特許6211270極紫外線マスクブランクの欠陥検出のための検査システム及び方法

発明の名称　極紫外線マスクブランクの欠陥検出のための検査システム及び方法

出願人　ケーエルエー−テンカー・コーポレーション　（識別番号 502442049）

　　　　特許公開件数ランキング 14225 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 11941 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6211270

公報発行日　2017年10月11

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6211270

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