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特許第6216664号(P6216664)
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特許
6216664
排気の一部循環利用型安全キャビネットを利用した室内循環濾過空気風量の低減方法及び排気の一部循環利用型安全キャビネットの利用で清浄度維持室内循環風量を低減したクリーンルーム
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