特許6201130結晶化方法及び加圧式ランプアニール装置

発明の名称　結晶化方法及び加圧式ランプアニール装置

出願人　株式会社ユーテック　（識別番号 595152438）

　　　　特許公開件数ランキング 12178 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25417 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6201130

公報発行日　2017年9月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6201130

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6201130「結晶化方法及び加圧式ランプアニール装置」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録