発明の名称 硬化性樹脂組成物、インプリント用樹脂モールド、光インプリント方法、半導体集積回路の製造方法及び微細光学素子の製造方法並びにフッ素化ウレタン(メタ)アクリレート
出願人 東洋合成工業株式会社 (識別番号 222691)
特許公開件数ランキング 14556 位(0件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 12424 位(0件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-6230159
公報発行日 2017年11月15
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6230159
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