特許 6223008 測定装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6223008

(24)【登録日】2017年10月13日

(45)【発行日】2017年11月1日

(54)【発明の名称】測定装置

(51)【国際特許分類】

   G01D 9/00 20060101AFI20171023BHJP

【ＦＩ】

   G01D9/00 Z

【請求項の数】1

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2013-126776(P2013-126776)

(22)【出願日】2013年6月17日

(65)【公開番号】特開2015-1472(P2015-1472A)

(43)【公開日】2015年1月5日

【審査請求日】2016年4月22日

(73)【特許権者】

【識別番号】000227180

【氏名又は名称】日置電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100104787

【弁理士】

【氏名又は名称】酒井 伸司

(72)【発明者】

【氏名】宮沢 健明

(72)【発明者】

【氏名】小山 敦史

【審査官】 榮永 雅夫

(56)【参考文献】

【文献】 特開平１１−１１８５３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０５−０４５１８１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｄ ７／００ − １２

Ｇ０１Ｄ ９／００ − ４２

Ｇ０１Ｄ １５／００ − ３４

Ｇ０１Ｒ １３／００ − ４２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

測定対象の電気的パラメータを測定して測定値を出力する測定部と、
前記測定値が予め規定された判定用測定値範囲内の値であるか否かを判定する判定処理を実行する処理部とを備えた測定装置であって、
前記測定部は、複数の測定チャンネルを有して当該測定チャンネル毎に予め規定された前記電気的パラメータを測定可能に構成され、
前記処理部は、前記各測定チャンネルのうちの少なくとも１つの当該測定チャンネルで測定された前記測定値を対象とする前記判定処理において、前記少なくとも１つの測定チャンネルとは異なる予め指定された前記測定チャンネルの前記測定値を上限値および下限値のいずれかとする測定値範囲、並びに当該測定値を基準値とする予め指定された測定値範囲のいずれかを前記判定用測定値範囲として規定する処理と、前記少なくとも１つの測定チャンネルとは異なる予め指定された１つの前記測定チャンネルの前記測定値を使用した予め設定された演算式の演算処理による演算結果を上限値および下限値のいずれかとする測定値範囲、並びに当該演算結果を基準値とする予め指定された測定値範囲のいずれかを前記判定用測定値範囲として規定する処理と、前記少なくとも１つの測定チャンネルとは異なる予め指定された複数の前記測定チャンネルの前記測定値を使用した予め設定された演算式の演算処理による演算結果を上限値および下限値のいずれかとする測定値範囲、並びに当該演算結果を基準値とする予め指定された測定値範囲のいずれかを前記判定用測定値範囲として規定する処理とを実行可能に構成されている測定装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、測定値が判定用測定値範囲内の値であるか否かを判定する処理を実行可能に構成された測定装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

この種の測定装置として、出願人は、予め規定された測定処理を実行して測定値を出力する通常の測定モードに加えて、比較測定モードや偏差測定モードでの測定処理を実行可能な測定装置を特開平６−１４７９３２号公報に開示している。この場合、比較測定モードでは、予め設定された上限値および下限値と測定値とが比較され、測定値が下限値を下回っているときには、「Ｌｏ」との文字列が表示され、測定値が上限値を超えているときには、「Ｈｉ」との文字列が表示され、かつ測定値が下限値以上で上限値以下のときには、「ＧＯ」との文字列が表示される。また、偏差測定モードでは、予め規定された基準値と測定値との偏差が演算され、演算結果が、カウント差（偏差値）、またはパーセント（基準値に対する偏差値の割合）を示す数値で表示される。

【0003】

この測定装置の使用に際しては、まず、下限値および上限値を設定する。この場合、出願人が開示している測定装置では、下限値および上限値として互いに相違する値が設定されたときに、ＣＰＵが、比較測定モードでの測定処理の実行を指示されたと判別し、設定された下限値および上限値と測定値とを比較して上記したように比較の結果を表示させる。また、出願人が開示している測定装置では、下限値および上限値として互いに等しい値が設定されたときに、ＣＰＵが、偏差測定モードでの測定処理の実行を指示されたと判別し、設定された下限値（または、上限値）を基準値として測定値との偏差を演算し、上記したように、カウント差、またはパーセントを示す数値を表示させる。これにより、所望する測定結果が取得される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開平６−１４７９３２号公報（第２−３頁、第１−２図）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところが、出願人が開示している測定装置には、以下の改善すべき課題が存在する。すなわち、出願人が開示している測定装置では、下限値および上限値として任意の値をそれぞれ設定することで、測定モードの切換え操作を行うことなく、設定した値に応じて比較測定モード、または偏差測定モードでの測定処理が実行される構成が採用されている。一方、この種の測定装置の使用形態の１つとして、例えば、電子機器等の製造ラインにおいて、複数の製品を対象として抵抗値等をそれぞれ測定したり、１つの製品における複数の検査箇所について抵抗値等をそれぞれ測定したりして、各測定値が判定用測定値範囲内の値であるか否かを判定するといった形態が挙げられる。そこで、出願人は、上記の測定装置を多チェンネル化し、各測定チャンネル毎に、設定した値に応じて比較測定モード、または偏差測定モードでの測定処理を実行可能な測定装置を開発した（図示せず）。

【0006】

この場合、出願人が開発した多チャンネルの測定装置において、例えば複数の製品を対象として比較測定モードで抵抗値等を測定し、各測定値が判定用測定値範囲内の値であるか否かを判定する際には、各測定チャンネル毎に任意の下限値および上限値（互いに相違する値）を設定する。これにより、各測定チャンネル毎に比較測定モードでの測定を指示する操作を行うことなく、各測定チャンネル毎に「Ｌｏ」、「Ｈｉ」および「ＧＯ」との文字列のうちのいずれかが判定結果として表示される。また、出願人が開発した多チャンネルの測定装置において、例えば複数の製品を対象として偏差測定モードで抵抗値等を測定する際には、各測定チャンネル毎に任意の下限値および上限値（互いに等しい値）を設定する。これにより、各測定チャンネル毎に偏差測定モードでの測定を指示する操作を行うことなく、各測定チャンネル毎に演算してカウント差、またはパーセントが表示される。

【0007】

このように、出願人が開発した多チャンネルの測定装置では、上限値および下限値を設定する操作を各測定チャンネル毎にそれぞれ実施するだけで各測定チャンネル毎に任意の測定モードで測定処理を実行させることができるため、比較測定モードと偏差測定モードとのいずれの測定モードで測定処理を実行するかを設定する操作を上限値および下限値等を設定する操作とは別個に実施しなくて済む分だけ、利用者にかかる負担が軽減される。しかしながら、出願人が開示した多チャンネルの測定装置では、上限値および下限値を設定する操作（判定処理用の値を設定する操作）を各測定チャンネル毎にそれぞれ実施しなくてはならず、測定チャンネルの数が多数のときに、この設定作業が煩雑となっている現状がある。したがって、この点を改善するのが好ましい。

【0008】

本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、判定用測定値範囲の設定に要する負担を十分に軽減し得る測定装置を提供することを主目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記目的を達成すべく、請求項１記載の測定装置は、測定対象の電気的パラメータを測定して測定値を出力する測定部と、前記測定値が予め規定された判定用測定値範囲内の値であるか否かを判定する判定処理を実行する処理部とを備えた測定装置であって、前記測定部は、複数の測定チャンネルを有して当該測定チャンネル毎に予め規定された前記電気的パラメータを測定可能に構成され、前記処理部は、前記各測定チャンネルのうちの少なくとも１つの当該測定チャンネルで測定された前記測定値を対象とする前記判定処理において、前記少なくとも１つの測定チャンネルとは異なる予め指定された前記測定チャンネルの前記測定値を上限値および下限値のいずれかとする測定値範囲、並びに当該測定値を基準値とする予め指定された測定値範囲のいずれかを前記判定用測定値範囲として規定する処理と、前記少なくとも１つの測定チャンネルとは異なる予め指定された１つの前記測定チャンネルの前記測定値を使用した予め設定された演算式の演算処理による演算結果を上限値および下限値のいずれかとする測定値範囲、並びに当該演算結果を基準値とする予め指定された測定値範囲のいずれかを前記判定用測定値範囲として規定する処理と、前記少なくとも１つの測定チャンネルとは異なる予め指定された複数の前記測定チャンネルの前記測定値を使用した予め設定された演算式の演算処理による演算結果を上限値および下限値のいずれかとする測定値範囲、並びに当該演算結果を基準値とする予め指定された測定値範囲のいずれかを前記判定用測定値範囲として規定する処理とを実行可能に構成されている。

【発明の効果】

【0011】

請求項１記載の測定装置によれば、処理部が、各測定チャンネルのうちの少なくとも１つの測定チャンネルで測定された測定値を対象とする判定処理において、１つの測定チャンネルとは異なる予め指定された測定チャンネルの測定値を基準値とする予め指定された測定値範囲を判定用測定値範囲として規定して上記の少なくとも１つの測定チャンネルの測定値が判定用測定値範囲内の値であるか否かを判定することにより、判定処理用の判定用測定値範囲について、その下限値および上限値や基準値を各測定チャンネル毎にそれぞれ入力する煩雑な設定作業を実行することなく、いずれかの測定チャンネルの測定値に応じて他の測定チャンネルの下限値および上限値や基準値を容易に規定させることができる。これにより、判定用測定値範囲の設定に要する負担を十分に軽減することができる。

【0012】

また、処理部が、判定処理において、予め設定された演算式の演算処理を実行して判定用測定値範囲としての予め指定された測定値範囲の上限値、下限値および基準値のいずれかを規定することにより、他の測定チャンネルの測定値と相関関係を有する測定値が測定されるべき測定チャンネルについては、その相関関係を示す演算式を予め登録しておくことで、所定の測定チャンネルの測定値から演算される値を下限値、上限値および基準値とする判定用測定値範囲が自動的に規定されるため、この種の装置に不慣れな利用者であっても、判定用測定値範囲を誤って設定することなく、判定処理を確実かつ容易に実行させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】抵抗測定装置１の構成を示す構成図である。

【図2】判定条件設定画面１０の一例を示す表示画面図である。

【図3】判定条件設定画面１０の他の一例を示す表示画面図である。

【図4】判定条件設定画面１０のさらに他の一例を示す表示画面図である。

【図5】判定条件設定画面１０ａの一例を示す表示画面図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、本発明に係る測定装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

【0015】

図１に示す抵抗測定装置１は、「測定装置」の一例であって、接断切換え部２、測定部３、操作部４、表示部５、処理部６および記憶部７を備えている。

【0016】

接断切換え部２は、いわゆる「マルチプレクサ（スキャナ）」であって、測定部３および処理部６と相俟って「測定部」を構成する。この接断切換え部２は、測定部３の制御に従い、測定対象に接続された複数の信号ケーブル２ａ，２ａ・・のうちの指定された４本を測定部３に接続する（四端子法による抵抗値の測定を目的として信号ケーブル２ａ，２ａ・・と測定部３との接断を切り換える処理）。測定部３は、処理部６の制御に従い、接断切換え部２を制御して各信号ケーブル２ａの接断を制御すると共に、接断切換え部２によって接続された４本の信号ケーブル２ａ（電流供給用の２本の信号ケーブル２ａ、および電圧測定用の２本の信号ケーブル２ａ）を介して測定対象の抵抗値（「電気的パラメータ」の一例）を測定し、測定値を示す測定値データＤ１（「測定値」の一例）を生成して出力する。

【0017】

この場合、本例の抵抗測定装置１では、一例として、接断切換え部２によって測定部３に順次接続される上記の４本の信号ケーブル２ａの組合わせが４２種類用意されており、これらの各組合わせがそれぞれ「測定チャンネル」に相当する（「測定チャンネル」が４２チャンネルの一構成例）。また、本例の抵抗測定装置１では、上記の各「測定チャンネル（４本の信号ケーブル２ａの組合わせ）」に関し、接断切換え部２による切り換え順序に応じて「ＳＴＥＰ０１」〜「ＳＴＥＰ４２」のようにＳＴＥＰ番号が付される。したがって、本明細書においては、以下、「測定チャンネル」について「ＳＴＥＰ」ともいう。

【0018】

操作部４は、動作条件（測定条件）等を設定したり、処理開始／停止を指示したりする各種操作スイッチを備え、スイッチ操作に応じた操作信号を処理部６に出力する。表示部５は、処理部６の制御に従い、各ＳＴＥＰ毎の測定条件を設定する測定条件設定画面や、測定結果を示す測定結果表示画面などを表示する（図示せず）。なお、各種の表示画面を表示する表示部を一体的に備えている構成を例に挙げて説明するが、外部装置としての「表示装置（表示部）」に各種の表示画面を表示させる構成を採用することもできる。

【0019】

処理部６は、抵抗測定装置１を総括的に制御する。具体的には、処理部６は、上記した測定条件設定画面を表示部５に表示させて各ＳＴＥＰ毎の測定条件を設定させ、設定された条件に従って測定手順データＤ０を生成して記憶部７に記憶させる。この場合、本例の抵抗測定装置１では、通常の測定処理（抵抗値を測定して測定値データＤ１を取得する処理）だけでなく、測定値データＤ１の値が予め規定された判定用測定値範囲内の値であるか否かを判定する判定処理（コンパレータ処理）を、各ＳＴＥＰ毎に任意に実行させることができるように構成されている。したがって、上記の測定条件設定画面において判定処理を実行するように指定されたＳＴＥＰが存在するときには、処理部６は、判定条件設定画面１０，１０ａ等を表示させて「判定用測定値範囲」を設定させ、設定された条件に従って測定手順データＤ０を生成して記憶部７に記憶させる。

【0020】

さらに、処理部６は、記憶部７に記憶させた測定手順データＤ０に従い、測定部３を制御して各ＳＴＥＰ毎に抵抗値を順次測定させ、測定部３から出力される測定値データＤ１をＳＴＥＰ番号に対応付けて記憶部７に記憶させる。また、処理部６は、上記の判定処理を実行するように設定されているＳＴＥＰについては、そのＳＴＥＰの測定値データＤ１と測定手順データＤ０とに基づき、測定値データＤ１の値が「判定用測定値範囲」内の値であるか否かを判定し、その判定結果を判定結果データＤ２として記憶部７に記憶させる。

【0021】

なお、判定条件の設定や、判定処理の具体的な内容については、後に具体例を挙げて詳細に説明するが、本例の抵抗測定装置１では、対象のＳＴＥＰで測定された測定値（測定値データＤ１の値）が予め設定された「下限値」および「上限値」の間の「測定値範囲」内の値であるか否かを判定する処理（以下、「処理Ａ」ともいう）と、対象のＳＴＥＰで測定された測定値（測定値データＤ１の値）が予め設定された「基準値」に対する予め規定された「範囲値（「±○○％」との値：［基準値］を基準として［測定値範囲］を規定するパラメータ）」の「測定値範囲」内の値であるか否かを判定する処理（以下、「処理Ｂ」ともいう）とのいずれかを「判定処理」として実行することができるように構成されている。記憶部７は、上記の測定手順データＤ０、測定値データＤ１および判定結果データＤ２などを記憶する。

【0022】

この抵抗測定装置１による測定処理に際しては、まず、各ＳＴＥＰ毎の測定条件を設定する。この場合、本例の抵抗測定装置１では、いずれかのＳＴＥＰにおいて「判定処理」を実行する際に、出願人が開発した従来の多チャンネル測定装置と同様にして「上限値」および「下限値」や「基準値」等の数値を直接指定して「判定用測定値範囲」を規定する使用方法に加えて、対象とするＳＴＥＰとは異なるＳＴＥＰの測定値を「下限値」、「上限値」または「基準値」とする「測定値範囲」を「判定用測定値範囲」として規定する使用方法を選択することができるように構成されている。

【0023】

具体的には、一例として、ＳＴＥＰ０２の測定値データＤ１を対象とする「判定処理」として「処理Ｂ」を実行する際には、図示しない測定条件設定画面においてＳＴＥＰ０２を選択した状態において、図２に示すように、判定条件設定画面１０を表示部５に表示させる。この場合、判定条件設定画面１０は、設定対象のＳＴＥＰ番号を示す対象ＳＴＥＰ表示１１、対象ＳＴＥＰ表示１１に表示されているＳＴＥＰの測定処理時に使用する測定レンジを示す測定レンジ表示１２、および対象ＳＴＥＰ表示１１に表示されているＳＴＥＰの「判定用測定値範囲」を示す判定用測定値範囲表示１３などで構成されている。

【0024】

また、判定用測定値範囲表示１３は、下限値／基準値表示部１３ａおよび上限値／範囲値表示部１３ｂで構成されている。この場合、下限値／基準値表示部１３ａには、「判定処理」として上記の「処理Ａ」を実行する際には、「判定用測定値範囲」の「下限値」として規定する設定値が表示され、「判定処理」として上記の「処理Ｂ」を実行する際には、「判定用測定値範囲」の「基準値」として規定する設定値が表示される。また、上限値／範囲値表示部１３ｂには、「判定処理」として上記の「処理Ａ」を実行する際には、「判定用測定値範囲」の「上限値」として規定する設定値が表示され、「判定処理」として上記の「処理Ｂ」を実行する際には、「判定用測定値範囲」の「範囲値」として規定する設定値が表示される。

【0025】

ここで、一例として、「１００ｍΩ±１０．０％の測定値範囲」をＳＴＥＰ０２の「判定用測定値範囲」として設定する際には、操作部４を操作して、図２に示すように、下限値／基準値表示部１３ａに「１００ｍΩ」との「基準値」を入力し、かつ上限値／範囲値表示部１３ｂに「１０．０％」との「範囲値」を入力する。これにより、ＳＴＥＰ０２についての「判定処理」用の条件の設定が完了する。

【0026】

また、上記のような条件に代えて、例えば、「ＳＴＥＰ０１において測定される測定手順データＤ０の値を基準値とする±１０．０％の測定値範囲」をＳＴＥＰ０２の「判定用測定値範囲」として設定する際には、操作部４を操作して、図３に示すように、下限値／基準値表示部１３ａに「ＳＴＥＰ０１」との「設定値」を「基準値」として入力し、かつ上限値／範囲値表示部１３ｂに「１０．０％」との「範囲値」を入力する。これにより、ＳＴＥＰ０２についての「判定処理」用の条件の設定が完了する。

【0027】

この場合、本例の抵抗測定装置１では、前述したように、接断切換え部２による各信号ケーブル２ａの切り換え順序、すなわち、測定部３による測定処理の実行順序に応じて各ＳＴＥＰのＳＴＥＰ番号が規定されている。このため、「判定処理」としての「処理Ｂ」用の「判定用測定値範囲」の設定に際して下限値／基準値表示部１３ａに入力するＳＴＥＰは、設定対象のＳＴＥＰよりも先に測定処理が実行されるＳＴＥＰ、すなわち、対象ＳＴＥＰ表示１１に表示されているＳＴＥＰのＳＴＥＰ番号よりも小さなＳＴＥＰ番号のＳＴＥＰである必要がある。したがって、本例の抵抗測定装置１では、下限値／基準値表示部１３ａに対する設定値の入力に際して、対象ＳＴＥＰ表示１１に設定対象のＳＴＥＰよりも小さなＳＴＥＰ番号のＳＴＥＰだけが選択候補として表示される構成が採用されている（図示せず）。

【0028】

一方、一例として、「ＳＴＥＰ０１において測定される測定手順データＤ０の値に「０．９」を乗じた値を基準値とする±１５．０％の測定値範囲」をＳＴＥＰ０３の「判定用測定値範囲」として設定する際には、操作部４を操作して、図４に示すように、下限値／基準値表示部１３ａに「ＳＴＥＰ０１×０．９」との「演算式」を「基準値」として入力し、かつ上限値／範囲値表示部１３ｂに「１５．０％」との「範囲値」を入力する。これにより、ＳＴＥＰ０３についての「判定処理」用の条件の設定が完了する。

【0029】

また、本例の抵抗測定装置１では、図４の例のような単純な「演算式」だけでなく、さらに複雑な「演算式」を「下限値」または「上限値」として設定することが可能となっている。具体的には、一例として、「ＳＴＥＰ０１において測定される測定手順データＤ０の値に「０．７」を乗じた値」を「下限値」とし、かつ「ＳＴＥＰ０１において測定される測定手順データＤ０の値から、ＳＴＥＰ０１において測定される測定手順データＤ０の値とＳＴＥＰ０２において測定される測定手順データＤ０の値との差分値（絶対値）を差し引いた値」を「上限値」とする「測定値範囲」をＳＴＥＰ０３の「判定用測定値範囲」として設定する際には、操作部４を操作して、図５に示すように、判定条件設定画面１０ａを表示部５に表示させる。

【0030】

なお、この判定条件設定画面１０ａにおいて前述した判定条件設定画面１０と同様の事項が表示される部位については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。次いで、ＳＴＥＰ０４についての下限値／基準値表示部１３ａに「ＳＴＥＰ０１＊０．７」との「演算式」を「下限値」として入力し、かつ、上限値／範囲値表示部１３ｂに「ＳＴＥＰ０１−｜ＳＴＥＰ０１−ＳＴＥＰ０２｜」との「演算式」を「上限値」として入力する。これにより、ＳＴＥＰ０４についての「判定処理」用の条件の設定が完了する。なお、「判定用測定値範囲」の「下限値」および「上限値」の双方に「演算式」を入力した例について説明したが、「下限値」および「上限値」のいずれか一方に「演算式」を入力し、他方に「２００ｍΩ」等の数値を入力することもできる。

【0031】

この場合、同図に示す判定条件設定画面１０ａの例では、ＳＴＥＰ０１については「判定処理」を実行せず、ＳＴＥＰ０２については、図３を参照しつつ説明した上記の例の設定で「判定処理」が実行され、かつ、ＳＴＥＰ０３については、図４を参照しつつ説明した上記の例の設定で「判定処理」が実行されると共に、ＳＴＥＰ０４については、「下限値」および「上限値」の双方に「演算式」を入力した上記の例の設定で「判定処理」が実行される旨の測定条件（判定条件）が設定されている。この後、多のＳＴＥＰ０５〜ＳＴＥＰ４２についても、必要に応じて上記のＳＴＥＰ０１〜ＳＴＥＰ０４についての設定作業と同様の作業を行う。これにより、各ＳＴＥＰについての測定条件（判定条件）の設定が完了し、測定手順データＤ０が記憶部７に記憶される。

【0032】

一方、一例として、図５に示す判定条件設定画面１０ａのように各ＳＴＥＰ毎の測定条件（判定条件）が設定されている状態において測定処理を実行する際には、各ＳＴＥＰ毎の測定対象に各信号ケーブル２ａをそれぞれ接続する。次いで、操作部４を操作することにより、処理開始を指示する。この際に、処理部６は、記憶部７に記憶されている測定手順データＤ０に従い、まず、ＳＴＥＰ０１の測定対象についての測定処理を実行させる。具体的には、処理部６は、測定部３を制御して、ＳＴＥＰ０１の測定対象について３００ｍΩレンジでの抵抗値の測定処理を実行させる。

【0033】

これに応じて、測定部３は、接断切換え部２を制御してＳＴＥＰ０１として規定された態様で所定の測定対象を測定部３に接続させ、かつ他の測定対象を測定部３から切断させる。次いで、測定部３は、接断切換え部２によって接続された４本の信号ケーブル２ａのうちの２本を使用して図示しない定電流源から３００ｍΩレンジに対応する定電流の測定用電流を測定対象に供給させると共に、４本の信号ケーブル２ａのうちの他の２本の間の電圧値を測定し、測定した電圧値と、供給した測定用電流の電流値とに基づき、測定対象の抵抗値を演算して測定値データＤ１として出力する。この際に、本例では、ＳＴＥＰ０１の測定処理時に「判定処理」を実行しない旨が設定されているため、処理部６は、測定部３から出力された測定値データＤ１をＳＴＥＰ０１に関連付けて記憶部７に記憶させる。これにより、ＳＴＥＰ０１の処理が完了する。

【0034】

次いで、処理部６は、測定手順データＤ０に従い、上記のＳＴＥＰ０１の測定処理と同様に測定部３を制御することでＳＴＥＰ０２の測定対象についての測定処理を実行させると共に、測定部３から出力された測定値データＤ１をＳＴＥＰ０２に関連付けて記憶部７に記憶させる。この際に、本例では、ＳＴＥＰ０２の測定処理によって測定された測定手順データＤ０の値を対象とする「判定処理」を実行する旨が設定されているため、処理部６は、測定手順データＤ０に従い、まず、「判定用測定値範囲」を規定する。具体的には、処理部６は、ＳＴＥＰ０１の測定値データＤ１を記憶部７から読み出すと共に、読み出した測定値データＤ１の値を「基準値」とする「±１０．０％」の範囲を「判定用測定値範囲」として規定する。

【0035】

次いで、処理部６は、記憶部７に記憶されているＳＴＥＰ０２の測定値データＤ１の値が「判定用測定値範囲」内の値であるか否かを判定する。この際に、ＳＴＥＰ０２の測定値データＤ１の値が「判定用測定値範囲」内の値であるときには、処理部６は、測定値が「判定用測定値範囲」内の値である旨を示す「ＩＮ」との符号を判定結果データＤ２として生成してＳＴＥＰ０２に関連付けて記憶部７に記憶させると共に、一例として、「ＳＴＥＰ０２」との文字列、および「ＩＮ」との文字列を表示部５の測定結果表示画面（図示せず）に並べて表示させる。

【0036】

また、ＳＴＥＰ０２の測定値データＤ１の値が「判定用測定値範囲」を下回る値であるときには、処理部６は、測定値が「判定用測定値範囲」を下回る値である旨を示す「ＬＯＷ」との符号を判定結果データＤ２として生成してＳＴＥＰ０２に関連付けて記憶部７に記憶させると共に、一例として、「ＳＴＥＰ０２」との文字列、および「ＬＯＷ」との文字列を表示部５の測定結果表示画面（図示せず）に並べて表示させる。さらに、ＳＴＥＰ０２の測定値データＤ１の値が「判定用測定値範囲」を上回る値であるときには、処理部６は、測定値が「判定用測定値範囲」を上回る値である旨を示す「ＨＩＧＨ」との符号を判定結果データＤ２として生成してＳＴＥＰ０２に関連付けて記憶部７に記憶させると共に、一例として、「ＳＴＥＰ０２」との文字列、および「ＨＩＧＨ」との文字列を表示部５の測定結果表示画面（図示せず）に並べて表示させる。これにより、ＳＴＥＰ０２の処理が完了する。

【0037】

次いで、処理部６は、測定手順データＤ０に従い、上記のＳＴＥＰ０１やＳＴＥＰ０２の測定処理と同様にして、測定部３を制御することでＳＴＥＰ０３の測定対象についての測定処理を実行させると共に、測定部３から出力された測定値データＤ１をＳＴＥＰ０３に関連付けて記憶部７に記憶させる。続いて、処理部６は、上記のＳＴＥＰ０２の測定処理時と同様にして、測定手順データＤ０に従い、ＳＴＥＰ０３の測定値データＤ１を対象とする「判定処理」を実行する。なお、ＳＴＥＰ０３の「判定処理」は、「判定用測定値範囲」の「基準値」が「ＳＴＥＰ０１の測定値データＤ１の値に０．９を乗じた値」との「演算式」で演算される値であり、「範囲値」が「１５．０％」である点を除き、ＳＴＥＰ０２の「判定処理」と同様のため、その説明を省略する。これにより、ＳＴＥＰ０３の処理が完了する。

【0038】

続いて、処理部６は、測定手順データＤ０に従い、上記の各ＳＴＥＰ０１〜ＳＴＥＰ０３の測定処理と同様にして、測定部３を制御することでＳＴＥＰ０４の測定対象についての測定処理を実行させると共に、測定部３から出力された測定値データＤ１をＳＴＥＰ０４に関連付けて記憶部７に記憶させる。この際に、本例では、ＳＴＥＰ０４の測定処理によって測定された測定手順データＤ０の値についても、その値を対象とする「判定処理」を実行する旨が設定されている。したがって、処理部６は、測定手順データＤ０に従い、まず、ＳＴＥＰ０４用の「判定用測定値範囲」を規定する。

【0039】

具体的には、処理部６は、ＳＴＥＰ０１の測定値データＤ１、およびＳＴＥＰ０２の測定値データＤ１を記憶部７からそれぞれ読み出す。次いで、処理部６は、ＳＴＥＰ０１の測定値データＤ１の値に「０．７」を乗じる演算処理（「基準値×０．７」を「予め設定された演算式」とする演算処理の例）を実行してＳＴＥＰ０４の「判定用測定値範囲」の「下限値」を規定する。続いて、処理部６は、ＳＴＥＰ０１の測定値データＤ１の値から、ＳＴＥＰ０１の測定値データＤ１の値とＳＴＥＰ０２の測定値データＤ１の値との差分値（絶対値）を差し引く演算処理（「ＳＴＥＰ０１の測定値データＤ１の値−｜ＳＴＥＰ０１の測定値データＤ１の値−ＳＴＥＰ０１の測定値データＤ２の値｜」を「予め設定された演算式」とする演算処理の例）を実行してＳＴＥＰ０４の「判定用測定値範囲」の「上限値」を規定する。

【0040】

次いで、処理部６は、記憶部７に記憶されているＳＴＥＰ０４の測定値データＤ１の値が「判定用測定値範囲」内の値であるか否かを判定し、その判定結果に応じて「ＩＮ」、「ＬＯＷ」および「ＨＩＧＨ」との符号のうちのいずれかを判定結果データＤ２として生成してＳＴＥＰ０４に関連付けて記憶部７に記憶させると共に、「ＳＴＥＰ０４」との文字列と、「ＩＮ」、「ＬＯＷ」および「ＨＩＧＨ」との文字列のうちのいずれかの文字列とを表示部５の測定結果表示画面（図示せず）に並べて表示させる。これにより、ＳＴＥＰ０４の処理が完了する。この後、他のＳＴＥＰ０５〜ＳＴＥＰ４２についても、上記のＳＴＥＰ０１〜ＳＴＥＰ０４の各測定処理と同様にして、測定手順データＤ０に基づく測定処理がそれぞれ実行される。

【0041】

この場合、上記の例とは相違するが、本例のような構成の抵抗測定装置１によれば、例えば、１つの良品を予め用意しておくことで、同型の複数の電子機器を対象とする製品検査を迅速かつ容易に実施することができる。具体的には、一例として、良品の電子機器（測定対象）をＳＴＥＰ０１の接続態様の信号ケーブル２ａに接続すると共に、ＳＴＥＰ０１の「測定条件」の設定に際して「判定処理」を実行しない旨を設定し、かつＳＴＥＰ０２〜ＳＴＥＰ４２の各「測定条件」の設定に際して「判定処理」の条件における「判定用測定値範囲」として、「ＳＴＥＰ０１の測定値データＤ１の値に対する±２．５％」との条件をそれぞれ設定する。また、製品検査に際しては、検査対象の電子機器をＳＴＥＰ０２〜ＳＴＥＰ４２の接続態様の信号ケーブル２ａにそれぞれ接続する。

【0042】

これにより、各ＳＴＥＰ０１〜ＳＴＥＰ４２の測定処理が順次実行される際に、ＳＴＥＰ０２〜ＳＴＥＰ４２までの各測定処理時には、ＳＴＥＰ０１の測定値データＤ１の値、すなわち、良品の電子機器についての測定値を「基準値」とする「±２．５％」との「判定用測定値範囲」内の値が測定されたか否かが判定結果データＤ２として生成され、かつ判定結果が表示部５に表示される。したがって、このような例においては、「判定処理」を実行するための「基準値」（または、「下限値」および「上限値」）を直接入力する設定操作を１回も実行することなく、４１個の電子機器を対象とする製品検査（判定処理）を実行させることが可能となる。

【0043】

このように、この抵抗測定装置１によれば、処理部６が、各測定チャンネルのうちの少なくとも１つの測定チャンネルで測定された測定値データＤ１の測定値を対象とする判定処理において、その１つの測定チャンネルとは異なる予め指定された測定チャンネルの測定値データＤ１の測定値を基準値とする「予め指定された測定値範囲」を判定用測定値範囲として規定して上記の少なくとも１つの測定チャンネルの測定値が判定用測定値範囲内の値であるか否かを判定することにより、「判定処理」用の「判定用測定値範囲」について、その「下限値」および「上限値」や「基準値」を各ＳＴＥＰ毎にそれぞれ入力する煩雑な設定作業を実行することなく、いずれかのＳＴＥＰの測定値データＤ１の値に応じて他のＳＴＥＰの「下限値」および「上限値」や「基準値」を容易に規定させることができる。これにより、「判定用測定値範囲」の設定に要する負担を十分に軽減することができる。

【0044】

また、この抵抗測定装置１によれば、処理部６が、判定処理において、予め設定された演算式の演算処理を実行して判定用測定値範囲としての「予め指定された測定値範囲」の上限値および下限値のうちの少なくとも一方を規定することにより、他のＳＴＥＰの測定値データＤ１の値と相関関係を有する測定値が測定されるべきＳＴＥＰについては、その相関関係を示す演算式を予め登録しておくことで、所定のＳＴＥＰの測定値データＤ１の値から演算される値を「下限値」または「上限値」とする「判定用測定値範囲」が自動的に規定されるため、この種の装置に不慣れな利用者であっても、「判定用測定値範囲」を誤って設定することなく、「判定処理」を確実かつ容易に実行させることができる。

【0045】

なお、「測定装置」の構成は、上記の抵抗測定装置１の例に限定されない。例えば、「電気的パラメータ」として「抵抗値」を測定する抵抗測定装置１の構成を「測定装置」の一例として説明したが、「測定装置」の構成はこれに限定されず、電流値、電圧値、電力値、および位相等の各種の「電気的パラメータ」を測定する構成においても、上記の抵抗測定装置１と同様にして、判定処理用の「上限値」、「下限値」および「基準値」を規定する構成を採用することができる。また、複数の「測定チャンネル」の一例である各「ＳＴＥＰ」毎の測定処理時に「判定処理」を実行する例について説明したが、上記の抵抗測定装置１のようなＳＴＥＰ毎の測定処理に代えて、別個独立して測定処理を実行可能な複数の測定系を有する「測定部」を備え、「各測定系毎の測定処理」を「各測定チャンネル毎の測定処理」として、同時に複数の測定処理を実行可能な構成を採用することもできる。

【0046】

さらに、判定結果を示す「ＩＮ」、「ＬＯＷ」および「ＨＩＧＨ」との文字列を表示部５に表示させる例について説明したが、このような構成に代えて、「ＩＮ」、「ＬＯＷ」および「ＨＩＧＨ」との判定結果に対応して予め用意したインジケータを点灯させたり、「ＩＮ」、「ＬＯＷ」および「ＨＩＧＨ」との判定結果に応じて互いに相違する音（ブザー音等）を出力させたりする構成を採用することができる。

【符号の説明】

【0047】

１ 抵抗測定装置
２ 接断切換え部
２ａ 信号ケーブル
３ 測定部
４ 操作部
５ 表示部
６ 処理部
７ 記憶部
１０，１０ａ 判定条件設定画面
１１ 対象ＳＴＥＰ表示
１２ 測定レンジ表示
１３ 判定用測定値範囲表示
１３ａ 下限値／基準値表示部
１３ｂ 上限値／範囲値表示部
Ｄ０ 測定手順データ
Ｄ１ 測定値データ
Ｄ２ 判定結果データ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】