特許 6215065 基板固定装置および基板検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6215065

(24)【登録日】2017年9月29日

(45)【発行日】2017年10月18日

(54)【発明の名称】基板固定装置および基板検査装置

(51)【国際特許分類】

   H05K 3/00 20060101AFI20171005BHJP

   G01R 31/02 20060101ALI20171005BHJP

【ＦＩ】

   H05K3/00 V

   G01R31/02

   H05K3/00 T

【請求項の数】4

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2014-6322(P2014-6322)

(22)【出願日】2014年1月17日

(65)【公開番号】特開2015-135880(P2015-135880A)

(43)【公開日】2015年7月27日

【審査請求日】2016年11月24日

(73)【特許権者】

【識別番号】000227180

【氏名又は名称】日置電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100104787

【弁理士】

【氏名又は名称】酒井 伸司

(72)【発明者】

【氏名】寺沢 和直

(72)【発明者】

【氏名】友井 忠司

【審査官】 原田 貴志

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０４−０８０１２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−２３６８８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−３４７４５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−３０４８１４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−１１８２４１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０５Ｋ ３／００

Ｈ０５Ｋ １３／０２

Ｈ０５Ｋ １３／０４

Ｇ０１Ｒ ３１／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基台と、当該基台に配設されて基板における互いに対向する一対の縁部をそれぞれ保持して当該基板を当該基台に固定可能な一対の梁状の保持部と、前記基台に設けられて前記保持部によって当該基台に固定されている前記基板に対して予め規定された規定処理を実行する装置を取り付け可能な取り付け部とを備え、前記各保持部の少なくとも一方が前記基板の大きさに応じて前記基台の上面に平行な第１の方向に沿って移動可能に構成された基板固定装置であって、
前記少なくとも一方の保持部は、前記第１の方向に沿って移動可能に両端部が前記基台に支持されると共に、前記第１の方向に沿って突出するように当該両端部の中間部に配設された補強部材を備え、
前記取り付け部には、前記補強部材を前記第１の方向に沿って移動可能に支持すると共に規制指示および解除指示に従って当該第１の方向に沿った当該補強部材の移動の規制および当該規制の解除が可能な支持部が配設されている基板固定装置。

【請求項2】

前記補強部材は、前記少なくとも一方の保持部における長さ方向の中央部に配設されている請求項１記載の基板固定装置。

【請求項3】

前記支持部は、前記補強部材を挟持する一対の挟持片と、当該各挟持片が互いに近接および離反するように当該各挟持片の少なくとも一方を移動させる移動機構とを備えて構成されている請求項１または２記載の基板固定装置。

【請求項4】

請求項１から３のいずれかに記載の基板固定装置と、前記取り付け部に取り付けられて前記規定処理としてのプロービング処理を実行するプロービング装置とを備えて、前記基板に対する検査を実行可能に構成されている基板検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板の縁部を保持して基板を基台に固定する梁状の保持部を備えた基板固定装置、およびその基板固定装置を備えて基板を検査可能な基板検査装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

この種の基板検査装置として、下記特許文献１において出願人が開示した検査装置が知られている。この検査装置は、固定装置、プロービング装置および制御部を備えて、基板に対する検査を実行可能に構成されている。固定装置は、基台本体、一対の梁部材、移動機構、４つのクランプ機構、および２つのセンタークランプ機構などを備えて基板を固定可能に構成されている。各梁部材は、長尺の板状に形成されると共に、基台本体の上面に配設されたレール上を移動可能なスライダに両端部が固定されて、基台本体上をスライド可能にそれぞれ配設されている。また、各梁部材には、２つのクランプ機構および１つのセンタークランプ機構が配設されている。この固定装置では、基板における対向する２つの縁部を、各梁部材に配設されている各クランプ機構によってクランプして保持することにより、基板を基台本体に固定することが可能となっている。また、この固定装置では、各梁部材をスライドさせて各梁部材間の距離を変更することで、大型の基板から小型の基板まで、大きさの異なる各種の基板を固定することが可能となっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００９−１１７７４０号公報（第５−６頁、第２図）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところが、上記の固定装置および検査装置には、改善すべき以下の課題がある。すなわち、この固定装置および基板検査装置では、梁部材に配設されている各クランプ機構で基板の縁部をクランプして保持することによって基板を基台本体に固定している。この場合、大きさの異なる各種の基板の固定を可能とするためには、梁部材の長さをある程度長くする必要がある。一方、この固定装置および基板検査装置では、基台本体の上面に配設されたレール上を移動可能なスライダに梁部材の両端部が固定されて支持されているが、梁部材における長さ方向の中間部位は支持することができない構造となっている。このため、この固定装置および基板検査装置には、梁部材の自重や梁部材に配設されているクランプ機構の重量によって梁部材における長さ方向の中央部の撓みが大きくなり、この撓みによって保持している基板にも撓みが生じて、プローブの確実なプロービングに影響を与えるおそれがあるという課題が存在する。

【0005】

本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、保持している基板の撓みを少なく抑え得る基板固定装置および基板検査装置を提供することを主目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記目的を達成すべく請求項１記載の基板固定装置は、基台と、当該基台に配設されて基板における互いに対向する一対の縁部をそれぞれ保持して当該基板を当該基台に固定可能な一対の梁状の保持部と、前記基台に設けられて前記保持部によって当該基台に固定されている前記基板に対して予め規定された規定処理を実行する装置を取り付け可能な取り付け部とを備え、前記各保持部の少なくとも一方が前記基板の大きさに応じて前記基台の上面に平行な第１の方向に沿って移動可能に構成された基板固定装置であって、前記少なくとも一方の保持部は、前記第１の方向に沿って移動可能に両端部が前記基台に支持されると共に、前記第１の方向に沿って突出するように当該両端部の中間部に配設された補強部材を備え、前記取り付け部には、前記補強部材を前記第１の方向に沿って移動可能に支持すると共に規制指示および解除指示に従って当該第１の方向に沿った当該補強部材の移動の規制および当該規制の解除が可能な支持部が配設されている。

【0007】

また、請求項２記載の基板固定装置は、請求項１記載の基板固定装置において、前記補強部材は、前記少なくとも一方の保持部における長さ方向の中央部に配設されている。

【0008】

また、請求項３記載の基板固定装置は、請求項１または２記載の基板固定装置において、前記支持部は、前記補強部材を挟持する一対の挟持片と、当該各挟持片が互いに近接および離反するように当該各挟持片の少なくとも一方を移動させる移動機構とを備えて構成されている。

【0009】

また、請求項４記載の基板検査装置は、請求項１から３のいずれかに記載の基板固定装置と、前記取り付け部に取り付けられて前記規定処理としてのプロービング処理を実行するプロービング装置とを備えて、前記基板に対する検査を実行可能に構成されている。

【発明の効果】

【0010】

請求項１記載の基板固定装置、および請求項４記載の基板検査装置では、第１の方向に沿って少なくとも一方の保持部が移動可能にその保持部の両端部が基台に支持されると共に第１の方向に沿って突出するように両端部の中間部に補強部材が配設され、補強部材を第１の方向に沿って移動可能に支持すると共に規制指示および解除指示に従って第１の方向に沿った補強部材の移動の規制および規制の解除が可能な支持部が取り付け部に配設されている。このため、この基板固定装置および基板検査装置によれば、保持部における両端部間の撓みを十分に少なく抑えることができる。したがって、この基板固定装置および基板検査装置によれば、保持部によって保持されている基板の撓みを十分に少なく抑えることができる結果、プローブをプロービングさせる際の基板の撓みによる影響を防止して、プローブを基板に対して確実にプロービングさせることができる。

【0011】

また、請求項２記載の基板固定装置、および請求項４記載の基板検査装置によれば、少なくとも一方の保持部における長さ方向の中央部に補強部材を配設したことにより、両端部が支持されている保持部において最も撓みが大きくなる中央部を支持することができるため、中央部以外の部位に補強部材を配設してその部位を支持する構成と比較して、保持部の撓みを押さえる効果を高めることができる。

【0012】

また、請求項３記載の基板固定装置、および請求項４記載の基板検査装置によれば、補強部材を挟持する一対の挟持片と、各挟持片が互いに近接および離反するように各挟持片の少なくとも一方を移動させる移動機構とを備えて支持部を構成したことにより、簡易な構成でありながら、補強部材の移動の規制および規制の解除を確実に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】基板検査装置１の構成を示す構成図である。

【図2】基板固定装置２およびプロービング装置３の構成を示す斜視図である。

【図3】基板固定装置２およびプロービング装置３の構成の分解斜視図である。

【図4】補強部材３２および支持部６２の構成を説明する第１の説明図である。

【図5】補強部材３２および支持部６２の構成を説明する第２の説明図である。

【図6】補強部材３２および支持部６２の構成を説明する第３の説明図である。

【図7】支持部６２の動作を説明する第１の説明図である。

【図8】支持部６２の動作を説明する第２の説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、基板固定装置および基板検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

【0015】

最初に、図１に示す基板検査装置１の構成について説明する。基板検査装置１は、基板検査装置の一例であって、同図に示すように、基板固定装置２、プロービング装置３および処理部４を備えて、基板１００（図４参照）に対する電気的な検査を実行可能に構成されている。この場合、基板１００は、一例として、表面に導体パターン（図示せず）が形成されて、全体として矩形に構成されている。

【0016】

基板固定装置２は、基板固定装置の一例であって、図２に示すように、基台１１、保持部１２ａ，１２ｂ（以下、区別しないときには「保持部１２」ともいう）、移動機構１３および取り付け部１４ａ，１４ｂを備えて構成されている。

【0017】

基台１１は、図３に示すように、一例として、複数（この例では、１２本）の柱状部材Ｐ１〜Ｐ１２を連結した略直方体をなす構造体（ラーメン構造）で構成されている。また、基台１１を構成する柱状部材Ｐ１，Ｐ３の各上面（基台の上面に相当する）には、その上面に平行なＸ方向（第１の方向に相当する）に沿って保持部１２ａを移動させるためのレール２１ａ，２１ｂが、Ｘ方向に沿って延在するように取り付けられている。

【0018】

また、このレール２１ａ，２１ｂには、図２，３に示すように、レール２１ａ，２１ｂ上に沿って移動（スライド）するスライダ２２ａ，２２ｂがそれぞれ配設され、さらに、各スライダ２２ａ，２２ｂには、保持部１２ａの端部Ｅａ１，Ｅａ２を固定可能な支柱２３ａ，２３ｂがそれぞれ取り付けられている。

【0019】

保持部１２ａ，１２ｂは、図３に示すように、長尺の板状にそれぞれ形成されている。また、保持部１２ａ，１２ｂは、クランプ機構３１をそれぞれ備えて、基板１００における互いに対向する一対の縁部をそれぞれクランプ（挟持）して、基板１００を基台１１に固定可能に構成されている。

【0020】

また、保持部１２ａ（一対の保持部１２の少なくとも一方の一例）は、図３に示すように、基台１１に配設された支柱２３ａ，２３ｂの先端部に端部Ｅａ１，Ｅａ２がそれぞれ固定される。この場合、支柱２３ａ，２３ｂは、スライダ２２ａ，２２ｂにそれぞれ取り付けられており、各スライダ２２ａ，２２ｂは、基台１１における柱状部材Ｐ１，Ｐ３の上面に取り付けられているレール２１ａ，２１ｂ上を移動する。つまり、Ｘ方向に沿って保持部１２ａが移動可能に、保持部１２ａの両端部Ｅａ１，Ｅａ２が、基台１１に支持されている。

【0021】

また、図３，４に示すように、保持部１２ａにおける長さ方向の中央部Ｃａ（端部Ｅａ１，Ｅａ２の中間部）には、Ｘ方向に沿って突出するようにして補強部材３２が配設されている。この場合、補強部材３２は、一例として、円柱状に形成されて、基端部（図３における右側（図４における下側）の端部）が保持部１２ａの中央部Ｃａに固定（例えば、ねじ込みや接着によって固定）されている。この補強部材３２は、取り付け部１４ａに配設されている後述する支持部６２によって先端部側（図３における左側（図４における上側））が支持される。このため、補強部材３２は、保持部１２ａの中央部Ｃａと取り付け部１４ａの支持部６２との間に架け渡されて中央部Ｃａを支持することにより、保持部１２ａの剛性が高まるように保持部１２ａを補強して、保持部１２ａの自重による端部Ｅａ１，Ｅａ２間（特に中央部Ｃａ）の撓みを低く抑える機能を有している。なお、補強部材３２と保持部１２ａとを一体に形成する構成を採用することもできる。

【0022】

また、保持部１２ｂは、図３に示すように、基台１１に設けられている取り付け部１４ｂの固定部６３に固定される。この基板固定装置２では、保持部１２ｂが取り付け部１４ｂに固定され、保持部１２ａがＸ方向に移動可能に構成されているため、基板１００の大きさ（互いに対向する一対の縁部の間の長さ）に応じて保持部１２ａを移動させることで、大きさの異なる各種の基板１００を固定することが可能となっている。

【0023】

移動機構１３は、保持部１２ａをＸ方向に移動させる機構であって、図３に示すように、基台１１を構成する柱状部材Ｐ３の上面に配設されている。また、移動機構１３は、一例として、同図に示すように、ボールねじ型の直動機構４１と、直動機構４１のねじ４１ａの一端部を回転させるモータ４２と、ねじ４１ａの他端部を支持する支持部４３とを備えて構成されている。

【0024】

この場合、処理部４の制御によってモータ４２が直動機構４１のねじ４１ａを回転させ、これによって直動機構４１の移動部４１ｂがＸ方向に移動する。また、移動部４１ｂは、同図に示すように、基台１１の上面（柱状部材Ｐ３の上面）に取り付けられているレール２１ｂに配設されているスライダ２２ｂに接続されている。このため、移動部４１ｂの移動に伴ってスライダ２２ｂが移動し、これによって、保持部１２ａがＸ方向に移動させられる。

【0025】

取り付け部１４ａ，１４ｂは、プロービング装置３を取り付けるための台座であって、図３に示すように、基台１１を構成する柱状部材Ｐ１〜Ｐ４の各上面に配設される。また、取り付け部１４ａには、図４に示すように、保持部１２ａに配設されている補強部材３２が挿通可能な挿通孔６１が形成されている。

【0026】

また、取り付け部１４ａには、図３，４に示すように、補強部材３２をＸ方向に沿って移動可能に支持すると共に、図外の操作部を用いた補強部材３２の移動を規制させる指示、およびその規制を解除させる指示に従い、Ｘ方向に沿った補強部材３２の移動の規制および規制の解除を行う支持部６２が配設されている。

【0027】

この場合、支持部６２は、一例として、図５，６に示すように、補強部材３２を挟持可能な一対の挟持片７１ａ，７１ｂと、挟持片７１ａ，７１ｂが互いに近接および離反するように挟持片７１ｂ（挟持片７１ａ，７１ｂの少なくとも一方の一例）を移動させるエアシリンダ７２およびばね７３（両者が相まって移動機構に相当する）とを備えて構成されている。エアシリンダ７２は、操作部を用いた指示によってエアが供給されたときに挟持片７１ｂを挟持片７１ａに向けて移動させる。なお、エアシリンダ７２には、エアの供給チューブやエアの供給および供給停止を行うためのバルブ（いずれも図示せず）が接続されている。また、ばね７３は、挟持片７１ａから離反する向きに挟持片７１ｂを付勢する（引っ張る）。

【0028】

また、取り付け部１４ｂには、図３に示すように、保持部１２ｂを固定するための固定部６３が設けられている。この場合、固定部６３は、保持部１２ｂを長さ方向の全域に亘って支持するように構成されている。このため、固定部６３に固定された保持部１２ｂは、長さ方向の全域に亘って撓みのない状態に維持される。

【0029】

プロービング装置３は、基板固定装置２の取り付け部１４ａ，１４ｂに取り付けられて、基板固定装置２によって固定されている基板１００に対して図外のプローブをプロービングさせるプロービング処理（予め規定された規定処理の一例）を実行可能に構成されている。具体的には、プロービング装置３は、図３に示すように、第１移動機構５１、第２移動機構５２ａ，５２ｂおよび第３移動機構５３ａ，５３ｂを備えて構成されている。

【0030】

第１移動機構５１は、図外のプローブをＸ方向に直交するＹ方向に移動させるための機構であって、図３に示すように、直動機構５１ａ，５１ｂ、レール５１ｃ、スライダ５１ｄ，５１ｅおよび板体５１ｆ，５１ｇを備えて構成されている。

【0031】

直動機構５１ａ，５１ｂは、例えばボールねじ型の直動機構であって、図３に示すように、取り付け部１４ａの上面に配設される。この場合、直動機構５１ａ，５１ｂは、同図に示すように、ねじＳａ、モータＭａ、支持部Ｂａおよび移動部Ｔａをそれぞれ備えて構成されている。レール５１ｃは、取り付け部１４ｂの上面に配設され、スライダ５１ｄ，５１ｅはレール５１ｃに配設されている。板体５１ｆは、直動機構５１ａの移動部Ｔａおよびスライダ５１ｄに両端部がそれぞれ固定されて、移動部Ｔａの移動に伴ってＹ方向に移動させられる。板体５１ｇは、直動機構５１ｂの移動部Ｔａおよびスライダ５１ｅに両端部がそれぞれ固定されて、移動部Ｔａの移動に伴ってＹ方向に移動させられる。この場合、第１移動機構５１は、処理部４の制御に従って直動機構５１ａ，５１ｂのモータＭａがねじＳａを回転させて移動部Ｔａを移動させることにより、板体５１ｆ，５１ｇをＹ方向に移動させる。

【0032】

第２移動機構５２ａ，５２ｂは、プローブをＸ方向（図３参照）に移動させるための機構であって、図３に示すように、第１移動機構５１の板体５１ｆ，５１ｇの上にそれぞれ取り付けられている。この場合、第２移動機構５２ａ，５２ｂは、ボールねじ型の直動機構であって、同図に示すように、ねじＳｂ、モータＭｂ、支持部Ｂｂおよび移動部Ｔｂをそれぞれ備えて構成されて、処理部４の制御に従ってモータＭｂがねじＳｂを回転させることにより、移動部ＴｂをＸ方向に移動させる。

【0033】

第３移動機構５３ａ，５３ｂは、プローブをＺ方向に移動させるための機構であって、図３に示すように、第２移動機構５２ａ，５２ｂの移動部Ｔｂにそれぞれ取り付けられている。この場合、第３移動機構５３ａ，５３ｂは、ボールねじ型の直動機構で構成されて、処理部４の制御に従って図外のモータが図外のねじを回転させることにより、プローブをＺ方向に移動させる。

【0034】

処理部４は、基板固定装置２における移動機構１３のモータ４２を制御することにより、保持部１２ａを移動させる。また、処理部４は、プロービング装置３を構成する第１移動機構５１の直動機構５１ａ，５１ｂ、第２移動機構５２ａ，５２ｂおよび第３移動機構５３ａ，５３ｂを制御することにより、プロービング装置３によるプロービング処理（プローブの移動）を制御する。また、処理部４は、プロービング装置３によってプロービングされたプローブを介して入出力する電気信号に基づき、基板１００の良否を検査する検査処理を実行する。

【0035】

次に、基板検査装置１を用いて基板１００を検査する方法について、添付図面を参照して説明する。なお、初期状態では、保持部１２ａ，１２ｂが互いに近接しているものとする。また、初期状態では、図５，６に示すように、支持部６２の挟持片７１ａ，７１ｂが互いに離反して補強部材３２を挟持していない（つまり、補強部材３２が移動可能状態）となっているものとする。

【0036】

まず、検査対象の基板１００を基板固定装置２に固定する。具体的には、図外の操作部を操作して、基板１００の大きさ等の各種設定値を入力する。次いで、処理部４が、移動機構１３のモータ４２を制御して移動機構１３における直動機構４１のねじ４１ａを回転させることにより、直動機構４１の移動部４１ｂをＸ方向におけるＸ１の向き（図４参照）に移動させる。この際に、移動部４１ｂに接続されているスライダ２２ｂが基台１１の上面に取り付けられているレール２１ｂに沿って移動する結果、保持部１２ａがＸ１の向きに移動させられる。

【0037】

また、図４に示すように、保持部１２ａの中央部Ｃａに配設されている補強部材３２が、保持部１２ａの移動に伴ってＸ１の向きに移動して取り付け部１４ａに配設されている支持部６２における挟持片７１ａ，７１ｂの間（図５，６参照）を通って、取り付け部１４ａに形成されている挿通孔６１（図４参照）に進入する。

【0038】

続いて、処理部４は、基板１００における対向する一対の縁部の間の長さ分だけ保持部１２ａ，１２ｂの間の距離が離間するまで保持部１２ａが移動した時点で、モータ４２によるねじ４１ａの回転を停止させる。

【0039】

次いで、図外の操作部を操作して、支持部６２による補強部材３２の移動の規制を指示する（規制指示）。この際に、支持部６２のエアシリンダ７２が図外のエア供給部からのエアの供給によって作動して、挟持片７１ｂを挟持片７１ａに向けて移動させる。この結果、図７，８に示すように、挟持片７１ａ，７１ｂによって補強部材３２が挟持されて補強部材３２の移動が規制される。

【0040】

ここで、この基板固定装置２では、保持部１２ａの中央部Ｃａに配設されている補強部材３２が、取り付け部１４ａに配設されている支持部６２によって支持されると共に、Ｘ方向に沿った移動が支持部６２によって規制される。このため、この基板固定装置２では、補強部材３２が、保持部１２ａの中央部Ｃａと取り付け部１４ａの支持部６２との間に架け渡されて中央部Ｃａを支持することにより、保持部１２ａの自重による端部Ｅａ１，Ｅａ２間（特に中央部Ｃａ）の撓みが十分に少なく抑えられている。また、保持部１２ｂは、取り付け部１４ｂの固定部６３に固定されているため、長さ方向の全域に亘って撓みのない状態に維持されている。

【0041】

続いて、保持部１２ａ，１２ｂのクランプ機構３１によって基板１００における一対の縁部をクランプして（挟み込んで）保持する。これにより、基板１００が基台１１に固定される。この場合、上記したように、保持部１２ａにおける端部Ｅａ１，Ｅａ２間の撓みが十分に少なく抑えられ、保持部１２ｂが長さ方向の全域に亘って撓みのない状態に維持されているため、保持部１２ａ，１２ｂによって保持されている基板１００の撓みが十分に少なく抑えられている。

【0042】

次いで、操作部を操作して検査を開始させる。これに応じて、処理部４は、プロービング装置３を制御してプロービング処理を実行させる。具体的には、処理部４は、プロービング装置３を構成する第１移動機構５１の直動機構５１ａ，５１ｂ、第２移動機構５２ａ，５２ｂおよび第３移動機構５３ａ，５３ｂを制御することにより、基板１００における検査対象ポイントにプローブをプロービング（接触）させる。

【0043】

この場合、上記したように、保持部１２ａ，１２ｂによって保持されている基板１００の撓みが十分に少なく抑えられているため、プローブをプロービングさせる際の基板１００の撓みによる影響が防止されて、基板１００の検査対象ポイントに対してプローブを確実にプロービングさせることが可能となっている。

【0044】

続いて、処理部４は、プローブを介して入出力する電気信号に基づき、基板１００の良否を検査する検査処理を実行する。この場合、上記したように、基板１００の検査対象ポイントに対してプローブが確実にプロービングされているため、基板１００の検査が正確に行われる。

【0045】

次いで、検査処理が終了したときには、処理部４は、プロービング装置３を制御して、プローブを初期位置に移動させる。続いて、保持部１２ａ，１２ｂのクランプ機構３１による基板１００における縁部のクランプを解除し、次いで、基板１００を保持部１２ａ，１２ｂから取り外す。この後、操作部を操作して、支持部６２による補強部材３２の移動規制の解除を指示する（解除指示）。この際に、支持部６２のエアシリンダ７２に対するエアの供給が停止して、ばね７３の付勢力（引っ張り力）によって挟持片７１ｂが挟持片７１ａから離反する。この結果、図５，６に示すように、挟持片７１ａ，７１ｂによる補強部材３２の挟持が解除されて補強部材３２の移動の規制が解除される。

【0046】

次いで、処理部４は、移動機構１３のモータ４２を制御して、直動機構４１のねじ４１ａを回転させることにより、直動機構４１の移動部４１ｂをＸ方向におけるＸ２の向き（図４参照）に移動させる。この際に、移動部４１ｂに接続されているスライダ２２ｂが基台１１の上面に取り付けられているレール２１ｂに沿って移動する結果、保持部１２ａがＸ２の向きに移動させられる。続いて、処理部４は、保持部１２ａが初期位置まで移動した時点で、モータ４２によるねじ４１ａの回転を停止させる。以上により、基板１００に対する検査が終了する。

【0047】

このように、この基板固定装置２および基板検査装置１では、Ｘ方向に沿って保持部１２ａが移動可能に保持部１２ａの端部Ｅａ１，Ｅａ２が基台１１に支持されると共にＸ方向に沿って突出するように端部Ｅａ１，Ｅａ２の中間部に補強部材３２が配設され、補強部材３２をＸ方向に沿って移動可能に支持すると共に規制指示および解除指示に従ってＸ方向に沿った補強部材３２の移動の規制および規制の解除が可能な支持部６２が取り付け部１４ａに配設されている。このため、この基板固定装置２および基板検査装置１によれば、保持部１２ａにおける端部Ｅａ１，Ｅａ２間の撓みを十分に少なく抑えることができる。したがって、この基板固定装置２および基板検査装置１によれば、保持部１２ａ，１２ｂによって保持されている基板１００の撓みを十分に少なく抑えることができる結果、プローブをプロービングさせる際の基板１００の撓みによる影響を防止して、プローブを基板１００に対して確実にプロービングさせることができる。

【0048】

また、この基板固定装置２および基板検査装置１によれば、保持部１２ａにおける長さ方向の中央部Ｃａに補強部材３２を配設したことにより、端部Ｅａ１，Ｅａ２が支持されている保持部１２ａにおいて最も撓みが大きくなる中央部Ｃａを支持することができるため、中央部Ｃａ以外の部位に補強部材３２を配設してその部位を支持する構成と比較して、保持部１２ａの撓みを押さえる効果を高めることができる。

【0049】

また、この基板固定装置２および基板検査装置１によれば、補強部材３２を挟持する一対の挟持片７１ａ，７１ｂと、挟持片７１ａ，７１ｂが互いに近接および離反するように挟持片７１ｂを移動させるエアシリンダ７２およびばね７３とを備えて支持部６２を構成したことにより、簡易な構成でありながら、補強部材３２の移動の規制および規制の解除を確実に行うことができる。

【0050】

なお、基板固定装置および基板検査装置は、上記の構成に限定されない。例えば、一対の保持部１２ａ，１２ｂの一方だけ（上記の例では保持部１２ａだけ）を移動可能に構成した例について上記したが、保持部１２ａ，１２ｂの双方を移動可能に構成することもできる。この場合、この構成では、保持部１２ａ，１２ｂの双方に補強部材３２を配設し、取り付け部１４ａ，１４ｂの双方に支持部６２を配設することで、上記の効果と同様の効果を実現することができる。

【0051】

また、保持部１２ａにおける長さ方向の中央部Ｃａに補強部材３２を配設した例について上記したが、中央部Ｃａ以外の位置、すなわち、保持部１２ａの端部Ｅａ１，Ｅａ２間における任意の位置に補強部材３２を配設することができ、この場合においても、保持部１２ａの撓みを少なく押さえる効果を実現することができる。

【0052】

また、１つの保持部１２に１つの補強部材３２を配設した構成例について上記したが、１つの保持部１２に２つ以上の補強部材３２を配設し、各補強部材３２をそれぞれ支持する２つ以上の支持部６２を取り付け部１４に配設する構成を採用することもできる。

【0053】

また、円柱状に形成した補強部材３２を採用した例について上記したが、補強部材３２の形状は円柱状に限定されず、例えば、断面が楕円の柱状、断面が多角形の柱状など各種の柱状の補強部材を採用することができる。

【0054】

また、補強部材３２の支持および補強部材３２の移動の規制を行う支持部の構成は、上記した支持部６２の構成に限定されない。例えば、エアシリンダ７２に代えてモータを用いた移動機構を備えた構成を採用することもできる。

【0055】

また、規定処理としてのプロービング処理を実行するプロービング装置３を取り付け部１４ａ，１４ｂに取り付けた例について上記したが、他の規定処理を実行する装置を取り付け部１４ａ，１４ｂに取り付ける構成を採用することもできる。例えば、基板１００の位置ずれを検出するための撮像処理を規定処理として実行する撮像部を取り付け部１４ａ，１４ｂに取り付ける構成を採用することができる。

【符号の説明】

【0056】

１ 基板検査装置
２ 基板固定装置
３ プロービング装置
４ 処理部
１１ 基台
１２ａ，１２ｂ 保持部
１４ａ，１４ｂ 取り付け部
３２ 補強部材
６２ 支持部
７１ａ，７１ｂ 挟持片
７２ エアシリンダ
７３ ばね
１００ 基板
Ｃａ 中央部
Ｅａ１，Ｅａ２ 端部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】