特許 6226419 浮上搬送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6226419

(24)【登録日】2017年10月20日

(45)【発行日】2017年11月8日

(54)【発明の名称】浮上搬送装置

(51)【国際特許分類】

   B65G 51/03 20060101AFI20171030BHJP

   B65G 49/06 20060101ALI20171030BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20171030BHJP

【ＦＩ】

   B65G51/03 A

   B65G49/06 Z

   H01L21/68 A

【請求項の数】11

【全頁数】30

(21)【出願番号】特願2013-172730(P2013-172730)

(22)【出願日】2013年8月22日

(65)【公開番号】特開2015-40105(P2015-40105A)

(43)【公開日】2015年3月2日

【審査請求日】2016年7月22日

(73)【特許権者】

【識別番号】000103644

【氏名又は名称】オイレス工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100104570

【弁理士】

【氏名又は名称】大関 光弘

(72)【発明者】

【氏名】角田 耕一

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 彰彦

(72)【発明者】

【氏名】安田 貴裕

【審査官】 八板 直人

(56)【参考文献】

【文献】 国際公開第２０１２／０９６０３３（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２００７−０２７４９５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ６５Ｇ ４９／０６−４９／０７

Ｈ０１Ｌ ２１／６７−２１／６８７

Ｂ６５Ｇ ５１／０３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送対象を浮上させて、搬送方向に非接触で搬送する浮上搬送装置であって、
圧縮気体の噴出口が複数形成された搬送面と、前記搬送面の反対側に位置し、圧縮気体の給気口が複数形成された裏面と、前記搬送面に形成された複数の前記噴出口および前記裏面に形成された複数の前記給気口間を繋ぐ給気路と、を有する搬送レールと、
前記搬送レールの前記裏面に形成された複数の給気口のそれぞれに対向する複数の給気口連結口と、給気ポンプのホースを接続するための給気ニップルが取り付けられ、前記給気口連結口の数より少ない数の給気ニップル取付口と、を有する給気用マニホールドと、を備え、
前記搬送レールには、前記搬送レールの前記搬送面と前記搬送レールの前記裏面との間を貫通する排気用貫通穴が複数形成されており、
前記搬送レールの前記裏面と前記給気用マニホールドとの間には隙間が形成されており、
前記搬送レールの前記搬送面に形成された複数の前記噴出口から噴出された圧縮気体の一部は、複数の前記排気用貫通穴を通って前記隙間から排気される
ことを特徴とする浮上搬送装置。

【請求項2】

請求項１に記載の浮上搬送装置であって、
前記搬送レールの前記裏面と前記給気用マニホールドとの間に介在するワッシャと、
前記ワッシャを介して、前記給気用マニホールドを前記搬送レールに固定するボルトと、を備え、
前記隙間の厚さは、前記ワッシャの厚さより確定されている
ことを特徴とする浮上搬送装置。

【請求項3】

請求項１または２に記載の浮上搬送装置であって、
前記給気口毎に設けられ、当該給気口に対向する前記給気口連結口を当該給気口に連結する給気用ジョイントをさらに備える
ことを特徴とする浮上搬送装置。

【請求項4】

請求項３に記載の浮上搬送装置であって、
前記給気用ジョイントは、
一方の端部が前記給気口に挿入され、他方の端部が、前記給気口に対向する前記給気口連結口に挿入される円筒状のジョイント本体と、
前記給気口および前記給気口に対向する前記給気口連結口の口径よりも大きな外径を有し、前記ジョイント本体の外周面から張り出すように形成されたフランジと、を有し、
前記浮上搬送装置は、
前記搬送レールの前記裏面と当該裏面に対面する前記フランジの一方の面との間、および前記給気用マニホールドと当該給気用マニホールドに対面する前記フランジの他方の面との間を封止するシール部材をさらに備える
ことを特徴とする浮上搬送装置。

【請求項5】

請求項４に記載の浮上搬送装置であって、
前記シール部材は、
前記給気用ジョイントの前記フランジの厚みより軸方向の厚さが厚く、当該フランジの外縁を囲むように軸方向に圧縮されて配されたＯリングである
ことを特徴とする浮上搬送装置。

【請求項6】

搬送対象を浮上させて、搬送方向に非接触で搬送する浮上搬送装置であって、
圧縮気体の噴出口が複数形成された搬送面と、前記搬送面の反対側に位置し、圧縮気体の給気口が複数形成された裏面と、前記搬送面に形成された複数の前記噴出口および前記裏面に形成された複数の前記給気口間を繋ぐ給気路と、を有する搬送レールと、
前記搬送レールの前記裏面に形成された複数の給気口のそれぞれに対向する複数の給気口連結口と、給気ポンプのホースを接続するための給気ニップルが取り付けられ、前記給気口連結口の数より少ない数の給気ニップル取付口と、を有する給気用マニホールドと、を備え、
前記給気用マニホールドは、
前記給気用マニホールドの長手方向に沿って、前記給気用マニホールドの両側に一体的に形成された、Ｔ字ナットを当該長手方向にスライド可能に収容する２列のＴ字状溝付き部材を有し、
前記給気ニップルは、
前記２列のＴ字状溝のそれぞれに挿入された前記Ｔ字ナットと螺合するボルトにより前記給気用マニホールドに固定される冶具によって前記給気ニップル取付口に取り付けられる
ことを特徴とする浮上搬送装置。

【請求項7】

請求項１ないし６のいずれか一項に記載の浮上搬送装置であって、
前記搬送レールは、
前記搬送レールの前記搬送面を構成する第一の面と、前記第一の面の反対側に位置する第二の面とを有する第一のプレートと、
前記搬送レールの前記裏面を構成する第三の面と、前記第三の面の反対側に位置し、前記第一のプレートの前記第二の面に重ね合わせられた第四の面と、を有する第二のプレートと、を有し、
前記第一のプレートには、
前記噴出口毎に、前記第一の面と前記第二の面との間を貫通して当該噴出口に繋がる複数の噴出用貫通穴が形成されており、
前記第二プレートには、
前記給気口毎に、前記第三の面と前記第四の面との間を貫通して当該給気口に繋がる複数の給気用貫通穴が形成されており、
前記第一のプレートの第二の面および前記第二のプレートの第四の面の少なくとも一方に、前記複数の噴出用貫通穴および前記複数の給気用貫通穴と繋がる溝が前記給気路として形成されている
ことを特徴とする浮上搬送装置。

【請求項8】

搬送対象を浮上させて、搬送方向に非接触で搬送する浮上搬送装置であって、
圧縮気体の噴出口が複数形成された搬送面と、前記搬送面の反対側に位置し、圧縮気体の給気口が複数形成された裏面と、前記搬送面に形成された複数の前記噴出口および前記裏面に形成された複数の前記給気口間を繋ぐ給気路と、前記搬送面に複数形成された吸引口と、前記裏面に複数形成された排気口と、前記搬送面に形成された複数の前記吸引口および前記裏面に形成された複数の前記排気口間を繋ぐ吸引路と、を有する搬送レールと、
前記搬送レールの前記裏面に形成された複数の給気口のそれぞれに対向する複数の給気口連結口と、給気ポンプのホースを接続するための給気ニップルが取り付けられ、前記給気口連結口の数より少ない数の給気ニップル取付口と、を有する給気用マニホールドと、
前記搬送用レールの前記裏面に形成された複数の前記排気口のそれぞれに対向する複数の排気口連結口と、吸引ポンプのホースを接続するための吸引ニップルが取り付けられ、前記排気口連結口の数より少ない数の吸引ニップル取付口と、を有する吸引用マニホールドと、
前記給気口毎に設けられ、当該給気口に対向する前記給気口連結口を当該給気口に連結する複数の給気用ジョイントと、
前記排気口毎に設けられ、当該排気口に対向する前記排気口連結口を当該供給口に連結する複数の吸引用ジョイントと、を備え、
前記給気用ジョイントは、
一方の端部が前記前記給気口に挿入され、他方の端部が、前記給気口に対向する前記給気口連結口に挿入される円筒状のジョイント本体と、
前記給気口および前記給気口に対向する前記給気口連結口の口径よりも大きな外径を有し、前記給気用ジョイントの前記ジョイント本体の外周面から張り出すように形成されたフランジと、を有し、
前記吸引用ジョイントは、
一方の端部が前記排気口に挿入され、他方の端部が、前記排気口に対向する前記排気口連結口に挿入される円筒状のジョイント本体と、
前記排気口および前記排気口連結口の口径よりも大きな外径を有し、前記吸引用ジョイントの前記ジョイント本体の外周面から張り出すように形成されたフランジと、を有し、
前記浮上搬送装置は、
前記搬送レールの前記裏面と当該裏面に対面する前記給気用ジョイントの前記フランジの一方の面との間、および前記給気用マニホールドと当該給気用マニホールドに対面する前記給気用ジョイントの前記フランジの他方の面との間を封止する第一のシール部材と、
前記搬送レールの前記裏面と当該裏面に対面する前記吸引用ジョイントの前記フランジの一方の面との間、および前記吸引用マニホールドと当該吸引用マニホールドに対面する前記吸引用ジョイントの前記フランジの他方の面との間を封止する第二のシール部材と、をさらに備える
ことを特徴とする浮上搬送装置。

【請求項9】

請求項８に記載の浮上搬送装置であって、
前記第一のシール部材は、
前記給気用ジョイントの前記フランジの厚みより軸方向の厚さが厚く、当該フランジの外縁を囲むように軸方向に圧縮されて配されたＯリングであり、
前記第二のシール部材は、
前記吸引用ジョイントの前記フランジの厚みより軸方向の厚さが厚く、当該フランジの外縁を囲むように軸方向に圧縮されて配されたＯリングである
ことを特徴とする浮上搬送装置。

【請求項10】

搬送対象を浮上させて、搬送方向に非接触で搬送する浮上搬送装置であって、
圧縮気体の噴出口が複数形成された搬送面と、前記搬送面の反対側に位置し、圧縮気体の給気口が複数形成された裏面と、前記搬送面に形成された複数の前記噴出口および前記裏面に形成された複数の前記給気口間を繋ぐ給気路と、前記搬送面に複数形成された吸引口と、前記裏面に複数形成された排気口と、前記搬送面に形成された複数の前記吸引口および前記裏面に形成された複数の前記排気口間を繋ぐ吸引路と、を有する搬送レールと、
前記搬送レールの前記裏面に形成された複数の給気口のそれぞれに対向する複数の給気口連結口と、給気ポンプのホースを接続するための給気ニップルが取り付けられ、前記給気口連結口の数より少ない数の給気ニップル取付口と、を有する給気用マニホールドと、
前記搬送用レールの前記裏面に形成された複数の前記排気口のそれぞれに対向する複数の排気口連結口と、吸引ポンプのホースを接続するための吸引ニップルが取り付けられ、前記排気口連結口の数より少ない数の吸引ニップル取付口と、を有する吸引用マニホールドと、を備え、
前記給気用マニホールドおよび前記吸引用マニホールドは、
並列して一体的に形成されるとともに、
前記給気用マニホールドおよび前記吸引用マニホールドの間の位置と、前記給気用マニホールドおよび前記吸引用マニホールドをはさむ両側の位置とに、前記給気用マニホールドおよび前記吸引用マニホールドそれぞれの長手方向に沿って前記給気用マニホールドおよび前記吸引用マニホールドに一体的に形成された、Ｔ字ナットを当該長手方向にスライド可能に収容する３列のＴ字溝付き部材を有し、
前記給気ニップルは、
前記給気用マニホールドを挟み込む２列の前記Ｔ字状溝付き部材のそれぞれに挿入された前記Ｔ字ナットと螺合するボルトにより前記給気用マニホールドに固定される冶具によって前記給気ニップル取付口に取り付けられ、
前記吸引ニップルは、
前記吸引用マニホールドを挟み込む２列の前記Ｔ字状溝付き部材のそれぞれに挿入された前記Ｔ字ナットと螺合するボルトにより前記吸引用マニホールドに固定される冶具によって前記吸引ニップル取付口に取り付けられる
ことを特徴とする浮上搬送装置。

【請求項11】

請求項８ないし１０のいずれか一項に記載の浮上搬送装置であって、
前記搬送レールは、
前記搬送レールの前記搬送面を構成する第一の面と、前記第一の面の反対側に位置する第二の面とを有する第一のプレートと、
前記搬送レールの前記裏面を構成する第三の面と、前記第三の面の反対側に位置する第四の面と、を有する第二のプレートと、
前記第一のプレートと前記第二プレートとの間に配置され、前記第一のプレートの第二の面と重ね合わせられた第五の面、および前記第二のプレートの第四の面と重ね合わせられた第六の面を有する第三のプレートと、を有し、
前記第一のプレートには、前記噴出口毎に、前記第一の面と前記第二の面との間を貫通して当該噴出口に繋がる複数の噴出用貫通穴が形成されるとともに、前記吸引口毎に、前記第一の面と前記第二の面との間を貫通して当該吸引口に繋がる複数の吸引用貫通穴が形成され、
前記第二のプレートには、前記給気口毎に、前記第三の面と前記第四の面との間を貫通して当該給気口に繋がる複数の給気用貫通穴が形成されるとともに、前記排気口毎に、前記三面と前記第四の面との間を貫通して当該排気口に繋がる複数の排気用貫通穴が形成され、
前記第三のプレートには、前記第五の面と前記第六の面との間を貫通して複数の前記噴出用貫通穴あるいは複数の前記給気用貫通穴と繋がる複数の給気連結用貫通穴が形成されるとともに、前記第五の面および前記第六の面間を貫通して複数の前記吸引用貫通穴あるいは複数の前記排気用貫通穴と繋がる複数の吸引連結用貫通穴が形成され、
前記第一のプレートの第二の面および前記第三のプレートの前記第五の面の少なくとも一方には、複数の前記噴出用貫通穴および複数の前記給気連結用貫通穴と繋がる溝が前記給気路として、あるいは、複数の前記吸引用貫通穴および複数の前記吸引連結用貫通穴と繋がる溝が前記吸引路として形成され、
前記第二のプレートの第四の面および前記第三のプレートの前記第六の面の少なくとも一方には、複数の前記排気用貫通穴および複数の前記吸引連結用貫通穴と繋がる溝が前記吸引路として、あるいは、複数の前記給気用貫通穴および複数の前記給気連結用貫通穴と繋がる溝が前記給気路として形成される
ことを特徴とする浮上搬送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、薄板状の搬送対象を浮上させて非接触で搬送する浮上搬送装置に関する。

【背景技術】

【0002】

製造ライン等において、ガラス基板等の薄板状の搬送対象を搬送レールの搬送面から浮上させて非接触で搬送する浮上搬送装置が知られている。例えば、特許文献１には、搬送レールの搬送面に対する搬送対象の浮上高および姿勢を最適化しつつ、圧縮気体の消費効率を改善することができる浮上搬送装置が開示されている。この浮上搬送装置では、搬送レールの搬送面に圧縮気体噴出口を複数形成するとともに、搬送方向においてこの搬送面を複数の浮上エリアに区画し、浮上エリア毎に、圧縮気体噴出口からの圧縮気体の噴出圧力を独立制御できるようしている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１２−１９０８９０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

一般に、浮上搬送装置では、搬送レールの内部に、搬送レールの搬送面に形成された複数の圧縮気体噴出口に繋がる流路が形成され、搬送レールの裏面（搬送面の反対側の面）に、この流路に繋がる給気口が形成されている。そして、給気口に給気ニップルを取付け、この給気ニップルに給気ポンプのホースを接続して、この給気口に圧縮気体を供給する。

【0005】

ここで、各圧縮気体噴出口から噴出される圧縮気体の圧力、つまり流路内の圧縮気体の圧力を均一にするためには、複数の給気口をこれらが搬送レールの裏面上に分散配置されるように形成し、これら給気口の一つ一つに給気ニップルを取付け、これらの給気ニップルに給気ポンプのホースを接続しなければならない。また、各給気口に供給される圧縮気体の圧力を均一にするため、給気ポンプのホースの長さを調整したり、限られたスペースで給気ポンプの取り回し等を調整したりする必要もある。このため、従来の浮上搬送装置では、装置の大型化により吸気口の数が増えると、必要な給気ニップルおよびホースの点数が多くなり、コストもかさむ上、搬送レールの搬送面から圧縮気体を噴出させるための配管作業が非常に煩雑であった。また、細長いホースを多く用いて給気することは圧力損失の原因となり得る。

【0006】

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、搬送面から圧縮気体を噴出させるための配管作業が容易で、圧力損失がより少なく、かつ低コストの浮上搬送装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記課題を解決するために、本発明の浮上搬送装置において、搬送レールの搬送面には圧縮気体の噴出口が複数形成され、搬送面の反対側に位置する搬送レールの裏面には、圧縮気体の給気口が複数形成されており、これらの噴出口および給気口は、搬送レール内に形成された流路を介して互いに繋がれている。また、搬送レールの裏面側にはマニホールドが設置されており、搬送レールの裏面と対面するマニホールドの上面には、搬送レールの裏面に形成された複数の給気口にそれぞれ対応する複数の給気口連結口が形成され、これらの給気口連結口は、それぞれ対応する給気口に連結される。また、マニホールドには給気ニップル取付口が形成され、この給気ニップル取付口に、給気ポンプのホースを接続するための給気ニップルが取り付けられる。

【0008】

例えば、本発明の一態様は、
搬送対象を浮上させて、搬送方向に非接触で搬送する浮上搬送装置であって、
圧縮気体の噴出口が複数形成された搬送面と、前記搬送面の反対側に位置し、圧縮気体の給気口が複数形成された裏面と、前記搬送面に形成された複数の前記噴出口および前記裏面に形成された複数の前記給気口間を繋ぐ給気路と、を有する搬送レールと、
前記搬送レールの前記裏面と対面し、前記複数の給気口のそれぞれに対応する複数の給気口連結口と、給気ポンプのホースを接続するための給気ニップルが取り付けられ、前記給気口連結口の数より少ない数の給気ニップル取付口と、を有する給気用マニホールドと、を備え、
前記搬送レールには、前記搬送レールの前記搬送面と前記搬送レールの前記裏面との間を貫通する排気用貫通穴が複数形成されており、
前記搬送レールの前記裏面と前記給気用マニホールドとの間には隙間が形成されており、
前記搬送レールの前記搬送面に形成された複数の前記噴出口から噴出された圧縮気体の一部は、複数の前記排気用貫通穴を通って前記隙間から排気される。
また、本発明の他の態様は、
搬送対象を浮上させて、搬送方向に非接触で搬送する浮上搬送装置であって、
圧縮気体の噴出口が複数形成された搬送面と、前記搬送面の反対側に位置し、圧縮気体の給気口が複数形成された裏面と、前記搬送面に形成された複数の前記噴出口および前記裏面に形成された複数の前記給気口間を繋ぐ給気路と、を有する搬送レールと、
前記搬送レールの前記裏面に形成された複数の給気口のそれぞれに対向する複数の給気口連結口と、給気ポンプのホースを接続するための給気ニップルが取り付けられ、前記給気口連結口の数より少ない数の給気ニップル取付口と、を有する給気用マニホールドと、を備え、
前記給気用マニホールドは、
前記給気用マニホールドの長手方向に沿って、前記給気用マニホールドの両側に一体的に形成された、Ｔ字ナットを当該長手方向にスライド可能に収容する２列のＴ字状溝付き部材を有し、
前記給気ニップルは、
前記２列のＴ字状溝のそれぞれに挿入された前記Ｔ字ナットと螺合するボルトにより前記給気用マニホールドに固定される冶具によって前記給気ニップル取付口に取り付けられる。
また、本発明の他の態様は、
搬送対象を浮上させて、搬送方向に非接触で搬送する浮上搬送装置であって、
圧縮気体の噴出口が複数形成された搬送面と、前記搬送面の反対側に位置し、圧縮気体の給気口が複数形成された裏面と、前記搬送面に形成された複数の前記噴出口および前記裏面に形成された複数の前記給気口間を繋ぐ給気路と、前記搬送面に複数形成された吸引口と、前記裏面に複数形成された排気口と、前記搬送面に形成された複数の前記吸引口および前記裏面に形成された複数の前記排気口間を繋ぐ吸引路と、を有する搬送レールと、
前記搬送レールの前記裏面に形成された複数の給気口のそれぞれに対向する複数の給気口連結口と、給気ポンプのホースを接続するための給気ニップルが取り付けられ、前記給気口連結口の数より少ない数の給気ニップル取付口と、を有する給気用マニホールドと、
前記搬送用レールの前記裏面に形成された複数の前記排気口のそれぞれに対向する複数の排気口連結口と、吸引ポンプのホースを接続するための吸引ニップルが取り付けられ、前記排気口連結口の数より少ない数の吸引ニップル取付口と、を有する吸引用マニホールドと、
前記給気口毎に設けられ、当該給気口に対向する前記給気口連結口を当該給気口に連結する複数の給気用ジョイントと、
前記排気口毎に設けられ、当該排気口に対向する前記排気口連結口を当該供給口に連結する複数の吸引用ジョイントと、を備え、
前記給気用ジョイントは、
一方の端部が前記前記給気口に挿入され、他方の端部が、前記給気口に対向する前記給気口連結口に挿入される円筒状のジョイント本体と、
前記給気口および前記給気口に対向する前記給気口連結口の口径よりも大きな外径を有し、前記給気用ジョイントの前記ジョイント本体の外周面から張り出すように形成されたフランジと、を有し、
前記吸引用ジョイントは、
一方の端部が前記排気口に挿入され、他方の端部が、前記排気口に対向する前記排気口連結口に挿入される円筒状のジョイント本体と、
前記排気口および前記排気口連結口の口径よりも大きな外径を有し、前記吸引用ジョイントの前記ジョイント本体の外周面から張り出すように形成されたフランジと、を有し、
前記浮上搬送装置は、
前記搬送レールの前記裏面と当該裏面に対面する前記給気用ジョイントの前記フランジの一方の面との間、および前記給気用マニホールドと当該給気用マニホールドに対面する前記給気用ジョイントの前記フランジの他方の面との間を封止する第一のシール部材と、
前記搬送レールの前記裏面と当該裏面に対面する前記吸引用ジョイントの前記フランジの一方の面との間、および前記吸引用マニホールドと当該吸引用マニホールドに対面する前記吸引用ジョイントの前記フランジの他方の面との間を封止する第二のシール部材と、をさらに備える。
また、本発明の他の態様は、
搬送対象を浮上させて、搬送方向に非接触で搬送する浮上搬送装置であって、
圧縮気体の噴出口が複数形成された搬送面と、前記搬送面の反対側に位置し、圧縮気体の給気口が複数形成された裏面と、前記搬送面に形成された複数の前記噴出口および前記裏面に形成された複数の前記給気口間を繋ぐ給気路と、前記搬送面に複数形成された吸引口と、前記裏面に複数形成された排気口と、前記搬送面に形成された複数の前記吸引口および前記裏面に形成された複数の前記排気口間を繋ぐ吸引路と、を有する搬送レールと、
前記搬送レールの前記裏面に形成された複数の給気口のそれぞれに対向する複数の給気口連結口と、給気ポンプのホースを接続するための給気ニップルが取り付けられ、前記給気口連結口の数より少ない数の給気ニップル取付口と、を有する給気用マニホールドと、
前記搬送用レールの前記裏面に形成された複数の前記排気口のそれぞれに対向する複数の排気口連結口と、吸引ポンプのホースを接続するための吸引ニップルが取り付けられ、前記排気口連結口の数より少ない数の吸引ニップル取付口と、を有する吸引用マニホールドと、を備え、
前記給気用マニホールドおよび前記吸引用マニホールドは、
並列して一体的に形成されるとともに、
前記給気用マニホールドおよび前記吸引用マニホールドの間の位置と、前記給気用マニホールドおよび前記吸引用マニホールドをはさむ両側の位置とに、前記給気用マニホールドおよび前記吸引用マニホールドそれぞれの長手方向に沿って前記給気用マニホールドおよび前記吸引用マニホールドに一体的に形成された、Ｔ字ナットを当該長手方向にスライド可能に収容する３列のＴ字溝付き部材を有し、
前記給気ニップルは、
前記給気用マニホールドを挟み込む２列の前記Ｔ字状溝付き部材のそれぞれに挿入された前記Ｔ字ナットと螺合するボルトにより前記給気用マニホールドに固定される冶具によって前記給気ニップル取付口に取り付けられ、
前記吸引ニップルは、
前記吸引用マニホールドを挟み込む２列の前記Ｔ字状溝付き部材のそれぞれに挿入された前記Ｔ字ナットと螺合するボルトにより前記吸引用マニホールドに固定される冶具によって前記吸引ニップル取付口に取り付けられる。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、搬送レールの裏面に形成された複数の給気口のそれぞれをマニホールドの対応する給気口連結口に連結し、給気ポンプのホースを、マニホールドの給気ニップル取付口に取り付けられた給気ニップルに接続している。このため、搬送レールの裏面に形成された複数の給気口のそれぞれに給気ニップルを取り付けて、各給気ニップルに給気ポンプのホースを接続する必要がない。したがって、搬送面から圧縮気体を噴出させるための配管作業の負担およびコストを軽減し、かつ、給気路における圧力損失を低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】図１は、本発明の一実施の形態に係る浮上搬送装置１の正面図である。

【図2】図２は、図１に示す浮上搬送装置１の背面図である。

【図3】図３（Ａ）は、図１に示す浮上搬送装置１のＡ−Ａ断面図であり、図３（Ｂ）は図１に示す浮上搬送装置１のＢ−Ｂ断面図である。

【図4】図４（Ａ）は、図３（Ａ）に示す浮上搬送装置１のＡ部拡大図であり、図４（Ｂ）は、図３（Ｂ）に示す浮上搬送装置１のＢ部拡大図である。

【図5】図５（Ａ）は、図３（Ａ）に示す浮上搬送装置１のＣ部拡大図であり、図５（Ｂ）は、図３（Ｂ）に示す浮上搬送装置１のＤ部拡大図である。

【図6】図６（Ａ）は、搬入出用レール３の構成部品である第一搬入出用プレート３０の正面図であり、図６（Ｂ）は、図６（Ａ）に示す第一搬入出用プレート３０のＣ−Ｃ断面図であり、図６（Ｃ）は、図６（Ａ）に示す第一搬入出用プレート３０の背面図である。

【図7】図７（Ａ）は、搬入出用レール３の構成部品である第二搬入出用プレート３１の正面図であり、図７（Ｂ）は、図７（Ａ）に示す第二搬入出用プレート３１のＤ−Ｄ断面図であり、図７（Ｃ）は、図７（Ａ）に示す第二搬入出用プレート３１の背面図である。

【図8】図８（Ａ）は、作業用レール４の構成部品である第一作業用プレート４０の正面図であり、図８（Ｂ）は、図８（Ａ）に示す第一作業用プレート４０のＥ−Ｅ断面図であり、図８（Ｃ）は、図８（Ａ）に示す第一作業用プレート４０の背面図である。

【図9】図９（Ａ）は、作業用レール４の構成部品である第三作業用プレート４２の正面図であり、図９（Ｂ）は、図９（Ａ）に示す第三作業用プレート４２のＧ−Ｇ断面図であり、図９（Ｃ）は、図９（Ａ）に示す第三作業用プレート４２の背面図である。

【図10】図１０（Ａ）は、作業用レール４の構成部品である第二作業用プレート４１の正面図であり、図１０（Ｂ）は、図１０（Ａ）に示す第二作業用プレート４１のＦ−Ｆ断面図であり、図１０（Ｃ）は、図１０（Ａ）に示す第二作業用プレート４１の背面図である。

【図11】図１１（Ａ）は、給気用マニホールド５の構成部品である２列溝型アルミフレーム５０の正面図であり、図１１（Ｂ）は、図１１（Ａ）に示す２列溝型アルミフレーム５０のＨ−Ｈ断面図であり、図１１（Ｃ）は、図１１（Ａ）に示す２列溝型アルミフレーム５０のＪ−Ｊ断面図であり、図１１（Ｃ）は、図１１（Ａ）に示す２列溝型アルミフレーム５０のＩ−Ｉ断面図である。

【図12】図１２（Ａ）は、給気兼吸引用マニホールド６の構成部品である３列溝型アルミフレーム６０の正面図であり、図１２（Ｂ）は、図１２（Ａ）に示す３列溝型アルミフレーム６０のＪ−Ｊ断面図であり、図１２（Ｃ）は、図１２（Ａ）に示す３列溝型アルミフレーム６０のＫ−Ｋ断面図であり、図１２（Ｄ）は、図１２（Ａ）に示す３列溝型アルミフレーム６０のＬ−Ｌ断面図であり、図１２（Ｅ）は、図１２（Ａ）に示す３列溝型アルミフレーム６０のＭ−Ｍ断面図である。

【図13】図１３（Ａ）および図１３（Ｂ）は、ジョイント９の上面図および正面図であり、図１３（Ｃ）は、図１３（Ｂ）に示すジョイント９のＮ−Ｎ断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明の一実施の形態について、図面を参照して説明する。なお、説明の便宜上、搬送方向をＸ方向、搬送方向に垂直な方向をＹ方向と定義して、これらの方向を各図に適宜表示する。

【0012】

図１および図２は、本実施の形態に係る浮上搬送装置１の正面図および背面図であり、図３（Ａ）および図３（Ｂ）は、図１に示す浮上搬送装置１のＡ−Ａ断面図およびＢ−Ｂ断面図である。また、図４（Ａ）は、図３（Ａ）に示す浮上搬送装置１のＡ部拡大図であり、図４（Ｂ）は、図３（Ｂ）に示す浮上搬送装置１のＢ部拡大図である、また、図５（Ａ）は、図３（Ａ）に示す浮上搬送装置１のＣ部拡大図であり、図５（Ｂ）は、図３（Ｂ）に示す浮上搬送装置１のＤ部拡大図である。

【0013】

本実施の形態に係る浮上搬送装置１は、液晶ディスプレイパネル、プラズマディスプレイパネル等のフラットディスプレイパネルに用いられる大型ガラス基板等といった薄板状の搬送対象を浮上させて非接触で搬送する。図示するように、浮上搬送装置１は、搬送面３００、４００から搬送対象を浮上させて非接触で搬送するための搬送レール２と、不図示の給気ポンプに接続された給気用ホース７ａ、７ｂと、不図示の吸引ポンプに接続された吸引用ホース８と、給気用ホース７ａを介して給気ポンプから供給される圧縮気体を搬送レール２内に導入するための給気用マニホールド５と、給気用ホース７ｂを介して給気ポンプから供給される圧縮気体を搬送レール２内に導入するとともに、吸引用ホース８を介した吸引ポンプの吸引により生じる負圧で搬送レール２内から吸気する給気兼吸引用マニホールド６と、搬送レール２に給気用マニホールド５および給気兼吸引用マニホールド６を連結するためのジョイント９と、を備えて構成される。

【0014】

搬送レール２は、搬送対象に対するレジスト塗布等の作業領域２ａに配置される作業用レール４と、搬送方向（Ｘ方向）において作業領域２ａの前方に位置する搬入領域２ｂおよび後方に位置する搬出領域２ｃのそれぞれに配置される搬入出用レール３と、を備えている。ここで、作業領域２ａにおいては、搬送対象の浮上量を高精度に維持することが要求される。一方、搬入領域２ｂおよび搬出領域２ｃにおいては、作業領域２ａに比べて搬送対象の浮上量の要求精度は低い。

【0015】

搬入出用レール３は、搬送面３００を有する第一搬入出用プレート３０と、第一搬入出用プレート３０に搬送面３００の反対側から重ね合わされた第二搬入出用プレート３１と、第一搬入出用プレート３０と第二搬入出用プレート３１との間に配置される絞りプレート３２と、を備えている。第一搬入出用プレート３０の搬送面３００には、圧縮気体の噴出口３０１および排気用貫通穴３０２が複数形成されており、第二搬入出用プレート３１の裏面（第一搬入出用プレート３０の搬送面３００の反対側に位置し、第一搬入出用プレート３０と重なり合っていない方の面）３１０には、圧縮気体の給気口３１１および排気用貫通穴３１２が複数形成されている。なお、図面においては、簡略化のため、一部の噴出口３０１、排気用貫通穴３０２、給気口３１１、および排気用貫通穴３１２にのみ符号を付している。

【0016】

図６（Ａ）は、第一搬入出用プレート３０の正面図であり、図６（Ｂ）は、図６（Ａ）に示す第一搬入出用プレート３０のＣ−Ｃ断面図であり、図６（Ｃ）は、図６（Ａ）に示す第一搬入出用プレート３０の背面図である。

【0017】

図示するように、第一搬入出用プレート３０の搬送面３００には、複数の噴出口３０１および複数の排気用貫通穴３０２が格子状に交互に配されている。ここで、噴出口３０１および排気用貫通穴３０２の配列方向（図６（Ａ）のＡ１方向）は、搬送方向（Ｘ方向）に対して傾いていることが好ましい。このようにすることにより、噴出口３０１および排気用貫通穴３０２の配列方向を、搬送方向に対して平行あるいは垂直とした場合に比べて、搬送方向の垂直方向（Ｙ方向）における噴出口３０１および排気用貫通穴３０２の配置密度を高めることができ、これにより、搬送方向に搬送対象をより安定に搬送することができる。

【0018】

また、第一搬入出用プレート３０には、搬送面３００に形成された噴出口３０１毎に、搬送面３００の反対側の面である裏面（第二搬入出用プレート３１に対向する面）３０３を貫通して搬送面３００内の噴出口３０１に繋がる噴出用貫通穴３０４が形成されている。ここで、噴出用貫通穴３０４は、第一搬入出用プレート３０の裏面３０３側の内径が搬送面３００側の内径よりも大きい段付き貫通穴であり、噴出口３０１から噴出される圧縮気体に適度な絞り効果を付与することができる。なお、図面においては、簡略化のため、一部の噴出用貫通穴３０４にのみ符号を付してある。

【0019】

図７（Ａ）は、第二搬入出用プレート３１の正面図であり、図７（Ｂ）は、図７（Ａ）に示す第二搬入出用プレート３１のＤ−Ｄ断面図であり、図７（Ｃ）は、図７（Ａ）に示す第二搬入出用プレート３１の背面図である。

【0020】

図示するように、第二搬入出用プレート３１の裏面３１０の反対側の面である上面３１３（第一搬入用プレート３０に対向する面）から裏面３１０まで貫通して形成された複数の排気用貫通穴３１２は、第一搬入出用プレート３０に形成された複数の排気用貫通穴３０２のそれぞれに対応付けられており、第二搬入出用プレート３１の裏面３１０の上面３１３と第一搬入出用プレート３０の裏面３０３とを対面させるように第二搬入出用プレート３１を第一搬入出用プレート３０に所定の位置にて重ね合わせた場合に、対応する第一作業用プレート４０の排気用貫通穴３０２と繋がる位置に設けられている。

【0021】

また、第二搬入出用プレート３１の裏面３１０内において、複数の給気口３１１は、搬送方向の垂直方向（Ｙ方向）に沿って複数列に並んでいる。そして、図示していないが、第二搬入出用プレート３１の裏面３１０には、給気口３１１の列の両側の位置に、給気用マニホールド５を固定するためのネジ穴が形成されている。

【0022】

また、第二搬入出用プレート３１の上面３１３には、第一搬入出用プレート３０の裏面３０３内における噴出用貫通穴３０４のレイアウトに応じた格子状の溝３１４が形成されている。この格子状の溝３１４は、第二搬入出用プレート３１の上面３１３と第一搬入出用プレート３０の裏面３０３とを対面させるように第二搬入出用プレート３１を第一搬入出用プレート３０に重ね合わせることにより、第一搬入出用プレート３０に形成された複数の噴出用貫通穴３０４に繋がる。

【0023】

また、第二搬入出用プレート３１には、裏面３１０に形成された給気口３１１毎に、給気口３１１と上面３１３に形成された溝３１４とを繋ぐ給気用貫通穴３１５が形成されている。これにより、第二搬入出用プレート３１の上面３１３と第一搬入出用プレート３０の裏面３０３とを対面させるように第二搬入出用プレート３１を第一搬入出用プレート３０に重ね合わせることにより、第二搬入用プレート３１の上面３１３に形成された溝３１４は、第二搬入出用プレート３１の裏面３１０に形成された給気口３１１に供給された圧縮気体を、第一搬入出用プレート３０の搬送面３００に形成された噴出口３０１から噴出させるための給気路として機能する。

【0024】

絞りプレート３２には、図示していないが、板厚方向に貫く微細な貫通穴であるオリフィスが多数形成されている。絞りプレート３２が、第一搬入出用プレート３０の噴出用貫通穴３０４と第二搬入出用プレート３１の溝３１４との間、および第一搬入出用プレート３０の排気用貫通穴３０２と第二搬入出用プレート３１の排気用貫通穴３１２との間に介在することにより、第一搬入出用プレート３０の搬送面３００の噴出口３０１から噴出される圧縮気体、および第一搬入出用プレート３０の排気用貫通穴３０２に流入する気体に適度な絞り効果を付与することができる。

【0025】

作業用レール４は、搬送面４００を有する第一作業用プレート４０と、第一作業用プレート４０に対して搬送面４００の反対側に位置し、裏面する第二作業用プレート４１と、第一作業用プレート４０と第二作業用プレート４１との間に配置される第三作業用プレート４２と、第一作業用プレート４０と第三作業用プレート４２との間に配置される絞りプレート４３と、を備えて構成される。第一作業用プレート４０の搬送面４００には、圧縮気体の噴出口４０１および吸引口４０２が複数形成されており、第二作業用プレート４１の裏面（第一作業用プレート４０の搬送面４００の反対側に位置する面）４１０には、給気口４１１および排気口４１２がそれぞれ複数ずつ形成されている。なお、図面においては、簡略化のため、一部の噴出口４０１および吸引口４０２にのみ符号を付してある。

【0026】

図８（Ａ）は、第一作業用プレート４０の正面図であり、図８（Ｂ）は、図８（Ａ）に示す第一作業用プレート４０のＥ−Ｅ断面図であり、図８（Ｃ）は、図８（Ａ）に示す第一作業用プレート４０の背面図である。

【0027】

図示するように、第一作業用プレート４０の搬送面４００には、複数の噴出口４０１および複数の吸引口４０２が格子状に交互に配されている。ここで、噴出口４０１および吸引口４０２の配列方向（図８（Ａ）のＡ２方向）は、図６（Ａ）に示す噴出口３０１および排気用貫通穴３０２の配列方向Ａ１と同様、搬送方向（Ｘ方向）に対して傾いていることが好ましい。このようにすることにより、噴出口４０１および吸引口４０２の配列方向を、搬送方向に対して平行あるいは垂直とした場合に比べて、搬送方向の垂直方向（Ｙ方向）における噴出口４０１および吸引口４０２の配置密度を高めることができ、これにより、搬送方向に搬送対象をより安定に搬送することができる。

【0028】

また、第一作業用プレート４０には、搬送面４００に形成された噴出口４０１毎に、搬送面４００の反対側の面である裏面（第三作業用プレート４１に対向する面）４０３まで貫通して搬送面４００の噴出口４０１に繋がる噴出用貫通穴４０４が形成されている。噴出用貫通穴４０４は、第一作業用プレート４０の裏面４０３側の内径が搬送面４００側の内径よりも大きい段付き貫通穴であり、噴出口４０１から噴出される圧縮気体に適度な絞り効果を付与することができる。さらに、第一作業用プレート４０には、搬送面４００に形成された吸引口４０２毎に、裏面４０３まで貫通して搬送面４００の吸引口４０２に繋がる吸引用貫通穴４０５が形成されている。吸引用貫通穴４０５は、第一作業用プレート４０の裏面４０３側の内径が搬送面４００側の内径よりも大きい段付き貫通穴であり、吸引口４０２に吸引される気体に適度な絞り効果を付与することができる。なお、図面においては、簡略化のため、一部の噴出用貫通穴４０４、吸引用貫通穴４０５にのみ符号を付してある。

【0029】

図９（Ａ）は、第三作業用プレート４２の正面図であり、図９（Ｂ）は、図９（Ａ）に示す第三作業用プレート４２のＧ−Ｇ断面図であり、図９（Ｃ）は、図９（Ａ）に示す第三作業用プレート４２の背面図である。

【0030】

図示するように、第三作業用プレート４２には、第一作業用プレート４０に形成された吸引用貫通穴４０５毎に、第一作業用プレート４０の裏面４０３と対面する一方の面（上面）４２０と、上面４２０と反対側に位置する、第二作業用プレート４１と対向する他方の面（裏面）４２３とを貫通する吸引連結用貫通穴４２２が形成されている。この吸引連結用貫通穴４２２は、第三作業用プレート４２の上面４２０と第一作業用プレート４０の裏面４０３とを対面させるように第三作業用プレート４２を第一作業用プレート４０に所定の位置にて重ね合わせた場合に、対応する第一作業用プレート４０の吸引用貫通穴４０５と繋がる位置に設けられている。

【0031】

また、第三作業用プレート４２の上面４２０には、第一作業用プレート４０の裏面４０３内における噴出用貫通穴４０４のレイアウトに応じた格子状の溝４２４が形成されている。この格子状の溝４２４は、第三作業用プレート４２の上面４２０と第一作業用プレート４０の裏面４０３とを対面させるように第三作業用プレート４２を第一作業用プレート４０に所定の位置にて重ね合わせることにより、第一作業用プレート４０に形成された複数の噴出用貫通穴４０４と繋がる。また、第三作業用プレート４２には、上面４２０に形成された溝４２４の溝底と裏面４２３とを貫通する少なくとも一つの噴出連結用貫通穴４２１が形成されている。これにより、第三作業用プレート４２の上面４２０と第一作業用プレート４０の裏面４０３とを対面させるように第三作業用プレート４２を第一作業用プレート４０に所定の位置にて重ね合わせることにより、第三作業用プレートの上面４２０に形成された溝４２４は、噴出連結用貫通穴４２１に供給された圧縮気体を、第一作業用プレート４０の搬送面４００に形成された噴出口４０１から噴出させるための給気路として機能する。なお、図面においては、簡略化のため、一部の噴出連結用貫通穴４２１、吸引連結用貫通穴４２２にのみ符号を付してある。

【0032】

図１０（Ａ）は、第二作業用プレート４１の正面図であり、図１０（Ｂ）は、図１０（Ａ）に示す第二作業用プレート４１のＦ−Ｆ断面図であり、図１０（Ｃ）は、図１０（Ａ）に示す第二作業用プレート４１の背面図である。

【0033】

図示するように、第二作業用プレート４１の裏面４１０内において、複数の給気口４１１は、搬送方向の垂直方向（Ｙ方向）に沿って列状に並んでいる。同様に、複数の排気口４１２も、給気口４１１の列から所定の間隔をおいて、搬送方向の垂直方向（Ｙ方向）に沿って列状に並んでいる。そして、図示していないが、第二作業用プレート４１の裏面４１０には、例えば、給気口４１１の列と排気口４１２の列との間、および、これらの列の両側の位置に、給気兼吸引用マニホールド６を固定するためのネジ穴が形成されている。

【0034】

また、第二作業用プレート４１には、裏面４１０に形成された給気口４１１毎に、裏面４１０の反対側の面である上面（第三作業用プレート４２に対向する面）４１３を貫通して裏面４１０の給気口４１１に繋がる給気用貫通穴４１４が形成されている。ここで、給気口４１１は、第三作業用プレート４２に形成された複数の噴出連結用貫通穴４２１のそれぞれに対応付けられており、第二作業用プレート４１の上面４１３と第三作業用プレート４２の裏面４２３とを対面させるように第二作業用プレート４１を第三作業用プレート４２に所定の位置にて重ね合わせた場合に、この給気口４１１に繋がる給気用貫通穴４１４が、この給気口４１１に対応する噴出連結用貫通穴４２１と繋がる位置に設けられている。

【0035】

また、第二作業用プレート４１の上面４１３には、第三作業用プレート４２の裏面４２３内における吸引連結用貫通穴４２２のレイアウトに応じた格子状の溝４１５が形成されている。この格子状の溝４１５は、第二作業用プレート４１の上面４１３と第三作業用プレート４２の裏面４２３とを対面させるように第二作業用プレート４１を第三作業用プレート４２に所定の位置にて重ね合わせることにより、第三作業用プレート４２に形成された複数の吸引連結用貫通穴４２２に繋がる。また、第二作業用プレート４１には、裏面４１０に形成された排気口４１２毎に、上面４１３に形成された溝４１５と排気口４１２とに繋がる排気用貫通穴４１６が形成されている。これにより、第二作業用プレート４１の上面４１５と第三作業用プレート４２の裏面４２３とを対面させるように第二作業用プレート４１を第三作業用プレート４２に所定の位置にて重ね合わせることにより、第二作業用プレート４１の上面４１３に形成された溝４１５は、第三作業用プレート４２の吸引連結用貫通穴４２２に吸引された気体を、排気用貫通穴４１６経由で、第二作業用プレート４１の裏面４１０に形成された排気口４１２から排気するための吸引路として機能する。

【0036】

なお、ジョイント９の後述のフランジ９１を第二作業用プレート４１内に収容できるようにするため、図５（Ｂ）に示すように、給気口４１１および排気口４１２の口径は、フランジ９１の外径より大きく、また、給気用貫通穴４１４および排気用貫通穴４１６は、フランジ９１の厚さより深い位置において口径がフランジ９１の外径より小さくなる段付き貫通穴となっている。

【0037】

絞りプレート４３には、図示していないが、板厚方向に貫く微細な貫通穴であるオリフィスが多数形成されている。絞りプレート４３が、第一作業用プレート４０の噴出用貫通穴４０４と第三作業用プレート４２の溝４２４との間、および第一作業用プレート４０の吸引用貫通穴４０５と第二作業用プレート４２の吸引連結用貫通穴４２２との間に介在することにより、第一作業用プレート４０の搬送面４００の噴出口４０１から噴出される圧縮気体、および第一作業用プレート４０の搬送面４００の吸引口４０２に吸引される気体に適度な絞り効果を付与することができる。

【0038】

図２に示したように、給気用マニホールド５は、搬入出用レール３の第二搬入出用プレート３１の裏面３１０に、この裏面３１０内において搬送方向の垂直方向（Ｙ方向）に列状に並ぶ給気口３１１（図７参照）を覆うように搬送方向の垂直方向（Ｙ方向）に沿って配置される。給気用マニホールド５は、ボルト５５によって第二搬入出用プレート３１の裏面３１０側に固定される２列溝型アルミフレーム５０と、２列溝型アルミフレーム５０の長手方向（搬送方向の垂直方向）の両端部に取り付けられた一対のエンドプレート５１と、２列溝型アルミフレーム５０の下面５０２側に形成された２列のＴ字溝５０３のそれぞれに、２列溝型アルミフレーム５０の長手方向に沿ってスライド自在に挿入された板バネ付きＴ字ナット５２と、板バネ付きＴ字ナット５２と螺合するボルト５３によって２列溝型アルミフレーム５０に固定される給気ニップル取付冶具５４と、を備えて構成される。

【0039】

図１１（Ａ）は、２列溝型アルミフレーム５０の正面図であり、図１１（Ｂ）は、図１１（Ａ）に示す２列溝型アルミフレーム５０のＨ−Ｈ断面図であり、図１１（Ｃ）は、図１１（Ａ）に示す２列溝型アルミフレーム５０のＪ−Ｊ断面図であり、図１１（Ｃ）は、図１１（Ａ）に示す２列溝型アルミフレーム５０のＩ−Ｉ断面図である。

【0040】

図示するように、２列溝型アルミフレーム５０は、第二搬入出用プレート３１の裏面３１０と対面する上面５０１および上面５０１の反対側に位置する下面５０２を有し、内部が空洞で長手方向の両端が開口された略四角形の給気用角パイプ部５００と、給気用角パイプ部５００の長手方向の両側に、給気用角パイプ部５００の下面５０２を給気用角パイプ部５００の長手方向に沿って挟み込むように設けられた２列のＴ字溝５０３と、それぞれがＴ字溝５０３の溝底を構成する２本の角柱部５０４と、を備えている。

【0041】

給気用角パイプ部５００の上面５０１には、給気用角パイプ部５００の長手方向に沿って複数の給気口連結口５０５が形成されている。これらの給気口連結口５０５は、２列溝型アルミフレーム５０を第二搬入出用プレート３１の裏面３１０側に固定した場合に、第二搬入出用プレート３１の裏面３１０に形成された複数の給気口３１１に対向する位置に形成されている（図４（Ｂ）参照）。また、給気用角パイプ部５００の下面５０２には、給気用ホース７ａの先端部に取り付けられた給気ニップル７０ａを取り付けるための給気ニップル取付口５０６が形成されている。ここで、給気ニップル取付口５０６の数は、給気口連結口５０５の数より少ない。

【0042】

各Ｔ字溝５０３には、板バネ付きＴ字ナット５２がスライド自在に収容されている。給気ニップル取付冶具５４には、給気ニップル７０ａを取り付けるためのネジ穴（貫通穴）である給気ニップル取付穴５４２が形成されている（図４（Ａ）参照）。給気ニップル取付冶具５４は、この給気ニップル取付穴５４２の位置と給気用角パイプ部５００の下面５０２の給気ニップル取付口５０６の位置とが合致するように、各Ｔ字溝５０３に挿入された板バネ付きＴ字ナット５２とそれぞれ螺合するボルト５３によって、２列溝型アルミフレーム５０に固定される。また、給気ニップル７０ａは、この給気ニップル７０ａの先端部分に形成されている雄ネジを、給気ニップル取付冶具５４の給気ニップル取付穴５４２に螺合することにより、給気ニップル取付冶具５４を介して給気用角パイプ部５００の下面５０２の給気ニップル取付口５０６に連結される。

【0043】

なお、図４（Ａ）に示すように、給気用角パイプ部５００の下面５０２と対向する給気ニップル取付冶具５４の上面５４０において、給気ニップル取付穴５４２の周囲に環状溝５４１を設け、この環状溝５４１にＯリング５７ｄを収容することにより、給気用角パイプ部５００内の気体が給気ニップル７０ａと給気ニップル取付口５０６との隙間ならびに給気用角パイプ部５００の下面５０２と給気ニップル取付冶具５４の上面５４０との隙間から洩れるのを防止してもよい。

【0044】

角柱部５０４には、長手方向に両端面を貫く貫通穴５０８が形成されている。一対のエンドプレート５１は、２列溝型アルミフレーム５０の長手方向の両端面において、それぞれの角柱部５０４の貫通穴５０８に例えばネジ止めされる。これにより、給気用角パイプ部５００の長手方向の両端面の開口がエンドプレート５１により塞がれる。また、角柱部５０４の側面のうち、Ｔ字溝５０３の溝底を構成する側面には、その長手方向の両端部の位置にボルト挿入用貫通穴５０７が形成されており、これらのボルト挿入用貫通穴５０７を介してボルト５５を第二搬入出用プレート３１の裏面３１０のネジ穴に締結することにより、２列溝型アルミフレーム５０が第二搬入出用プレート３１の裏面３１０に固定される（図２参照）。

【0045】

なお、図４（Ａ）および図４（Ｂ）に示すように、２列溝型アルミフレーム５０の上面５０１と第二搬入出用プレート３１の裏面３１０との間には、第二搬入出用プレート３１の裏面３１０のネジ穴に締結するボルト５５が通過するワッシャ５６が介在している。これにより、２列溝型アルミフレーム５０の給気用角パイプ部５００の上面５０１と第二搬入出用プレート３１の裏面３１０との間には隙間ｔが形成される。

【0046】

２列溝型アルミフレーム５０には既製品を用いることができる。

【0047】

給気兼吸引用マニホールド６は、作業用レール４の第二作業用プレート４１の裏面４１０に、この裏面４１０内において搬送方向の垂直方向（Ｙ方向）に列状に並ぶ給気口４１１および排気口４１２（図１０参照）を覆うように搬送方向の垂直方向（Ｙ方向）に沿って配置される。給気兼吸引用マニホールド６は、ボルト６５によって第二作業用プレート４１の裏面４１０側に固定される３列溝型アルミフレーム６０と、３列溝型アルミフレーム６０の長手方向（搬送方向の垂直方向）の両端面に取り付けられた一対のエンドプレート６１と、３列溝型アルミフレーム６０の下面６０２ａ、６０２ｂ側に形成された３列のＴ字溝６０３のそれぞれに、３列溝型アルミフレーム６０の長手方向に沿ってスライド自在に挿入された板バネ付きＴ字ナット６２と、板バネ付きＴ字ナット６２と螺合するボルト６３によって３列溝型アルミフレーム６０に固定される給気・吸引ニップル取付冶具６４と、を備えて構成される。

【0048】

図１２（Ａ）は、３列溝型アルミフレーム６０の正面図であり、図１２（Ｂ）は、図１２（Ａ）に示す３列溝型アルミフレーム６０のＪ−Ｊ断面図であり、図１２（Ｃ）は、図１２（Ａ）に示す３列溝型アルミフレーム６０のＫ−Ｋ断面図であり、図１２（Ｄ）は、図１２（Ａ）に示す３列溝型アルミフレーム６０のＬ−Ｌ断面図であり、図１２（Ｅ）は、図１２（Ａ）に示す３列溝型アルミフレーム６０のＭ−Ｍ断面図である。

【0049】

図示するように、３列溝型アルミフレーム６０は、第二作業用プレート４１の裏面４１０と対面する面（上面）６０１ａおよびこの上面６０１ａの反対側の面（下面）６０２ａを有し、内部が空洞で長手方向の両端が開口された略四角形の給気用角パイプ部６００ａと、給気用角パイプ６００ａと並列に配置され、第二作業用プレート４１の裏面４１０と対面する面（上面）６０１ｂおよびこの上面６０１ｂの反対側の面（下面）６０２ｂを有し、内部が空洞で長手方向の両端が開口された略四角形の吸引用角パイプ部６００ｂと、給気用角パイプ部６００ａの長手方向の両側のうち吸引用角パイプ部６００ｂと隣接しない側、吸引用角パイプ部６００ｂの長手方向の両側のうち給気用角パイプ部６００ａと隣接しない側、および給気用角パイプ部６００ａと吸引用角パイプ部６００ｂとの間に設けられた３列のＴ字溝６０３と、それぞれがＴ字溝６０３の溝底を構成する３本の角柱部６０４と、を備えている。給気用角パイプ部６００ａの長手方向の両側のうち吸引用角パイプ部６００ｂと隣接しない側に設けられたＴ字溝６０３は、給気用角パイプ部６００ａと吸引用角パイプ部６００ｂとの間に設けられたＴ字溝６０３とともに、給気用角パイプ部６００ａの下面６０２ａを給気用角パイプ部６００ａの長手方向に沿って挟み込むように設けられている。また、吸引用角パイプ部６００ｂの長手方向の両側のうち給気用角パイプ部６００ａと隣接しない側に設けられたＴ字溝６０３は、給気用角パイプ部６００ａと吸引用角パイプ部６００ｂとの間に設けられたＴ字溝６０３とともに、吸引用角パイプ部６００ｂの下面６０２ｂを吸引用角パイプ部６００ｂの長手方向に沿って挟み込むように設けられている。

【0050】

給気用角パイプ部６００ａの上面６０１ａには、複数の給気口連結口６０５ａが形成されている。これらの給気口連結口６０５ａは、３列溝型アルミフレーム６０を第二作業用プレート４１の裏面４１０側に固定した場合に、第二作業用プレート４１の裏面４１０に形成された複数の給気口４１１に対応する位置に形成されている。また、給気用角パイプ部６００ａの下面６０２ａには、給気用ホース７ｂの先端部に取り付けられた給気ニップル７０ｂを取り付けるための給気ニップル取付口６０６ａが形成されている。ここで、給気ニップル取付口６０６ａの数は、給気口連結口６０５ａの数よりも少ない。

【0051】

同様に、吸引用角パイプ部６００ｂの上面６０１ｂには複数の排気口連結口６０５ｂが形成されている。これらの排気口連結口６０５ｂは、３列溝型アルミフレーム６０を第二作業用プレート４１の裏面４１０側に固定した場合に、第二作業用プレート４１の裏面４１０に形成された複数の排気口４１２に対応する位置に形成されている。また、吸引用角パイプ部６００ｂの下面６０２ｂには、吸引用ホース８の先端部に取り付けられた吸引ニップル８０を取り付けるための吸引ニップル取付口６０６ｂが形成されている。ここで、吸引ニップル取付口６０６ｂの数は、排気口連結口６０５ｂの数より少ない。

【0052】

各Ｔ字溝６０３には、板バネ付きＴ字ナット６２がスライド自在に収容されている。給気・吸引ニップル取付冶具６４には、給気ニップル７０ｂを取り付けるためのネジ穴（貫通穴）である給気ニップル取付穴６４３と、吸引ニップル８０を取り付けるためのネジ穴（貫通穴）である吸引ニップル取付穴６４４と、が形成されている（図５（Ａ）参照）。給気・吸引ニップル取付冶具６４は、給気ニップル取付穴６４３の位置と給気用角パイプ部６００ａの下面６０２ａの給気ニップル取付口６０６ａの位置とが合致し、かつ吸引ニップル取付穴６４４の位置と吸引用角パイプ部６００ｂの下面６０２ｂの吸引ニップル取付口６０６ｂの位置とが合致するように、各Ｔ字溝６０３に挿入された板バネ付きＴ字ナット６２とそれぞれ螺合するボルト６３によって、３列溝型アルミフレーム６０に固定される。また、給気ニップル７０ｂは、この給気ニップル７０ｂの先端部分に形成されている雄ネジを、給気・吸引ニップル取付冶具６４の給気ニップル取付穴６４３に螺合することにより、給気・吸引ニップル取付冶具６４を介して給気用角パイプ部６００ａの下面６０２ａの給気ニップル取付口６０６ａに連結される。同様に、吸引ニップル８０は、この吸引ニップル８０の先端部分に形成されている雄ネジを、給気・吸引ニップル取付冶具６４の吸引ニップル取付穴６４４に螺合することにより、給気・吸引ニップル取付冶具６４を介して吸引用角パイプ部６００ｂの下面６０２ｂの吸引ニップル取付口６０６ｂに連結される。

【0053】

なお、図５（Ａ）に示すように、給気用角パイプ部６００ａの下面６０２ａおよび吸引用角パイプ部６００ｂの下面６０２ｂと対向する給気・吸引ニップル取付冶具６４の上面６４０において、給気ニップル取付口６０６ａの周囲に環状溝６４１を設けるとともに、吸引ニップル取付穴６４４の周囲に環状溝６４２を設け、これらの環状溝６４１、６４２にＯリング５７ｅ、５７ｆを収容することにより、給気用角パイプ部６００ａ内の気体が給気ニップル７０ｂと給気ニップル取付口６０６ａとの隙間ならびに給気用角パイプ部６００ａの下面６０２ａと給気・吸引ニップル取付冶具６４の上面６４０との隙間から洩れるのを防止するとともに、吸引ニップル８０と吸引ニップル取付口６０６ｂとの隙間ならびに吸引用角パイプ部６００ｂの下面６０２ｂと給気・吸引ニップル取付冶具６４の上面６４０との隙間から吸引用角パイプ部６００ｂ内に空気が入り込むのを防止するようにしてもよい。

【0054】

３本の角柱部６０４には、長手方向に両端面を貫く貫通穴６０８が形成されている。一対のエンドプレート６１は、３列溝型アルミフレーム６０の長手方向の両端面に、それぞれの角柱部６０４の貫通穴６０８に例えばネジ止めされる。これにより、給気用角パイプ部６００ａおよび吸引用角パイプ部６００ｂの長手方向の両端面の開口がエンドプレート６１により塞がれる。また、各角柱部６０４の側面のうち、Ｔ字溝５０３の溝底を構成する側面には、その長手方向の両端部の位置にボルト挿入用貫通穴６０７が形成されており、これらのボルト挿入用貫通穴６０７を介してボルト６５を第二作業用プレート４１の裏面４１０のネジ穴に締結することにより、３列溝型アルミフレーム６０が第二作業用プレート４１の裏面４１０に固定される（図２参照）。

【0055】

なお、図５（Ａ）および図５（Ｂ）に示すように、給気兼吸引用マニホールド６は、３列溝型アルミフレーム６０の給気用角パイプ部６００ａの上面６０１ａおよび吸引用角パイプ部６００ｂの上面６０１ｂと第作業用プレート４１の裏面４１０に密着するように、第二作業用プレート４１の裏面４１０に取り付けられる。

【0056】

３列溝型アルミフレーム６０には既製品を用いることができる。

【0057】

ジョイント９は、搬入出用レール３の第二搬入出用プレート３１の裏面３１０に形成された給気口３１１、および作業用レール４の第二作業用プレート４１の裏面４１０に形成された給気口４１１および排気口４１２のそれぞれに取り付けられており、これらのジョイント９により、給気口３１１とこの給気口３１１に対応する給気用マニホールド５の給気口連結口５０５との間、給気口４１１とこの給気口４１１に対応する給気兼吸引用マニホールド６の給気口連結口６０５ａとの間、および排気口４１２とこの排気口４１２に対応する給気兼吸引用マニホールド６の排気口連結口６０５ｂとの間が連結される。

【0058】

図１３（Ａ）および図１３（Ｂ）は、ジョイント９の上面図および正面図であり、図１３（Ｃ）は、図１３（Ｂ）に示すジョイント９のＮ−Ｎ断面図である。

【0059】

図示するように、ジョイント９は、円筒状のジョイント本体９０と、ジョイント本体９０の外周面９１０に形成されたフランジ９１と、を備えている。

【0060】

ジョイント本体９０は、搬入出用レール３の第二搬入出用プレート３１の裏面３１０に形成された給気口３１１、あるいは、作業用レール４の第二作業用プレート４１の裏面４１０に形成された給気口４１１または排気口４１２に挿入される一方の端部９１１と、給気用マニホールド５の給気用角パイプ部５００の上面５０１に形成された給気口連結口５０５、あるいは、給気兼吸引用マニホールド６の給気用角パイプ部６００ａの上面６０１ａに形成された給気口連結口６０５ａまたは吸引用角パイプ部６００ｂの上面６０１ｂに形成された排気口連結口６０５ｂに挿入される他方の端部９１２と、を有する。

【0061】

フランジ９１は、ジョイント本体９０の一方の端部９１１と他方の端部９１２との間において、ジョイント本体９０の外周面９１０から径方向外側に向けて張り出すように形成されている。フランジ９１の外周面には、後述のＯリング５７ａを収容するための溝が周方向に設けられていてもよい。フランジ９１の外径ｒは、搬入出用レール３の第二搬入出用プレート３１の裏面３１０に形成された給気口３１１、給気用マニホールド５の給気用角パイプ部５００の上面５０１に形成された給気口連結口５０５、給気兼吸引用マニホールド６の給気用角パイプ部６００ａの上面６０１ａに形成された給気口連結口６０５ａ、および給気兼吸引用マニホールド６の吸引用角パイプ部６００ｂの上面６０１ｂに形成された排気口連結口６０５ｂの口径よりも大きく、かつ作業用レール４の第二作業用プレート４１の裏面４１０に形成された給気口４１１および排気口４１２の口径より小さい。また、フランジ９１の厚さｈは、２列溝型アルミフレーム５０と第二搬入出用プレート３１の裏面３１０との間に配されるワッシャ５６の厚さｔ（図４（Ｂ）参照）、第二作業用プレート４１の給気口４１１に繋がる給気用貫通穴４１４の大径部４１７ａの厚さｊ（図５（Ｂ）参照）、および第二作業用プレート４１の排気口４１２に繋がる排気用貫通穴４１６の大径部４１７ｂの厚さｋ（図５（Ｂ）参照）より薄い。

【0062】

なお、図４（Ｂ）に示すように、搬入出用レール３の第二搬入出用プレート３１の裏面３１０に形成された給気口３１１に一方の端部９１１が挿入され、給気用マニホールド５の給気用角パイプ部５００の上面５０１に形成された給気口連結口５０５に他方の端部９１２が挿入されるジョイント９のフランジ９１の外周には、ワッシャ５６の厚さｔより軸方向の厚さが厚いＯリング５７ａが軸方向に圧縮されて配されている。このため、給気用角パイプ部５００に供給された圧縮気体を外部へ漏らすことなく、ジョイント９のジョイント本体９０を介して、第二搬入出用プレート３１の給気口３１１に繋がる給気用貫通穴３１５に供給することができる。

【0063】

また、図５（Ｂ）に示すように、作業用レール４の第二作業用プレート４１の裏面４１０に形成された給気口４１１に一方の端部９１１が挿入され、給気兼吸引用マニホールド６の給気用角パイプ部６００ａの上面６０１ａに形成された給気口連結口６０５ａに他方の端部９１２が挿入されるジョイント９のフランジ９１の外側にも、Ｏリング５７ｂが配されている。このＯリング５７ｂは、フランジ９１とともに、第二作業用プレート４１の給気口４１１に繋がる給気用貫通穴４１４の大径部４１７ａに収容されている。このＯリング５７ｂは、軸方向の厚さが給気用貫通穴４１４の大径部４１７ａの厚さｊよりも厚く、軸方向に圧縮されて配されているので、給気用角パイプ部６００ａに供給された圧縮気体を外部へ漏らすことなく、ジョイント９のジョイント本体９０を介して、第二作業用プレート４１の給気口４１１に繋がる給気用貫通穴４１４に供給することができる。

【0064】

また、図５（Ｂ）に示すように、作業用レール４の第二作業用プレート４１の裏面４１０に形成された排気口４１２に一方の端部９１１が挿入され、給気兼吸引用マニホールド６の吸引用角パイプ部６００ｂの上面６０１ｂに形成された排気口連結口６０５ｂに他方の端部９１２が挿入されるジョイント９のフランジ９１の外側には、Ｏリング５７ｃが配されており、このＯリング５７ｃは、フランジ９１とともに、第二作業用プレート４１の排気口４１２に繋がる排気用貫通穴４１６の大径部４１７ｂに収容されている。Ｏリング５７ｃは、軸方向の厚さが大径部４１７ｂの厚さｋよりも厚く、軸方向に圧縮されて配されているので、第二作業用プレート４１の排気用貫通穴４１６に流れ込んだ気体を外部へ漏らすことなく、ジョイント９のジョイント本体９０を介して吸引用角パイプ部６００ｂ内に流すことができる。

【0065】

上述のような構成を有する浮上搬送装置１において、不図示の給気ポンプから出力された圧縮空気は、給気用ホース７ａおよび給気ニップル７０ａを介して給気用マニホールド５に供給され、給気用マニホールド５内を通過して、第二搬入出用プレート３１の裏面３１０に形成された複数の給気口３１１に供給される。各給気口３１１に供給された圧縮空気は、第二搬入出用プレート３１の給気用貫通穴３１５、溝３１４、および第一搬入出用プレート３０の噴出用貫通穴３０４を介して、第一搬入出用プレート３０の搬送面３００に形成された噴出口３０１から噴出する。また、搬送面３００の噴出口３０１から噴出した圧縮空気の一部は、第一搬入出用プレート３０の搬送面３００に形成された排気用貫通穴３０２に流れ込み、第二搬入出用プレート３１の排気用貫通穴３１２を介して、第二搬入出用プレート３１の裏面３１０と給気用マニホールド５の給気用角パイプ部５００の上面５０１との隙間ｔから外部に排出される。これにより、搬送対象は、搬入出用レール３上を適切な高さまで浮上しながら搬送される。

【0066】

また、不図示の給気ポンプから出力された圧縮空気は、給気用ホース７ｂおよび給気ニップル７０ｂを介して給気兼吸引用マニホールド６に供給され、給気兼吸引用マニホールド６内部を通過して、第二作業用プレート４１の裏面４１０に形成された複数の給気口４１１に供給される。各給気口４１１に供給された圧縮空気は、第二作業用プレート４１の給気用貫通穴４１４、第三作業用プレート４２の噴出連結用貫通穴４２１、溝４２４、および第一作業用プレート４０の噴出用貫通穴４０４を介して、第一作業用プレート４０の搬送面４００に形成された噴出口４０１から噴出する。第一作業用プレート４０の搬送面４００に形成された複数の吸引口４０２に吸引された空気は、第一作業用プレート４０の吸引用貫通穴４０５、第三作業用プレート４２の吸引連結用貫通穴４２２、第二作業用プレート４１の溝４１５および排気用貫通穴４１６を介して、第二作業用プレート４１の裏面４１０に形成された複数の排気口４１２から給気兼吸引用マニホールド６に排出され、給気兼吸引用マニホールド６、吸引ニップル８０および吸引用ホース８を介して、図示していない吸引ポンプに送られる。これにより、搬送対象は、作業用レール４上を、搬入出用レール３に比べてより精度よく適切な高さまで浮上しながら搬送される。

【0067】

つぎに、上記構成の浮上搬送装置１の作製工程の一例について説明する。

【0068】

（１）搬送レール２の作製
第一搬入出用プレート３０の裏面３０３と第二搬入出用プレート３１の上面３１３とを対面させるように第一搬入出用プレート３０と第二搬入出用プレート３１とを所定の位置で重ね合わせてボルト等で固定することにより、必要枚数分の搬入出用レール３を作製する。また、第一作業用プレート４０の裏面４０３と第三作業用プレート４２の上面４２０とを対面させるとともに、第二作業用プレート４１の上面４１３と第三作業用プレート４２の裏面４２３とを対面させるように、第一作業用プレート４０、第三作業用プレート４２、および第二作業用プレート４１をこの順番で所定の位置で重ね合わせてボルト等で固定することにより、必要枚数分の作業用レール４を作製する。それから、必要枚数分の搬入出用レール３および作業用レール４を、それぞれの搬送面３００、４００を上に向けて面一となるように、図示していないフレーム上に所望の順番に並べ、これらをボルト等で固定する。

【0069】

以上のようにして、搬送レール２を組み立てる。

【0070】

（２）給気用マニホールド５の作製
２列溝型アルミフレーム５０に設けられた２列のＴ字溝５０３のそれぞれに板バネ付きＴ字ナット５２を挿入する。つぎに、給気ニップル取付冶具５４を、給気ニップル取付冶具５４の給気ニップル取付穴５４２の位置が給気用角パイプ部５００の下面５０２の給気ニップル取付口５０６の位置と合致するように配置し、この給気ニップル取付冶具５４を、各Ｔ字溝５０３に挿入された板バネ付きＴ字ナット５２と、これらの板バネ付きＴ字ナット５２とそれぞれ螺合するボルト５３とを用いて、給気用角パイプ部５００の下面５０２に固定する。それから、給気ニップル取付冶具５４を介して給気ニップル７０ａを給気用角パイプ部５００の給気ニップル取付口５０６に取り付けるとともに、２列溝型アルミフレーム５０のそれぞれの角柱部５０４の貫通穴５０８にエンドプレート５１をネジ止めして、２列溝型アルミフレーム５０の給気用角パイプ部５００の長手方向両端面の開口を塞ぐ。以上のようにして、必要本数の給気用マニホールド５を組み立てる。

【0071】

（３）給気兼吸引用マニホールド６の作製
３列溝型アルミフレーム６０に設けられた３列のＴ字溝６０３のそれぞれに板バネ付きＴ字ナット６２を挿入する。つぎに、給気・吸引ニップル取付冶具６４を、給気・吸引ニップル取付冶具６４の給気ニップル取付穴６４３の位置が給気用角パイプ部６００ａの下面６０２ａの給気ニップル取付口６０６ａの位置と合致し、かつ給気・吸引ニップル取付冶具６４の吸引ニップル取付穴６４４の位置が吸引用角パイプ部６００ｂの下面６０２ｂの吸引ニップル取付口６０６ｂの位置と合致するように配置する。そして、各Ｔ字溝６０３に挿入された板バネ付きＴ字ナット６２と、これらの板バネ付きＴ字ナット６２とそれぞれ螺合するボルト６３とを用いて、給気・吸引ニップル取付冶具６４を給気用角パイプ部６００ａの下面６０２ａおよび吸引用角パイプ部６００ｂの下面６０２ｂに固定する。それから、給気・吸引ニップル取付冶具６４を介して、給気ニップル７０ｂを給気用角パイプ部６００ａの給気ニップル取付口６０６ａに取り付けるとともに、吸引ニップル８０を吸引用角パイプ部６００ｂの吸引ニップル取付口６０６ｂに取り付け、さらに、３列溝型アルミフレーム６０のそれぞれの角柱部６０４の貫通穴６０８にエンドプレート６１をネジ止めして、３列溝型アルミフレーム６０の給気用角パイプ部６００ａおよび吸引用角パイプ部６００ｂそれぞれの長手方向両端面の開口を塞ぐ。

【0072】

以上のようにして、必要本数の給気兼吸引用マニホールド６を組み立てる。

【0073】

（４）給気用マニホールド５の搬送レール２への取付
搬送レール２を裏返し、搬入出用レール３の第二搬入出用プレート３１の裏面３１０を上向きにして、この裏面３１０に複数形成された給気口３１１のそれぞれに、フランジ９１の外周にＯリング５７ａを装着したジョイント９を一方の端部９１１側から挿入する。また、ボルト５５と螺合する、裏面３１０に設けられた図示していないネジ穴の周りにそれぞれにワッシャ５６を配置する。つぎに、搬送方向の垂直方向（Ｙ方向）に並ぶ給気口３１１のそれぞれに一方の端部９１１が挿入されたジョイント９の他方の端部９１２を、給気用角パイプ部５００の上面５０１に形成された複数の給気口連結口５０５に挿入する。これにより、必要本数の給気用マニホールド５が、所定の位置に、搬送方向の垂直方向に沿って位置付けられる配置する。それから、各給気用マニホールド５をボルト５５で第二搬入出用プレート３１の裏面３１０に固定する。

【0074】

以上のようにして、必要本数の給気用マニホールド５が、ワッシャ５６の厚さにより規定される隙間ｔを介して、搬入出用レール３の第二搬入出用プレート３１の裏面３１０に取り付けられる。

【0075】

（５）給気兼吸引用マニホールド６の搬送レール２への取付け
搬送レール２を裏返して、作業用レール４の第二作業用プレート４１の裏面４１０を上向きにし、この裏面４１０に複数形成された給気口４１１および排気口４１２のそれぞれに、フランジ９１の外周にＯリング５７ｂを装着したジョイント９を一方の端部９１１側から挿入して、給気口４１１に繋がる給気用貫通穴４１４の大径部４１７ａおよび排気口４１２に繋がる排気用貫通穴４１６の大径部４１７ｂのそれぞれにジョイント９のフランジ９１およびその外周のＯリング５７ｂを収容する。つぎに、搬送方向の垂直方向（Ｙ方向）に並んだ給気口４１１のそれぞれに一方の端部９１１が挿入されたジョイント９の他方の端部９１２を、給気用角パイプ部６００ａの上面６０１ａに形成された複数の給気口連結口６０５ａに挿入するとともに、これらの給気口４１１に隣接し、搬送方向の垂直方向（Ｙ方向）に並んだ排気口４１２のそれぞれに一方の端部９１１が挿入されたジョイント９の他方の端部９１２を、吸引用角パイプ部６００ｂの上面６０１ｂに形成された複数の排気口連結口６０５ｂに挿入する。これにより、必要本数の給気兼吸引用マニホールド６が、所定の位置に、搬送方向の垂直方向（Ｙ方向）に沿って位置付けられる。それから、給気兼吸引用マニホールド６をボルト６５で第二作業用プレート４１の裏面４１０に固定する。

【0076】

以上のようにして、必要本数の給気兼吸引用マニホールド６が、作業用レール４の第二作業用プレート４１の裏面４１０に密着して取り付けられる。

【0077】

（６）給気ポンプおよび吸引ポンプの接続
給気用マニホールド５および給気兼吸引用マニホールド６が取り付けられた搬送レール２を裏返し、給気用マニホールド５の給気用角パイプ部５００の下面５０２、および給気兼吸引用マニホールド６の給気用角パイプ部６００ａ、吸引用角パイプ部６００ｂの下面６０２ａ、６０２ｂを上向きにして、給気用角パイプ部５００の下面５０２および給気用角パイプ部６００ａの下面６０２ａに取り付けられた給気ニップル７０ａ、７０ｂに、図示していない給気ポンプからの給気用ホース７ａ、７ｂを接続するとともに、吸引用角パイプ部６００ｂの下面６０２ｂに取り付けられた吸引ニップル８０に、図示していない吸引ポンプからの吸引用ホース８を接続する。それから、搬入出用レール３の搬送面３００および作業用レール４の搬送面４００が上向きとなるように、搬送レール２を元に戻す。以上により、浮上搬送装置１の組立てが完了する。

【0078】

以上、本発明の一実施の形態を説明した。

【0079】

本実施の形態に係る浮上搬送装置１においては、搬入出用レール３の搬送面３００には圧縮気体の噴出口３０１が複数形成され、搬送面３００の反対側に位置する搬入出用レール３の裏面３１０には圧縮気体の給気口３１１が複数形成されており、これらの噴出口３０１および給気口３１１が、搬入出用レール３内に形成された給気路（格子状の溝３１４）を介して互いに繋がれている。また、搬入出用レール３の裏面３１０側には１本以上の給気用マニホールド５が設置されており、搬入出用レール３の裏面３１０と対面する給気用マニホールド５の給気用角パイプ部５００の上面５０１には、搬入出用レール３の裏面３１０に形成された複数の給気口３１１にそれぞれ対応する複数の給気口連結口５０５が形成されている。これらの給気口連結口５０５は、それぞれジョイント９を介して、対応する給気口３１１に連結される。また、給気用角パイプ部５００の下面５０２には少なくとも１つの給気ニップル取付口５０６が形成されており、この給気ニップル取付口５０６には、図示していない給気ポンプの給気用ホース７ａを接続するための給気ニップル７０ａが取り付けられる。

【0080】

このように、本実施の形態によれば、搬入出用レール３の裏面３１０に形成された複数の給気口３１１のそれぞれを、ジョイント９を介して、給気用マニホールド５の給気用角パイプ部５００の上面５０１に形成された対応する給気口連結口５０５に連結し、給気用ホース７ａを、給気ニップル７０ａを介して給気用角パイプ部５００の下面５０２に形成された給気ニップル取付口５０６に接続している。ここで、給気ニップル取付口５０６の数は、給気口連結口５０５の数より少ない。このため、搬入出用レール３の裏面３１０に形成された複数の給気口３１１のそれぞれに給気ニップル７０ａを取り付けて、多くの給気用ホース７ａを、限られたスペースで取り回しながら各給気ニップル７０ａに接続する場合に比べ、搬入出用レール３における圧縮気体噴出のための配管作業にかける時間および労力を削減し、作業者の負担を軽減することができる。

【0081】

また、給気ニップル取付口５０６の数が給気口連結口５０５の数より少ないため、例えば装置が大型化しても、必要な給気ニップルおよびホースの点数の増加を抑えることができるため、コストを低減することができる。

【0082】

また、搬入出用レール３の給気口３１１に給気用マニホールド５を直結することにより、細長いホースを多く用いて搬入出用レール３の個々の給気口に給気する場合に比べて圧力損失を抑制することができる。

【0083】

また、本実施の形態に係る浮上搬送装置１では、給気用マニホールド５を、ワッシャ５６の厚さにより特定される隙間ｔをあけて、搬入出用レール３の第二搬入出用プレート３１の裏面３１０に取り付けている。このため、搬入出用レール３の排気用貫通穴３１２が、給気用マニホールド５の給気用角パイプ部５００の上面５０１により塞がれることはない。このため、搬入出用レール３の搬送面３００側の余分な気体（搬送対象を搬送面３００から所望の高さだけ浮上させるために不要な気体）を、隙間ｔを介して効率よく排気することができる。

【0084】

また、本実施の形態に係る浮上搬送装置１は、搬入出用レール３の裏面３１０に複数形成された給気口３１１のそれぞれに、ジョイント９を一方の端部９１１側から挿入するとともに、これらのジョイント９の他方の端部９１２を、給気用マニホールド５の給気用角パイプ部５００の上面５０１に形成された複数の給気口連結口５０５に挿入することにより、給気用マニホールド５を搬入出用レール３の裏面３１０に設置している。このため、ジョイント９が、給気用マニホールド５の搬入出用レール３への取付位置を規定する位置決め冶具として機能し、給気用マニホールド５の搬入出用レール３への取付作業が容易となる。

【0085】

また、本実施の形態に係る浮上搬送装置１において、ジョイント９のフランジ９１の外周側に、ワッシャ５６の厚さｔより軸方向の厚さが厚いＯリング５７ａを軸方向に圧縮して配している。このため、給気用マニホールド５に供給された圧縮気体を外部へ漏らすことなく、搬入出用レール３の裏面３１０に形成された給気口３１１に繋がる給気用貫通穴３１５に供給することができる。

【0086】

また、本実施の形態に係る浮上搬送装置１では、２列溝型アルミフレーム５０を用いて給気用マニホールド５を作製している。２列溝型アルミフレーム５０として既製品を用いることにより、浮上搬送装置１の製造コストを下げることが可能となる。

【0087】

また、本実施の形態に係る浮上搬送装置１では、第二搬入出用プレート３１の上面３１３に格子状の溝３１４を形成し、この上面３１３と、第一搬入出用プレート３０の裏面３０３とを対面させるように第一搬入出用プレート３０と第二搬入出用プレート３１とを重ね合わせることにより、搬送面３００に形成された複数の噴出口３０１と裏面３１０に形成された複数の給気口３１１とを繋ぐ給気路が内部に設けられた搬入出用レール３を作製している。このため、例えば格子状といった複雑なパターンの給気路を内部に有する搬入出用レール３を容易に作製することができる。

【0088】

また、本実施の形態に係る浮上搬送装置１においては、作業用レール４の搬送面４００には圧縮気体の噴出口４０１および吸引口４０２が複数形成され、搬送面４００の反対側に位置する作業用レール４の裏面４１０には、圧縮気体の給気口４１１および排気口４１２が複数形成され、噴出口４０１および給気口４１１は、作業用レール４内に形成された給気路（格子状の溝４２４）を介して互いに繋がれ、吸引口４０２および排気口４１２は、作業用レール４内に形成された吸引路（格子状の溝４１５）を介して互いに繋がれている。また、作業用レール４の裏面４１０側には１本以上の給気兼吸引用マニホールド６が設置されており、作業用レール４の裏面４１０と対面する給気兼吸引用マニホールド６の給気用角パイプ部６００ａの上面６０１ａには、作業用レール４の裏面４１０に形成された複数の給気口４１１にそれぞれ対応する複数の給気口連結口６０５ａが形成されている。これらの給気口連結口６０５ａは、それぞれジョイント９を介して、対応する給気口４１１に連結される。同様に、作業用レール４の裏面４１０と対面する給気兼吸引用マニホールド６の吸引用角パイプ部６００ｂの上面６０１ｂには、作業用レール４の裏面４１０に形成された複数の排気口４１２にそれぞれ対応する複数の排気口連結口６０５ｂが形成され、これらの排気口連結口６０５ｂは、それぞれジョイント９を介して、対応する排気口４１２に連結される。また、給気用角パイプ部６００ａの下面６０２ａには少なくとも１つの給気ニップル取付口６０６ａが形成され、この給気ニップル取付口６０６ａには、図示していない給気ポンプの給気用ホース７ｂを接続するための給気ニップル７０ｂが取り付けられる。同様に、吸引用角パイプ部６００ｂの下面６０２ｂには少なくとも１つの吸引ニップル取付口６０６ｂが形成され、この吸引ニップル取付口６０６ｂには、図示していない吸引ポンプの吸引用ホース８を接続するための吸引ニップル８０が取り付けられる。

【0089】

このように、本実施の形態によれば、作業用レール４の裏面４１０に形成された複数の給気口４１１のそれぞれを、ジョイント９を介して、給気兼吸引用マニホールド６の給気用角パイプ部６００ａの上面６０１ａに形成された対応する給気口連結口６０５ａに連結し、給気用ホース７ｂを、給気ニップル７０ｂを介して、給気用角パイプ部６００ａの下面６０２ａに形成された給気ニップル取付口６０６ａに接続するとともに、作業用レール４の裏面４１０に形成された複数の排気口４１２のそれぞれを、ジョイント９を介して、給気兼吸引用マニホールド６の吸引用角パイプ部６００ｂの上面６０１ｂに形成された対応する排気口連結口６０５ｂに連結し、吸引用ホース８を、吸引ニップル８０を介して、吸引用角パイプ部６００ｂの下面６０２ｂに形成された吸引ニップル取付口６０６ｂに接続している。ここで、給気ニップル取付口６０６ａおよび吸引ニップル取付口６０６ｂの数は、それぞれ、給気口連結口６０５ａおよび排気口連結口６０５ｂの数より少ない。このため、搬入出用レール３と同様、作業用レール４の裏面４１０に形成された複数の給気口４１１、排気口４１２のそれぞれに給気ニップル７０ｂ、吸引ニップル８０を取り付けて、各給気ニップル７０ｂ、吸引ニップル８０に給気用ホース７ｂ、吸引用ホース８を接続する場合に比べ、作業用レール４における圧縮気体の噴出および吸引のための配管作業にかける時間および労力を削減し、作業者の負担を軽減することができる。また、例えば装置が大型化しても、必要な給気ニップル、吸引ニップルおよびホースの点数の増加を抑えることができるため、コストを低減することができる。

【0090】

また、作業用レール４の裏面４１０に形成された給気口４１１および排気口４１２に給気兼吸引用マニホールド６を直結することにより、作業用レール４の個々の給気口４１１および個々の排気口４１２に細長いホースを連結する場合に比べて圧力損失を抑制することができる。

【0091】

また、本実施の形態に係る浮上搬送装置１は、作業用レール４の裏面４１０に複数形成された給気口４１１、排気口４１２のそれぞれに、ジョイント９を一方の端部９１１側から挿入するとともに、これらのジョイント９の他方の端部９１２を、給気兼吸引用マニホールド６の給気用角パイプ部６００ａおよび吸引用角パイプ部６００ｂの上面６０１ａ、６０１ｂに形成された複数の給気口連結口６０５ａ、排気口連結口６０５ｂに挿入することにより、給気兼吸引用マニホールド６を、作業用レール４の裏面４１０に設置している。このため、ジョイント９が、給気兼吸引用マニホールド６の作業用レール４への取付位置を規定する位置決め冶具として機能し、給気兼吸引用マニホールド６の作業用レール４への取付作業が容易となる。

【0092】

また、本実施の形態に係る浮上搬送装置１において、吸気用のジョイント９のフランジ９１の外周側に、給気口４１１に繋がる給気用貫通穴４１４の大径部４１７ａの厚さｊより軸方向の厚さが厚いＯリング５７ｂを軸方向に圧縮して配している。このため、給気兼吸引用マニホールド６に供給された圧縮気体を外部へ漏らすことなく、作業用レール４の裏面４１０に形成された給気口４１１に繋がる給気用貫通穴４１４に供給することができる。同様に、ジョイント９のフランジ９１の外周側にも、排気口４１２に繋がる排気用貫通穴４１６の大径部４１７ｂの厚さｋより軸方向の厚さが厚いＯリング５７ｃを軸方向に圧縮して配しているため、排気用貫通穴４１６に流れ込んだ気体を外部へ漏らすことなく、給気兼吸引用マニホールド６に流すことができる。

【0093】

また、本実施の形態に係る浮上搬送装置１では、３列溝型アルミフレーム６０を用いて給気兼吸引用マニホールド６を作製している。３列溝型アルミフレーム６０として既製品を用いることにより、浮上搬送装置１の製造コストを下げることが可能となる。

【0094】

また、本実施の形態に係る浮上搬送装置１では、第三作業用プレート４２の上面４２０に格子状の溝４２４を形成し、この第三作業用プレート４２の上面４２０と、第一作業用プレート４０の裏面４０３とを対面させるように第一作業用プレート４０と第三作業用プレート４２とを重ね合わせるとともに、第二作業用プレート４１の上面４１３に格子状の溝４１５を形成し、この上面４１３と、第三作業用プレート４２の裏面４２３とを対面させるように第三作業用プレート４２と第二作業用プレート４１とを重ね合わせることにより、搬送面４００に形成された複数の噴出口４０１と裏面４１０に形成された複数の給気口４１１とを繋ぐ給気路と、搬送面４００に形成された複数の吸引口４０２と裏面４１０に形成された複数の排気口４１２とを繋ぐ吸引路とが内部に設けられた作業用レール４を作製している。このため、例えば格子状といった複雑なパターンの給気路および吸引路を内部に有する作業用レール４を容易に作製することができる。

【0095】

なお、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で数々の変形が可能である。

【0096】

例えば、上記の実施の形態では、搬入出用レール３、作業用レール４、搬入出用レール３の順番でこれらのレール３、４を搬送方向に並べることにより搬送レール２を作製している。しかし、本発明はこれに限定されない。搬送レール２は、所望の数の搬入出用レール３と所望の数の作業用レール４とを、所望の順番で搬送方向に並べたものであればよい。また、搬送レール２は、所望の数の搬入出用レール３のみを搬送方向に並べたものでもよいし、あるいは所望の数の作業用レール４のみを搬送方向に並べたものでもよい。

【0097】

また、上記の実施の形態では、搬入出用レール３内の給気路として機能する格子状の溝３１４を第二搬入出用プレート３１の上面３１３に形成しているが、本発明はこれに限定されない。第二搬入出用プレート３１の上面３１３に代えて、あるいはこれに加えて、第一搬入出用プレート３０の裏面３０３にも給気路として機能する格子状の溝を形成してもよい。また、格子状以外のパターンの溝を形成してもよい。

【0098】

また、上記の実施の形態では、作業用レール４内の給気路として機能する格子状の溝４２４を第三作業用プレート４２の上面４２０に形成し、作業用レール４内の吸引路として機能する格子状の溝４１５を第二作業用プレート４１の上面４１３に形成しているが、本発明はこれに限定されない。第三作業用プレート４２の上面４２０に代えて、あるいはこれに加えて、第一作業用プレート４０の裏面４０３にも給気路として機能する格子状の溝を形成してもよい。同様に、第二作業用プレート４１の上面４１３に代えて、あるいはこれに加えて、第三作業用プレート４２の裏面４２３にも吸引路として機能する格子状の溝を形成してもよい。または、吸引路として機能する溝を、第三作業用プレート４２の上面４２０および第一作業用プレート４０の裏面４０３の少なくとも一方に形成し、給気路として機能する溝を、第二作業用プレート４１の上面４１３および第三作業用プレート４２の裏面４２３の少なくとも一方に形成してもよい。また、格子状以外のパターンの溝を形成してもよい。

【0099】

また、上記の実施の形態では、ワッシャ５６を用いて、給気用マニホールド５と搬入出用レール３の裏面３１０との間に隙間ｔを設けているが、本発明はこれに限定されない。ワッシャ５６以外の方法を用いて、給気用マニホールド５と搬入出用レール３の裏面３１０との間に隙間ｔを設けるようにしてもよい。例えば、適当な張り出し量のフランジ９１が形成されたジョイント９を用いることによって、ジョイント９のフランジ９１の板厚により、給気用マニホールド５と搬入出用レール３の裏面３１０との間に適当な隙間ｔがあくようにしてもよい。

【0100】

また、上記の実施の形態では、２列溝型アルミフレーム５０を用いて給気用マニホールド５を作製しているが、本発明はこれに限定されない。Ｔ字溝を挟んで２以上の角パイプ部が配置された既存のアルミフレームを用いて給気用マニホールドを作製することにより、搬入出用レール３の裏面３１０において、搬送方向の垂直方向に複数配置された給気口３１１の列を、複数列分まとめて給気用マニホールドに接続できるようにしてもよい。また、既製品のアルミフレームの代わりに専用の部品を用いて給気用マニホールドを作製してもよい。

【0101】

また、上記の実施の形態では、３列溝型アルミフレーム６０を用いて給気兼吸引用マニホールド６を作製しているが、本発明はこれに限定されない。Ｔ字溝を挟んで４以上の偶数本の角パイプ部が配置された既存のアルミフレームを用いて給気兼吸引用マニホールドを作製することにより、作業用レール４の裏面４１０において、搬送方向の垂直方向に複数配置された給気口４１１の列および排気口４１２の列のペアを、複数ペア分まとめて給気兼吸引用マニホールドに接続できるようにしてもよい。また、既製品のアルミフレームの代わりに専用の部品を用いて給気兼吸引用マニホールド６を作製してもよい。

【0102】

また、上記の実施の形態においては、液晶ディスプレイパネル、プラズマディスプレイパネル等のフラットディスプレイパネルに用いられる大型ガラス基板等の基板を搬送対象とする場合を例に挙げたが、基板に限らず、撓みやすいシート状の搬送物を良好に搬送することができる。

【符号の説明】

【0103】

１：浮上搬送装置、 ２：搬送レール、 ３：搬入出用レール、 ４：作業用レール、 ５：給気用マニホールド、 ６：給気兼吸引用マニホールド、 ７ａ、７ｂ：給気用ホース、 ８：吸引用ホース、 ９：ジョイント、 ３０：第一搬入出用プレート、 ３１：第二搬入出用プレート、 ３２、４３：絞りプレート、 ４０：第一作業用プレート、 ４１：第二作業用プレート、 ４２：第三作業用プレート、 ５０：２列溝型アルミフレーム、 ５１：エンドプレート、 ５２：板バネ付きＴ字ナット、 ５３：ボルト、 ５４：給気ニップル取付冶具、 ５５：ボルト、 ５６：ワッシャ、 ５７ａ、５７ｂ、５７ｃ、５７ｄ、５７ｅ、５７ｆ：Ｏリング、 ６０：３列溝型アルミフレーム、 ６１：エンドプレート、 ６２：板バネ付きＴ字ナット、 ６３：ボルト、 ６４：給気・吸引ニップル取付冶具、 ６５：ボルト、 ７０ａ、７０ｂ：給気ニップル、 ８０：吸引ニップル、 ９０：ジョイントのジョイント本体、 ９１：ジョイントのフランジ、 ３００：第一搬入出用プレートの搬送面、 ３０１：第一搬入出用プレートの噴出口、 ３０３：第一搬入出用プレートの排気用貫通穴、 ３０３：第一搬入出用プレートの裏面、 ３０４：第一搬入出用プレートの噴出用貫通穴、 ３１０：第二搬入出用プレートの裏面、 ３１１：第二搬入出用プレートの給気口、 ３１２：第二搬入出用プレートの排気用貫通穴、 ３１３：第二搬入出用プレートの上面、 ３１４：第二搬入出用プレートの溝、 ３１５：第二搬入出用プレートの給気用貫通穴、 ４００：第一作業用プレートの搬送面、 ４０１：第一作業用プレートの噴出口、 ４０２：第一作業用プレートの吸引口、 ４０３：第一作業用プレートの裏面、 ４０４：第一作業用プレートの噴出用貫通穴、 ４０５：第一作業用プレートの吸引用貫通穴、 ４１０：第二作業用プレートの裏面、 ４１１：第二作業用プレートの給気口、 ４１２：第二作業用プレートの排気口、 ４１３：第二作業用プレートの上面、 ４１４：第二作業用プレートの給気用貫通穴、 ４１５：第二作業用プレートの溝、 ４１６：第二作業用プレートの排気用貫通穴、 ４２０：第三作業用プレートの上面、 ４２１：第三作業用プレートの噴出連結用貫通穴、 ４２２：第三作業用プレートの吸引連結用貫通穴、 ４２３：第三作業用プレートの裏面、 ４２４：第三作業用プレートの溝、 ５００：２列溝型アルミフレームの給気用角パイプ部、 ５０１：２列溝型アルミフレームの給気用角パイプ部の上面、 ５０２：２列溝型アルミフレームの給気用角パイプ部の下面、 ５０３：２列溝型アルミフレームのＴ字溝、 ５０４：２列溝型アルミフレームの角柱部、 ５０５：２列溝型アルミフレームの給気用角パイプ部の給気口連結口、 ５０６：２列溝型アルミフレームの給気用角パイプ部の給気ニップル取付口、 ５０７：２列溝型アルミフレームの角柱部のボルト挿入用貫通穴、 ５０８：２列溝型アルミフレームの角柱部の貫通穴、 ５４０：給気ニップル取付冶具の上面、 ５４１：環状溝、 ５４２：給気ニップル取付穴、 ６００ａ：３列溝型アルミフレームの給気用角パイプ部、 ６００ｂ：３列溝型アルミフレームの吸引用角パイプ部、 ６０１ａ：３列溝型アルミフレームの給気用角パイプ部の上面、 ６０１ｂ：３列溝型アルミフレームの吸引用角パイプ部の上面、 ６０２ａ：３列溝型アルミフレームの給気用角パイプ部の下面、 ６０２ｂ：３列溝型アルミフレームの吸引用角パイプ部の下面、 ６０３：３列溝型アルミフレームのＴ字溝、 ６０４：３列溝型アルミフレームの角柱部、 ６０５ａ：３列溝型アルミフレームの給気用角パイプ部の給気口連結口、 ６０５ｂ：３列溝型アルミフレームの吸引用角パイプ部の排気口連結口、 ６０６ａ：３列溝型アルミフレームの給気用角パイプ部の給気ニップル取付口、 ６０６ｂ：３列溝型アルミフレームの吸引用角パイプ部の吸引ニップル取付口、 ６０７：３列溝型アルミフレームの角柱部のボルト挿入用貫通穴、 ６０８：３列溝型アルミフレームの角柱部の貫通穴、 ６４０：給気・吸引ニップル取付冶具の上面、 ６４１、６４２：環状溝、６４３：給気ニップル取付穴、 ６４４：吸引ニップル取付穴、 ９１０：ジョイント本体の外周面、 ９１１：ジョイント本体の一方の端部、 ９１２：ジョイント本体の他方の端部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】