特許 6198644 精密計測用ターゲット及び精密計測方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6198644

(24)【登録日】2017年9月1日

(45)【発行日】2017年9月20日

(54)【発明の名称】精密計測用ターゲット及び精密計測方法

(51)【国際特許分類】

   G01C 15/06 20060101AFI20170911BHJP

【ＦＩ】

   G01C15/06 T

【請求項の数】6

【全頁数】22

(21)【出願番号】特願2014-47891(P2014-47891)

(22)【出願日】2014年3月11日

(65)【公開番号】特開2015-172498(P2015-172498A)

(43)【公開日】2015年10月1日

【審査請求日】2016年9月1日

(73)【特許権者】

【識別番号】000135771

【氏名又は名称】株式会社パスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100099759

【弁理士】

【氏名又は名称】青木 篤

(74)【代理人】

【識別番号】100092624

【弁理士】

【氏名又は名称】鶴田 準一

(74)【代理人】

【識別番号】100114018

【弁理士】

【氏名又は名称】南山 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100165191

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 章

(74)【代理人】

【識別番号】100151459

【弁理士】

【氏名又は名称】中村 健一

(72)【発明者】

【氏名】三島 研二

(72)【発明者】

【氏名】阿部 直宏

【審査官】 ▲うし▼田 真悟

(56)【参考文献】

【文献】 実開昭６０−００４９１０（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 登録実用新案第３０２１１７５（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開平１０−２０６１５９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００６／０００７４５２（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｃ １５／００−１５／０６

Ｇ０１Ｂ １１／００−１１／３０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

装置をサブミリメートル単位の精度で予め決定された位置に配置するためのサブミリメートル単位の計測を行うのに用いられる精密計測用ターゲットであって、
予め決定された形状のシートを有し、
０．１ミリメートル以上０．５ミリメートル未満の直径を有する円形の標及び前記標に向かって段階的に間隔が狭くなるように配置される複数組の２本の平行線が、前記シートの一方の面に設けられ、
前記標に向かう第１の直線及び第２の直線が、前記シートの一方の面に設けられ、前記複数組の２本の平行線と、前記第１の直線及び前記第２の直線との間の領域を前記シートの一方の面に画定し、前記領域を黒色にし、前記シートの一方の面の前記領域以外の部分を白色又は灰色にしたことを特徴とする精密計測用ターゲット。

【請求項2】

装置をサブミリメートル単位の精度で予め決定された位置に配置するためのサブミリメートル単位の計測を行うのに用いられる精密計測用ターゲットであって、
予め決定された形状のシートを有し、
０．１ミリメートル以上０．５ミリメートル未満の直径を有する円形の標及び前記標に向かって段階的に間隔が狭くなるように配置される複数組の２本の平行線が、前記シートの一方の面に設けられ、
前記標に向かう第１の直線及び第２の直線が、前記シートの一方の面に設けられ、前記第１の直線及び前記第２の直線の内側の領域を前記シートの一方の面に画定し、前記領域を黒色にしたことを特徴とする精密計測用ターゲット。

【請求項3】

装置をサブミリメートル単位の精度で予め決定された位置に配置するためのサブミリメートル単位の計測を行うのに用いられる精密計測用ターゲットであって、
予め決定された形状のシートを有し、
０．１ミリメートル以上０．５ミリメートル未満の直径を有する円形の標及び前記標に向かって段階的に間隔が狭くなるように配置される複数組の２本の平行線が、前記シートの一方の面に設けられ、
前記標を中心とする少なくとも一つの円弧が、前記複数組の２本の平行線のうちの一組の２本の平行線と接続するように前記シートの一方の面に設けられ、前記円弧を黒色にしたことを特徴とする精密計測用ターゲット。

【請求項4】

前記標の直径が０．２ミリメートルである、請求項１から３のうちのいずれか一項に記載の精密計測用ターゲット。

【請求項5】

前記シートの他方の面を接着面とした、請求項１から４のうちのいずれか一項に記載の精密計測用ターゲット。

【請求項6】

装置をサブミリメートル単位の精度で予め決定された位置に配置するためのサブミリメートル単位の計測を行う精密計測方法であって、
請求項１から５のうちのいずれか一項に記載の精密計測用ターゲットを計測機器で視認する際に、計測機器の対物レンズと接眼レンズとの間に配置された十字線の交点を前記標に一致させるために、計測機器によって十字線の一方の線を、前記複数組の２本の平行線のうちの一組の２本の平行線の間に配置することを特徴とする精密計測方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、装置をサブミリメートル単位の精度で予め決定された位置に配置するためのサブミリメートル単位の計測、すなわち、精密計測を行うのに用いられる精密計測用ターゲット及精密計測方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、基準標又は測量点を床面に設置する際に床面を加工する場合、床面の加工を必要とするので作業量が多くなり、多くの時間を要するという不都合がある。また、罫書き線を床面に引くこと又はポンチを床面等に打つことによって基準標又は測量点を地面等に形成した場合、観測する角度、光加減等によって測量の際の誤差が発生するおそれがあるという不都合がある。

【0003】

従来、サブミリメートル単位の精度が要求されない測量を行うために用いられる測量用ターゲットが提案されている（例えば、特許文献１〜４）。このような測量用ターゲットを用いることによって、上述したような不都合がなくなる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００２−１２２４２９号公報

【特許文献2】特開平１０−２０６１５９号公報

【特許文献3】特開平９−１４９６５号公報

【特許文献4】特開平８−２８５５９７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

電波望遠鏡のパラボナアンテナの配置、研究用加速器の装置の配置、医療用加速器の装置の配置、リニアモータカーのガイドウエイの配置等において、装置をサブミリメートル単位の精度で予め決定された位置に配置するための精密計測を行う必要がある。しかしながら、精密計測を行うための基準標又は測量点として用いるのに適した精密計測用ターゲットはなかった。

【0006】

精密計測において、計測機器とターゲットとの距離が３０〜４０ｃｍの近距離で使われること及びこれらの距離が２０ｍ程度の遠距離で使われることが好ましい。遠距離からの視準により測量用ターゲットの全体が見えるが、近距離からの視準により測量用ターゲットの一部しか見えない。

【0007】

しかしながら、従来の測量用ターゲットは、遠距離からの視準か近距離からの視準かによって測量用ターゲットの標の見え方が変わるにもかかわらず測量用ターゲットの標への案内がない。測量用ターゲットの標への案内がないために、視準の際に測量用ターゲットの標を把握するのが困難となり、計測機器の倍率を調整したとしても装置をサブミリメートル単位の精度で位置決めすることができない。したがって、従来提案されている測量用ターゲットを用いて精密計測を行うことはできなかった。

【0008】

本発明の目的は、精密計測を行うための基準標又は測量点として用いることができる精密計測用ターゲット及精密計測方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明による精密計測用ターゲットは、装置をサブミリメートル単位の精度で予め決定された位置に配置するためのサブミリメートル単位の計測を行うのに用いられる精密計測用ターゲットであって、予め決定された形状のシートを有し、０．１ミリメートル以上０．５ミリメートル未満の直径を有する円形の標及び標に向かって段階的に間隔が狭くなるように配置される複数組の２本の平行線が、シートの一方の面に設けられたことを特徴とする。

【0010】

好適には、複数組の２本の平行線の外側の矩形領域をシートの一方の面に画定し、矩形領域を黒色にし、シートの一方の面の矩形領域以外の部分を白色又は灰色にする。

【0011】

好適には、標に向かう第１の直線及び第２の直線が、シートの一方の面に設けられ、複数組の２本の平行線と、第１の直線及び第２の直線との間の領域をシートの一方の面に画定し、領域を黒色にし、シートの一方の面の領域以外の部分を白色又は灰色にする。

【0012】

好適には、標に向かう第１の直線及び第２の直線が、シートの一方の面に設けられ、第１の直線及び第２の直線の内側の領域をシートの一方の面に画定し、領域を黒色にする。

【0013】

好適には、標を中心とする少なくとも一つの円弧が、複数組の２本の平行線のうちの一組の二本の平行線と接続するようにシートの一方の面に設けられ、円弧を黒色にする。

【0014】

好適には、標の直径が０．２ミリメートルである。

【0015】

好適には、シートの他方の面を接着面とする。

【0016】

本発明による精密計測方法は、装置をサブミリメートル単位の精度で予め決定された位置に配置するためのサブミリメートル単位の計測を行う精密計測方法であって、上記精密計測用ターゲットを計測機器で視認する際に、計測機器の対物レンズと接眼レンズとの間に配置された十字線の交点を標に一致させるために、計測機器によって十字線の一方の線を、複数組の２本の平行線のうちの一組の２本の平行線の間に配置することを特徴とする。

【発明の効果】

【0017】

本発明による精密計測用ターゲットによれば、標に向かって段階的に間隔が狭くなるように配置される複数組の２本の平行線によって、精密計測用ターゲットの全体が見えるか一部しか見えないかに関係なく十字線（ヘアピン）の交点を標に簡単に案内することができる。このように十字線の交点を標に簡単に案内することができるので、本発明による精密計測用ターゲットを、精密計測を行うための基準標又は測量点として用いることができる。

【0018】

本発明による精密計測方法によれば、本発明による精密計測用ターゲットを精密計測のための基準標又は測量点として用いているので、精密計測を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】本発明による精密計測用ターゲットの一実施の形態の正面図である。

【図2】本発明による精密計測方法を説明するための図である。

【図3】計測機器の対物レンズと接眼レンズとの間に配置されるレクチル及び十字線の一例を示す図である。

【図4】本発明による精密計測用ターゲットの他の実施の形態の正面図である。

【図5】計測機器の対物レンズと接眼レンズとの間に配置されるレクチル及び十字線の他の例を示す図である。

【図6】本発明による精密計測用ターゲットの他の実施の形態の正面図である。

【図7】計測機器の対物レンズと接眼レンズとの間に配置されるレクチル及び十字線の他の例を示す図である。

【図8】本発明による精密計測用ターゲットの他の実施の形態の正面図である。

【図9】計測機器の対物レンズと接眼レンズとの間に配置されるレクチル及び十字線の他の例を示す図である。

【図10】本発明による精密計測用ターゲットの他の実施の形態の正面図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

本発明による精密計測用ターゲット及び精密計測方法を、図面を参照しながら詳細に説明する。
図１は、本発明による精密計測用ターゲットの一実施の形態の正面図である。図１に示す精密計測用ターゲット１は、電波望遠鏡のパラボナアンテナの配置、研究用加速器の装置の配置、医療用加速器の装置の配置、リニアモータカーのガイドウエイの配置等において、精密計測を行うための基準標又は測量点として用いられる。

【0021】

精密計測用ターゲット１は、予め決定された形状としての正方形のシート２を有する。シート２は、紙、プラスチック等によって構成され、予め決定された寸法（例えば、一辺３ｃｍ）を有する。シート２の一方の面には、円形の標３及び標３への案内のための印刷パターン４，５，６，７が設けられ、シート２の他方の面は、接着剤が設けられた接着面となる。このような接着面を設けることによって、床等の任意の個所において精密計測用ターゲット１を基準標又は測量点として用いることができる。標３は、精密計測を行えるようにするために０．１ミリメートル以上０．５ミリメートル未満の直径を有する。好適には、標３の直径は０．２ミリメートルである。

【0022】

印刷パターン４は、標３に向かって段階的に間隔が狭くなるように配置される２本の平行線１１ａ，１１ｂ、２本の平行線１２ａ，１２ｂ、２本の平行線１３ａ，１３ｂ及び２本の平行線１４ａ，１４ｂを有する。すなわち、シート２の一方の面には、複数組の２本の平行線としての４組の２本の平行線１１ａ，１１ｂ、２本の平行線１２ａ，１２ｂ、２本の平行線１３ａ，１３ｂ及び２本の平行線１４ａ，１４ｂが設けられる。

【0023】

一端が標３に隣接する平行線１１ａ，１１ｂの間隔は、一端が平行線１１ａ，１１ｂの他端に隣接する平行線１２ａ，１２ｂの間隔より狭い。また、平行線１２ａ，１２ｂの間隔は、一端が平行線１２ａ，１２ｂの他端に隣接する平行線１３ａ，１３ｂの間隔より狭い。さらに、平行線１３ａ，１３ｂの間隔は、一端が平行線１３ａ，１３ｂの他端に隣接する平行線１４ａ，１４ｂの間隔より狭い。

【0024】

また、印刷パターン４は、標３を中心とする少なくとも一つの円弧としての円弧１５，１６，１７を有する。円弧１５は、一組の二本の平行線としての平行線１１ｂ及び平行線１２ｂと接続するようにシート２の一方の面に設けられる。円弧１６は、一組の二本の平行線としての平行線１２ｂ及び平行線１３ｂと接続するようにシート２の一方の面に設けられる。円弧１７は、一組の二本の平行線としての平行線１３ｂ及び平行線１４ｂと接続するようにシート２の一方の面に設けられる。

【0025】

したがって、円弧１５の内側にある平行線１１ｂとそれに対向する平行線１１ａとの間隔を、円弧１５の外側にある平行線１２ｂとそれに対向する平行線１２ａとの間隔より狭くしている。また、円弧１６の内側にある平行線１２ｂとそれに対向する平行線１２ａとの間隔を、円弧１６の外側にある平行線１３ｂとそれに対向する平行線１３ａとの間隔より狭くしている。さらに、円弧１７の内側にある平行線１３ｂとそれに対向する平行線１３ａとの間隔を、円弧１７の外側にある平行線１４ｂとそれに対向する平行線１４ａとの間隔より狭くしている。

【0026】

４組の２本の平行線１１ａ，１１ｂ、２本の平行線１２ａ，１２ｂ、２本の平行線１３ａ，１３ｂ及び２本の平行線１４ａ，１４ｂの外側の矩形領域を、シート２の一方の面に画定する。本実施の形態では、平行線１１ａの外側の矩形領域２１ａ、平行線１１ｂの外側の矩形領域２１ｂ、平行線１２ａの外側の矩形領域２２ａ、平行線１２ｂの外側の矩形領域２２ｂ、平行線１３ａの外側の矩形領域２３ａ、平行線１３ｂの外側の矩形領域２３ｂ、平行線１４ａの外側の矩形領域２４ａ及び平行線１４ｂの外側の矩形領域２４ｂを、シート２の一方の面に画定する。

【0027】

また、本実施の形態では、平行線１３ａと平行線１３ｂとの間及び平行線１４ａと平行線１４ｂとの間にある矩形領域２５を、シート２の一方の面に画定する。

【0028】

印刷パターン５は、印刷パターン４を標３を中心にして時計回りに９０°回転した印刷パターンである。したがって、印刷パターン５に含まれる平行線３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂ，３３ａ，３３ｂ，３４ａ，３４ｂは、平行線１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂに垂直である。

【0029】

印刷パターン６は、印刷パターン４を標３を中心にして時計回りに１８０°回転した印刷パターンであり、印刷パターン７は、印刷パターン４を標３を中心にして時計回りに２７０°回転した印刷パターンである。

【0030】

本実施の形態では、標３と、矩形領域２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂ，２４ａ，２４ｂ，２５、円弧１５，１６，１７並びにこれらの矩形領域及び円弧に対応する印刷パターン５，６，７内の矩形領域及び円弧とを黒色にし、黒色にした標３並びに当該矩形領域及び円弧以外の部分を白色又は灰色にする。このようにコントラストを明瞭にすることによって、精密計測を行いやすくすることができる。

【0031】

図２は、本発明による精密計測方法を説明するための図であり、図３は、計測機器の対物レンズと接眼レンズとの間に配置されるレクチル及び十字線（ヘアピン）の一例を示す図である。
図２において、測量点として用いられる図１に示す精密計測用ターゲット１の他方の面が壁面４０に貼り付けられ、計測機器５０が壁面４０に対して所定の距離（例えば、３０ｃｍ〜２０ｍ）を以て配置される。

【0032】

精密計測用ターゲット１を計測機器５０で視認する際に、計測機器５０の対物レンズと接眼レンズとの間に配置された十字線６０の交点６１を標３に一致させる。このために、十字線６０を垂直方向（１軸）で動かす場合、後述するように、精密計測用ターゲット１を計測機器５０で視認する際に、十字線６０の一方の線としての横線６２を、平行線１１ａと平行線１１ｂとの間、平行線１２ａと平行線１２ｂとの間、平行線１３ａと平行線１３ｂとの間又は平行線１４ａと平行線１４ｂとの間に配置する。

【0033】

例えば、計測機器５０と壁面４０すなわち精密計測用ターゲット１との間の距離が３０ｃｍ未満である場合、精密計測用ターゲット１を計測機器５０で視認する際に、同心円であるレクチル７１，７２，７３のうちの最も半径の大きいレクチル７３の半径が円弧１５の半径よりも小さく見える。すなわち、精密計測用ターゲット１を計測機器５０で視認する際に、精密計測用ターゲット１の一部しか見えない。したがって、交点６１を標３に一致させるために、横線６２を平行線１１ａと平行線１１ｂとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル７３の半径を円弧１５の半径に一致させるように計測機器５０の倍率を変更することもできる。

【0034】

また、計測機器５０と精密計測用ターゲット１との間の距離が３０ｃｍと４０ｃｍの間である場合、精密計測用ターゲット１を計測機器５０で視認する際に、レクチル７３の半径が円弧１５の半径と円弧１６の半径の間にあるように見える。すなわち、精密計測用ターゲット１を計測機器５０で視認する際に、精密計測用ターゲット１の一部しか見えない。したがって、交点６１を標３に一致させるために、横線６２を平行線１２ａと平行線１２ｂとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル７２，７３の半径を円弧１５，１６の半径にそれぞれ一致させ又はレクチル７１，７２，７３の半径を円弧１５，１６，１７の半径にそれぞれ一致させるように計測機器５０の倍率を変更することもできる。

【0035】

また、計測機器５０と精密計測用ターゲット１との間の距離が４０ｃｍと２０ｍの間である場合、精密計測用ターゲット１を計測機器５０で視認する際に、レクチル７３の半径が円弧１６の半径と円弧１７の半径の間にあるように見える。すなわち、精密計測用ターゲット１を計測機器５０で視認する際に、精密計測用ターゲット１の一部しか見えない。したがって、交点６１を標３に一致させるために、横線６２を平行線１３ａと平行線１３ｂとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル７１，７２の半径を円弧１６，１７の半径にそれぞれ一致させ又はレクチル７１，７２，７３の半径を円弧１５，１６，１７の半径にそれぞれ一致させるように計測機器５０の倍率を変更することもできる。この場合、交点６１を標３に案内するために矩形領域２５を用いることもできる。

【0036】

さらに、計測機器５０と精密計測用ターゲット１との間の距離が２０ｍを超える場合、精密計測用ターゲット１を計測機器５０で視認する際に、レクチル７３の半径が円弧１７の半径より大きくなるように見える。すなわち、精密計測用ターゲット１を計測機器５０で視認する際に、精密計測用ターゲット１の全体が見える。したがって、交点６１を標３に一致させるために、横線６２を平行線１４ａと平行線１４ｂとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル７１の半径を円弧１７の半径に一致させるように計測機器５０の倍率を変更することもできる。この場合も、交点６１を標３に案内するために矩形領域２５を用いることもできる。

【0037】

十字線６０を垂直方向（１軸）で動かす際に印刷パターン４のみを用いる場合について説明したが、十字線６０を垂直方向（１軸）で動かす際に印刷パターン６のみ又は印刷パターン４と印刷パターン６の両方を用いてもよい。

【0038】

十字線６０を水平方向（１軸）で動かす場合、後述するように、精密計測用ターゲット１を計測機器５０で視認する際に、十字線６０の一方の線としての縦線６３を、平行線３１ａと平行線３１ｂとの間、平行線３２ａと平行線３２ｂとの間、平行線３３ａと平行線３３ｂとの間又は平行線３４ａと平行線３４ｂとの間に配置する。

【0039】

例えば、計測機器５０と精密計測用ターゲット１との間の距離が３０ｃｍ未満である場合、交点６１を標３に一致させるために、縦線６３を平行線３１ａと平行線３１ｂとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル７３の半径を円弧１５の半径に一致させるように計測機器５０の倍率を変更することもできる。

【0040】

また、計測機器５０と精密計測用ターゲット１との間の距離が３０ｃｍと４０ｃｍの間である場合、交点６１を標３に一致させるために、縦線６３を平行線３２ａと平行線３２ｂとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル７２，７３の半径を円弧１５，１６の半径にそれぞれ一致させ又はレクチル７１，７２，７３の半径を円弧１５，１６，１７の半径にそれぞれ一致させるように計測機器５０の倍率を変更することもできる。

【0041】

また、計測機器５０と精密計測用ターゲット１との間の距離が４０ｃｍと２０ｍの間である場合、交点６１を標３に一致させるために、縦線６３を平行線３３ａと平行線３３ｂとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル７１，７２の半径を円弧１６，１７の半径にそれぞれ一致させ又はレクチル７１，７２，７３の半径を円弧１５，１６，１７の半径にそれぞれ一致させるように計測機器５０の倍率を変更することもできる。

【0042】

さらに、計測機器５０と精密計測用ターゲット１との間の距離が２０ｍを超える場合、交点６１を標３に一致させるために、縦線６３を平行線１４ａと平行線１４ｂとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル７１の半径を円弧１７の半径に一致させるように計測機器５０の倍率を変更することもできる。

【0043】

十字線６０を水平方向（１軸）で動かす際に印刷パターン５のみを用いる場合について説明したが、十字線６０を水平方向（１軸）で動かす際に印刷パターン７のみ又は印刷パターン５と印刷パターン７の両方を用いてもよい。

【0044】

十字線６０を垂直方向及び水平方向（２軸）で動かす場合、後述するように、精密計測用ターゲット１を計測機器５０で視認する際に、横線６２を、平行線１１ａと平行線１１ｂとの間、平行線１２ａと平行線１２ｂとの間、平行線１３ａと平行線１３ｂとの間又は平行線１４ａと平行線１４ｂとの間に配置する。また、縦線６３を、平行線３１ａと平行線３１ｂとの間、平行線３２ａと平行線３２ｂとの間、平行線３３ａと平行線３３ｂとの間又は平行線３４ａと平行線３４ｂとの間に配置する。

【0045】

例えば、計測機器５０と精密計測用ターゲット１との間の距離が３０ｃｍ未満である場合、交点６１を標３に一致させるために、横線６２を平行線１１ａと平行線１１ｂとの間に配置するとともに縦線６３を平行線３１ａと平行線３１ｂとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル７３の半径を円弧１５の半径に一致させるように計測機器５０の倍率を変更することもできる。

【0046】

また、計測機器５０と精密計測用ターゲット１との間の距離が３０ｃｍと４０ｃｍの間である場合、交点６１を標３に一致させるために、横線６２を平行線１２ａと平行線１２ｂとの間に配置するとともに縦線６３を平行線３２ａと平行線３２ｂとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル７２，７３の半径を円弧１５，１６の半径にそれぞれ一致させ又はレクチル７１，７２，７３の半径を円弧１５，１６，１７の半径にそれぞれ一致させるように計測機器５０の倍率を変更することもできる。

【0047】

また、計測機器５０と精密計測用ターゲット１との間の距離が４０ｃｍと２０ｍの間である場合、交点６１を標３に一致させるために、横線６２を平行線１３ａと平行線１３ｂとの間に配置するとともに縦線６３を平行線３３ａと平行線３３ｂとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル７１，７２の半径を円弧１６，１７の半径にそれぞれ一致させ又はレクチル７１，７２，７３の半径を円弧１５，１６，１７の半径に一致させるように計測機器５０の倍率を変更することもできる。

【0048】

さらに、計測機器５０と精密計測用ターゲット１との間の距離が２０ｍを超える場合、交点６１を標３に一致させるために、横線６２を平行線１４ａと平行線１４ｂとの間に配置するとともに縦線６３を平行線３４ａと平行線３４ｂとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル７１の半径を円弧１７の半径に一致させるように計測機器５０の倍率を変更することもできる。

【0049】

垂直方向及び水平方向（２軸）で動かす際に印刷パターン４，５のみを用いる場合について説明したが、垂直方向及び水平方向（２軸）で動かす際に印刷パターン６，７のみ又は印刷パターン４，５，６，７の全てを用いてもよい。

【0050】

交点６１を標３に一致させた後、計測機器５０は、精密計測を行うために、レーザ光５１を精密計測用ターゲット１に出射し、精密計測用ターゲット１から反射されたレーザ光を受光する。

【0051】

本実施の形態によれば、印刷パターン４，５，６，７はそれぞれ、標３に向かって段階的に間隔が狭くなるように配置される複数組の２本の平行線を有する。これらの２本の平行線によって、精密計測用ターゲット１を計測機器５０で視認する際に、精密計測用ターゲット１の全体が見えるか一部しか見えないかに関係なく交点６１を標３に簡単に案内することができる。

【0052】

このように交点６１を標３に簡単に案内することができるので、精密計測用ターゲット１を、精密計測を行うための基準標又は測量点として用いることができる。すなわち、精密計測用ターゲット１を精密計測のための基準標又は測量点として用いていることによって、精密計測を行うことができる。

【0053】

図４は、本発明による精密計測用ターゲットの他の実施の形態の正面図である。図４に示す精密計測用ターゲット１０１は、精密計測を行うための基準標又は測量点として用いられ、正方形のシート１０２を有する。シート１０２は、紙、プラスチック等によって構成され、予め決定された寸法（例えば、一辺３ｃｍ）を有する。シート１０２の一方の面には、円形の標１０３、標１０３への案内のための印刷パターン１０４，１０５，１０６，１０７及び標１０３を包囲するレクチル合わせ用の環状領域１０８が設けられ、シート１０２の他方の面は、接着剤が設けられた接着面となる。標１０３は、０．１ミリメートル以上０．５ミリメートル未満の直径を有する。好適には、標１０３の直径は０．２ミリメートルである。

【0054】

印刷パターン１０４は、標１０３に向かって段階的に間隔が狭くなるように配置される２本の平行線１１１ａ，１１１ｂ、２本の平行線１１２ａ，１１２ｂ、２本の平行線１１３ａ，１１３ｂ及び２本の平行線１１４ａ，１１４ｂを有する。すなわち、シート２の一方の面には、４組の２本の平行線１１１ａ，１１１ｂ、２本の平行線１１２ａ，１１２ｂ、２本の平行線１１３ａ，１１３ｂ及び２本の平行線１１４ａ，１１４ｂが設けられる。

【0055】

一端が環状領域１０８に隣接する平行線１１１ａ，１１１ｂの間隔は、一端が平行線１１１ａ，１１１ｂの他端に隣接する平行線１１２ａ，１１２ｂの間隔より狭い。また、平行線１１２ａ，１１２ｂの間隔は、一端が平行線１１２ａ，１１２ｂの他端に隣接する平行線１１３ａ，１１３ｂの間隔より狭い。さらに、平行線１１３ａ，１１３ｂの間隔は、一端が平行線１１３ａ，１１３ｂの他端に隣接する平行線１１４ａ，１１４ｂの間隔より狭い。

【0056】

また、印刷パターン１０４は、標１０３を中心とする円弧１１５，１１６，１１７を有する。円弧１１５は、平行線１１１ｂ及び平行線１１２ｂと接続するようにシート１０２の一方の面に設けられる。円弧１１６は、平行線１１２ｂ及び平行線１１３ｂと接続するようにシート１０２の一方の面に設けられる。円弧１１７は、平行線１１３ｂ及び平行線１１４ｂと接続するようにシート１０２の一方の面に設けられる。

【0057】

したがって、円弧１１５の内側にある平行線１１１ｂとそれに対向する平行線１１１ａとの間隔を、円弧１１５の外側にある平行線１１２ｂとそれに対向する平行線１１２ａとの間隔より狭くしている。また、円弧１１６の内側にある平行線１１２ｂとそれに対向する平行線１１２ａとの間隔を、円弧１１６の外側にある平行線１１３ｂとそれに対向する平行線１１３ａとの間隔より狭くしている。さらに、円弧１１７の内側にある平行線１１３ｂとそれに対向する平行線１１３ａとの間隔を、円弧１１７の外側にある平行線１１４ｂとそれに対向する平行線１１４ａとの間隔より狭くしている。

【0058】

４組の２本の平行線１１１ａ，１１１ｂ、２本の平行線１１２ａ，１１２ｂ、２本の平行線１１３ａ，１１３ｂ及び２本の平行線１１４ａ，１１４ｂの外側の領域を、シート１０２の一方の面に画定する。本実施の形態では、平行線１１１ａの外側の矩形領域１２１ａ、平行線１１１ｂの外側の矩形領域１２１ｂ、平行線１１２ａの外側の矩形領域１２２ａ、平行線１１２ｂの外側の矩形領域１２２ｂ、平行線１１３ａの外側の矩形領域１２３ａ、平行線１１３ｂの外側の矩形領域１２３ｂ、平行線１１４ａの外側の矩形領域１２４ａ及び平行線１１４ｂの外側の矩形領域２４ｂを、シート１０２の一方の面に画定する。

【0059】

また、本実施の形態では、平行線１１３ａと平行線１１３ｂとの間及び平行線１１４ａと平行線１１４ｂとの間にある矩形領域１２５を、シート１０２の一方の面に画定する。

【0060】

印刷パターン１０５は、印刷パターン１０４を標１０３を中心にして時計回りに９０°回転した印刷パターンである。したがって、印刷パターン１０５に含まれる平行線１３１ａ，１３１ｂ，１３２ａ，１３２ｂ，１３３ａ，１３３ｂ，１３４ａ，１３４ｂは、平行線１１１ａ，１１１ｂ，１１２ａ，１１２ｂ，１１３ａ，１１３ｂ，１１４ａ，１１４ｂに垂直である。

【0061】

印刷パターン１０６は、印刷パターン１０４を標１０３を中心にして時計回りに１８０°回転した印刷パターンであり、印刷パターン１０７は、印刷パターン１０４を標１０３を中心にして時計回りに２７０°回転した印刷パターンである。

【0062】

本実施の形態では、標１０３と、矩形領域１２１ａ，１２１ｂ，１２２ａ，１２２ｂ，１２３ａ，１２３ｂ，１２４ａ，１２４ｂ，１２５、円弧１１５，１１６，１１７並びにこれらの矩形領域及び円弧に対応する印刷パターン１０５，１０６，１０７内の矩形領域及び円弧と、環状領域１０８とを黒色にし、黒色にした標１０３、当該矩形領域及び円弧並びに環状領域１０８以外の部分を白色又は灰色にする。

【0063】

図５は、計測機器の対物レンズと接眼レンズとの間に配置されるレクチル及び十字線の他の例を示す図である。精密計測用ターゲット１０１を計測機器５０で視認する際に、計測機器５０の対物レンズと接眼レンズとの間に配置された十字線１６０の交点１６１を標１０３に一致させる。このために、十字線１６０を垂直方向（１軸）で動かす場合、後述するように、精密計測用ターゲット１０１を計測機器５０で視認する際に、十字線１６０の横線１６２を、平行線１１１ａと平行線１１１ｂとの間、平行線１１２ａと平行線１１２ｂとの間、平行線１１３ａと平行線１１３ｂとの間又は平行線１１４ａと平行線１１４ｂとの間に配置する。

【0064】

例えば、計測機器５０と精密計測用ターゲット１０１との間の距離が３０ｃｍ未満である場合、交点１６１を標１０３に一致させるために、横線１６２を平行線１１１ａと平行線１１１ｂとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル１７１の半径を円弧１１５の半径に一致させるように計測機器５０の倍率を変更することもできる。

【0065】

また、計測機器５０と精密計測用ターゲット１０１との間の距離が３０ｃｍと４０ｃｍの間である場合、交点１６１を標１０３に一致させるために、横線１６２を平行線１１２ａと平行線１１２ｂとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル１７１の半径を円弧１１６の半径に一致させるように計測機器５０の倍率を変更することもできる。

【0066】

また、計測機器５０と精密計測用ターゲット１０１との間の距離が４０ｃｍと２０ｍの間である場合、交点１６１を標１０３に一致させるために、横線１６２を平行線１１３ａと平行線１１３ｂとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル１７１の半径を円弧１１７の半径に一致させるように計測機器５０の倍率を変更することもできる。この場合、交点１６１を標１０３に案内するために矩形領域１２５を用いることもできる。

【0067】

さらに、計測機器５０と精密計測用ターゲット１０１との間の距離が２０ｍを超える場合、交点１６１を標１０３に一致させるために、横線１６２を平行線１１４ａと平行線１１４ｂとの間に配置するのが好ましい。この場合も、交点１６１を標１０３に案内するために矩形領域１２５を用いることもできる。

【0068】

十字線１６０を垂直方向（１軸）で動かす際に印刷パターン１０４のみを用いる場合について説明したが、十字線１６０を垂直方向（１軸）で動かす際に印刷パターン１０６のみ又は印刷パターン１０４と印刷パターン１０６の両方を用いてもよい。

【0069】

十字線１６０を水平方向（１軸）で動かす場合、後述するように、精密計測用ターゲット１０１を計測機器５０で視認する際に、十字線１６０の一方の線としての縦線１６３を、平行線１３１ａと平行線１３１ｂとの間、平行線１３２ａと平行線１３２ｂとの間、平行線１３３ａと平行線１３３ｂとの間又は平行線１３４ａと平行線１３４ｂとの間に配置する。

【0070】

例えば、計測機器５０と精密計測用ターゲット１０１との間の距離が３０ｃｍ未満である場合、交点１６１を標１０３に一致させるために、縦線１６３を平行線１３１ａと平行線１３１ｂとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル１７１の半径を円弧１１５の半径に一致させるように計測機器５０の倍率を変更することもできる。

【0071】

また、計測機器５０と精密計測用ターゲット１０１との間の距離が３０ｃｍと４０ｃｍの間である場合、交点１６１を標１０３に一致させるために、縦線１６３を平行線１３２ａと平行線１３２ｂとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル１７１の半径を円弧１１６の半径に一致させるように計測機器５０の倍率を変更することもできる。

【0072】

また、計測機器５０と精密計測用ターゲット１０１との間の距離が４０ｃｍと２０ｍの間である場合、交点１６１を標１０３に一致させるために、縦線１６３を平行線１３３ａと平行線１３３ｂとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル１７１の半径を円弧１１７の半径に一致させるように計測機器５０の倍率を変更することもできる。

【0073】

さらに、計測機器５０と精密計測用ターゲット１０１との間の距離が２０ｍを超える場合、交点１６１を標１０３に一致させるために、縦線１６３を平行線１１４ａと平行線１１４ｂとの間に配置するのが好ましい。

【0074】

十字線６０を水平方向（１軸）で動かす際に印刷パターン１０５のみを用いる場合について説明したが、十字線６０を水平方向（１軸）で動かす際に印刷パターン１０７のみ又は印刷パターン１０５と印刷パターン１０７の両方を用いてもよい。

【0075】

十字線１６０を垂直方向及び水平方向（２軸）で動かす場合、後述するように、精密計測用ターゲット１０１を計測機器５０で視認する際に、横線１６２を、平行線１１１ａと平行線１１１ｂとの間、平行線１１２ａと平行線１１２ｂとの間、平行線１１３ａと平行線１１３ｂとの間又は平行線１１４ａと平行線１１４ｂとの間に配置する。また、縦線１６３を、平行線１３１ａと平行線１３１ｂ（共に図示せず）との間、平行線１３２ａと平行線１３２ｂとの間、平行線１３３ａと平行線１３３ｂとの間又は平行線１３４ａと平行線１３４ｂとの間に配置する。

【0076】

例えば、計測機器５０と精密計測用ターゲット１０１との間の距離が３０ｃｍ未満である場合、交点１６１を標１０３に一致させるために、横線１６２を平行線１１１ａと平行線１１１ｂとの間に配置するとともに縦線１６３を平行線１３１ａと平行線１３１ｂ（共に図示せず）との間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル１７１の半径を円弧１１５の半径に一致させるように計測機器５０の倍率を変更することもできる。

【0077】

また、計測機器５０と精密計測用ターゲット１０１との間の距離が３０ｃｍと４０ｃｍの間である場合、交点１６１を標１０３に一致させるために、横線１６２を平行線１１２ａと平行線１１２ｂとの間に配置するとともに縦線１６３を平行線１３２ａと平行線１３２ｂとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル１７１の半径を円弧１１６の半径に一致させるように計測機器５０の倍率を変更することもできる。

【0078】

また、計測機器５０と精密計測用ターゲット１０１との間の距離が４０ｃｍと２０ｍの間である場合、交点１６１を標１０３に一致させるために、横線１６２を平行線１１３ａと平行線１１３ｂとの間に配置するとともに縦線１６３を平行線１３３ａと平行線１３３ｂとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル１７１の半径を円弧１１７の半径に一致させるように計測機器５０の倍率を変更することもできる。

【0079】

さらに、計測機器５０と精密計測用ターゲット１０１との間の距離が２０ｍを超える場合、交点１６１を標１０３に一致させるために、横線１６２を平行線１１４ａと平行線１１４ｂとの間に配置するとともに縦線１６３を平行線１３４ａと平行線１３４ｂとの間に配置するのが好ましい。

【0080】

垂直方向及び水平方向（２軸）で動かす際に印刷パターン１０４，１０５のみを用いる場合について説明したが、印刷パターン１０６，１０７のみ又は印刷パターン１０４，１０５，１０６，１０７の全てを用いてもよい。

【0081】

本実施の形態によれば、印刷パターン１０４，１０５，１０６，１０７はそれぞれ、標１０３に向かって段階的に間隔が狭くなるように配置される複数組の２本の平行線を有する。これらの２本の平行線によって、精密計測用ターゲット１０１を計測機器５０で視認する際に、精密計測用ターゲット１０１の全体が見えるか一部しか見えないかに関係なく交点１６１を標に簡単に案内することができる。このように交点１６１を標１０３に簡単に案内することができるので、精密計測用ターゲット１０１を、精密計測を行うための基準標又は測量点として用いることができる。

【0082】

図６は、本発明による精密計測用ターゲットの他の実施の形態の正面図である。図６に示す精密計測用ターゲット２０１は、精密計測を行うための基準標又は測量点として用いられ、正方形のシート２０２を有する。シート２０２は、紙、プラスチック等によって構成され、予め決定された寸法（例えば、一辺３ｃｍ）を有する。シート２０２の一方の面には、円形の標２０３、標２０３への案内のための印刷パターン２０４，２０５，２０６，２０７及び標２０３を包囲するレクチル合わせ用の環状領域２０８が設けられ、シート２０２の他方の面は、接着剤が設けられた接着面となる。標２０３は、０．１ミリメートル以上０．５ミリメートル未満の直径を有する。好適には、標２０３の直径は０．２ミリメートルである。

【0083】

印刷パターン２０４は、標２０３に向かって段階的に間隔が狭くなるように配置される２本の平行線２１１ａ，２１１ｂ、２本の平行線２１２ａ，２１２ｂ、２本の平行線２１３ａ，２１３ｂ、２本の平行線２１４ａ，２１４ｂ及び２本の平行線２１５ａ，２１５ｂを有する。すなわち、シート２の一方の面には、５組の２本の平行線２１１ａ，２１１ｂ、２本の平行線２１２ａ，２１２ｂ、２本の平行線２１３ａ，２１３ｂ、２本の平行線２１４ａ，２１４ｂ及び２本の平行線２１５ａ，２１５ｂが設けられる。

【0084】

一端が環状領域２０８に隣接する平行線２１１ａ，２１１ｂの間隔は、一端が平行線２１１ａ，２１１ｂの他端に隣接する平行線２１２ａ，２１２ｂの間隔より狭い。また、平行線２１２ａ，２１２ｂの間隔は、一端が平行線２１２ａ，２１２ｂの他端に隣接する平行線２１３ａ，２１３ｂの間隔より狭い。また、平行線２１３ａ，２１３ｂの間隔は、一端が平行線２１３ａ，２１３ｂの他端に隣接する平行線２１４ａ，２１４ｂの間隔より狭い。さらに、平行線２１４ａ，２１４ｂの間隔は、一端が平行線２１４ａ，２１４ｂの他端に隣接する平行線２１５ａ，２１５ｂの間隔より狭い。

【0085】

また、印刷パターン２０４は、標２０３を中心とする円弧２１５，２１６を有する。円弧２１５は、平行線２１１ｂ及び平行線２１２ｂと接続するようにシート２０２の一方の面に設けられ、円弧２１６は、平行線２１３ｂ及び平行線２１４ｂと接続するようにシート２０２の一方の面に設けられる。

【0086】

したがって、円弧２１５の内側にある平行線２１１ｂとそれに対向する平行線２１１ａとの間隔を、円弧２１５の外側にある平行線２１２ｂとそれに対向する平行線２１２ａとの間隔より狭くしている。また、円弧２１６の内側にある平行線２１３ｂとそれに対向する平行線２１３ａとの間隔を、円弧２１６の外側にある平行線２１４ｂとそれに対向する平行線２１４ａとの間隔より狭くしている。

【0087】

本実施の形態では、印刷パターン２０４は、標２０３に向かう第１の直線としての直線２１６ａ及び第２の直線としての直線２１６ｂを有する。５組の２本の平行線２１１ａ，２１１ｂ、２本の平行線２１２ａ，２１２ｂ、２本の平行線２１３ａ，２１３ｂ、２本の平行線２１４ａ，２１４ｂ及び２本の平行線２１５ａ，２１５ｂと、直線２１６ａ，２１６ｂとの間の領域２２１を、シート２０２の一方の面に画定する。

【0088】

また、印刷パターン２０４は、標２０３を中心とする円弧２１５，２１６を有する。円弧２１５は、平行線２１１ｂ及び平行線２１２ｂと接続するようにシート２０２の一方の面に設けられる。円弧２１６は、平行線２１３ｂ及び平行線２１４ｂと接続するようにシート１０２の一方の面に設けられる。さらに、本実施の形態では、平行線２１２ａ，２１３ａ，２１４ａ，２１５ａと平行線２１２ｂ，２１３ｂ，２１４ｂ，２１５ｂとの間にある矩形領域２２２を、シート２０２の一方の面に画定する。

【0089】

印刷パターン２０５は、印刷パターン２０４を標２０３を中心にして時計回りに９０°回転した印刷パターンである。したがって、印刷パターン２０５に含まれる平行線２３１ａ，２３１ｂ，２３２ａ，２３２ｂ，２３３ａ，２３３ｂ，２３４ａ，２３４ｂ，２３５ａ，２３５ｂは、平行線２１１ａ，２１１ｂ，２１２ａ，２１２ｂ，２１３ａ，２１３ｂ，２１４ａ，２１４ｂ，２１５ａ，２１５ｂに垂直である。

【0090】

印刷パターン２０６は、印刷パターン２０４を標２０３を中心にして時計回りに１８０°回転した印刷パターンであり、印刷パターン２０７は、印刷パターン２０４を標２０３を中心にして時計回りに２７０°回転した印刷パターンである。

【0091】

本実施の形態では、標２０３と、領域２２１、矩形領域２２２、円弧２１５，２１６並びにこれらの領域、矩形領域及び円弧に対応する印刷パターン２０５，２０６，２０７内の矩形領域、領域及び円弧と、環状領域２０８とを黒色にし、黒色にした標２０３、当該矩形領域、領域及び円弧並びに環状領域２０８以外の部分を白色又は灰色にする。

【0092】

図７は、計測機器の対物レンズと接眼レンズとの間に配置されるレクチル及び十字線の他の例を示す図である。精密計測用ターゲット２０１を計測機器５０で視認する際に、計測機器５０の対物レンズと接眼レンズとの間に配置された十字線２６０の交点２６１を標２０３に一致させる。このために、十字線２６０を垂直方向（１軸）で動かす場合、後述するように、精密計測用ターゲット２０１を計測機器５０で視認する際に、十字線２６０の横線２６２を、平行線２１１ａと平行線２１１ｂとの間、平行線２１２ａと平行線２１２ｂとの間、平行線２１３ａと平行線２１３ｂとの間、平行線２１４ａと平行線２１４ｂとの間又は平行線２１５ａと平行線２１５ｂとの間に配置する。

【0093】

例えば、計測機器５０と精密計測用ターゲット２０１との間の距離が３０ｃｍ未満である場合、交点２６１を標２０３に一致させるために、横線２６２を平行線２１１ａと平行線２１１ｂとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル２７１の半径を円弧２１５の半径に一致させるように計測機器５０の倍率を変更することもできる。

【0094】

また、計測機器５０と精密計測用ターゲット２０１との間の距離が３０ｃｍと３５ｃｍの間である場合、交点２６１を標２０３に一致させるために、横線２６２を平行線２１２ａと平行線２１２ｂとの間に配置するのが好ましい。この場合、交点２６１を標２０３に案内するために矩形領域２２２を用いることもできる。

【0095】

また、計測機器５０と精密計測用ターゲット２０１との間の距離が３５ｃｍと４０ｃｍの間である場合、交点２６１を標２０３に一致させるために、横線２６２を平行線２１３ａと平行線２１３ｂとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル２７１の半径を円弧２１６の半径に一致させるように計測機器５０の倍率を変更することもできる。この場合も、交点２６１を標２０３に案内するために矩形領域２２２を用いることもできる。

【0096】

また、計測機器５０と精密計測用ターゲット２０１との間の距離が４０ｃｍと２０ｍの間である場合、交点２６１を標２０３に一致させるために、横線２６２を平行線２１４ａと平行線２１４ｂとの間に配置するのが好ましい。この場合も、交点２６１を標２０３に案内するために矩形領域２２２を用いることもできる。

【0097】

さらに、計測機器５０と精密計測用ターゲット２０１との間の距離が２０ｍを超える場合、交点２６１を標２０３に一致させるために、横線２６２を平行線２１５ａと平行線２１５ｂとの間に配置するのが好ましい。この場合も、交点２６１を標２０３に案内するために矩形領域２２２を用いることもできる。

【0098】

十字線２６０を垂直方向（１軸）で動かす際に印刷パターン２０４のみを用いる場合について説明したが、十字線２６０を垂直方向（１軸）で動かす際に印刷パターン２０６のみ又は印刷パターン２０４と印刷パターン２０６の両方を用いてもよい。また、精密計測用ターゲット２０１を計測機器５０で視認する際に、十字線２６０及びレクチル２７１の他に線２７２，２７３，２７４，２７５，２７６，２７７を用いてもよい。

【0099】

十字線２６０を水平方向（１軸）で動かす場合、後述するように、精密計測用ターゲット２０１を計測機器５０で視認する際に、十字線２６０の一方の線としての縦線２６３を、平行線２３１ａと平行線２３１ｂとの間、平行線２３２ａと平行線２３２ｂとの間、平行線２３３ａと平行線２３３ｂとの間、平行線２３４ａと平行線２３４ｂとの間又は平行線２３５ａと平行線２３５ｂとの間に配置する。

【0100】

例えば、計測機器５０と精密計測用ターゲット２０１との間の距離が３０ｃｍ未満である場合、交点２６１を標２０３に一致させるために、縦線２６３を平行線２３１ａと平行線２３１ｂとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル２７１の半径を円弧２１５の半径に一致させるように計測機器５０の倍率を変更することもできる。

【0101】

また、計測機器５０と精密計測用ターゲット２０１との間の距離が３０ｃｍと３５ｃｍの間である場合、交点２６１を標２０３に一致させるために、縦線２６３を平行線２３２ａと平行線２３２ｂとの間に配置するのが好ましい。

【0102】

また、計測機器５０と精密計測用ターゲット２０１との間の距離が３５ｃｍと４０ｃｍの間である場合、交点２６１を標２０３に一致させるために、縦線２６３を平行線２３３ａと平行線２３３ｂとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル２７１の半径を円弧２１６の半径に一致させるように計測機器５０の倍率を変更することもできる。

【0103】

また、計測機器５０と精密計測用ターゲット２０１との間の距離が４０ｃｍと２０ｍの間である場合、交点２６１を標２０３に一致させるために、縦線２６３を平行線２３４ａと平行線２３４ｂとの間に配置するのが好ましい。

【0104】

さらに、計測機器５０と精密計測用ターゲット２０１との間の距離が２０ｍを超える場合、交点２６１を標２０３に一致させるために、縦線２６３を平行線２３５ａと平行線２３５ｂとの間に配置するのが好ましい。

【0105】

十字線２６０を水平方向（１軸）で動かす際に印刷パターン２０５のみを用いる場合について説明したが、十字線２６０を水平方向（１軸）で動かす際に印刷パターン２０７のみ又は印刷パターン２０５と印刷パターン２０７の両方を用いてもよい。また、精密計測用ターゲット２０１を計測機器５０で視認する際に、十字線２６０及びレクチル２７１の他に線２７２，２７３，２７４，２７５，２７６，２７７を用いてもよい。

【0106】

十字線２６０を垂直方向及び水平方向（２軸）で動かす場合、後述するように、精密計測用ターゲット２０１を計測機器５０で視認する際に、横線２６２を、平行線２１１ａと平行線２１１ｂとの間、平行線２１２ａと平行線２１２ｂとの間、平行線２１３ａと平行線２１３ｂとの間、平行線２１４ａと平行線２１４ｂとの間又は平行線２１５ａと平行線２１５ｂとの間に配置する。また、縦線２６３を、平行線２３１ａと平行線２３１ｂとの間、平行線２３２ａと平行線２３２ｂとの間、平行線２３３ａと平行線２３３ｂとの間、平行線２３４ａと平行線２３４ｂとの間又は平行線２３５ａと平行線２３５ｂとの間に配置する。

【0107】

例えば、計測機器５０と精密計測用ターゲット２０１との間の距離が３０ｃｍ未満である場合、交点２６１を標２０３に一致させるために、横線２６２を平行線２１１ａと平行線２１１ｂとの間に配置するとともに縦線２６３を平行線２３１ａと平行線２３１ｂとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル２７１の半径を円弧２１５の半径に一致させるように計測機器５０の倍率を変更することもできる。

【0108】

また、計測機器５０と精密計測用ターゲット２０１との間の距離が３０ｃｍと３５ｃｍの間である場合、交点２６１を標２０３に一致させるために、横線２６２を平行線２１２ａと平行線２１２ｂとの間に配置するとともに縦線２６３を平行線２３２ａと平行線２３２ｂとの間に配置するのが好ましい。

【0109】

また、計測機器５０と精密計測用ターゲット２０１との間の距離が３５ｃｍと４０ｃｍの間である場合、交点２６１を標２０３に一致させるために、横線２６２を平行線２１３ａと平行線２１３ｂとの間に配置するとともに縦線２６３を平行線２３３ａと平行線２３３ｂとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル２７１の半径を円弧２１６の半径に一致させるように計測機器５０の倍率を変更することもできる。

【0110】

また、計測機器５０と精密計測用ターゲット２０１との間の距離が４０ｃｍと２０ｍの間である場合、交点２６１を標２０３に一致させるために、横線２６２を平行線２１４ａと平行線２１４ｂとの間に配置するとともに縦線２６３を平行線２３４ａと平行線２３４ｂとの間に配置するのが好ましい。

【0111】

さらに、計測機器５０と精密計測用ターゲット２０１との間の距離が２０ｍを超える場合、交点２６１を標２０３に一致させるために、横線２６２を平行線２１５ａと平行線２１５ｂとの間に配置するとともに縦線２６３を平行線２３５ａと平行線２３５ｂとの間に配置するのが好ましい。

【0112】

垂直方向及び水平方向（２軸）で動かす際に印刷パターン２０４，２０５のみを用いる場合について説明したが、垂直方向及び水平方向（２軸）で動かす際に印刷パターン２０６，２０７のみ又は印刷パターン２０４，２０５，２０６，２０７の全てを用いてもよい。また、精密計測用ターゲット２０１を計測機器５０で視認する際に、十字線２６０及びレクチル２７１の他に線２７２，２７３，２７４，２７５，２７６，２７７を用いてもよい。

【0113】

本実施の形態によれば、印刷パターン２０４，２０５，２０６，２０７はそれぞれ、標２０３に向かって段階的に間隔が狭くなるように配置される複数組の２本の平行線を有する。これらの２本の平行線によって、精密計測用ターゲット２０１を計測機器５０で視認する際に、精密計測用ターゲット２０１の全体が見えるか一部しか見えないかに関係なく交点２６１を標２０３に簡単に案内することができる。このように交点２６１を標２０３に簡単に案内することができるので、精密計測用ターゲット２０１を、精密計測を行うための基準標又は測量点として用いることができる。

【0114】

図８は、本発明による精密計測用ターゲットの他の実施の形態の正面図である。図８に示す精密計測用ターゲット３０１は、精密計測を行うための基準標又は測量点として用いられ、正方形のシート３０２を有する。シート３０２は、紙、プラスチック等によって構成され、予め決定された寸法（例えば、一辺３ｃｍ）を有する。シート３０２の一方の面には、円形の標３０３及び標３０３への案内のための印刷パターン３０４，３０５，３０６が設けられ、シート３０２の他方の面は、接着剤が設けられた接着面となる。標３０３は、０．１ミリメートル以上０．５ミリメートル未満の直径を有する。好適には、標３０３の直径は０．２ミリメートルである。

【0115】

印刷パターン３０４は、標３０３に向かって段階的に間隔が狭くなるように配置される２本の平行線３１１ａ，３１１ｂ及び２本の平行線３１２ａ，３１２ｂを有する。すなわち、シート２の一方の面には、２組の２本の平行線３１１ａ，３１１ｂ及び２本の平行線３１２ａ，３１２ｂが設けられる。一端が標３０３側にある平行線３１１ａ，３１１ｂの間隔は、一端が平行線３１１ａ，３１１ｂの他端に隣接する平行線３１２ａ，３１２ｂの間隔より狭い。

【0116】

本実施の形態では、印刷パターン３０４は、２本の平行線３１１ａ，３１１ｂの間に配置された直線３１６ａ及び２本の平行線３１２ａ，３１２ｂの間に配置された直線３１６ｂを有する。

【0117】

また、本実施の形態では、標３０３と、印刷パターン３０４，３０５，３０６とを黒色にし、黒色にしたこれらの領域以外の部分を白色又は灰色にする。

【0118】

図９は、計測機器の対物レンズと接眼レンズとの間に配置されるレクチル及び十字線の他の例を示す図である。精密計測用ターゲット３０１を計測機器５０で視認する際に、計測機器５０の対物レンズと接眼レンズとの間に配置された十字線３６０の交点３６１を標３０３に一致させる。このために、十字線３６０を垂直方向（１軸）で動かす場合、後述するように、精密計測用ターゲット３０１を計測機器５０で視認する際に、十字線３６０の横線３６２を、平行線３１１ａと平行線３１１ｂとの間又は平行線３１２ａと平行線３１２ｂとの間に配置する。

【0119】

例えば、計測機器５０と精密計測用ターゲット３０１との間の距離が３０ｃｍと４０ｃｍの間である場合、交点３６１を標３０３に一致させるために、横線３６２を平行線３１１ａと平行線３１１ｂとの間に配置するのが好ましい。この場合、交点３６１を標３０３に案内するために直線３１６ａを用いることもできる。

【0120】

また、計測機器５０と精密計測用ターゲット３０１との間の距離が２０ｍを超える場合、交点３６１を標３０３に一致させるために、横線３６２を平行線３１２ａと平行線３１２ｂとの間に配置するのが好ましい。この場合、交点３６１を標３０３に案内するために直線３１６ｂを用いることもできる。

【0121】

十字線３６０を垂直方向（１軸）で動かす際に印刷パターン３０４のみを用いる場合について説明したが、十字線３６０を垂直方向（１軸）で動かす際に印刷パターン３０４の他に印刷パターン３０５，３０６を用いてもよい。また、精密計測用ターゲット３０１を計測機器５０で視認する際に、十字線３６０及びレクチル３７１の他に線３７２，３７３を用いてもよい。

【0122】

本実施の形態によれば、印刷パターン３０４は、標３０３に向かって段階的に間隔が狭くなるように配置される複数組の２本の平行線を有する。これらの２本の平行線によって、精密計測用ターゲット３０１を計測機器５０で視認する際に、精密計測用ターゲット３０１の全体が見えるか一部しか見えないかに関係なく交点３６１を標３０３に簡単に案内することができる。このように交点３６１を標３０３に簡単に案内することができるので、精密計測用ターゲット３０１を、精密計測を行うための基準標又は測量点として用いることができる。

【0123】

図１０は、本発明による精密計測用ターゲットの他の実施の形態の正面図である。図１０に示す精密計測用ターゲット４０１は、精密計測を行うための基準標又は測量点として用いられ、正方形のシート４０２を有する。シート４０２は、紙、プラスチック等によって構成され、予め決定された寸法（例えば、一辺３ｃｍ）を有する。シート４０２の一方の面には、円形の標４０３、標４０３への案内のための印刷パターン４０４，４０５，４０６，４０７及び標４０３を包囲するレクチル合わせ用の環状領域４０８が設けられ、シート４０２の他方の面は、接着剤が設けられた接着面となる。標４０３は、０．１ミリメートル以上０．５ミリメートル未満の直径を有する。好適には、標４０３の直径は０．２ミリメートルである。

【0124】

印刷パターン４０４は、標４０３に向かって段階的に間隔が狭くなるように配置される２本の平行線４１１ａ，４１１ｂ、２本の平行線４１２ａ，４１２ｂ及び２本の平行線４１３ａ，４１３ｂを有する。すなわち、シート２の一方の面には、３組の２本の平行線４１１ａ，４１１ｂ、２本の平行線４１２ａ，４１２ｂ及び２本の平行線４１３ａ，４１３ｂが設けられる。

【0125】

一端が環状領域４０８に隣接する平行線４１１ａ，４１１ｂの間隔は、一端が平行線４１１ａ，４１１ｂの他端に隣接する平行線４１２ａ，４１２ｂの間隔より狭い。また、平行線４１２ａ，４１２ｂの間隔は、一端が平行線４１２ａ，４１２ｂの他端に隣接する平行線４１３ａ，４１３ｂの間隔より狭い。

【0126】

３組の２本の平行線４１１ａ，４１１ｂ、２本の平行線４１２ａ，４１２ｂ及び２本の平行線４１３ａ，４１３ｂの外側の矩形領域を、シート４０２の一方の面に画定する。本実施の形態では、平行線４１１ａの外側の矩形領域４２１ａ、平行線４１１ｂの外側の矩形領域４２１ｂ、平行線４１２ａの外側の矩形領域４２２ａ、平行線４１２ｂの外側の矩形領域４２２ｂ、平行線４１３ａの外側の矩形領域４２３ａ及び平行線４１３ｂの外側の矩形領域４２３ｂを、シート４０２の一方の面に画定する。また、本実施の形態では、平行線４１３ａと平行線４１３ｂとの間にある矩形領域４２４を、シート４０２の一方の面に画定する。

【0127】

印刷パターン４０５は、標４０３に向かう第１の直線としての直線４１６ａ及び第２の直線としての直線４１６ｂを有し、直線４１６ａ，４１６ｂの内側の領域４２５を、シート４０２の一方の面に画定する。また、本実施の形態では、印刷パターン４０５は、矩形領域４２６を更に有する。

【0128】

印刷パターン４０６は、印刷パターン４０４を標４０３を中心にして時計回りに１８０°回転した印刷パターンであり、印刷パターン４０７は、印刷パターン４０５を標４０３を中心にして時計回りに１８０°回転した印刷パターンである。

【0129】

本実施の形態では、標４０３と、矩形領域４２１ａ，４２１ｂ，４２２ａ，４２２ｂ，４２３ａ，４２３ｂ，４２４及びこれらの矩形領域に対応する印刷パターン４０６内の矩形領域と、領域４２５、矩形領域４２６並びにこれらの領域及び矩形領域に対応する印刷パターン４０７内の領域と、環状領域４０８とを黒色にし、黒色にした標４０３、当該矩形領域及び領域並びに環状領域４０８以外の部分を白色又は灰色にする。

【0130】

精密計測用ターゲット４０１を計測機器５０で視認する際に、十字線１６０を垂直方向（１軸）、水平方向（１軸）並びに垂直方向及び水平方向（２軸）のいずれに動かしてもよい。また、精密計測用ターゲット４０１を計測機器５０で視認する際に、計測機器の対物レンズと接眼レンズとの間に配置されるレクチル及び十字線として、図３、図５、図７若しくは図９に示すパターンのレクチル及び十字線又はそれ以外のパターンのレクチル及び十字線を用いることができる。

【0131】

本実施の形態によれば、印刷パターン４０４，４０６は、標３０３に向かって段階的に間隔が狭くなるように配置される複数組の２本の平行線を有する。これらの２本の平行線によって、精密計測用ターゲット４０１を計測機器５０で視認する際に、精密計測用ターゲット４０１の全体が見えるか一部しか見えないかに関係なく十字線の交点を標４０３に簡単に案内することができる。このように交点を標４０３に簡単に案内することができるので、精密計測用ターゲット４０１を、精密計測を行うための基準標又は測量点として用いることができる。

【0132】

本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、幾多の変更及び変形が可能である。例えば、上記実施の形態において、シート２，１０２，２０２，３０２，４０２が正方形である場合について説明したが、シート２，１０２，２０２，３０２，４０２の形状を、円形等の他の形状にすることもできる。

【0133】

また、精密計測用ターゲット３０１を計測機器５０で視認する際に十字線を垂直方向（１軸）に動かす場合についてのみ説明したが、精密計測用ターゲット３０１を計測機器５０で視認する際に十字線を水平方向（１軸）並びに垂直方向及び水平方向（２軸）のいずれに動かすこともできる。

【0134】

さらに、精密計測用ターゲット１，１０１，２０１，３０１を計測機器５０で視認する際に、計測機器の対物レンズと接眼レンズとの間に配置されるレクチル及び十字線として、任意のパターンのレクチル及び十字線を用いることができる。

【符号の説明】

【0135】

１，１０１，２０１，３０１，４０１ 精密計測用ターゲット
２，１０２，２０２，３０２，４０２ シート
３，１０３，２０３，３０３，４０３ 標
４，５，６，７，１０４，１０５，１０６，１０７，２０４，２０５，２０６，２０７，３０４，３０５，３０６，４０４，４０５，４０６，４０７ 印刷パターン
１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂ，３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂ，３３ａ，３３ｂ，３４ａ，３４ｂ，１１１ａ，１１１ｂ，１１２ａ，１１２ｂ，１１３ａ，１１３ｂ，１１４ａ，１１４ｂ，１３１ａ，１３１ｂ，１３２ａ，１３２ｂ，１３３ａ，１３３ｂ，１３４ａ，１３４ｂ，２１１ａ，２１１ｂ，２１２ａ，２１２ｂ，２１３ａ，２１３ｂ，２１４ａ，２１４ｂ，２１５ａ，２１５ｂ，２３１ａ，２３１ｂ，２３２ａ，２３２ｂ，２３３ａ，２３３ｂ，２３４ａ，２３４ｂ，２３５ａ，２３５ｂ，３１１ａ，３１１ｂ，３１２ａ，３１２ｂ，４１１ａ，４１１ｂ，４１２ａ，４１２ｂ，４１３ａ，４１３ｂ 平行線
１５，１６，１７，１１５，１１６，１１７，２１５，２１６ 円弧
２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂ，２４ａ，２４ｂ，２５，１２１ａ，１２１ｂ，１２２ａ，１２２ｂ，１２３ａ，１２３ｂ，１２４ａ，１２４ｂ，２２２，４２１ａ，４２１ｂ，４２２ａ，４２２ｂ，４２３ａ，４２３ｂ，４２４，４２６ 矩形領域
４０ 壁面
５０ 計測機器
６０，１６０，２６０，３６０ 十字線
６１，１６１，２６１，３６１ 交点
６２，１６２，２６２，３６２ 横線
６３，１６３，２６３，３６３ 縦線
７１，７２，７３，１７１，２７１，３７１ レクチル
１０８，２０８，４０８ 環状領域
２１６ａ，２１６ｂ，３１６ａ，３１６ｂ，４１６ａ，４１６ｂ 直線
２２１，４２５ 領域
２７２，２７３，２７４，２７５，２７６，２７７，３７２，３７３ 線

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】