発明の名称 導電性シリコーンゴム製電極パターンの作製方法並びにオールシリコーンゴム製静電チャック及びその製造方法
出願人 株式会社シンコーモールド (識別番号 594014328)
特許公開件数ランキング 14225 位(0件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 12103 位(0件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-6217303
公報発行日 2017年10月25
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6217303
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