特許 6201373 吸着コレット、ピックアップ装置、及びピックアップ方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6201373

(24)【登録日】2017年9月8日

(45)【発行日】2017年9月27日

(54)【発明の名称】吸着コレット、ピックアップ装置、及びピックアップ方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20170914BHJP

   H01L 21/52 20060101ALI20170914BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 B

   H01L21/52 F

【請求項の数】6

【全頁数】23

(21)【出願番号】特願2013-73376(P2013-73376)

(22)【出願日】2013年3月29日

(65)【公開番号】特開2014-197641(P2014-197641A)

(43)【公開日】2014年10月16日

【審査請求日】2016年2月4日

(73)【特許権者】

【識別番号】000004237

【氏名又は名称】日本電気株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100095407

【弁理士】

【氏名又は名称】木村 満

(72)【発明者】

【氏名】小笠原 忠行

【審査官】 工藤 一光

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０００−１８３１１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−１６８１１４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ２１／６７７

Ｈ０１Ｌ２１／５２

Ｈ０１Ｌ２１／５８

Ｈ０１Ｌ２１／６０−２１／６０７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

底面と、
前記底面の一側部から延在し、吸着対象物の第１の辺が当接可能な第１の斜面と、
前記底面の、前記一側部に対向する他の側部から延在し、前記吸着対象物の前記第１の辺に対向する第２の辺が当接可能であり、前記第１の斜面に対向する第２の斜面と、
前記第１の斜面及び前記第２の斜面によって形成される吸着空間を減圧するための吸着部と、
を備え、
前記第１の斜面と前記底面の法線とがなす角が、前記第２の斜面と前記法線とがなす角より小さく、
前記第１の斜面の先端と前記底面との距離が、前記第２の斜面の先端と前記底面との距離よりも大きい、
ことを特徴とする吸着コレット。

【請求項2】

前記第１の斜面と前記法線とがなす角は４５度より小さく、前記第２の斜面と前記法線とがなす角は４５度より大きい、
ことを特徴とする請求項１に記載の吸着コレット。

【請求項3】

底面と、前記底面の一側部から延在し、吸着対象物の第１の辺が当接可能な第１の斜面と、前記底面の、前記一側部に対向する他の側部から延在し、前記吸着対象物の前記第１の辺に対向する第２の辺が当接可能であり、前記第１の斜面に対向する第２の斜面と、前記第１の斜面及び前記第２の斜面によって形成される吸着空間を減圧するための吸着部と、を備え、前記第１の斜面と前記底面の法線とがなす角が、前記第２の斜面と前記法線とがなす角より小さい吸着コレットと、
前記吸着対象物を載置する載置台と、
ｉ）前記吸着コレットを水平方向に移動させることにより、前記第１の斜面を前記第１の辺に当接させ、ｉｉ）前記吸着コレットを鉛直方向下向きに移動させることにより、前記吸着対象物を前記第１の斜面に沿って水平方向に摺動させ、ｉｉｉ）前記第２の辺が前記第２の斜面に当接したことを検出し、前記吸着コレットの鉛直方向下向きの移動を停止させ、ｉｖ）前記第１の斜面と前記第２の斜面とが形成する前記吸着空間を減圧することにより前記吸着対象物を吸着し、ｖ）前記吸着対象物を吸着したまま、前記吸着コレットを鉛直方向上向きに移動させることで、前記吸着対象物をピックアップするピックアップ手段と、
を備えることを特徴とするピックアップ装置。

【請求項4】

前記ピックアップ手段は、
ｖｉ）前記吸着コレットを移動させることにより、前記第１の斜面の先端を前記第１の辺より外側に位置させ、前記第２の斜面の先端を前記第２の辺より外側に位置させ、前記第１の斜面の先端と前記第１の辺との水平方向距離を前記第２の斜面の先端と前記第２の辺との水平方向距離よりも大きくし、
ｖｉｉ）前記吸着コレットを鉛直方向下向きに移動させることにより、前記第２の辺を前記第２の斜面に当接させ、
続いて、前記ｉ）からｖ）の過程を実行する、
ことを特徴とする請求項３に記載のピックアップ装置。

【請求項5】

前記第１の斜面の先端と前記底面との距離が、前記第２の斜面の先端と前記底面との距離よりも大きく、
前記ピックアップ手段は、
ｖｉ）前記吸着コレットを移動させることにより、前記第１の斜面の先端を前記第１の辺より外側で前記吸着対象物の上側表面より下に位置させ、かつ、前記第２の斜面の先端を前記上側表面よりも上に位置させ、
続いて、前記ｉ）からｖ）の過程を実行する、
ことを特徴とする請求項３に記載のピックアップ装置。

【請求項6】

底面と、前記底面の一側部から延在し、吸着対象物の第１の辺が当接可能な第１の斜面と、前記底面の、前記一側部に対向する他の側部から延在し、前記吸着対象物の前記第１の辺に対向する第２の辺が当接可能であり、前記第１の斜面に対向する第２の斜面と、前記第１の斜面及び前記第２の斜面によって形成される吸着空間を減圧するための吸着部と、を備え、前記第１の斜面と前記底面の法線とがなす角が、前記第２の斜面と前記法線とがなす角より小さい吸着コレットを、水平方向に移動させることにより、前記第１の斜面を前記第１の辺に当接させるステップと、
前記吸着コレットを鉛直方向下向きに移動させることにより、前記吸着対象物を前記第１の斜面に沿って水平方向に摺動させるステップと、
前記第２の辺が前記第２の斜面に当接したことを検出し、前記吸着コレットの鉛直方向下向きの移動を停止させるステップと、
前記第１の斜面と前記第２の斜面とが形成する前記吸着空間を減圧することにより前記吸着対象物を吸着するステップと、
前記吸着対象物を吸着したまま、前記吸着コレットを鉛直方向上向きに移動させることで、前記吸着対象物をピックアップするステップと、
を備えることを特徴とするピックアップ方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、吸着コレット、ピックアップ装置、及びピックアップ方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ベアチップを吸着コレットを用いてピックアップするとき、表面にエアーブリッジ配線が施されている場合は、表面に吸着コレットを当接させることができない。このとき、吸着コレットの当接が許される場所は、ベアチップのスクライブラインやボンディングパッド等の一部の場所に限られ、このうち、スクライブラインに当接させてピックアップする場合は、先端がハの字状に開いた吸着コレットが用いられる。この場合、スクライブラインが吸着コレットの斜面に同じ高さで当接していないと、ベアチップが傾いた状態でピックアップされる。この状態でダイボンディングを行うと、ベアチップが傾いた状態で基板に接合されてしまう。

【0003】

ベアチップを水平にピックアップするために、設計データから計算されたベアチップと吸着コレットとの位置関係と、画像認識等の方法で測定されたベアチップと吸着コレットとの位置関係とからベアチップと吸着コレットとの位置合わせを行う方法がある。しかし、この方法ではベアチップをピックアップした状態で位置関係を測定し、微調整を繰り返すことで位置合わせを行う必要があるため、多くの工数と時間が必要となり、非効率的である。

【0004】

微調整を繰り返しながら位置合わせを行う方法に代わるものとして、ベアチップを水平な台上で摺動させて吸着コレットの斜面に水平に当接させる方法がある。具体的には、吸着コレットの一方の斜面を水平な台上に配置したベアチップのスクライブラインに押しつけてベアチップを摺動させ、台上を摺動したベアチップが他方の斜面に当接することで、両方の斜面にベアチップが水平に当接した状態を実現する。

【0005】

ベアチップを摺動させることが可能な吸着コレットとして、特許文献１に記載の半導体吸着コレットがある。特許文献１には、テーパー面を有する半導体吸着コレットが開示されている。コレットの軸方向の中心線とテーパー面とがなすテーパー角は、対向するテーパー面について等しくなっている。また、コレットを用いて半導体チップをピックアップする際、半導体チップがスライドすることが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００１−１６８１１４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

特許文献１に記載された、対向する二つの斜面が吸着コレットの軸方向の中心線となす角がそれぞれ等しい吸着コレットにおいて、当該角が小さく、斜面が急峻である場合は、斜面をスクライブラインに当接させる際に、ベアチップと斜面の先端とのクリアランスを確保できない。このとき、斜面の先端がベアチップに接触することを防ぐために、画像認識等の方法によって高い精度でベアチップと吸着コレットとの位置関係を測定し、位置合わせを行うことが必要となる。

【0008】

一方、対向する二つの斜面が吸着コレットの軸方向の中心線となす角が大きく、斜面が緩やかである場合は、斜面をスクライブラインに当接させる際に、ベアチップと斜面の先端とのクリアランスを確保することはできる。しかし、吸着コレットからベアチップに働く水平方向の力の大きさが斜面が急峻な場合と同じだとすると、吸着コレットからベアチップに働く鉛直方向下向きの力は大きくなってしまう。したがって、ベアチップが下方に押しつけられることによって円滑な摺動が妨げられ、ベアチップを摺動させて吸着コレットの斜面に水平に当接させる方法をとることができない。よって、この場合、位置関係の測定と微調整とを繰り返す方法を取らざるを得なくなり、必要な位置測定の回数が増える。

【0009】

本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、ベアチップと吸着コレットとの位置測定の要求精度を低減し、必要な測定回数を減らす吸着コレット、ピックアップ装置、及びピックアップ方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明の第１の観点に係る吸着コレットは、
底面と、
前記底面の一側部から延在し、吸着対象物の第１の辺が当接可能な第１の斜面と、
前記底面の、前記一側部に対向する他の側部から延在し、前記吸着対象物の前記第１の辺に対向する第２の辺が当接可能であり、前記第１の斜面に対向する第２の斜面と、
前記第１の斜面及び前記第２の斜面によって形成される吸着空間を減圧するための吸着部と、
を備え、
前記第１の斜面と前記底面の法線とがなす角が、前記第２の斜面と前記法線とがなす角より小さく、
前記第１の斜面の先端と前記底面との距離が、前記第２の斜面の先端と前記底面との距離よりも大きい、
ことを特徴とする。

【0011】

本発明の第２の観点に係るピックアップ方法は、
底面と、前記底面の一側部から延在し、吸着対象物の第１の辺が当接可能な第１の斜面と、前記底面の、前記一側部に対向する他の側部から延在し、前記吸着対象物の前記第１の辺に対向する第２の辺が当接可能であり、前記第１の斜面に対向する第２の斜面と、前記第１の斜面及び前記第２の斜面によって形成される吸着空間を減圧するための吸着部と、を備え、前記第１の斜面と前記底面の法線とがなす角が、前記第２の斜面と前記法線とがなす角より小さい吸着コレットを、水平方向に移動させることにより、前記第１の斜面を前記第１の辺に当接させるステップと、
前記吸着コレットを鉛直方向下向きに移動させることにより、前記吸着対象物を前記第１の斜面に沿って水平方向に摺動させるステップと、
前記第２の辺が前記第２の斜面に当接したことを検出し、前記吸着コレットの鉛直方向下向きの移動を停止させるステップと、
前記第１の斜面と前記第２の斜面とが形成する前記吸着空間を減圧することにより前記吸着対象物を吸着するステップと、
前記吸着対象物を吸着したまま、前記吸着コレットを鉛直方向上向きに移動させることで、前記吸着対象物をピックアップするステップと、
を備えることを特徴とする。

【発明の効果】

【0012】

本発明によれば、ベアチップと吸着コレットとの位置測定の要求精度を低減し、必要な測定回数を減らすことができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本発明の第１の実施の形態に係る吸着コレットの、（ａ）正面図、（ｂ）上面図、（ｃ）右側面図、（ｄ）底面図である。

【図2】本発明の第１の実施の形態に係る吸着コレットの、斜面の高さ及び傾斜角を示す図である。

【図3】表面にエアーブリッジ配線が施されたベアチップの、（ａ）上面図、（ｂ）側面図である。

【図4】本発明の第１の実施の形態に係るピックアップ装置を示す図である。

【図5】本発明の第１の実施の形態に係るベアチップをピックアップする方法を説明するための図である。

【図6】本発明の第１の実施の形態に係るベアチップをピックアップする方法を説明するための図である。

【図7】本発明の第１の実施の形態に係るベアチップをピックアップする方法を説明するための図である。

【図8】本発明の第１の実施の形態に係るピックアップ処理１のフローチャートである。

【図9】本発明の第２の実施の形態に係るベアチップをピックアップする方法を説明するための図である。

【図10】本発明の第２の実施の形態に係るベアチップをピックアップする方法を説明するための図である。

【図11】本発明の第２の実施の形態に係るベアチップをピックアップする方法を説明するための図である。

【図12】本発明の第２の実施の形態に係るピックアップ処理２のフローチャートである。

【図13】本発明の第３の実施の形態に係る吸着コレットの底面図である。

【図14】本発明の第３の実施の形態に係る吸着コレットの（ａ）正面図、（ｂ）斜面の高さ及び傾斜角を示す図である。

【図15】本発明の第３の実施の形態に係るピックアップ処理３のフローチャートである。

【図16】本発明の第４の実施の形態に係るピックアップ処理４のフローチャートである。

【図17】本発明の他の例に係る吸着コレットを示す図である。

【図18】本発明の他の例に係るピックアップ方法のフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0014】

（実施形態１）
以下、本発明の第１の実施の形態に係る吸着コレット１０２を、図１及び図２を参照して説明する。

【0015】

図１は、吸着コレット１０２の、（ａ）正面図、（ｂ）上面図、（ｃ）右側面図、（ｄ）底面図である。吸着コレット１０２は、図１に示すように、第１の斜面１０３と、第２の斜面１０４と、吸着孔１０８とを備える。吸着コレット１０２は、ベアチップ１０５が吸着される側（底面側）から見て略長方形であるように形成されている。

【0016】

吸着コレット１０２を貫通して、吸着孔１０８（吸着部）が形成されている。吸着孔１０８は、吸着コレット１０２の上面及び底面に開口を有する。

【0017】

図１（ａ）に示すように、吸着コレット１０２の底面側には、第１の斜面１０３と第１の斜面１０３に対向する第２の斜面１０４とが、吸着コレット１０２の内側にハの字を形成するように、それぞれ底面の一側部から延在して形成されている。第１の斜面１０３と第２の斜面１０４とは、その内側に吸着空間１１０を形成する。ベアチップ１０５をピックアップする際に、第１の斜面１０３と第２の斜面１０４とは、ベアチップ１０５のスクライブライン１０６Ａ（第１の辺）とスクライブライン１０６Ｂ（第２の辺）とにそれぞれ当接する。

【0018】

図２に示すように、吸着コレット１０２の吸着孔１０８の開口が存在する平面と第１の斜面１０３の先端との距離を第１の斜面１０３の高さＬ１Ａとし、当該平面と第２の斜面１０４の先端との距離を第２の斜面１０４の高さＬ１Ｂとする。第１の斜面１０３の高さＬ１Ａは、第２の斜面１０４の高さＬ１Ｂよりも大きい。

【0019】

第１の斜面１０３と鉛直方向に延びる直線とがなす角を、第１の斜面１０３の傾斜角θ１Ａとし、第２の斜面１０４と鉛直方向に延びる直線とがなす角を、第２の斜面１０４の傾斜角θ１Ｂとする。傾斜角θ１Ａは、傾斜角θ１Ｂより小さい。即ち、第１の斜面１０３は第２の斜面１０４と比べてより急峻である。傾斜角θ１Ａは典型的には３０度であるが、吸着コレット１０２を形成する素材の材質や第１の斜面１０３の表面の状態によって上下してもよい。傾斜角θ１Ｂは典型的には６０度であるが、傾斜角θ１Ａと同様に、吸着コレット１０２を形成する素材の材質や第２の斜面１０４の表面の状態によって上下してもよい。

【0020】

吸着コレット１０２の底面における第１の斜面１０３と第２の斜面１０４との間隔Ｗ_Ｘ０は、ベアチップ１０５の幅Ｗ_Ｘよりも小さい。即ち、吸着コレット１０２の底面とベアチップ１０５の上側表面とは直接接触しない。

【0021】

スクライブライン１０６がそれぞれ対向する斜面に当接したとき、スクライブライン１０６Ｂが第２の斜面１０４と当接する位置は、第２の斜面１０４の先端から底面までの３分の１乃至３分の２の範囲に含まれることが望ましい。この範囲であれば、吸着コレット１０２の底面とベアチップ１０５の上側表面との距離、及び吸着コレット１０２の斜面の先端とベアチップの側面とのクリアランスが十分に保たれる。

【0022】

吸着対象物であるベアチップ１０５は、図３（ａ）に示すように、上側表面にエアーブリッジ配線１１９が施されている。このため、上側表面には吸着コレットを当接させることができない。吸着コレットを当接させることが可能な場所は、スクライブライン１０６、ボンディングパット１１８等に限られる。

【0023】

第１の実施の形態に係るピックアップ装置１０１を、図４を参照して説明する。

【0024】

図４に示すように、ピックアップ装置１０１は、吸着コレット１０２と、ピックアップトレー１０９と、コントローラ１１１と、搭載ヘッド１１２と、鉛直方向駆動装置１１３と、水平方向駆動装置１１４と、真空吸引装置１１５と、位置センサ１１６と、圧力センサ１１７と、を備える。

【0025】

ピックアップトレー１０９（載置台）は、水平な台であり、その上にベアチップ１０５を載置可能である。ピックアップトレー１０９は、ベアチップ１０５がその上を容易に摺動可能かつ静電気を発生しにくい素材で形成されている。

【0026】

コントローラ１１１は、位置センサ１１６及び圧力センサ１１７からの測定信号を受信する。また、コントローラ１１１は、受信した測定信号に基づき、鉛直方向駆動装置１１３、水平方向駆動装置１１４、及び真空吸引装置１１５を制御する。

【0027】

搭載ヘッド１１２は、鉛直方向駆動装置１１３に接続され、吸着コレット１０２を保持可能である。搭載ヘッド１１２は吸引孔１０７を備え、吸引孔１０７は後述する真空吸引装置１１５と連通しており、吸着孔１０８と連通可能である。

【0028】

鉛直方向駆動装置１１３は、水平方向駆動装置１１４に接続されている。鉛直方向駆動装置１１３は、搭載ヘッド１１２を鉛直方向、即ち矢印Ｄ_Ｚで示すＺ軸方向に移動させることで吸着コレット１０２を鉛直方向に移動可能である。

【0029】

水平方向駆動装置１１４は、鉛直方向駆動装置１１３を水平方向、即ち矢印Ｄ_Ｘで示すＸ軸方向と、紙面に垂直なＹ軸方向とに移動させることで吸着コレット１０２を水平方向に移動可能である。

【0030】

真空吸引装置１１５は、鉛直方向駆動装置１１３と水平方向駆動装置１１４とを介し、吸引孔１０７と連通している。真空吸引装置１１５は連通する吸引孔１０７及び吸着孔１０８を通して、吸着空間１１０を減圧する。減圧した状態で吸着コレット１０２を鉛直方向上向きに移動させることで、ベアチップ１０５をピックアップすることができる。

【0031】

位置センサ１１６は、吸着コレット１０２とベアチップ１０５との位置関係の測定を行う。位置センサ１１６は典型的には画像認識によって測定を行うが、他の任意の位置測定方法によって測定を行っても良い。

【0032】

圧力センサ１１７は、吸着コレット１０２にベアチップ１０５から働く上向きの力を検出する。圧力センサ１１７は典型的には鉛直方向駆動装置１１３に配置されるが、鉛直方向上向きの力を検出できればどこに配置されていてもよい。

【0033】

コントローラ１１１と、搭載ヘッド１１２と、鉛直方向駆動装置１１３と、水平方向駆動装置１１４と、真空吸引装置１１５と、位置センサ１１６と、圧力センサ１１７とは、下記の方法でベアチップ１０５をピックアップすることで、ピックアップ手段を構成する。

【0034】

ピックアップ装置１０１を用いてベアチップ１０５をピックアップする方法（ピックアップ処理１）を、図５乃至図７及び図８のフローチャートを用いて説明する。前提として、吸着コレット１０２は搭載ヘッド１１２に保持され、ベアチップ１０５はピックアップトレー１０９に載置されている。

【0035】

まず、コントローラ１１１が、Ｘ軸方向の位置合わせを行う（ステップＳ１１０）。具体的には、図５（ａ）に示すように、ｉ）第１の斜面１０３の先端より吸着コレット１０２の中心側にスクライブライン１０６Ａが位置し、ｉｉ）第２の斜面１０４の先端より吸着コレット１０２の中心側にスクライブライン１０６Ｂが位置し、ｉｉｉ）第１の斜面１０３の先端とスクライブライン１０６Ａとの水平方向の距離が、第２の斜面１０４の先端とスクライブライン１０６ＢとのＸ軸方向の距離より大きい、ことが位置センサ１１６に検出されるように、コントローラ１１１が水平方向駆動装置１１４を制御し吸着コレット１０２をＸ軸方向に移動させる。このとき、第１の斜面１０３の先端は、ベアチップ１０５の上側表面より高い位置にある。

【0036】

次に、コントローラ１１１が、Ｚ軸方向の位置合わせを行う（ステップＳ１２０）。具体的には、図５（ｂ）に示すように、第２の斜面１０４が対向するスクライブライン１０６Ｂに当接して、圧力センサ１１７がＺ軸方向上向きの力を検出するまで、コントローラ１１１が鉛直方向駆動装置１１３を制御し吸着コレット１０２をＺ軸方向下向きに移動させる。

【0037】

次に、コントローラ１１１が、第１の斜面１０３をベアチップ１０５に当接させる（ステップＳ１３０）。具体的には、図６（ａ）に示すように、第１の斜面１０３がスクライブライン１０６Ａに当接するように、コントローラ１１１が水平方向駆動装置１１４を制御し吸着コレット１０２をＸ軸方向に移動させる。

【0038】

次に、コントローラ１１１が、ベアチップ１０５の摺動を開始する（ステップＳ１４０）。具体的には、図６（ｂ）に示すように、ベアチップ１０５が第１の斜面１０３に沿って摺動しながら第２の斜面１０４へ向かってピックアップトレー１０９上をＸ軸方向（矢印Ｄ１１０の向き）に摺動するように、コントローラ１１１が鉛直方向駆動装置１１３を制御し吸着コレット１０２をＺ軸方向下向き（矢印Ｄ１２０の向き）に移動させる。

【0039】

次に、コントローラ１１１が、ベアチップ１０５の摺動を停止する（ステップＳ１５０）。具体的には、図７（ａ）に示すように、ベアチップ１０５がピックアップトレー１０９上を摺動して、スクライブライン１０６Ｂが第２の斜面１０４に当接すると、吸着コレット１０２にベアチップ１０５から働くＺ軸方向上向きの力が大きくなったことを圧力センサ１１７が検出し、コントローラ１１１が鉛直方向駆動装置１１３を制御し吸着コレット１０２のＺ軸方向下向きの移動を停止する。このとき、ベアチップ１０５の両端部は第１の斜面１０３及び第２の斜面１０４に同じ高さで当接し、ベアチップ１０５は水平に保たれる。

【0040】

次に、コントローラ１１１が、ベアチップ１０５をピックアップする（ステップＳ１６０）。具体的には、図７（ｂ）に示すように、コントローラ１１１が真空吸引装置１１５を作動させ、吸引孔１０７及び吸着孔１０８を通して吸着空間１１０を減圧しながら、鉛直方向駆動装置１１３を制御し吸着コレット１０２をＺ軸方向上向きに移動させることで、ベアチップ１０５をピックアップする。ステップＳ１５０でベアチップ１０５を水平に当接させたので、ベアチップ１０５を水平に精度良くピックアップすることができる。

【0041】

この後、ピックアップしたベアチップ１０５を基板に取り付ける等の処理を行った後、コントローラ１１１が鉛直方向駆動装置１１３と水平方向駆動装置１１４とを制御して吸着コレット１０２をステップＳ１１０以前の位置に戻すことにより、以上の方法を繰り返すことが可能になる。

【0042】

上記の方法によってベアチップ１０５をピックアップするとき、角θ１Ａが３０度であるから、ステップＳ１４０でベアチップ１０５をＸ軸方向に摺動させる際に、第１の斜面１０３からベアチップ１０５に水平方向に働く力が、第１の斜面１０３がベアチップ１０５を下方に押しつける力より大きくなり、ベアチップ１０５をＸ軸方向に容易に摺動させることができる。

【0043】

また、角θ１Ｂが６０度であるから、ステップＳ１５０でスクライブライン１０６Ｂが第２の斜面１０４に当接する際に、第２の斜面１０４からスクライブライン１０６Ｂに働く力のＺ軸方向成分がより大きくなり、スクライブライン１０６Ｂが第２の斜面１０４に当接したことを容易に検出できる。

【0044】

また、位置測定はステップＳ１１０で位置合わせを行うときにのみ必要であり、また繰り返す必要がない。即ち、必要な位置測定の回数を減らすことができる。

【0045】

また、角θ１Ｂが６０度であるから、第２の斜面１０４の先端とベアチップ１０５とのクリアランスが十分に保たれる。したがって、ステップＳ１２０で、クリアランスが保たれる第２の斜面１０４が、クリアランスを確保しにくい第１の斜面１０３より先にベアチップ１０５と当接するようにステップＳ１１０の位置合わせを行えばよく、ベアチップ１０５と吸着コレット１０２との許容される距離が大きくなる。即ち、位置測定の要求精度を低減することができる。

【0046】

以上より、上記のようにピックアップ装置１０１を用いてベアチップ１０５をピックアップすれば、ベアチップ１０５と吸着コレット１０２との位置測定の要求精度を低減し、必要な測定回数を減らすことができる。

【0047】

（実施形態２）
第２の実施の形態は、第１の実施の形態と同じ構成を用いて異なる方法で発明を実施するものである。ピックアップ装置１０１を用いてベアチップ１０５をピックアップする方法（ピックアップ処理２）を、図９乃至図１１及び図１２のフローチャートを用いて説明する。前提として、吸着コレット１０２は搭載ヘッド１１２に保持され、ベアチップ１０５はピックアップトレー１０９に載置されている。

【0048】

まず、コントローラ１１１が、Ｘ軸方向の位置合わせを行う（ステップＳ２１０）。具体的には、図９（ａ）に示すように、第１の斜面１０３の先端より吸着コレット１０２の中心側にスクライブライン１０６Ａが位置することが位置センサ１１６に検出されるように、コントローラ１１１が水平方向駆動装置１１４を制御し吸着コレット１０２をＸ軸方向に移動させる。このとき、第１の斜面１０３の先端は、ベアチップ１０５の上側表面より高い位置にある。

【0049】

次に、コントローラ１１１が、Ｚ軸方向の位置合わせを行う（ステップＳ２２０）。具体的には、図９（ｂ）に示すように、ベアチップ１０５の上側表面の位置が、第１の斜面１０３の先端より高く、かつ第２の斜面１０４の先端より低くなるように、コントローラ１１１が鉛直方向駆動装置１１３を制御し吸着コレット１０２をＺ軸方向下向きに移動させる。

【0050】

次に、コントローラ１１１が、第１の斜面１０３をベアチップ１０５に当接させる（ステップＳ２３０）。具体的には、図１０（ａ）に示すように、第１の斜面１０３がスクライブライン１０６Ａに当接するように、コントローラ１１１が水平方向駆動装置１１４を制御し吸着コレット１０２をＸ軸方向に移動させる。

【0051】

次に、コントローラ１１１が、ベアチップ１０５の摺動を開始する（ステップＳ２４０）。具体的には、図１０（ｂ）に示すように、ベアチップ１０５が第１の斜面１０３に沿って摺動しながら第２の斜面１０４へ向かってピックアップトレー１０９上をＸ軸方向（矢印Ｄ２１０の向き）に摺動するように、コントローラ１１１が鉛直方向駆動装置１１３を制御し吸着コレット１０２をＺ軸方向下向き（矢印Ｄ２２０の向き）に移動させる。

【0052】

次に、コントローラ１１１が、ベアチップ１０５の摺動を停止する（ステップＳ２５０）。具体的には、図１１（ａ）に示すように、ベアチップ１０５がピックアップトレー１０９上を摺動して、スクライブライン１０６Ｂが第２の斜面１０４に当接すると、吸着コレット１０２にベアチップ１０５から働くＺ軸方向上向きの力が大きくなったことを圧力センサ１１７が検出し、コントローラ１１１が鉛直方向駆動装置１１３を制御し吸着コレット１０２のＺ軸方向下向きの移動を停止する。このとき、ベアチップ１０５の両端部は第１の斜面１０３及び第２の斜面１０４に同じ高さで当接し、ベアチップ１０５は水平に保たれる。

【0053】

次に、コントローラ１１１が、ベアチップ１０５をピックアップする（ステップＳ２６０）。具体的には、図１１（ｂ）に示すように、コントローラ１１１が真空吸引装置１１５を作動させ、吸引孔１０７及び吸着孔１０８を通して吸着空間１１０を減圧しながら、鉛直方向駆動装置１１３を制御し吸着コレット１０２をＺ軸方向上向きに移動させることで、ベアチップ１０５をピックアップする。ステップＳ２５０でベアチップ１０５を水平に当接させたので、ベアチップ１０５を水平に精度良くピックアップすることができる。

【0054】

この後、ピックアップしたベアチップ１０５を基板に取り付ける等の処理を行った後、コントローラ１１１が鉛直方向駆動装置１１３と水平方向駆動装置１１４とを制御して吸着コレット１０２をステップＳ２１０以前の位置に戻すことにより、以上の方法を繰り返すことが可能になる。

【0055】

上記の方法によってベアチップ１０５をピックアップするとき、第１の斜面１０３の高さＬ１Ａが第２の斜面１０４の高さＬ１Ｂよりも大きいので、ステップＳ２２０のようなＺ軸方向における位置関係をとることができ、ステップＳ２１０で第１の斜面１０３とスクライブライン１０６Ａとの位置関係のみを基準にしても、第２の斜面１０４の先端がベアチップ１０５の上側表面に接触してしまうことがない。即ち、必要な位置測定の回数を減らすことができる。

【0056】

また、ステップＳ２３０で、吸着コレット１０２をＸ軸方向に移動させることによって第１の斜面１０３をスクライブライン１０６Ａに当接させるので、ステップＳ２１０で位置合わせを行う際は、第１の斜面１０３とベアチップ１０５とは接触さえしなければどれだけ離れていてもよい。即ち、位置測定の精度を低減することができる。

【0057】

以上より、上記のようにピックアップ装置１０１を用いてベアチップ１０５をピックアップすれば、ベアチップ１０５と吸着コレット１０２との位置測定の要求精度を低減し、必要な測定回数を減らすことができる。

【0058】

（実施形態３）
以下、本発明の第３の実施の形態に係る吸着コレット３０２を、図１３及び図１４を参照して説明する。

【0059】

吸着コレット３０２は、図１３に示すように、第１の斜面１０３と、第２の斜面１０４と、第３の斜面３０３と、第４の斜面３０４と、吸着孔１０８とを備える。このうち、第３の斜面３０３及び第４の斜面３０４以外の構成要素は実施形態１に係る吸着コレット１０２の構成要素と同一であり、説明を省略する。

【0060】

図１４（ａ）は、吸着コレット３０２を、図１３の直線Ａを通り紙面に垂直な平面で切った断面図である。図１４（ａ）に示すように、吸着コレット３０２の底面側の第１の斜面１０３と第２の斜面１０４とに挟まれた２辺に、第３の斜面３０３と、第３の斜面３０３に対向する第４の斜面３０４とが、吸着コレット１０２の内側にハの字を形成するように、それぞれ底面の一側部から延在して形成されている。第１の斜面１０３と、第２の斜面１０４と、第３の斜面３０３と、第４の斜面３０４とは、その内側に吸着空間３１０を形成する。ベアチップ１０５をピックアップする際に、第３の斜面３０３と第４の斜面３０４とは、ベアチップ１０５のスクライブライン３０６Ａ（第３の辺）とスクライブライン３０６Ｂ（第４の辺）とにそれぞれ当接する。

【0061】

図１４（ｂ）に示すように、吸着コレット３０２の吸着孔１０８の開口が存在する平面と第３の斜面３０３の先端との距離を第３の斜面３０３の高さＬ３Ａとし、当該平面と第４の斜面３０４の先端との距離を第４の斜面３０４の高さＬ３Ｂとする。第１の斜面３０３の高さＬ３Ａは、第４の斜面３０４の高さＬ３Ｂよりも大きい。

【0062】

第３の斜面３０３と鉛直方向に延びる直線とがなす角を、第３の斜面３０３の傾斜角θ３Ａとし、第４の斜面３０４と鉛直方向に延びる直線とがなす角を、第４の斜面３０４の傾斜角θ３Ｂとする。傾斜角θ３Ａは、傾斜角θ３Ｂより小さい。即ち、第３の斜面３０３は第４の斜面３０４と比べてより急峻である。傾斜角θ３Ａは典型的には３０度であるが、吸着コレット３０２を形成する素材の材質や第３の斜面３０３の表面の状態によって上下してもよい。傾斜角θ３Ｂは典型的には６０度であるが、傾斜角θ３Ａと同様に、吸着コレット３０２を形成する素材の材質や第４の斜面３０４の表面の状態によって上下してもよい。

【0063】

典型的には、第１の斜面１０３の高さＬ１Ａと第３の斜面３０３の高さＬ３Ａとがほぼ同じであり、第２の斜面１０４の高さＬ１Ｂと第４の斜面３０４の高さＬ３Ｂとがほぼ同じである。同様に、第１の斜面１０３の傾斜角θ１Ａと第３の斜面３０３の傾斜角θ３Ａとがほぼ同じであり、第２の斜面１０４の傾斜角θ１Ｂと第４の斜面３０４の傾斜角θ３Ｂとがほぼ同じである。

【0064】

吸着コレット３０２の底面における第３の斜面３０３と第４の斜面３０４との間隔Ｗ_Ｙ０は、ベアチップ１０５の幅Ｗ_Ｙよりも小さい。即ち、吸着コレット３０２の底面とベアチップ１０５の上側表面とは直接接触しない。

【0065】

ピックアップ装置３０１を用いてベアチップ１０５をピックアップする方法（ピックアップ処理３）を、図１５のフローチャートを用いて説明する。前提として、吸着コレット３０２は搭載ヘッド１１２に保持され、ベアチップ１０５はピックアップトレー１０９に載置されている。

【0066】

なお、ピックアップ装置３０１の図については、図４のピックアップ装置の吸着コレット１０２を吸着コレット３０２に置き換えたものと同様であるので、省略する。また、各ステップでの吸着コレット３０２の図については、ＸＺ平面については図５乃至図７と同様であり、ＹＺ平面については図５乃至図７において第１の斜面１０３を第３の斜面３０３、第２の斜面１０４を第４の斜面３０４、スクライブライン１０６Ａをスクライブライン３０６Ａ、スクライブライン１０６Ｂをスクライブライン３０６Ｂにそれぞれ置き換えたものと同様であるので、省略する。

【0067】

まず、コントローラ１１１が、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の位置合わせを行う（ステップＳ３１０）。具体的には、Ｘ軸方向については、ｉ）第１の斜面１０３の先端より吸着コレット３０２の中心側にスクライブライン１０６Ａが位置し、ｉｉ）第２の斜面１０４の先端より吸着コレット３０２の中心側にスクライブライン１０６Ｂが位置し、ｉｉｉ）第１の斜面１０３の先端とスクライブライン１０６Ａとの水平方向の距離が、第２の斜面１０４の先端とスクライブライン１０６ＢとのＸ軸方向の距離より大きく、Ｙ軸方向については、ｉｖ）第３の斜面３０３の先端より吸着コレット３０２の中心側にスクライブライン３０６Ａが位置し、ｖ）第４の斜面３０４の先端より吸着コレット３０２の中心側にスクライブライン３０６Ｂが位置し、ｖｉ）第３の斜面３０３の先端とスクライブライン３０６Ａとの水平方向の距離が、第４の斜面３０４の先端とスクライブライン３０６ＢとのＹ軸方向の距離より大きい、ことが位置センサ１１６に検出されるように、コントローラ１１１が水平方向駆動装置１１４を制御し吸着コレット３０２をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させる。このとき、第１の斜面１０３の先端及び第３の斜面３０３の先端は、ベアチップ１０５の上側表面より高い位置にある。

【0068】

次に、コントローラ１１１が、Ｚ軸方向の位置合わせを行う（ステップＳ３２０）。具体的には、第２の斜面１０４、第４の斜面３０４の少なくとも一方が対向するスクライブライン１０６Ｂ又はスクライブライン３０６Ｂに当接して、圧力センサ１１７がＺ軸方向上向きの力を検出するまで、コントローラ１１１が鉛直方向駆動装置１１３を制御し吸着コレット３０２をＺ軸方向下向きに移動させる。

【0069】

次に、コントローラ１１１が、第１の斜面１０３と第３の斜面３０３とをベアチップ１０５に当接させる（ステップＳ３３０）。具体的には、第１の斜面１０３がスクライブライン１０６Ａに当接し、第３の斜面３０３がスクライブライン３０６Ａに当接するように、コントローラ１１１が水平方向駆動装置１１４を制御し吸着コレット３０２をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させる。

【0070】

次に、コントローラ１１１が、ベアチップ１０５の摺動を開始する（ステップＳ３４０）。具体的には、ベアチップ１０５が第１の斜面１０３に沿って摺動しながら第２の斜面１０４へ向かってピックアップトレー１０９上をＸ軸方向に摺動し、第３の斜面３０３に沿って摺動しながら第４の斜面３０４へ向かってピックアップトレー１０９上をＹ軸方向に摺動するように、コントローラ１１１が鉛直方向駆動装置１１３を制御し吸着コレット３０２をＺ軸方向下向きに移動させる。

【0071】

次に、コントローラ１１１が、ベアチップ１０５の摺動を停止する（ステップＳ３５０）。具体的には、ベアチップ１０５がピックアップトレー１０９上を摺動して、スクライブライン１０６Ｂが第２の斜面１０４に当接し、スクライブライン３０６Ｂが第４の斜面３０４に当接すると、吸着コレット３０２にベアチップ１０５から働くＺ軸方向上向きの力が大きくなったことを圧力センサ１１７が検出し、コントローラ１１１が鉛直方向駆動装置１１３を制御し吸着コレット３０２のＺ軸方向下向きの移動を停止する。このとき、ベアチップ１０５の周縁部は第１の斜面１０３と第２の斜面１０４と第３の斜面３０３と第４の斜面３０４とに同じ高さで当接し、ベアチップ１０５は水平に保たれる。

【0072】

次に、コントローラ１１１が、ベアチップ１０５をピックアップする（ステップＳ３６０）。具体的には、コントローラ１１１が真空吸引装置１１５を作動させ、吸引孔１０７及び吸着孔３０８を通して吸着空間３１０を減圧しながら、鉛直方向駆動装置１１３を制御し吸着コレット３０２をＺ軸方向上向きに移動させることで、ベアチップ１０５をピックアップする。ステップＳ３５０でベアチップ１０５を水平に当接させたので、ベアチップ１０５を水平に精度良くピックアップすることができる。

【0073】

この後、ピックアップしたベアチップ１０５を基板に取り付ける等の処理を行った後、コントローラ１１１が鉛直方向駆動装置１１３と水平方向駆動装置１１４とを制御して吸着コレット３０２をステップＳ３１０以前の位置に戻すことにより、以上の方法を繰り返すことが可能になる。

【0074】

第３の実施の形態は、第１の実施の形態を四つの斜面を備える吸着コレット３０２に拡張したものである。したがって、第１の実施の形態で述べた本発明の利点は、第３の実施の形態においても同様に本発明の利点ということができる。

【0075】

以上より、上記のようにピックアップ装置３０１を用いてベアチップ１０５をピックアップすれば、ベアチップ１０５と吸着コレット３０２との位置測定の要求精度を低減し、必要な測定回数を減らすことができる。

【0076】

（実施形態４）
本発明の第４の実施の形態は、第３の実施の形態と同じ構成を用いて異なる方法で発明を実施するものである。ピックアップ装置３０１を用いてベアチップ１０５をピックアップする方法（ピックアップ処理４）を、図１６のフローチャートを用いて説明する。前提として、吸着コレット３０２は搭載ヘッド１１２に保持され、ベアチップ１０５はピックアップトレー１０９に載置されている。

【0077】

まず、コントローラ１１１が、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の位置合わせを行う（ステップＳ４１０）。具体的には、Ｘ軸方向については、ｉ）第１の斜面１０３の先端より吸着コレット３０２の中心側にスクライブライン１０６Ａが位置し、Ｙ軸方向については、ｉｉ）第３の斜面３０３の先端より吸着コレット３０２の中心側にスクライブライン３０６Ａが位置する、ことが位置センサ１１６に検出されるように、コントローラ１１１が水平方向駆動装置１１４を制御し吸着コレット３０２をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させる。このとき、第１の斜面１０３の先端及び第３の斜面３０３の先端は、ベアチップ１０５の上側表面より高い位置にある。

【0078】

次に、コントローラ１１１が、Ｚ軸方向の位置合わせを行う（ステップＳ４２０）。具体的には、ベアチップ１０５の上側表面の位置が、第１の斜面１０３の先端及び第３の斜面３０３の先端より高く、かつ第２の斜面１０４の先端及び第４の斜面３０４の先端より低くなるように、コントローラ１１１が鉛直方向駆動装置１１３を制御し吸着コレット３０２をＺ軸方向下向きに移動させる。

【0079】

次に、コントローラ１１１が、第１の斜面１０３と第３の斜面３０３とをベアチップ１０５に当接させる（ステップＳ４３０）。具体的には、第１の斜面１０３がスクライブライン１０６Ａに当接し、第３の斜面３０３がスクライブライン３０６Ａに当接するように、コントローラ１１１が水平方向駆動装置１１４を制御し吸着コレット３０２をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させる。

【0080】

次に、コントローラ１１１が、ベアチップ１０５の摺動を開始する（ステップＳ４４０）。具体的には、ベアチップ１０５が第１の斜面１０３に沿って摺動しながら第２の斜面１０４へ向かってピックアップトレー１０９上をＸ軸方向に摺動し、第３の斜面３０３に沿って摺動しながら第４の斜面３０４へ向かってピックアップトレー１０９上をＹ軸方向に摺動するように、コントローラ１１１が鉛直方向駆動装置１１３を制御し吸着コレット３０２をＺ軸方向下向きに移動させる。

【0081】

次に、コントローラ１１１が、ベアチップ１０５の摺動を停止する（ステップＳ４５０）。具体的には、ベアチップ１０５がピックアップトレー１０９上を摺動して、スクライブライン１０６Ｂが第２の斜面１０４に当接し、スクライブライン３０６Ｂが第４の斜面３０４に当接すると、吸着コレット３０２にベアチップ１０５から働くＺ軸方向上向きの力が大きくなったことを圧力センサ１１７が検出し、コントローラ１１１が鉛直方向駆動装置１１３を制御し吸着コレット３０２のＺ軸方向下向きの移動を停止する。このとき、ベアチップ１０５の周縁部は第１の斜面１０３と第２の斜面１０４と第３の斜面３０３と第４の斜面３０４とに同じ高さで当接し、ベアチップ１０５は水平に保たれる。

【0082】

次に、コントローラ１１１が、ベアチップ１０５をピックアップする（ステップＳ４６０）。具体的には、コントローラ１１１が真空吸引装置１１５を作動させ、吸引孔１０７及び吸着孔３０８を通して吸着空間３１０を減圧しながら、鉛直方向駆動装置１１３を制御し吸着コレット３０２をＺ軸方向上向きに移動させることで、ベアチップ１０５をピックアップする。ステップＳ３５０でベアチップ１０５を水平に当接させたので、ベアチップ１０５を水平に精度良くピックアップすることができる。

【0083】

この後、ピックアップしたベアチップ１０５を基板に取り付ける等の処理を行った後、コントローラ１１１が鉛直方向駆動装置１１３と水平方向駆動装置１１４とを制御して吸着コレット３０２をステップＳ４１０以前の位置に戻すことにより、以上の方法を繰り返すことが可能になる。

【0084】

第４の実施の形態は、第２の実施の形態を四つの斜面を備える吸着コレット３０２に拡張したものである。したがって、第２の実施の形態で述べた本発明の利点は、第４の実施の形態においても同様に本発明の利点ということができる。

【0085】

以上より、上記のようにピックアップ装置３０１を用いてベアチップ１０５をピックアップすれば、ベアチップ１０５と吸着コレット３０２との位置測定の要求精度を低減し、必要な測定回数を減らすことができる。

【0086】

なお、第１の実施の形態及び第２の実施の形態においては、吸着コレット１０２の移動をＸ軸方向とＺ軸方向とについてのみ説明した。しかし、吸着コレット１０２はＹ軸方向に移動してもよい。具体的には、ピックアップ方法が、吸着コレット１０２のＹ軸方向中心と、ベアチップ１０５のＹ軸方向中心がほぼ一致するように、コントローラ１１１が水平方向駆動装置１１４を制御し、吸着コレット１０２をＹ軸方向に移動させるステップを含んでいてもよい。このステップは、Ｘ軸方向の位置合わせより前、Ｘ軸方向の位置合わせとＺ軸方向の位置合わせとの間、Ｚ軸方向の位置合わせの後のいずれかに実行されうる。

【0087】

以上、本発明の実施の形態を説明したが、この発明は上記の実施の形態に限定されず、種々の変形および応用が可能である。

【0088】

例えば、吸着対象物を表面にエアーブリッジ配線１１９が施されたベアチップ１０５としたが、これに限られるものではない。即ち、吸着対象物は表面にエアーブリッジ配線が施されていないベアチップであってもよい。さらに、吸着対象物はベアチップ１０５に限られず、吸着コレット１０２、３０２の斜面が当接可能かつ吸着可能であれば任意の物であってよい。

【0089】

また、第１の斜面１０３の傾斜角θ１Ａ及び第３の斜面３０３の傾斜角θ３Ａを３０度としたが、これに限られるものではない。即ち、斜面がスクライブラインに当接してベアチップ１０５を摺動させる際に、斜面からベアチップ１０５に働く水平方向の力が、ベアチップ１０５がピックアップトレー１０９から受ける摩擦力よりも大きくなるような角度であれば、任意の角度でよい。望ましくは、傾斜角θ１Ａ及び傾斜角θ３Ａは４５度以下である。

【0090】

また、第２の斜面１０４の傾斜角θ１Ｂ及び第４の斜面３０４の傾斜角θ３Ｂを６０度としたが、これに限られるものではない。即ち、前述した第１の斜面１０３の傾斜角θ１Ａ及び第３の斜面３０３の傾斜角θ３Ａより大きければ、任意の角度でよい。望ましくは、傾斜角θ１Ｂ及び傾斜角θ３Ｂは４５度以上である。

【0091】

また、第１の斜面１０３の高さＬ１Ａと第３の斜面３０３の高さＬ３Ａとがほぼ同じであるとしたが、これに限られるものではない。即ち、第３の斜面３０３の高さＬ３Ａは、第２の斜面１０４の高さＬ１Ｂ及び第４の斜面３０４の高さＬ３Ｂよりも大きければ、任意の高さでよい。

【0092】

また、第２の斜面１０４の高さＬ１Ｂと第４の斜面３０４の高さＬ３Ｂとがほぼ同じであるとしたが、これに限られるものではない。即ち、第４の斜面３０４の高さＬ３Ｂは、第１の斜面１０３の高さＬ１Ａ及び第３の斜面３０３の高さＬ３Ａよりも小さければ、任意の高さでよい。

【0093】

また、第１の斜面１０３の高さＬ１Ａは第２の斜面１０４の高さＬ１Ｂよりも大きいとしたが、これに限られるものではない。即ち、第１の実施の形態及び第３の実施の形態においては、第１の斜面１０３の高さＬ１Ａと第２の斜面１０４の高さＬ１Ｂとが等しくてもよい。さらに、第３の実施の形態においては、第３の斜面３０３の高さＬ３Ａと第４の斜面３０４の高さＬ３Ｂとが等しくてもよい。

【0094】

本発明は、以上の実施形態のみに限られる物ではなく、以下のようにも記載される。

【0095】

図１７に示すような、
吸着対象物６０５の第１の辺６０６Ａが当接可能な第１の斜面６０３と、
吸着対象物６０５の第１の辺６０６Ａに対向する第２の辺６０６Ｂが当接可能であり、第１の斜面６０３より傾斜角が大きく、第１の斜面６０３に対向する第２の斜面６０４と、
第１の斜面６０３及び第２の斜面６０４によって形成される吸着空間６１０を減圧するための吸着部６０８と、
を備えることを特徴とする吸着コレット６０２。

【0096】

図１８に示すような、
吸着対象物６０５の第１の辺６０６Ａが当接可能な第１の斜面６０３と、吸着対象物６０５の第１の辺６０６Ａに対向する第２の辺６０６Ｂが当接可能であり、第１の斜面６０３より傾斜角が大きく、第１の斜面６０３に対向する第２の斜面６０４と、第１の斜面６０３及び第２の斜面６０４によって形成される吸着空間６１０を減圧するための吸着部６０８と、を備える吸着コレット６０２を、水平方向に移動させることにより、第１の斜面６０３を第１の辺６０６Ａに当接させるステップＳ６１０と、
吸着コレット６０２を鉛直方向下向きに移動させることにより、吸着対象物６０５を第１の斜面６０３に沿って水平方向に摺動させるステップＳ６２０と、
第２の辺６０６Ｂが第２の斜面６０４に当接したことを検出し、吸着コレット６０２の鉛直方向下向きの移動を停止させるステップＳ６３０と、
第１の斜面６０３と第２の斜面６０４とが形成する吸着空間６１０を減圧することにより吸着対象物６０５を吸着するステップＳ６４０と、
吸着対象物６０５を吸着したまま、吸着コレット６０２を鉛直方向上向きに移動させることで、吸着対象物６０５をピックアップするステップＳ６５０と、
を備えることを特徴とするピックアップ方法。

【0097】

上記のような吸着コレット６０２によれば、吸着コレット６０２と吸着対象物６０５との位置合わせを行うとき、より傾斜角の大きい第２の斜面６０４と第２の辺との位置関係を基準にすれば、吸着コレット６０２と吸着対象物６０５との許容される距離が大きくなる。即ち、位置測定の要求精度を低減することができる。

【0098】

また、より傾斜角の小さい第１の斜面６０３によって第１の辺６０６Ａを介して吸着対象物６０５に力を加えれば、吸着コレット６０２から吸着対象物６０５に水平方向に働く力が大きくなるため、吸着対象物６０５を水平方向に容易に摺動させて斜面に水平に当接させることができる。即ち、吸着対象物６０５を水平にピックアップするために必要な位置測定の回数を減らすことができる。

【0099】

したがって、上記のような吸着コレット６０２によれば、本発明の目的が達成される。

【0100】

また、上記のようなピックアップ方法によれば、吸着コレット６０２と吸着対象物６０５との位置合わせを行うとき、より傾斜角の大きい第２の斜面６０４と第２の辺６０６Ｂとの位置関係を基準にすれば、吸着コレット６０２と吸着対象物６０５との許容される距離が大きくなる。即ち、位置測定の要求精度を低減することができる。

【0101】

また、ステップＳ６２０とステップＳ６３０とにおいて、吸着対象物６０５を摺動させることで第１の斜面６０３と第２の斜面６０４とに当接させるので、吸着コレット６０２と吸着対象物６０５との位置関係を繰り返し測定することなく吸着対象物６０５を水平にピックアップすることができる。即ち、必要な位置測定の回数を減らすことができる。

【0102】

上記の実施形態の一部又は全部は、以下の付記のようにも記載され得るが、以下には限られない。

【0103】

（付記１）
吸着対象物の第１の辺が当接可能な第１の斜面と、
前記吸着対象物の前記第１の辺に対向する第２の辺が当接可能であり、前記第１の斜面より傾斜角が大きく、前記第１の斜面に対向する第２の斜面と、
前記第１の斜面及び前記第２の斜面によって形成される吸着空間を減圧するための吸着部と、
を備えることを特徴とする吸着コレット。

【0104】

（付記２）
底面をさらに備え、
前記第１の斜面は、前記底面の一側部から延在し、
前記第２の斜面は、前記底面の、前記一側部に対向する他の側部から延在し、
前記第１の斜面と前記底面の法線とがなす角は、前記第２の斜面と前記法線とがなす角より小さい、
ことを特徴とする付記１に記載の吸着コレット。

【0105】

（付記３）
前記第１の斜面と前記法線とがなす角は４５度より小さく、前記第２の斜面と前記法線とがなす角は４５度より大きい、
ことを特徴とする付記２に記載の吸着コレット。

【0106】

（付記４）
前記第１の斜面の高さは、前記第２の斜面の高さよりも大きい、
ことを特徴とする付記１から３のいずれか一つに記載の吸着コレット。

【0107】

（付記５）
付記１から４のいずれか一つに記載の吸着コレットと、
前記吸着対象物を載置する載置台と、
ｉ）前記吸着コレットを水平方向に移動させることにより、前記第１の斜面を前記第１の辺に当接させ、ｉｉ）前記吸着コレットを鉛直方向下向きに移動させることにより、前記吸着対象物を前記第１の斜面に沿って水平方向に摺動させ、ｉｉｉ）前記第２の辺が前記第２の斜面に当接したことを検出し、前記吸着コレットの鉛直方向下向きの移動を停止させ、ｉｖ）前記第１の斜面と前記第２の斜面とが形成する吸着空間を減圧することにより前記吸着対象物を吸着し、ｖ）前記吸着対象物を吸着したまま、前記吸着コレットを鉛直方向上向きに移動させることで、前記吸着対象物をピックアップするピックアップ手段と、
を備えることを特徴とするピックアップ装置。

【0108】

（付記６）
前記ピックアップ手段は、
ｖｉ）前記吸着コレットを移動させることにより、前記第１の斜面の先端を前記第１の辺より外側に位置させ、前記第２の斜面の先端を前記第２の辺より外側に位置させ、前記第１の斜面の先端と前記第１の辺との水平方向距離を前記第２の斜面の先端と前記第２の辺との水平方向距離よりも大きくし、
ｖｉｉ）前記吸着ヘッドを鉛直方向下向きに移動させることにより、前記第２の辺を前記第２の斜面に当接させ、
続いて、前記ｉ）からｖ）の過程を実行する、
ことを特徴とする付記５に記載のピックアップ装置。

【0109】

（付記７）
前記吸着コレットの前記第１の斜面の高さは、前記第２の斜面の高さよりも大きく、
前記ピックアップ手段は、
ｖｉ）前記吸着コレット移動させることにより、前記第１の斜面の先端を前記第１の辺より外側で前記吸着対象物の上側表面より下に位置させ、かつ、前記第２の斜面の先端を前記上側表面よりも上に位置させ、
続いて、前記ｉ）からｖ）の過程を実行する、
ことを特徴とする付記５に記載のピックアップ装置。

【0110】

（付記８）
吸着対象物の第１の辺が当接可能な第１の斜面と、前記吸着対象物の前記第１の辺に対向する第２の辺が当接可能であり、前記第１の斜面より傾斜角が大きく、前記第１の斜面に対向する第２の斜面と、前記第１の斜面及び前記第２の斜面によって形成される吸着空間を減圧するための吸着部と、を備える吸着コレットを、水平方向に移動させることにより、前記第１の斜面を前記第１の辺に当接させるステップと、
前記吸着コレットを鉛直方向下向きに移動させることにより、前記吸着対象物を前記第１の斜面に沿って水平方向に摺動させるステップと、
前記第２の辺が前記第２の斜面に当接したことを検出し、前記吸着コレットの鉛直方向下向きの移動を停止させるステップと、
前記第１の斜面と前記第２の斜面とが形成する前記吸着空間を減圧することにより前記吸着対象物を吸着するステップと、
前記吸着対象物を吸着したまま、前記吸着コレットを鉛直方向上向きに移動させることで、前記吸着対象物をピックアップするステップと、
を備えることを特徴とするピックアップ方法。

【符号の説明】

【0111】

１０１ ピックアップ装置
１０２ 吸着コレット
１０３ 第１の斜面
１０４ 第２の斜面
１０５ ベアチップ
１０６、１０６Ａ、１０６Ｂ スクライブライン
１０７ 吸引孔
１０８ 吸着孔
１０９ ピックアップトレー
１１０ 吸着空間
１１１ コントローラ
１１２ 搭載ヘッド
１１３ 鉛直方向駆動装置
１１４ 水平方向駆動装置
１１５ 真空吸引装置
１１６ 位置センサ
１１７ 圧力センサ
１１８ ボンディングパット
１１９ エアーブリッジ配線
３０１ ピックアップ装置
３０２ 吸着コレット
３０３ 第３の斜面
３０４ 第４の斜面
３０６Ａ、３０６Ｂ スクライブライン
３１０ 吸着空間
６０２ 吸着コレット
６０３ 第１の斜面
６０４ 第２の斜面
６０５ 吸着対象物
６０６Ａ 第１の辺
６０６Ｂ 第２の辺
６０８ 吸着部
６１０ 吸着空間

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】