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特許第6230159号(P6230159)
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東洋合成工業株式会社
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特許
6230159
硬化性樹脂組成物、インプリント用樹脂モールド、光インプリント方法、半導体集積回路の製造方法及び微細光学素子の製造方法並びにフッ素化ウレタン（メタ）アクリレート
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