技術分野
パワーデバイス、高周波用途のスイッチングICなどの半導体装置に関し、特にパワー半導体素子を搭載した半導体装置
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
ところで、特許文献1に記載されている従来例では、パワー半導体装置は通常インバータなどの電力変換装置で用いられる。このためには、例えばフルブリッジ回路を構成するために、図3に示した樹脂ケース104の上端を閉塞する蓋体107を貫通して上方に突出する端子108を基板又はバスバーのような配線体で接続し、個別の半導体装置間の配線を行う。さらに、出力側や入力側(電源側)の接続を外部と行う必要がある。
これらの条件と装置の全体外形の制約から半導体装置の必要外形が定まり、用途に応じて前述の半導体装置の内部構造における絶縁基板103の枚数、これら間の接続が付随して定まる関係となる。
近年の電力変換装置の需要の高まりと、半導体チップ102の特性改善の向上により、需要に応じて定格別に形式を充実させる場合、半導体チップ102、絶縁基板103、樹脂ケース104、蓋体107および端子108を必要容量に応じて用意する必要がある。
このような背景により、絶縁基板103の外形とヒートシンク101上で絶縁基板103を相互接続する構成種別が増大している。このため、製造に必要な治工具種別が増加する一方で、必要需要の変化が早くなってきており、個別の生産設備、治工具類の使用期間は短くなる傾向がある。
これらの状況は、コスト低減を図る上での阻害要件であり、加えて品質安定化の観点でも量産効率を下げる要因となっている。したがって、これらの半導体装置の安価な供給が困難な状況が生じつつある。
そこで、本発明では、従来例の問題点に着目してなされたものであり、半導体装置を構成する基本構造を共通化して、生産効率の向上を図り、安価で装置適用が容易な半導体装置を提供することを目的としている。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
目的を達成するために、本発明に係る半導体装置の一態様は、半導体チップと外部電極を有する半導体素子と、該半導体素子が固定されている放熱フィンと、該放熱フィンが固定され、冷却媒体が通流される冷却媒体通路を有する外部冷却体と、を備え、前記半導体素子は突出した放熱部を有し、該放熱部が前記放熱フィンに挿入されて固定され、該放熱フィンは、該放熱フィンの外周面に形成した雄ねじ部と前記外部冷却体に形成し・・・ 続きを
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【発明の効果】
本発明によれば、半導体装置の基本構成を共通化することができ、必要定格に応じた一体化を行うとともに、放熱フィンをも一体化することで様々なニーズに則した構成を実現することができる。したがって、生産効率の向上を図り、安価で装置適用が容易で、さらに冷却性能を向上させることができる半導体装置を提供することができる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】 本発明に係る半導体装置の一実施形態を示す断面図である。
【図2】 図1の半導体素子を示す拡大断面図である。
【図3】 従来例を示す断面図である。
1…半導体装置、2…半導体素子、3…放熱フィン、4…外部冷却体、4a…冷却媒体通路、4b,4c…貫通孔、4d…雌ねじ部、11…ベース基板、12…絶縁基板、13…配線パターン部、14…放熱部、14a…雄ねじ部、15…半導体チップ、16…配線基板、17〜19…接続端子、20…封止樹脂、21…表面保護膜、30a…円柱体、30b…フィン部、30c…雌ねじ部、30d…雄ねじ部、40…外部接続端子、50…外部筐体
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