特許6231428Ｌｉ含有酸化物ターゲット接合体およびその製造方法

発明の名称　Ｌｉ含有酸化物ターゲット接合体およびその製造方法

出願人　株式会社コベルコ科研　（識別番号 130259）

　　　　特許公開件数ランキング 1140 位（6件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 997 位（6件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6231428

公報発行日　2017年11月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6231428

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