特許6223462拡散冷却方式ガスレーザ装置および拡散冷却方式ガスレーザ装置での放電分布の調整方法

発明の名称　拡散冷却方式ガスレーザ装置および拡散冷却方式ガスレーザ装置での放電分布の調整方法

出願人　トルンプフ　レーザー−　ウント　ジュステームテヒニク　ゲゼルシャフト　ミット　ベシュレンクテル　ハフツング　（識別番号 506065105）

　　　　特許公開件数ランキング 3192 位（5件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2358 位（6件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6223462

公報発行日　2017年11月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6223462

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