特許 6208045 静電容量式位置検出装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6208045

(24)【登録日】2017年9月15日

(45)【発行日】2017年10月4日

(54)【発明の名称】静電容量式位置検出装置

(51)【国際特許分類】

   G06F 3/041 20060101AFI20170925BHJP

   G06F 3/044 20060101ALI20170925BHJP

【ＦＩ】

   G06F3/041 422

   G06F3/044 124

【請求項の数】10

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2014-37935(P2014-37935)

(22)【出願日】2014年2月28日

(65)【公開番号】特開2015-162151(P2015-162151A)

(43)【公開日】2015年9月7日

【審査請求日】2016年10月20日

(73)【特許権者】

【識別番号】000010098

【氏名又は名称】アルプス電気株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100108006

【弁理士】

【氏名又は名称】松下 昌弘

(74)【代理人】

【識別番号】100085453

【弁理士】

【氏名又は名称】野▲崎▼ 照夫

(72)【発明者】

【氏名】島田 尚也

(72)【発明者】

【氏名】重高 寛

【審査官】 星野 裕

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１０−１６５３３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１０／０１８２２５８（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２０１１／０２６１００３（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０６Ｆ ３／０４１

Ｇ０６Ｆ ３／０４４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１方向において平行に並び、前記第１方向と直交する第２方向に延びて基板に形成された複数の第１電極と、
前記基板上の前記第２方向において平行に並び、前記第１方向に延びて基板に形成された複数の第２電極と、
前記基板に形成されたグランド電極とを有し、
前記第１電極及び前記第２電極のうち一方の電極を電気的に駆動し、他方の電極の電気出力を検出し、当該検出結果に基づいて前記基板上に物体が近接した位置を検出する静電容量式位置検出装置であって、
前記グランド電極は、前記基板の平面視において前記複数の第２電極の各々の前記第１方向に平行な第１仮想中心線と、前記複数の第１電極の各々の前記第２方向に平行な第２仮想中心線との各交点に、当該交点が内側に位置するグランド領域を有し、
前記第１電極は、前記基板の平面視において、前記グランド領域の外側に形成され、
前記第２電極は、前記基板の平面視において、前記交点に対して前記第１電極の外側に形成さている
ことを特徴とする位置検出装置。

【請求項2】

前記第１電極は、前記グランド領域を前記第１方向から挟み込むように前記第２方向に延びて形成された第１電極線と第２電極線とを有する請求項１に記載の静電容量式位置検出装置。

【請求項3】

前記グランド電極は、前記第２方向で隣接する２つの前記グランド領域を接続し、前記第２方向に延びるグランド線を有する
請求項２に記載の静電容量式位置検出装置。

【請求項4】

前記第２電極の各々は、
前記第２方向に延びる第３電極線と、当該第３電極線の両端にそれぞれ位置し前記第１方向に延びる第４電極線及び第５電極線とで各々構成され、前記第１方向に順に形成された複数の電極パターンを有し、
前記第１方向で隣接し合う２つの前記グランド領域の間に位置する前記第１電極線と前記第２電極線との間に前記第３電極線が形成され、且つ前記交点に対して前記第１電極線及び前記第２電極線の外側に前記第４電極線と前記第５電極線とが形成されている 請求項３に記載の静電容量式位置検出装置。

【請求項5】

前記第１電極、前記第２電極及び前記グランド領域は、前記基板の第１面に形成され、
前記基板の前記第１面と反対の第２面に、前記第１方向で隣接する前記第２電極の前記第５電極線の間を電気的に接続する第６電極線が形成されている請求項４に記載の静電容量式位置検出装置。

【請求項6】

前記グランド領域の面積は、前記第１電極または前記第２電極の当該グランド領域を囲む部分の面積より大きい請求項１〜５のいずれかに記載の静電容量式位置検出装置。

【請求項7】

前記第１電極は、前記他方の電極であり、
前記第２電極は、前記一方の電極である請求項１〜５のいずれかに記載の静電容量式位置検出装置。

【請求項8】

前記基板の前記第１の面と直交する方向において前記第６電極線と前記グランド領域とが重なり合わないよう形成されている請求項５に記載の静電容量式位置検出装置。

【請求項9】

前記グランド領域は、前記第２仮想中心線上に位置する複数の前記交点が内側に位置するように前記基板に形成され、
前記第１電極は、前記グランド領域を内側に囲むように形成されている請求項１に記載の静電容量式位置検出装置。

【請求項10】

前記第１電極は、前記グランド領域を前記１方向から挟み込むように前記第２方向に延びて形成された第７電極線及び第８電極線と、前記第７電極線及び前記第８電極線から前記第２電極に向けて延びる複数の第９電極線とを有し、
前記第２の電極の各々は、前記第２方向に延びる第１０電極線と、当該第１０電極線から前記第１方向に延びる複数の第１１電極線とで各々構成され、前記第１方向に順に形成された複数の電極パターンを有し、
前記第２方向で隣接する２つの前記第１１電極線の間に、前記第９電極線の少なくとも一部が位置するように形成されている請求項８に記載の静電容量式位置検出装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、操作者の指先等の指示体が触れられる接触面を有し、その接触面への指示体の接触位置を検出する静電容量式位置検出装置に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、ノート型パーソナルコンピュータ（ノートＰＣ）や携帯電話等の携帯端末の普及に伴い、操作デバイスとして、操作者の指先等が触れられる接触面を有し、その接触面への指先等の接触位置を検出する位置入力装置が使われることが多くなってきた。この位置入力装置は、パーソナルコンピュータの入力用のタッチパッド等に良く用いられており、また、透明基板と透明電極を用いることにより、携帯機器や各種端末等のタッチパネルにも応用されている。

【0003】

このような位置入力装置には、接触面への指先の接触位置を静電容量の変化で検出する静電容量式のものがある。当該位置入力装置を、カーソルを移動させるデバイスとして利用した場合に、ユーザが接触面を軽くなぞるだけでカーソルを移動させることができるので使いやすく、多くのユーザから好まれている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１３−２２２３８４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、近年、ノートＰＣ等に搭載される静電容量式位置検出装置は、大型化が求められるとともに、低価格化が求められる。そのような要求を満足させるためには電極のピッチを大きくして電極数を増やさないようにすればよいが、電極ピッチが大きくなると位置検出精度が悪化するという問題があった。
ところで、駆動電極・検出電極・グランド電極を備えた静電容量式位置検出装置は、駆動電極と検出電極の間の静電容量が指を近接させることにより減少し、その減少分を電極毎に検出して位置検出を行なう。

【0006】

しかしながら、このような静電容量式位置検出装置は、駆動電極と検出電極の交点が最も感度の高い部分となり、電極ピッチを大きくしたときに、位置による感度バラツキが大きく、位置検出精度が悪化するという問題があった。
また、指等の指示体は、駆動電極と検出電極との間の静電容量を減少させる接地導体としての作用が大きいが、駆動電極と検出電極との間の静電容量を増大させる浮遊導体としての作用もある。この浮遊導体としての作用は検出誤差（反転検知誤差）の原因となり、検出精度を高める障害となっている。

【0007】

本発明は、上述した課題を解決するもので、電極ピッチを大きくした場合でも、位置感度のバラツキや、反転検知誤差を抑制し、高い位置検出精度を得ることができる静電容量式位置検出装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上述した従来技術の問題点を解決し、上述した目的を達成するために、本発明の静電容量式位置検出装置は、第１方向において平行に並び、前記第１方向と直交する第２方向に延びて基板に形成された複数の第１電極と、前記基板上の前記第２方向において平行に並び、前記第１方向に延びて基板に形成された複数の第２電極と、前記基板に形成されたグランド電極とを有し、前記第１電極及び前記第２電極のうち一方の電極を電気的に駆動し、他方の電極の電気出力を検出し、当該検出結果に基づいて前記基板上に物体が近接した位置を検出する静電容量式位置検出装置であって、前記グランド電極は、前記基板の平面視において前記複数の第２電極の各々の前記第１方向に平行な第１仮想中心線と、前記複数の第１電極の各々の前記第２方向に平行な第２仮想中心線との各交点に、当該交点が内側に位置するグランド領域を有し、前記第１電極は、前記基板の平面視において、前記グランド領域の外側に形成され、前記第２電極は、前記基板の平面視において、前記交点に対して前記第１電極の外側に形成さている。

【0009】

この構成によれば、上記交点にグランド領域を形成し、その外側に第１電極及び第２電極を形成したことで、従来のように交点の感度が極端に高くなり、感度バラツキが生じることを効果的に抑制できる。すなわち、この構成によれば、感度の高い部分が交点の周囲に分散したので、位置による感度バラツキが抑えられ、位置検出精度を高められる。

【0010】

好適には、本発明の静電容量式位置検出装置の前記第１電極は、前記グランド領域を前記第１方向から挟み込むように前記第２方向に延びて形成された第１電極線と第２電極線とを有する。
この構成によれば、第１電極を基板上に広範囲に形成することができ、感度バラツキを抑制できる。

【0011】

好適には、本発明の静電容量式位置検出装置の前記グランド電極は、前記第２方向で隣接する２つの前記グランド領域を接続し、前記第２方向に延びるグランド線を有する。
この構成によれば、上記交点のグランド領域の面積を大きくすることが可能になり、指等の指示体の接地導体としての作用を大きくし、浮遊導体としての作用が小さくでき、従来技術で説明した反転検知誤差を小さくし、検出感度を高めることができる。

【0012】

好適には、本発明の静電容量式位置検出装置の前記第２電極の各々は、前記第２方向に延びる第３電極線と、当該第３電極線の両端にそれぞれ位置し前記第１方向に延びる第４電極線及び第５電極線とで各々構成され、前記第１方向に順に形成された複数の電極パターンを有し、前記第１方向で隣接し合う２つの前記グランド領域の間に位置する前記第１電極線と前記第２電極線との間に前記第３電極線が形成され、且つ前記交点に対して前記第１電極線及び前記第２電極線の外側に前記第４電極線と前記第５電極線とが形成されている。
この構成によれば、指示体の近接によって静電容量が変化する範囲を広範囲に分散でき、感度バラツキを抑制できる。

【0013】

好適には、本発明の静電容量式位置検出装置の前記第１電極、前記第２電極及び前記グランド領域は、前記基板の第１面に形成され、前記基板の前記第１面と反対の第２面に、前記第１方向で隣接する前記第２電極の前記第５電極線の間を電気的に接続する第６電極線が形成されている。
この構成によれば、平面視において第５電極線と第６電極線との交点の感度が局所的に高くなることを防止できる。すなわち、駆動電極と検出電極を基板の同一面に形成し、両電極の間に絶縁層を形成した場合には交点は感度が高くなる。一方、この構成によれば、基板の厚みの分だけ第５電極線と第６電極線とを離すことができ、局所的に感度が高くなることを防止することができる。
また、上述したように絶縁層を形成する構成では、絶縁層の製造バラツキによって、静電容量値のバラツキが生じ、特性が一定しない。一方、本発明の構成によれば、このようなバラツキを抑制し、製造誤差を抑制できる。

【0014】

好適には、本発明の静電容量式位置検出装置の前記グランド領域の面積は、前記第１電極または前記第２電極の当該グランド領域を囲む部分の面積より大きい。
この構成によれば、指等の指示体の接地導体としての作用を大きくし、浮遊導体としての作用が小さくでき、従来技術で説明した反転検知誤差を小さくし、検出感度を高めることができる。

【0015】

好適には、本発明の静電容量式位置検出装置の前記第１電極は、前記他方の電極であり、前記第２電極は、前記一方の電極である。
この構成によれば、検出電極である前記他方の電極を、駆動電極である前記一方の内側に位置させることで、検出電極の面積を小さくし、耐ノイズ特性を容易に高めることができる。

【0016】

好適には、本発明の静電容量式位置検出装置の前記グランド領域は、前記第２仮想中心線上に位置する複数の前記交点が内側に位置するように前記基板に形成され、前記第１電極は、前記グランド領域を内側に囲むように形成されている。
この構成によれば、指示体の近接によって静電容量が変化する範囲を広範囲に分散でき、感度バラツキを抑制できる。

【0017】

好適には、本発明の静電容量式位置検出装置の前記第１電極は、前記グランド領域を前記１方向から挟み込むように前記第２方向に延びて形成された第７電極線及び第８電極線と、前記第７電極線及び前記第８電極線から前記第２電極に向けて延びる複数の第９電極線とを有し、前記第２の電極の各々は、前記第２方向に延びる第１０電極線と、当該第１０電極線から前記第１方向に延びる複数の第１１電極線とで各々構成され、前記第１方向に順に形成された複数の電極パターンを有し、前記第２方向で隣接する２つの前記第１１電極線の間に、前記第９電極線の少なくとも一部が位置するように形成されている。

【発明の効果】

【0018】

本発明によれば、電極ピッチを大きくした場合でも、位置感度のバラツキや、反転検知誤差を抑制し、高い位置検出精度を得ることができる静電容量式位置検出装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】図１は、本発明の第１実施形態に係る静電容量式位置検出装置の構成図である。

【図2】図２は、図１に示す静電容量式位置検出装置の点線Ｘで囲まれた部分付近の拡大図である。

【図3】図３は図２に示す断面線Ａ−Ａの断面図である。

【図4】図４は、本発明の第２実施形態の電極パターンを示す図である。

【図5】図５は、本発明の第３実施形態の電極パターンを示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

＜第１実施形態＞
図１は、本発明の実施形態に係る静電容量式位置検出装置１の構成図である。
本実施形態において、Ｘ方向及びＹ方向が、それぞれ本発明の第２方向及び第１方向一例であり、第１仮想中心線３１が本発明の第１仮想中心線の一例であり、第２仮想中心線３３が本発明の第２仮想中心線の一例である。
また、検出電極５、駆動電極７及びグランド電極９が、それぞれ本発明の第１電極、第２電極及びグランド電極の一例である。また、グランド領域１９が本発明のグランド領域の一例である。また、交点３５が本発明の交点の一例である。

【0021】

図１に示すように、静電容量式位置検出装置１は、絶縁基板３の表面上に、複数の検出電極５と、複数の駆動電極７と、複数のグランド電極９とが形成されている。静電容量式位置検出装置１は、パーソナルコンピュータの入力用のタッチパッド等に用いられる。
検出電極５、駆動電極７及びグランド電極９の上はコーティング層１７が形成され、コーティング層１７の表面が、操作者による指等の指示体が接触する表面１７ａとなる。
また、静電容量式位置検出装置１は、検出回路１１、駆動回路１３及び判定回路１５を有する。

【0022】

静電容量式位置検出装置１では、操作者による指等の指示体が表面１７ａへの接触した位置の静電容量が当該接触の前後で変化することを利用して接触位置の検出を行う。
すなわち、静電容量式位置検出装置１では、駆動回路１３によって複数の駆動電極７を順に駆動し、検出回路１１において複数の検出電極５の電圧を検出する。
そして、判定回路１５において、検出回路１１において電圧変化を検出した検出電極５と、当該電圧変化が生じたときに駆動回路１３によって駆動された駆動電極７とを特定することで、表面１７ａの上記接触位置を特定する。

【0023】

絶縁基板３は、ガラス織布にエポキシ樹脂を滲みこませた絶縁性の合成樹脂素材を用いている。検出電極５、駆動電極７及びグランド電極９は、銅または銅合金からなり、フォトリソグラフィーを用いてパターニングされている。

【0024】

図２は、図１に示す静電容量式位置検出装置１の点線Ｘで囲まれた部分の拡大図である。図３は図２に示す断面線Ａ−Ａの断面図である。
図１及び図２に示すように、複数の検出電極５は、Ｙ方向において平行に並び、Ｘ方向に延びて絶縁基板３の表面３ａ上に形成されている。
また、複数の駆動電極７は、Ｘ方向において平行に並び、Ｙ方向に延びて絶縁基板３の表面３ａ上に形成されている。

【0025】

なお、絶縁基板３上には、平面視において、複数の駆動電極５の各々についてＹ方向に平行な第１仮想中心線３１と、複数の検出電極７の各々についてＸ方向に平行な第２仮想中心線３３とが規定されている。
第１仮想中心線３１は、同一のＸ方向の位置でＹ方向に沿って位置する複数の交点３５を通る線である。第２仮想中心線３３は、同一のＹ方向の位置でＸ方向に沿って位置する複数の交点３５を通る線である。

【0026】

グランド電極９は、絶縁基板３の平面視において、第１仮想中心線３１と第２仮想中心線３３との各交点３５に、交点３５が内側に位置するグランド領域１９を有する。図２に示す例では、グランド領域１９は矩形であり、その重心が交点３５となる。
グランド電極９は、Ｘ方向で隣接するグランド領域１９を接続し、Ｘ方向に延びるグランド線２１を有する。

【0027】

図２に示すように、検出電極５はグランド領域１９の外側に形成されている。また、駆動電極７は、交点３５に対して検出電極５の外側に形成されている。
検出電極５は、グランド領域１９をＹ方向から挟み込むようにＸ方向に延びて形成された第１電極線４１と第２電極線４３とを有する。
第１電極線４１及び第２電極線４３は、平面視において、グランド領域１９の近傍でグランド領域１９の矩形の輪郭と略等距離を隔てて形成されている。
グランド領域１９のＹ方向の両側に位置する第１電極線４１と第２電極線４３とは、当該グランド領域１９内の交点３５を通る第２仮想中心線３３に対して線対称に形成されている。
ここで、第１電極線４１及び第２電極線４３がそれぞれ本発明の第１電極線及び第２電極線の一例である。

【0028】

駆動電極７の各々は、複数の電極パターン５７を、Ｙ方向に順に配置して構成される。
電極パターン５７の各々は、Ｘ方向に延びる第３電極線５１と、第３電極線５１の両端にそれぞれ位置しＹ方向に延びる第４電極線５３及び第５電極線５５とで構成される。
ここで、第３電極線５１は、Ｙ方向で隣接するグランド領域１９の間に位置する第１電極線４１及び第２電極線４３のＸ方向に平行な部分の間に形成されている。
また、第４電極線５３及び第５電極線５５は、第１電極線４１及び第２電極線４３のＹ方向に平行な部分と対向して形成されている。
ここで、第３電極線５１、第４電極線５３及び第５電極線５５がそれぞれ本発明の第３電極線、第４電極線及び第５電極の一例である。また、電極パターン５７が本発明の電極パターンの一例である。

【0029】

第３電極線５１、第４電極線５３及び第５電極線５５は、これらに対向して位置する第１電極線４１及び第２電極線４３の部分と略等距離を隔てて形成されている。
なお、グランド領域１９のＹ方向の両側に位置する電極パターン５７は、当該グランド領域１９内の交点３５を通る第２仮想中心線３３に対して線対称に形成されている。
さらに、グランド領域１９を外側から囲む第１電極線４１及び第２電極線４３の部分と、その外側に位置する電極パターン５７は、当該グランド領域１９の交点３５を通る第１仮想中心線３１に対して線対称に形成されている。

【0030】

絶縁基板３の裏面３ｂには、Ｙ方向で隣接する第５電極線５５の間を電気的に接続する第６電極線５９が形成されている。すなわち、絶縁基板３の第５電極線５５の両端の位置にスルーホール（図示せず）が形成されており、このスルーホールを介して第５電極線５５と第６電極線５９とが電気的に接続されている。これにより、検出電極５と駆動電極７とが電気的に接続することを回避している。

【0031】

静電容量式位置検出装置１では、グランド領域１９の面積は、検出電極５及び駆動電極７のグランド領域１９を囲む部分の各々の面積より大きい。これにより、指等の指示体の接地導体としての作用を大きくし、浮遊導体としての作用が相対的に小さくできる。その結果、従来技術で説明した反転検知誤差を小さくし、検出感度を高めることができる。
なお、ノイズの影響を小さくするには検出電極５の面積を小さくすることが望ましい。

【0032】

また、絶縁基板３の表面３ａと直交する方向において第６電極線５９とグランド領域１９とが重なり合わないよう形成されている。

【0033】

以下、図１及び図２に示す静電容量式位置検出装置１の作用を説明する。
静電容量式位置検出装置１は、操作者による指等の指示体の接触が表面１７ａ上であった場合に、当該接触位置付近の第１仮想中心線３１と第２仮想中心線３３との交点３５近傍の検出電極５と駆動電極７との間の静電容量が上記表面１７ａへの指示体の接触によって減少する。

【0034】

静電容量式位置検出装置１では、駆動回路１３によって複数の駆動電極７を順に駆動し、検出回路１１において複数の検出電極５の電圧を検出する。
上述したように、指示体が接触した表面１７ａ上の位置付近にある交点３５に対応した検出電極５の静電容量が減少するため、当該交点３５に対応した駆動電極７が駆動されたとき、上記減少に応じた電圧変化が検出電極５に生じる。
このとき、交点３５にはグランド領域１９の中心が位置するため、交点３５の検出感度が局所的に高くなることはない。
そして、判定回路１５において、検出回路１１が電圧変化を検出した検出電極５と、当該電圧変化が生じたときに駆動回路１３によって駆動された駆動電極７とを特定することで、表面の上記接触位置を特定する。

【0035】

以上説明したように、静電容量式位置検出装置１では、検出電極５のＹ方向の配置を中心を規定する第１仮想中心線３１と、駆動電極７のＸ方向の配置の中心を規定する第２仮想中心線３３との交点３５にグランド領域１９を形成し、その外側に検出電極５及び駆動電極７を形成したことで、従来のように交点の感度が極端に高くなり、感度バラツキが生じることを効果的に抑制できる。すなわち、静電容量式位置検出装置１によれば、感度の高い部分が交点３５の周囲に分散したので、位置による感度バラツキを抑え、位置検出精度を高めることができる。そのため、検出電極５、駆動電極７及びグランド電極９の上に形成されたコーティング層が薄い場合でも、感度バラツキを抑制し、高い位置検出精度を得ることができる。

【0036】

また、静電容量式位置検出装置１では、グランド領域１９と駆動電極７との間に検出電極５を形成したことから、駆動電極７から発生した電界がグランド領域１９で吸収されてしまう量を少なくできる。これにより、検出感度を向上することができる。

【0037】

また、静電容量式位置検出装置１では、グランド領域１９の面積を検出電極５及び駆動電極７のグランド領域１９を囲む部分の各々の面積より大きくした。これにより、指等の指示体の接地導体としての作用を大きくし、浮遊導体としての作用が小さくでき、従来技術で説明した反転検知誤差を小さくし、検出感度を高めることができる。

【0038】

また、静電容量式位置検出装置１によれば、検出電極５を、駆動電極７の内側（交点３５に近い側）に形成したことで、検出電極５の面積を小さくすることができ、高い耐ノイズ特性を得ることができる。

【0039】

また、静電容量式位置検出装置１では、Ｙ方向で隣接する第５電極線５５の間を電気的に接続する第６電極線５９を絶縁基板３の裏面３ｂに形成している。このようにすることで、平面視において第５電極線５５と第６電極線５９との交点の感度が局所的に高くなることを防止できる。すなわち、駆動電極と検出電極を基板の同一面に形成し、両電極の間に絶縁層を形成した場合には交点は感度が高くなる。一方、本実施形態では、絶縁基板３の厚みの分だけ第５電極線５５と第６電極線５９とを離すことができ、局所的に感度が高くなることを防止することができる。

【0040】

また、上述したように絶縁層を形成する構成では、絶縁層の製造バラツキによって、静電容量値のバラツキが生じ、特性が一定しない。本実施形態のように第６電極線５９を絶縁基板３の裏面３ｂに形成することで、このような製造誤差を抑制できる。
また、静電容量式位置検出装置１では、Ｙ方向で隣接する電極パターン５７の第５電極線５５の端部を第６電極線５９で接続することで、第６電極線５９の距離を短くできる。これにより、ノイズによる検出精度の低下を小さくできる。

【0041】

また、静電容量式位置検出装置１では、検出電極５、駆動電極７及びグランド電極９のうち、駆動電極７の第６電極線５９のみを絶縁基板３の裏面３ｂに形成し、それ以外の構成を表面３ａに形成している。そのため、検出電極５と駆動電極７を近接でき感度が高くなる。また、絶縁基板３の裏面３ｂの配線を少なくでき、表面３ａが裏面３ｂから受けるノイズを小さくできる。
また、絶縁基板３の裏面３ｂの配線の自由度を高めることができる。

【0042】

＜第２実施形態＞
図４は、本発明の第２実施形態の電極パターンを示す図である。
図４に示すように、本実施形態の静電容量式位置検出装置は、検出電極と駆動電極とのパターンが第１実施形態と逆になっている点を除いて、第１実施形態と同じである。

【0043】

図４に示すように、複数の検出電極１０５は、Ｘ方向において平行に並び、Ｙ方向に延びて絶縁基板３の表面３ａ上に形成されている。
また、複数の駆動電極１０７は、Ｙ方向において平行に並び、Ｘ方向に延びて絶縁基板３の表面３ａ上に形成されている。
グランド電極９及びグランド領域１９は第１実施形態と同じである。

【0044】

図４に示すように、駆動電極１０７はグランド領域１９の外側に位置する。また、検出電極１０５は、交点３５に対して駆動電極１０７の外側に形成されている。
駆動電極１０７は、第１実施形態の検出電極５と同じパターンを有している。また、検出電極１０５は、第１実施形態の駆動電極７と同じパターンを有している。

【0045】

第２実施形態によっても、上述した第１実施形態の効果のうち、検出電極を駆動電極の内側に形成したことによる効果以外の効果を得ることができる。

【0046】

＜第３実施形態＞
図５は、本発明の第３実施形態の電極パターンを示す図である。
本実施形態においても、図１に示す全体構成は同じである。
図５に示すように、本実施形態の複数の検出電極２０５は、Ｙ方向において平行に並び、Ｘ方向に延びて絶縁基板３の表面３ａ上に形成されている。
また、複数の駆動電極２０７は、Ｘ方向において平行に並び、Ｙ方向に延びて絶縁基板３の表面３ａ上に形成されている。

【0047】

なお、絶縁基板３上には、平面視において、複数の駆動電極２０７の各々についてＹ方向に平行な第１仮想中心線２３１と、複数の検出電極２０５の各々についてＸ方向に平行な第２仮想中心線２３３とが規定されている。
第１仮想中心線２３１は、同一のＸ方向の位置でＹ方向に沿って位置する複数の交点２３５を通る線である。第２仮想中心線２３３は、同一のＹ方向の位置でＸ方向に沿って位置する複数の交点２３５を通る線である。

【0048】

本実施形態では、グランド電極２０９は一つのグランド領域２１９で形成されている。グランド領域２１９は、第２仮想中心線２３３上に位置する複数の交点２３５が内側に位置するように形成されている。図５に示す例では、グランド領域２１９は矩形である。

【0049】

図５に示すように、検出電極２０５はグランド領域２１９の外側に位置する。また、駆動電極２０７は、グランド領域２１９に対して検出電極２０５の外側に形成されている。
検出電極２０５は、グランド領域２１９を囲い込むように形成され、Ｘ方向に延びて形成された第７電極線２４１と第８電極線２４３とを有する。
第７電極線２４１及び第８電極線２４３は、平面視において、グランド領域２１９の近傍でグランド領域２１９の矩形の輪郭と略等距離を隔てて形成されている。
また、第７電極線２４１と第８電極線２４３からグランド領域２１９の外側に向けて複数の第９電極線２４５が形成されている。

【0050】

駆動電極２０７の各々は、複数の電極パターン２５７を、Ｙ方向に順に配置して構成される。
電極パターン２５７の各々は、Ｘ方向に延びる第１０電極線２５１と、第１０電極線２５１からＹ方向に延びる複数の第１１電極２５３，２５５，２５７とで構成される。
第１１電極２５３，２５５，２５７の間には、検出電極２０５の第９電極線２４５の少なくとも一部が位置している。

【0051】

絶縁基板３の裏面３ｂには、Ｙ方向で隣接する第１１電極線２５５の間を電気的に接続する電極線２５９が形成されている。すなわち、絶縁基板３の第１１電極線２５５の両端の位置にスルーホール（図示せず）が形成されており、このスルーホールを介して第１１電極線２５５と電極線２５９とが電気的に接続されている。これにより、検出電極５と駆動電極７とが電気的に接続することを回避している。

【0052】

本実施形態よっても第１実施形態と同様の効果が得られる。

【0053】

本発明は上述した実施形態には限定されない。
すなわち、当業者は、本発明の技術的範囲またはその均等の範囲内において、上述した実施形態の構成要素に関し、様々な変更、コンビネーション、サブコンビネーション、並びに代替を行ってもよい。
上述した第１実施形態では、Ｙ方向で隣接する第５電極線５５の間を電気的に接続する第６電極線５９を絶縁基板３の裏面３ｂに形成した場合を例示したが、第６電極線５９を絶縁基板３の表面３ａに形成してもよい。すなわち２層で形成してもよい。この場合には、第１電極線４１及び第２電極線４３と、第６電極線５９との間に絶縁層を形成する。

【0054】

また、本発明は、検出電極５，１０５，２０５、駆動電極７，１０７，２０７及びグランド電極９，１０９，２０９を３層以上で形成する場合にも適用可能である。

【0055】

また、上述した検出電極５，１０５，２０５、駆動電極７，１０７，２０７及びグランド電極９，１０９，２０９の形状及び配置は一例であり、これらは請求項の発明で特定される範囲内であれば特に限定されない。
また、上述した実施形態では、本発明をパーソナルコンピュータの入力用のタッチパッド等に適用した場合を例示したが、本発明を、その他の機器や、タッチパネル等に適用してもよい。

【符号の説明】

【0056】

１…静電容量式位置検出装置、３…絶縁基板、５，１０５，２０５…検出電極、７，１０７，２０７…駆動電極、９，２０９…グランド電極、１１…検出回路、１３…駆動回路、１５…判定回路、１９，２１９…グランド領域、２１…グランド線、３１，２３１…第１仮想中心線、３３，２３３…第２仮想中心線、３５，２３５…交点、４１，２４１…第１電極線、４３，２４３…第２電極線、５１…第３電極線、５３…第４電極線、５５…第５電極線、５７，１５７…電極パターン、５９…第６電極線、２４１…第７電極線，２４３…第８電極線，２４５…第９電極線，２５１…第１０電極線，２５３，２５５，２５７…第１１電極線

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】