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公報発行日 2017年9月20
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【図1A】本発明の発光装置の一実施形態を示す概略平面図である。
【図1B】本発明の発光装置の一実施形態を示す断面図である。
【図1C】図1Aにおける酸化した特定元素の島状膜を説明するための部分拡大図である。
【図2A】図1の発光装置の製造工程を説明するための断面図である。
【図2B】図1の発光装置の製造工程を説明するための断面図である。
【図2C】図1の発光装置の製造工程を説明するための断面図である。
【図2D】図1の発光装置の製造工程を説明するための断面図である。
【図3】本発明の発光装置の発光効率の向上を示すグラフである。
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