１０ｃから排気部１０ｂに至る気体の流路には障害物が設けられていないため、検査室１１内の気流は安定する。
また、密封体１００からヘリウムガスが露出した場合は、入気部１０ｃから排気部１０ｂに至る気体の流路に導かれて露出したヘリウムガスが高速に移動する。

【0059】

時刻Ｔ６までに検査室１１内の全ての気体は入れ替わり、検査室１１内の気圧は大気圧に戻る。時刻Ｔ６において、制御部６は、調整器具１２を開放位置から閉塞位置に移動させる。また、制御部６は、検査室１１内の気体の吸引を停止させるようガス分析部５に指示する。また、制御部６は、バルブ３２ａを閉じる。この時刻Ｔ３ａ−Ｔ６間は、第２の処理の一例である。

【0060】

以上述べたように、漏れ検査装置１によれば、時刻Ｔ３ａ−Ｔ６間において検査室１１の密閉を開放するため、検査室の気体が迅速に検査室外部に排出される。また、密封体１００からヘリウムガスが漏れた場合にも全ての気体が検査室１１の外部に排出されるため、次の検査を迅速に行うことができる。

【0061】

また、漏れ検査装置１によれば、検査において、検査室１１内における気流の乱れを抑制することができる。従って、検査時間の短縮を図ることができる。例えば、時刻Ｔ３−Ｔ６間を２、３秒で終了させることができる。

【0062】

具体的には、前述したように、入気部１０ｃの幅Ｗ１が検査室１１の幅に対応して設けられているため、乱気流の発生を抑制することができる。また、検査室１１の排気部１０ｂに至る経路がテーパ状をなしているため、排気部１０ｂ側での乱気流の発生を抑制することができる。

【0063】

また、外部から入気部１０ｃを介して検査容器１０に入り込む気体の量が、排気部１０ｂから流出する気体の量より大きくなるよう、ガス分析部５の吸入量および調整器具１２の開放位置が調整されている。これにより、検査容器１０の検査室１１における気流が安定し、乱気流の発生を抑制することができる。

【0064】

ところで、前述した特許文献１では、流入口を閉塞せずに吸引を行っている。このような構成では、容器外部から気体が常に流入するため、吸引する気体に含まれるヘリウムガスの濃度が薄まってしまう。これに対し、漏れ検査装置１によれば、減圧した分だけ入気部１０ｃから気体を取り込むようにし、短期間で検査室１１内の気体を分析部３ｂに導くようにした。これにより、ヘリウムガスの濃度が薄まることを抑制しつつ、短期間で検査を終了させることができる。
なお、本実施の形態ではコンベアベルト２１を用いて検査を行う方法を例示した。しかし、検査方法は、コンベアベルトを用いたものに限定されない。

【0065】

また、本実施の形態では２つの検査台２６、２７を用いて漏れ検査を行った。しかし、検査台（検査室）の数は、２つに限定されず、１または３つ以上であってもよい。

【0066】

＜変形例１＞
次に、実施の形態の調整器具の変形例を説明する。
図９は、調整器具の変形例を示す図である。
変形例１における調整器具１２ａは円筒状をなしている。調整器具１２ａの入気部１０ｃ１に対応する箇所には、円筒の中央部を通り両側に貫通する孔部１２ａ１が設けられている。

【0067】

また、図９における入気部１０ｃ１は、調整器具１２ａに対応する形状をなしている。具体的には、入気部１０ｃ１の入気孔１０ｃ２の径は、孔部１２ａ１の径に一致している。また、入気部１０ｃ１の調整器具１２ａに接する部分は円弧状をなしている。

【0068】

調整器具１２ａは、この円筒の中心を回転軸とし、円筒の回転方向に所定角度回転することにより、検査室１１内部に流入する気体の流量を調整することができる。
変形例の調整器具１２ａによれば、調整器具１２と同様の効果が得られる。

【0069】

＜変形例２＞
図１０は、調整器具の変形例を示す図である。
図１０に示す調整器具１２ｂは、軸部１２ｂ１を備えている。調整器具１２ｂは、この軸部１２ｂ１を中心に所定角度回転する。この回転角度を調整することにより、検査室１１内部に流入する気体の流量を調整することができる。

【0070】

変形例の調整器具１２ｂによれば、調整器具１２と同様の効果が得られる。また、調整器具１２ｂによれば、検査室１１内部が減圧された状態においても閉塞位置から開放位置への移動が比較的容易である。
なお、調整器具の形状は、変形例１や変形例２に限定されないことは言うまでもない。

【0071】

＜変形例３＞
本実施の形態では、調整器具１２を設けて入気部１０ｃ側で検査室１１内部に流入する気体の流量を調整するようにした。しかし、これに限らず、例えば入気部１０ｃ側では検査室１１内部に流入する気体の流量を調整せずに、排気部１０ｂ側で検査室１１内部に流入する気体の流量を調整するようにしてもよい。一例としては、入気部１０ｃ側は全閉塞または全開放できるようにしておき、テーパ部１０ｄの角度を調整することにより、排気部１０ｂに導かれる気体の流量を調整するようにしてもよい。

【0072】

以上、本発明の漏れ検査装置を、図示の実施の形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物や工程が付加されていてもよい。

【符号の説明】

【0073】

１ 漏れ検査装置
２ 搬送部
３ 操作部
４ ポンプ機構
５ ガス分析部
６ 制御部
１０ 検査容器
１０ａ 孔部
１０ｂ 排気部
１０ｃ 入気部
１０ｄ テーパ部
１２ 調整器具
２１ コンベアベルト
２２ ローラー部
２３ 製品位置決めストッパー
２４ 製品搬入プッシャー
２５ 製品ストッパー
２６、２７ 検査台
２８、２９ 製品排出プッシャー
３０ ＮＧ品排出シリンダー
３１、３２ 吸引管
３１ａ、３２ａ バルブ
１００ 密封体
２００ 箱

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】