特許6228040排気の循環利用型安全キャビネット及び排気の循環利用型安全キャビネットを備えるクリーンルームの空気循環システム

発明の名称　排気の循環利用型安全キャビネット及び排気の循環利用型安全キャビネットを備えるクリーンルームの空気循環システム

出願人　三機工業株式会社　（識別番号 1834）

　　　　特許公開件数ランキング 646 位（40件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 566 位（38件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6228040

公報発行日　2017年11月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6228040

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