特許 6208500 塗布装置および塗布方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6208500

(24)【登録日】2017年9月15日

(45)【発行日】2017年10月4日

(54)【発明の名称】塗布装置および塗布方法

(51)【国際特許分類】

   H05B 33/10 20060101AFI20170925BHJP

   B05C 5/00 20060101ALI20170925BHJP

   B05C 11/10 20060101ALI20170925BHJP

   H01L 51/50 20060101ALI20170925BHJP

   B05D 1/32 20060101ALI20170925BHJP

   B05D 1/26 20060101ALI20170925BHJP

【ＦＩ】

   H05B33/10

   B05C5/00 101

   B05C11/10

   H05B33/14 A

   B05D1/32 Z

   B05D1/26 Z

【請求項の数】17

【全頁数】18

(21)【出願番号】特願2013-185344(P2013-185344)

(22)【出願日】2013年9月6日

(65)【公開番号】特開2015-53185(P2015-53185A)

(43)【公開日】2015年3月19日

【審査請求日】2016年6月8日

(73)【特許権者】

【識別番号】000207551

【氏名又は名称】株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス

(74)【代理人】

【識別番号】100088672

【弁理士】

【氏名又は名称】吉竹 英俊

(74)【代理人】

【識別番号】100088845

【弁理士】

【氏名又は名称】有田 貴弘

(72)【発明者】

【氏名】高村 幸宏

(72)【発明者】

【氏名】相良 秀一

【審査官】 岩井 好子

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１１−０４８９１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−１５３２２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−２３７９６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−０５００８０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−２１１３８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第０７／０３４６４７（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２００８−２７７２１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−２７２２０８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００６／０１６５９００（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２００９−０６４７２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０５−０５４５８５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０５Ｂ ３３／１０

Ｂ０５Ｃ ５／００

Ｂ０５Ｃ １１／１０

Ｂ０５Ｄ １／２６

Ｂ０５Ｄ １／３２

Ｈ０１Ｌ ５１／５０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板に流動性材料が塗布されない非塗布領域を形成する塗布装置であって、
基板を保持する保持部と、
前記保持部に保持された前記基板の主面に向けて流動性材料を吐出する吐出部と、
前記吐出部を、前記保持部に保持された基板に対して相対的に移動させる移動機構と、
前記保持部に保持された前記基板の主面のうち、前記非塗布領域に対応する部分に対向するようにマスク部を配するとともに、該マスク部を前記基板の移動に合わせて移動させるマスク機構と、
を備え、
前記移動機構は、
前記吐出部を前記保持部に保持された前記基板の主面に平行な主走査方向に移動させる吐出部移動機構と、
前記基板を保持した前記保持部を前記主走査方向に交差する副走査方向に移動させる保持部移動機構と、
を有し、
前記マスク機構は、
帯状のマスキングテープと、
前記マスキングテープを巻出す巻出部と、
前記巻出部が巻き出された前記マスキングテープを巻き取る巻取部と、
前記巻出部から巻出された前記マスキングテープを前記基板に押し当てる押当部と、
を備え、
前記保持部移動機構による前記基板の前記副走査方向への移動に合わせて、前記巻出部が前記マスキングテープを前記副走査方向に巻出す、塗布装置。

【請求項2】

請求項１に記載の塗布装置において、
前記マスキングテープの移動方向および移動量が、前記基板の移動方向および移動量に一致するように、前記巻出部が前記マスキングテープを巻き出す、塗布装置。

【請求項3】

請求項１または２に記載の塗布装置において、
前記押当部は、前記マスキングテープの幅方向端部を前記基板から浮かせつつ、前記マスキングテープを前記基板に押し当てる、塗布装置。

【請求項4】

請求項３に記載の塗布装置において、
前記押当部は、前記マスキングテープの幅方向両端部のうち少なくとも一方の端部に対応する部分において、径が小さくなるローラを有する、塗布装置。

【請求項5】

請求項１から４までのいずれか１項に記載の塗布装置において、
前記マスク機構は、
前記基板の端部から外側にはみ出るように前記マスク部を配する、塗布装置。

【請求項6】

請求項１から５までのいずれか１項に記載の塗布装置において、
前記マスク機構は、前記マスク部を複数有する、塗布装置。

【請求項7】

請求項６に記載の塗布装置において、
前記マスク機構は、
複数の前記マスク部の間隔を調整する調整機構をさらに備えている、塗布装置。

【請求項8】

請求項１から７までのいずれか１項に記載の塗布装置において、
前記マスク部を洗浄する洗浄機構、をさらに備えている、塗布装置。

【請求項9】

請求項１から８までのいずれか１項に記載の塗布装置において、
前記流動性材料が、有機ＥＬ液または正孔輸送液である、塗布装置。

【請求項10】

基板に流動性材料が塗布されない非塗布領域を形成する塗布方法であって、
（ａ） 基板を保持する工程と、
（ｂ） 前記（ａ）工程で保持された前記基板の主面のうち、前記非塗布領域に対応する部分に対向するようにマスク部を配する工程と、
（ｃ） 前記（ｂ）工程で前記マスク部が配された前記基板に向けて、吐出部を前記基板に対して相対的に移動させつつ、流動性材料を吐出する工程と、
（ｄ） 前記（ｃ）工程において、前記（ｂ）工程で前記基板の主面上に配された前記マスク部を移動させる工程と、
を有し、
前記（ｃ）工程は、
（ｃ−１）前記吐出部を前記基板の主面に平行な主走査方向に移動させる工程と、前記基板を前記主走査方向に交差する副走査方向に移動させる工程とを含み、
前記（ｂ）工程は、帯状のマスキングテープを前記非塗布領域に対応する部分に対向するように配する工程であり、
前記（ｄ）工程は、
（ｄ−１）前記マスキングテープを、前記（ｃ−１）工程における前記基板の副走査方向への移動に合わせて巻出部から巻き出す工程と、
（ｄ−２）前記（ｄ−１）工程にて前記巻出部から巻き出された前記マスキングテープを巻き取る工程と、
を含む、塗布方法。

【請求項11】

請求項１０に記載の塗布方法において、
前記（ｄ−１）工程は、
前記マスキングテープの移動方向および移動量が、前記基板の移動方向および移動量に一致するように、前記巻出部が前記マスキングテープを巻き出す工程である、塗布方法。

【請求項12】

請求項１０または１１に記載の塗布方法において、
前記（ｂ）工程は、前記マスキングテープの幅方向両端部のうち少なくとも一方の端部を前記基板から浮かせるようにして、前記マスキングテープを前記基板に押し当てる工程である、塗布方法。

【請求項13】

請求項１０から１２までのいずれか１項に記載の塗布方法において、
前記（ｂ）工程は、
前記基板の端部から外側にはみ出るように前記マスク部を配する工程である、塗布方法。

【請求項14】

請求項１０から１３までのいずれか１項に記載の塗布方法において、
前記（ｂ）工程は、
複数の前記マスク部を前記基板上に配する工程である、塗布方法。

【請求項15】

請求項１４に記載の塗布方法において、
前記（ｂ）工程は、
（ｂ−１）複数の前記マスク部の間隔を調整する工程、
を含む、塗布方法。

【請求項16】

請求項１０から１５までのいずれか１項に記載の塗布方法において、
（ｅ）前記マスク部を洗浄する工程、をさらに有する、塗布方法。

【請求項17】

請求項１０から１６までのいずれか１項に記載の塗布方法において、
前記流動性材料が、有機ＥＬ液または正孔輸送液である、塗布方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、基板に処理液を塗布する技術に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、有機ＥＬ（Electro Luminescence）材料を利用した有機ＥＬ表示装置の開発が行われている。例えば、高分子有機ＥＬ材料を用いたアクティブマトリックス駆動方式の有機ＥＬ表示装置の製造では、ガラス基板（以下、単に「基板」という。）に対して、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）回路の形成、陽極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）電極の形成、隔壁の形成、正孔輸送材料を含む流動性材料（以下、「正孔輸送液」という。）の塗布、加熱処理による正孔輸送層の形成、有機ＥＬ材料を含む流動性材料（以下、「有機ＥＬ液」という。）の塗布、加熱処理による有機ＥＬ層の形成、陰極の形成、および、絶縁膜の形成による封止が順次行われる。

【0003】

有機ＥＬ表示装置の製造において、正孔輸送液または有機ＥＬ液を基板に塗布する装置として、特許文献１に示されるものが知られている。この種の塗布装置では、流動性材料を連続的に吐出する複数のノズルを、基板に対して主走査方向および副走査方向に相対移動することによって、基板上に流動性材料をストライプ状に塗布する。

【0004】

ところで、有機ＥＬ表示装置用の基板の表面には、正孔輸送液や有機ＥＬ液等の流動性材料が塗布されるべき塗布領域（すなわち、発光領域）の周囲に、ドライバ回路が組み込まれた領域や絶縁膜による封止のために必要な領域が設けられている。有機ＥＬ表示装置の製造では、正孔輸送層や有機ＥＬ層の形成工程においてこれらの塗布領域の周囲の領域（以下、「非塗布領域」という。）に流動性材料が付着する可能性があり、流動性材料が付着した状態で後工程が行われると電極の特性劣化や封止不良等が発生する可能性がある。したがって、基板上の非塗布領域に、流動性材料が付着することを防止する技術が、これまでにもいくつか提案されている。

【0005】

例えば、特許文献２には、基板の非塗布領域に対応する部分にマスキングテープが貼付ける技術が開示されている。マスキングテープが貼付された基板に流動性材料が塗布された後、マスキングテープが剥がされることによって、基板に非塗布領域が形成される。

【0006】

また、特許文献３には、基板全面に流動性材料を塗布した後、プラズマ処理によって、非塗布領域に対応する部分から流動性材料を直接除去する技術が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特開２００４−１１１０７３号公報

【特許文献2】特開２００８−２７７２１２号公報

【特許文献3】特開２０１１−２１０５３１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

しかしながら、特許文献２に記載の技術の場合、基板にマスキングテープを貼り付ける工程、および、基板からマスキングテープを剥がす工程を、塗布装置外で行うことを要し、非効率であった。また、マスキングテープを剥がしたときに、基板にマスキングテープの粘着剤が付着し、残渣となる虞があった。また、特許文献３に記載の技術の場合、プラズマ処理が、下地となる基板に悪影響を及ぼす可能性があった。このため、従来技術には改善の余地があった。

【0009】

本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、基板に対して非塗布領域を効率的かつ有効に形成する技術を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

上記の課題を解決するため、第１の態様は、基板に流動性材料が塗布されていない非塗布領域を形成する塗布装置であって、基板を保持する保持部と、前記保持部に保持された前記基板の主面に向けて流動性材料を吐出する吐出部と、前記吐出部を、前記保持部に保持された基板に対して相対的に移動させる移動機構と、前記保持部に保持された前記基板の主面のうち、前記非塗布領域に対応する部分に対向するようにマスク部を配するとともに、該マスク部を前記基板の移動に合わせて移動させるマスク機構とを備え、前記移動機構は、前記吐出部を前記保持部に保持された前記基板の主面に平行な主走査方向に移動させる吐出部移動機構と、前記基板を保持した前記保持部を前記主走査方向に交差する副走査方向に移動させる保持部移動機構とを有し、前記マスク機構は、帯状のマスキングテープと、前記マスキングテープを巻出す巻出部と、前記巻出部が巻き出された前記マスキングテープを巻き取る巻取部と、前記巻出部から巻出された前記マスキングテープを前記基板に押し当てる押当部と、を備え、前記保持部移動機構による前記基板の前記副走査方向への移動に合わせて、前記巻出部が前記マスキングテープを前記副走査方向に巻出す。

【0013】

また、第２の態様は、第１の態様に係る塗布装置において、前記マスキングテープの移動方向および移動量が、前記基板の移動方向および移動量に一致するように、前記巻出部が前記マスキングテープを巻き出す。

【0014】

また、第３の態様は、第１または第２の態様に係る塗布装置において、前記押当部は、前記マスキングテープの幅方向端部を前記基板から浮かせつつ、前記マスキングテープを前記基板に押し当てる。

【0015】

また、第４の態様は、第３の態様に係る塗布装置において、前記押当部は、前記マスキングテープの幅方向両端部のうち少なくとも一方の端部に対応する部分において、径が小さくなるローラを有する。

【0016】

また、第５の態様は、第１から第４までのいずれか１態様に係る塗布装置において、前記マスク機構は、前記基板の端部から外側にはみ出るように前記マスク部を配する。

【0017】

また、第６の態様は、第１から第５までのいずれか１態様に係る塗布装置において、前記マスク機構は、前記マスク部を複数有する。

【0018】

また、第７の態様は、第６の態様に係る塗布装置において、前記マスク機構は、複数の前記マスク部の間隔を調整する調整機構をさらに備えている。

【0019】

また、第８の態様は、第１から第７までのいずれか１態様に係る塗布装置において、前記マスク部を洗浄する洗浄機構、をさらに備えている。

【0020】

また、第９の態様は、第１から８までのいずれか１態様に係る塗布装置において、前記流動性材料が、有機ＥＬ液または正孔輸送液である。

【0021】

また、第１０の態様は、基板に流動性材料が塗布されない非塗布領域を形成する塗布方法であって、（ａ）基板を保持する工程と、（ｂ）前記（ａ）工程で保持された前記基板の主面のうち、前記非塗布領域に対応する部分に対向するようにマスク部を配する工程と、（ｃ）前記（ｂ）工程で前記マスク部が配された前記基板に向けて、吐出部を前記基板に対して相対的に移動させつつ、流動性材料を吐出する工程と、（ｄ）前記（ｃ）工程において、前記（ｂ）工程で前記基板の主面上に配された前記マスク部を移動させる工程とを有し、前記（ｃ）工程は、（ｃ−１）前記吐出部を前記基板の主面に平行な主走査方向に移動させる工程と、前記基板を前記主走査方向に交差する副走査方向に移動させる工程とを含み、前記（ｂ）工程は、帯状のマスキングテープを前記非塗布領域に対応する部分に対向するように配する工程であり、前記（ｄ）工程は、（ｄ−１）前記マスキングテープを、前記（ｃ−１）工程における前記基板の副走査方向への移動に合わせて巻出部から巻き出す工程と、（ｄ−２）前記（ｄ−１）工程にて前記巻出部から巻き出された前記マスキングテープを巻き取る工程と、を含む。

【0024】

また、第１１の態様は、第１０の態様に係る塗布方法において、前記（ｄ−１）工程は、前記マスキングテープの移動方向および移動量が、前記基板の移動方向および移動量に一致するように、前記巻出部が前記マスキングテープを巻き出す工程である。

【0025】

また、第１２の態様は、第１０または１１の態様に係る塗布方法において、前記（ｂ）工程は、前記マスキングテープの幅方向両端部のうち少なくとも一方の端部を前記基板から浮かせるようにして、前記マスキングテープを前記基板に押し当てる工程である。

【0026】

また、第１３の態様は、第１０から１２までのいずれか１態様に係る塗布方法において、前記（ｂ）工程は、前記基板の端部から外側にはみ出るように前記マスク部を配する工程である。

【0027】

また、第１４の態様は、第１０から１３までのいずれか１態様に係る塗布方法において、前記（ｂ）工程は、複数の前記マスク部を前記基板上に配する工程である。

【0028】

また、第１５の態様は、第１４の態様に係る塗布方法において、前記（ｂ）工程は、（ｂ−１）複数の前記マスク部の間隔を調整する工程を含む。

【0029】

また、第１６の態様は、第１０から１５までのいずれか１態様に係る塗布方法において、（ｅ）前記マスク部を洗浄する工程、をさらに有する。

【0030】

また、第１７の態様は、第１０から１６までのいずれか１態様に係る塗布方法において、前記流動性材料が、有機ＥＬ液または正孔輸送液である。

【発明の効果】

【0031】

第１の態様に係る塗布装置によると、保持部に保持された基板の非塗布領域にマスク部を配し、その基板上で流動性材料を吐出する吐出部を移動させることによって、基板に非塗布領域を効率的に形成することができる。また、マスク部を非塗布領域に対応する部分を覆うため、従来のように基板への接着剤の付着、あるいは、流動性材料剥離のためのプラズマ処理が不要となる。これによって、基板に非塗布領域を有効に形成することができる。

【0032】

また、第１の態様に係る塗布装置によると、基板に対して吐出部を主走査方向および副走査方向に相対的に移動させることによって、基板に流動性材料を効率良く塗布することができる。

【0033】

また、第１の態様に係る塗布装置によると、巻出部及び巻取部によって、マスキングテープの巻き出しおよび巻き取りを行うことによって、マスキングテープの同じ箇所に対して何度も流動性材料が塗布されることを抑制できる。これによって、マスク部表面から基板に流動性材料が流出することを抑制することができる。また、押当部によって、マスキングテープが基板から浮くことを抑制できるため、非塗布領域に対応する部分を有効に覆うことができる。

【0034】

また、第２の態様にかかる塗布装置によると、基板の移動方向および移動量に一致するように、マスキングテープを移動させるため、基板がマスキングテープに擦れることでゴミなどが発生することを低減することができる。

【0035】

また、第３の態様に係る塗布装置によると、マスキングテープの端部を基板から浮かせるように押し当てるため、マスキングテープの端部において、毛細管現象によって流動性材料が基板とマスキングテープとの間に侵入することを低減できる。

【0036】

また、第４の態様に係る塗布装置によると、ローラによって、マスキングテープを基板に押し当てた際に、マスキングテープの端部を基板から浮かせることができる。

【0037】

また、第５の態様に係る塗布装置によると、基板の端部をマスク部で確実に覆うことができるため、基板の端部および側面に流動性材料が塗布されることを抑制できる。

【0038】

また、第６の態様に係る塗布装置によると、基板上の複数の箇所に、非塗布領域を形成することができる。

【0039】

また、第７の態様に係る塗布装置によると、マスク部の間隔を調整することができるため、非塗布領域間の間隔を適宜調整することができる。

【0040】

また、第８の態様に係る塗布装置によると、マスク部を洗浄することで流動性材料を除去することができる。

【0041】

また、第９の態様に係る塗布装置によると、有機ＥＬ液または正孔輸送液を基板に塗布することができる。

【図面の簡単な説明】

【0042】

【図1】実施形態に係る塗布装置の概略平面図である。

【図2】図１に示される塗布装置の概略正面図である。

【図3】基板上に配置されたマスク機構の概略斜視図である。

【図4】基板にマスキングテープを押し当てているマスク機構の概略側面図である。

【図5】押当ローラの概略正面図である。

【図6】押当ローラによって基板に押し当てられているマスキングテープの断面を示す概略図である。

【図7】洗浄機構７を示す概略斜視図である。

【図8】マスキングテープが洗浄液供給部７１によって洗浄されている様子を示す概略図である。

【図9】基板上における複数のマスキングテープの位置関係を示す概略平面図である。

【図10】塗布装置の動作フローを示す図である。

【図11】変形例に係るマスキングテープを示す概略平面図である。

【図12】変形例に係るマスキングテープを示す概略平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0043】

以下、本発明の実施形態に係る塗布装置１について、図面を参照しつつ説明する。なお、図面においては、理解容易のため、各部の寸法や数が必要に応じて誇張または簡略化して図示されている場合がある。また、図１および以降の各図においては、説明の便宜のため、Ｘ方向およびこれに直交するＹ方向を水平方向とし、鉛直方向をＺ方向とするＸＹＺ直交座標系が示されている。ただし、これらの各方向は、各要素の配置関係を限定する趣旨のものではない。

【0044】

＜１． 実施形態＞
＜１．１． 構成および機能＞
図１は、実施形態に係る塗布装置１の概略平面図である。また、図２は、図１に示される塗布装置１の概略正面図である。

【0045】

塗布装置１は、有機ＥＬ液、正孔輸送材料または正孔注入材料などの流動性材料を塗布液として用いる有機ＥＬ表示装置を製造するための装置として構成されている。なお、塗布装置１では、有機ＥＬ液、正孔輸送材料、正孔注入材料などの複数の塗布液を用いることが可能であるが、以下の説明では、それらの代表として有機ＥＬ液３を塗布液とした場合について説明を行う。

【0046】

塗布装置１は、基板保持装置２、有機ＥＬ塗布機構５、マスク機構６、洗浄機構７（図７参照）および制御部１０を備えている。

【0047】

図１（ｂ）に示すように、基板保持装置２は、ステージ２１、旋回部２２、平行移動テーブル２３、ガイド受け部２４、およびガイド部材２５を有している。

【0048】

ステージ２１は、被塗布体となるガラス基板等の基板Ｐをその上面に保持する水平な厚板状の剛性材である。ステージ２１の下部は、旋回部２２によって支持されており、旋回部２２の回動動作によって図示θ方向にステージ２１が水平面内で旋回可能に構成されている。

【0049】

また、ステージ２１の内部には、図示を省略するが、有機ＥＬ液３が塗布された基板Ｐをステージ２１面上で予備加熱処理するための加熱機構、基板Ｐを下方から吸着して保持する吸着機構、および、基板Ｐを搬送機構との間で受け渡しする際に利用される受け渡しピン機構などが設けられている。ステージ２１によって基板Ｐが保持される。

【0050】

ステージ２１は、保持部の一例である。

【0051】

ガイド部材２５は、有機ＥＬ塗布機構５の下方を通るように、Ｙ軸方向に延びるように配され、床面に水平に固定されている。平行移動テーブル２３の下面には、ガイド部材２５と当接してガイド部材２５上を滑動するガイド受け部２４が固定されている。

【0052】

また、平行移動テーブル２３の上面には、旋回部２２が固定されている。平行移動テーブル２３が、例えばリニアモータ（図示せず）からの駆動力を受けて、ガイド部材２５に沿ったＹ軸方向に移動可能になり、旋回部２２に支持されたステージ２１の水平直進移動も可能になる。平行移動テーブル２３、ガイド受け部２４、ガイド部材２５、および、例えばリニアモータ（図示せず）からなる駆動機構によって、ステージ移動機構２６が構成されている。

【0053】

有機ＥＬ塗布機構５は、ノズルユニット５０とノズル移動機構５１とを有している。

【0054】

ノズルユニット５０は、赤、緑、および青色の何れか１色の有機ＥＬ液３を吐出する複数の塗布ノズル５２（図１では、３本の塗布ノズル５２ａ、５２ｂ、および５２ｃ）を並設した状態で保持する。ノズルユニット５０は、ステージ２１に保持された基板Ｐの主面に有機ＥＬ液３を吐出する吐出部の一例である。なお、「基板の主面」とは、基板Ｐが矩形状である場合において、基板Ｐの長手方向および幅方向のそれぞれと平行な面をいう。無論、基板Ｐの形状は、矩形に限定されるものではなく、様々な形状のものが想定されるが、一般的には、基板Ｐは、平坦な面を主面として有する板状部材が想定される。

【0055】

各塗布ノズル５２ａ〜５２ｃへは、それぞれ図示しない供給部から赤、緑、および青色の何れか１色の有機ＥＬ液３が供給される。なお、複数の塗布ノズル５２から同色の有機ＥＬ液３が吐出されるようにしてもよい。

【0056】

塗布ノズル５２ａ〜５２ｃの先端は、それらの高さ（Ｚ軸方向に関する位置）が同じであり、水平面内においてはＸ軸方向から傾いた斜め方向に、等間隔でほぼ直線的に１列に配置されている。また、ノズルピッチ（各ノズル間のＹ方向の間隔）は、適宜設定することが可能であるが、実施形態においては、基板Ｐに形成されたストライプ状の溝３列分の間隔と一致するように設定されている。

【0057】

ノズル移動機構５１は、Ｘ軸方向に延びるシャフトガイド５１１およびボールネジ５１２と、図示しないモータとを備えている。ノズルユニット５０には、ボールネジ５１２が螺合し、シャフトガイド５１１が貫通している構成となっている。そのため、図示しないモータにより、ボールネジ５１２が回動されると、それに螺合されているノズルユニット５０はガイドシャフト５１１に沿って、Ｘ方向に移動する。

【0058】

制御部１０が、塗布ノズル５２ａ〜５２ｃから有機ＥＬ液３を塗布させつつ、ノズルユニット５０をＸ軸方向に沿って移動させるようにノズル移動機構５１を制御することで、ステージ２１上に保持される基板Ｐの溝に、塗布ノズル５２ａ〜５２ｃから所定流量の有機ＥＬ液３を吐出させる。このとき、塗布ノズル５２ａ〜５２ｃのピッチが基板Ｐの溝３列分と一致するため、互いに２列ずつ間隔をあけた３列分の溝について塗布が行われる。すなわち、Ｘ軸方向が、主走査方向となる。

【0059】

また、塗布ノズル５２ａ〜５２ｃのＸ軸方向吐出位置において、ステージ２１に保持された基板Ｐから逸脱した両側空間には、基板Ｐから外れて吐出された有機ＥＬ液３を受ける液受部５３Ｌ，５３Ｒがそれぞれ設けられている。ノズル移動機構５１は、基板Ｐの一方サイド外側に配設されている液受部５３（例えば、液受部５３Ｌ）の上部空間から、基板Ｐを横断して、基板Ｐの他方外側に配設されている液受部５３（例えば、液受部５３Ｒ）の上部空間まで、ノズルユニット５０を往復移動させることで、基板上に有機ＥＬ液３を塗布する。

【0060】

また、平行移動テーブル２３は、ノズルユニット５０が液受部５３の上部空間に配置されている際、ノズル往復移動方向とは交差する副走査方向（ここでは、主走査方向に直交する＋Ｙ方向）に所定ピッチ（例えば、ノズルピッチの３倍分）だけステージ２１を移動させる。このようなノズル移動機構５１および平行移動テーブル２３の動作と、塗布ノズル５２ａ〜５２ｃから有機ＥＬ液３を液柱状態で吐出する吐出動作とを行うことによって、赤色の有機ＥＬ液３が基板Ｐに形成されたストライプ状の溝毎に配列された、いわゆる、ストライプ配列が基板Ｐ上に形成される。

【0061】

図３は、基板Ｐ上に配置されたマスク機構６の概略斜視図である。図４は、基板Ｐにマスキングテープ６１１を押し当てているマスク機構６の概略側面図である。マスク機構６は、複数（ここでは４つ）のマスキングテープ駆動機構６１と、各マスキングテープ駆動機構６１を昇降する昇降機構６２と、各マスキングテープ駆動機構６１の主走査方向の位置を調整する調整機構６３（図９参照）とを備えている。

【0062】

各マスキングテープ駆動機構６１は、マスキングテープ６１１（マスク部）、巻出ローラ６１２，巻取ローラ６１３および一対の押当ローラ６１４，６１４を備えている。

【0063】

巻出ローラ６１２および巻取ローラ６１３は、それぞれの回転軸が主走査方向（Ｘ軸方向）と平行に延びるように配されている。巻出ローラ６１２および巻取ローラ６１３は、副走査方向（＋Ｙ方向）に関して所定の間隔を空けて配置されている。

【0064】

マスキングテープ６１１は、金属製（例えばアルミニウム製）の帯状フィルムである。マスキングテープ６１１の厚さは、塗布処理が行われる際の、塗布ノズル５２と基板Ｐ間の距離（例えば０．２〜０．５ｍｍ程度）よりも小さく、例えば、０．０５〜０．１ｍｍ程度とされる。なお、マスキングテープ６１１として、樹脂製のものを使用することも可能である。

【0065】

マスキングテープ６１１の上下面のうち、例えば上面（すなわち、塗布ノズル５２に対向する面）と幅方向（主走査方向）両側の面に、フッ素樹脂コーティングなどの撥油性処理を施してもよい。これによって、マスキングテープ６１１に、有機ＥＬ液３を弾く性質を持たせることができる。

【0066】

マスキングテープ６１１は、各端部が巻出ローラ６１２および巻取ローラ６１３にそれぞれ巻回されている。マスキングテープ６１１は、巻出ローラ６１２から送り出されて、巻取ローラ６１３に巻き取られる。

【0067】

一対の押当ローラ６１４，６１４は、好ましくは、樹脂製などで形成されることによって、適当な弾性を有している。一対の押当ローラ６１４，６１４は、主走査方向に延びている。一対の押当ローラ６１４，６１４は、巻出ローラ６１２および巻取ローラ６１３の間に配置されており、かつ、副走査方向に所定の間隔を空けて配置されている。

【0068】

図５は、押当ローラ６１４の正面図である。また、図６は、押当ローラ６１４によって基板に押し当てられているマスキングテープ６１１の断面を示す概略図である。

【0069】

図５に示されるように、押当ローラ６１４は、クラウン形状を有している。すなわち、主走査方向両端部の径が、中央部の径よりも小さくなっている。より詳細には、押当ローラ６１４の中央部から所定位置までは同一径とされており、途中から端部にかけて径が小さくなっている。このため、押当ローラ６１４によってマスキングテープ６１１を基板Ｐに押し当てた際に、押当ローラ６１４の主走査方向両端部が基板Ｐから距離ｄ１だけ離間する。このように、本実施形態では、押当ローラ６１４がクラウン形状を有することによって、マスキングテープ６１１の幅方向両端部が、図６に示されるように、基板Ｐから浮かせることができる。

【0070】

仮に、押当ローラ６１４の径を、主走査方向に関して一定とした場合、マスキングテープ６１１における、押当ローラ６１４，６１４に挟まれた部分は、その幅方向両端部が基板Ｐに接触するか、もしくは、僅かに隙間を作って浮く可能性がある。仮に、その隙間が比較的小さい場合、マスキングテープ６１１の幅方向端部付近に塗布された有機ＥＬ液３が、毛細管現象によって、基板Ｐとマスキングテープ６１１との間に侵入する虞がある。

【0071】

これに対して、本実施形態では、一対の押当ローラ６１４，６１４がクラウン形状を有するため、マスキングテープ６１１の幅方向両端部を基板Ｐから十分に浮かせることができる。このため、図６に示される様に、両端部付近に塗布された有機ＥＬ液３が、有機ＥＬ液３が基板Ｐとマスキングテープ６１１との間に侵入することを効果的に抑制することができる。なお、マスキングテープ６１１の幅方向端部は、その上部を通過する塗布ノズル５２の先端部よりも低くなるように、クラウン形状が設けられる。これによって、マスキングテープ６１１と塗布ノズル５２とが干渉することを抑制できる。

【0072】

なお、詳細については後述するが、本実施形態では、マスキングテープ６１１の送り出しは、マスキングテープ６１１と基板Ｐとの間の摩擦力によるギア効果によって、行われる。このため、巻出ローラ６１２および巻取ローラ６１３および一対の押し当てローラ６１４，６１４は、受動的に回転するフリーローラとして構成されていてもよい。ただし、後述するように、洗浄機構７が備える洗浄液供給部７１による洗浄時において、巻取ローラ６１３から巻出ローラ６１２に向けてマスキングテープを逆送する場合（図７参照）には、巻出ローラ６１２および巻取ローラ６１３を能動的に回転させる駆動機構を設けてもよい。

【0073】

昇降機構６２は、各マスク機構６１を一体的または独立して昇降させる機能を備えている。詳細には、昇降機構６２は、各マスク機構６１を、一対の押当ローラ６１４，６１４が、マスキングテープ６１１を基板Ｐに押しつける押当位置（図４参照）と、該押当位置よりも上方であって、押当ローラ６１４，６１４によるマスキングテープ６１１の押し当てが解除される解除位置（不図示）との間で昇降させる。

【0074】

図７は、洗浄機構７を示す概略図である。図８は、マスキングテープ６１１が洗浄液供給部７１によって洗浄されている様子を示す概略図である。洗浄機構７は、マスキングテープ６１１の上面と下面とを同時に覆い、それぞれの面に向けて洗浄液を供給する洗浄液供給部７１を備えている。

【0075】

各洗浄液供給部７１は、マスキングテープ６１１の幅方向に移動可能とされており、マスキングテープ６１１の上面および下面を覆う洗浄位置（実線で示すポジション）と、マスキングテープ６１１から退避する退避位置（破線で示すポジション）との間で移動する。

【0076】

マスキングテープ６１１が洗浄される場合、まず、洗浄機構７が各洗浄液供給部７１を各マスキングテープ６１１の側方の位置（退避位置）に移動させる。そして、各洗浄液供給部７１をマスキングテープ６１１の幅方向に沿って洗浄液供給部７１を洗浄位置にまで移動させる。これによって、マスキングテープ６１１の上下面が、洗浄液供給部７１のＵ字状の内面に対向する。そして、洗浄液供給部７１からマスキングテープ６１１の上面および下面に、洗浄液が供給される。そして、巻出ローラ６１２および巻取ローラ６１３が逆回転されことによって、マスキングテープ６１１が逆送りされ、有機ＥＬ液３が付着した部分が洗浄液供給部７１に順次送り込まれ、洗浄される。

【0077】

なお、図示を省略するが、洗浄液供給部７１から出たマスキングテープ６１１の部分に、ジェットエアなどを供給することによって、マスキングテープ６１１を乾燥させるエア供給部が設けられていてもよい。もちろん、洗浄液供給部７１の内部でジェットエアを供給できるようにしてもよい。

【0078】

図９は、基板Ｐ上における複数のマスキングテープ６１１の位置関係を示す概略平面図である。調整機構６３は、詳細な図示を省略するが、ノズル移動機構５１と同様に、ガイド機構によって、マスキングテープ駆動機構６１を主走査方向に沿って一体的に平行移動させる。これによって、調整機構６３は、複数のマスキングテープ６１１のそれぞれを、主走査方向に関して任意の位置に配することができる。

【0079】

例えば、図９（ａ）に示される様に、１つのマスキングテープ６１１を基板Ｐの主走査方向端部に重なるように配置し、かつ、該マスキングテープ６１１を基板Ｐの主走査方向端部から少しはみ出すように配置してもよい。これによって、基板Ｐの端部を確実に覆うことができるため、基板Ｐの端面や裏面に有機ＥＬ液３が付着することを効果的に抑制できる。

【0080】

また、図９（ｂ）に示される様に、複数のマスキングテープ６１１のうち、使用しないマスキングテープ６１１を、基板Ｐの上方から逸脱する位置に退避させておき、残りのマスキングテープ６１１のみを使用して、塗布処理を行うことも可能である。

【0081】

なお、基板Ｐ毎に非塗布領域の位置を変更する必要がない場合には、調整機構６３を省略することも可能である。

【0082】

＜１．２． 動作＞
次に、塗布装置１が実行する塗布処理の動作フローを説明する。図１０は、塗布装置１の動作フローを示す図である。なお、以下で説明する塗布装置１の各動作は、特に断らない限り、制御部１０の制御に基づいて行われる。

【0083】

まず、不図示の搬送機構によって基板Ｐがステージ２１上に搬送され、ステージ２１に保持される（ステップＳ１）。そして、ステージ２１が副走査方向に適宜移動することによって、ノズルユニット５０が塗布を開始する位置にくるように、基板Ｐが移動される（ステップＳ２）。

【0084】

次に、マスク機構６が、各マスキング駆動機構部６１を駆動することによって、複数のマスキングテープ６１１がそれぞれ主走査方向に移動される。これによって、主走査方向における各マスキングテープ６１１の間隔が調整される（ステップＳ３）。すなわち、基板Ｐの非塗布領域に対応する部分の上方に、各マスキングテープ６１１が配される。

【0085】

マスキングテープ６１１間の調整が行われると、マスキングテープ駆動機構６１が下降される。詳細には、押当ローラ６１４，６１４がマスキングテープ６１１を介して基板Ｐに接触するまで、マスキングテープ６１１、巻出ローラ６１２、巻取ローラ６１３および一対の押当ローラ６１４，６１４が下降される。これによって、基板Ｐの非塗布領域に対応する部分に、各マスキングテープ６１１が押し当てられることとなる（ステップＳ４）。これにより、基板Ｐの非塗布領域に対応する部分に対向する様に、マスキングテープ６１１が配されることとなる。

【0086】

マスキングテープ６１１の配置が完了すると、ノズルユニット５０が、塗布ノズル５２ａ〜５２ｃから有機ＥＬ液３を吐出しながら、液受部５３Ｌ，５３Ｒのいずれか一方から他方へ向けて、主走査方向に移動する。これによって、基板Ｐおよび基板Ｐ上に配された複数のマスキングテープ６１１上に、有機ＥＬ液３がストライプ状に塗布される（ステップＳ５）。この１回の主走査方向の塗布動作が完了すると、ノズルユニット５０は、液受部５３Ｌまたは５３Ｒ上で有機ＥＬ液３を吐出しながら所要時間待機する。

【0087】

ノズルユニット５０が待機している間、ステージ移動機構２６によって、所要の距離（例えば、ノズルピッチの３倍分の距離）だけステージ２１を＋Ｙ方向（副走査方向）に移動させる。その結果、ステージ２１上に保持された基板Ｐが、副走査方向に移動される（ステップＳ６）。

【0088】

またステップＳ６において、基板Ｐが副走査方向に移動する際、基板Ｐに押し当てられているマスキングテープ６１１が、ギア効果によって受動的に基板Ｐに引っ張られる。これによって、基板Ｐの移動量に相当する分、巻出ローラ６１２、巻取ローラ６１３および一対の押当ローラ６１４，６１４が回転され、マスキングテープ６１１が移動される。換言すると、マスキングテープ６１１の移動方向および単位時間当たりの移動量が、基板Ｐの移動方向および単位時間当たりの移動量に一致するように、巻出ローラ６１２が、マスキングテープ６１１を巻き出す。すなわち、マスキングテープ６１１の移動速度が、基板Ｐの移動速度に一致するように制御される。このようにして、新たな未塗布部分を基板Ｐ上に送り出される。

【0089】

すなわち、本実施形態では、副走査方向に関して、基板Ｐに対するノズルユニット５０の塗布位置が変更される度に、マスキングテープ６１１が順次送り出されることとなる。これによって、マスキングテープ６１１の上面の同じ場所に対して、何度も有機ＥＬ液３が塗布されることが抑制される。したがって、有機ＥＬ液３の飛び跳ねを低減することができる。また、マスキングテープ６１１の移動速度を基板Ｐの移動速度に一致させることによって、基板Ｐ・マスキングテープ６１１間の擦れを低減できる。これによって、粉塵などのゴミの発生を低減することができる。

【0090】

１回の副走査方向の基板Ｐの送り動作が完了すると、塗布処理が完了したかどうかが判定される（ステップＳ７）。また、塗布処理が完了していない場合には、塗布装置１は、ステップＳ５に移行し、基板Ｐ上の未塗布部分に対する塗布処理が行われる。

【0091】

結果として、一回の主走査方向の塗布動作と、一回の副走査方向の送り動作とが繰り返し行われることによって、基板Ｐの有効領域（溝が形成されている領域）に対して有機ＥＬ液３が塗布される。塗布処理が完了すると、マスク機構６は、各マスキングテープ駆動機構６１を上昇させる。これによって、マスキングテープ６１１の押当が解除される（ステップＳ８）。そして、図示しない搬送機構によって、基板Ｐが塗布装置１から搬出される（ステップＳ９）。搬出された基板Ｐに対しては、乾燥処理（ベーク処理）が行われる。

【0092】

基板Ｐの搬出処理と並行して、マスキングテープ６１１に対し、洗浄機構７による洗浄処理が実行される（ステップＳ１０）。詳細には、洗浄機構７が、洗浄液供給部７１を各マスキングテープ６１１の側方部に配する。そして、洗浄液供給部７１がマスキングテープ６１１の幅方向に移動することによって、各マスキングテープ６１１が洗浄液供給部７１内に挿入される。そして巻出ローラ６１２および巻取ローラ６１３が逆回転することによって、マスキングテープ６１１の逆送りが行われ、マスキングテープ６１１が洗浄される。

【0093】

以上の動作によって、特定色の有機ＥＬ液３について塗布・乾燥処理が完了すると、有機ＥＬ表示装置の発光層が形成される。なお、各塗布ノズル５２から異なる色の有機ＥＬ液３を吐出するようにしてもよいが、同じ色の有機ＥＬ液３を吐出することも考えられる。この場合、各色について塗布・乾燥処理が順次行われることによって、発光層が形成される。発光層が形成された基板に対して例えば真空蒸着法により陰極電極が発光層上に形成されることによって、有機ＥＬ表示装置が製造される。

【0094】

本実施形態に係る塗布装置１によると、塗布装置１が備えるステージ２１上で、基板Ｐの非塗布領域に対応する部分にマスキングテープ６１１を配置することができる。このため、基板Ｐに非塗布領域を形成しつつ有効領域に有機ＥＬ液３を塗布することができる。また、マスキングテープ６１１を基板Ｐに対して接着剤で接着させることを要さず、また、有機ＥＬ液３を剥離するためのプラズマ処理することを要しない。このため、基板Ｐが汚れたり損傷したりする虞が少なくなり、非塗布領域を有効に形成することができる。

【0095】

＜２． 変形例＞
以上、実施形態について説明してきたが、本発明は上記のようなものに限定されるものではなく、様々な変形が可能である。

【0096】

例えば、上記実施形態では、マスキングテープ６１１の幅が一定とされている。しかしながら、図１１に示されるマスキングテープ６１１Ａのように、幅が一定ではなく、幅が大きい部分と小さい部分とが連続していてもよい。このようなマスキングテープ６１１Ａの場合、巻出ローラ６１２および巻取ローラ６１３を制御することによって、基板Ｐの非塗布領域に対応する部分に、適切な幅の部分が配される。このとき、所望の幅の部分を巻き出すため、例えば、巻出ローラ６１２または巻取ローラ６１３の回転量を監視したり、あるいは、センサー装置などで幅を検出したりすることが考えられる。

【0097】

また、マスキングテープ６１１に任意の形状の孔を設けてもよい。例えば、図１２に示されるマスキングテープ６１１Ｂは、複数の細長い孔Ｈ１が、幅方向に沿って並列するように形成されている。これによって、基板Ｐの非塗布領域内に、孔形状に対応したパターンを形成することが可能となる。

【0098】

また、上記実施形態では、塗布装置１において、複数のマスキングテープ駆動機構６１が設けられているが、１つのマスキングテープ駆動機構６１のみが備えられていてもよい。

【0099】

また、上記実施形態では、マスキングテープ６１１が移動する基板Ｐに引っ張られることによって、巻出ローラ６１２、巻取ローラ６１３および一対の押当ローラ６１４，６１４が受動的に回転するように構成されている。しかしながら、塗布処理時において、これらのローラを能動的に回転するように構成してもよい。例えば、基板Ｐの副走査方向の移動に同期して動作するモータによって、これらのローラを回転させてもよい。基板Ｐの移動に同期して回転させることによって、基板Ｐとマスキングテープ６１１とが擦れることがより確実に抑制され、ゴミの発生を抑制できる。

【0100】

また、上記実施形態では、押当ローラ６１４をクラウン形状とすることによって、マスキングテープ６１１の幅方向端部を基板Ｐから離間させている。しかしながら、押当ローラ６１４のうち、マスキングテープ６１１に接触する主走査方向の長さを、マスキングテープ６１１の幅よりも短くしてもよい。これによっても、マスキングテープ６１１の幅方向両端部を基板Ｐから浮かせることが可能である。

【0101】

また、マスキングテープ６１１自体の幅方向端部の厚みを、その中央部の厚みよりも薄くすることによって、幅方向端部を基板Ｐから離間させることも考えられる。例えば、中央部から幅方向端部に向かうに連れて、マスキングテープ６１１の下面が基板Ｐから遠ざかるように、幅方向端部の厚みを次第に薄くなるようにマスキングテープ６１１を構成してもよい。もちろん、１段階もしくは多段階でステップ状に薄くなるようにマスキングテープ６１１を構成してもよい。

【0102】

また、上記実施形態では、洗浄機構７によるマスキングテープ６１１の洗浄処理は、塗布処理後に実施する構成を例示しているが、例えば、マスキングテープ６１１の洗浄処理が必要か否かを判断し、必要と判断された時のみ洗浄処理を実施するようにしてもよい。もしくは、定期的に洗浄処理を実施するようにしてもよい。

【0103】

また、上記実施形態では、洗浄機構７として、洗浄液供給部７１を設ける構成を例示しているが、例えば、洗浄液供給部７１の代わり、もしくは追加的に、マスキングテープ６１１の表面に押し当てられることによって、有機ＥＬ液３を除去する（スクイーズする）ゴム部材などを採用してもよい。

【0104】

また、上記実施形態では、昇降機構６２は、各マスキングテープ駆動機構６１を昇降すると説明した。このため、巻出ローラ６１２、巻取ローラ６１３および一対の押当ローラ６１４，６１４を一体的に昇降させている。しかしながら、例えば、一対の押当ローラ６１４，６１４のみを、巻出ローラ６１２および巻取ローラ６１３に対して上下に移動できるようにしてもよい。

【0105】

また、上記実施形態では、ノズルユニット５０をＸ軸方向に移動させ、基板Ｐを＋Ｙ方向に移動させることによって、基板Ｐに対するノズルユニット５０の主走査方向および副走査方向の相対的な移動が実現されている。しかしながら、ノズルユニット５０を＋Ｙ方向へ、あるいは、基板ＰをＸ軸方向に移動させるように、塗布装置１が構成されていてもよい。無論、ノズルユニット５０および基板Ｐのいずれか一方のみを、Ｘ軸方向および＋Ｙ方向へ移動させるように、塗布装置１が構成されていてもよい。

【0106】

この発明は詳細に説明されたが、上記した説明は、すべての局面において、例示であって、この発明がそれに限定されるものではない。例示されていない無数の変形例が、この発明の範囲から外れることなく想定され得るものと解される。また、上記各実施形態及び各変形例で説明した各構成は、相互に矛盾しない限り、適宜組み合わせたり、あるいは適宜省略したりすることができる。

【符号の説明】

【0107】

１ 塗布装置
１０ 制御部
２ 基板保持装置
２１ ステージ（保持部）
２６ ステージ移動機構（移動機構）
３ 有機ＥＬ液（流動性材料）
５ 塗布機構
５０ ノズルユニット
５１ ノズル移動機構（移動機構）
５２ａ，５２ｂ，５２ｃ 塗布ノズル
５３，５３Ｒ，５３Ｌ 液受部
６ マスク機構
６１ マスキングテープ駆動機構
６１１，６１１Ａ，６１１Ｂ マスキングテープ（マスク部）
６１２ 巻出ローラ（巻出部）
６１３ 巻取ローラ（巻取部）
６１４ 押当ローラ（押当部）
６２ 昇降機構
６３ 調整機構
７ 洗浄機構
７１ 洗浄液供給部
Ｐ 基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】