特許6209039薄膜形成装置

発明の名称　薄膜形成装置

出願人　東レエンジニアリング株式会社　（識別番号 219314）

　　　　特許公開件数ランキング 354 位（29件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 760 位（9件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6209039

公報発行日　2017年10月4

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6209039

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