特許 6232568 蛍光Ｘ線分析装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6232568

(24)【登録日】2017年11月2日

(45)【発行日】2017年11月22日

(54)【発明の名称】蛍光Ｘ線分析装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/223 20060101AFI20171113BHJP

【ＦＩ】

   G01N23/223

【請求項の数】3

【全頁数】10

(21)【出願番号】特願2017-537853(P2017-537853)

(86)(22)【出願日】2016年8月26日

(86)【国際出願番号】JP2016075033

(87)【国際公開番号】WO2017038701

(87)【国際公開日】20170309

【審査請求日】2017年7月18日

(31)【優先権主張番号】特願2015-169543(P2015-169543)

(32)【優先日】2015年8月28日

(33)【優先権主張国】JP

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000250339

【氏名又は名称】株式会社リガク

(74)【代理人】

【識別番号】100087941

【弁理士】

【氏名又は名称】杉本 修司

(74)【代理人】

【識別番号】100086793

【弁理士】

【氏名又は名称】野田 雅士

(74)【代理人】

【識別番号】100112829

【弁理士】

【氏名又は名称】堤 健郎

(72)【発明者】

【氏名】原 真也

(72)【発明者】

【氏名】松尾 尚

(72)【発明者】

【氏名】山田 康治郎

(72)【発明者】

【氏名】本間 寿

(72)【発明者】

【氏名】片岡 由行

【審査官】 越柴 洋哉

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１３−２０５０８０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−３４０８２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−２１２４０６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−３１０６０２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１６／０２５８８９０（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｎ ２３／００−２３／２２７

ＪＳＴＰｌｕｓ／ＪＭＥＤＰｌｕｓ／ＪＳＴ７５８０（ＪＤｒｅａｍＩＩＩ）

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

試料に１次Ｘ線を照射して発生する２次Ｘ線の強度を測定する走査型の蛍光Ｘ線分析装置であって、
分析対象試料に対応する検量線を作成するための複数の標準試料と、
定量分析条件として、あらかじめ、分析対象試料における分析対象元素ならびに標準試料における試料構成元素およびその含有率が設定される定量分析条件設定手段とを備え、
前記定量分析条件設定手段が、
標準試料について定性分析および定性分析結果に基づく定量分析である半定量分析を行い、あらかじめ設定された試料構成元素以外の元素を新規検出元素として検出し、
新規検出元素およびあらかじめ設定された試料構成元素についてファンダメンタルパラメーター法により蛍光Ｘ線の吸収励起に関する理論マトリックス補正係数を計算し、その理論マトリックス補正係数、新規検出元素の半定量分析値およびあらかじめ設定された試料構成元素の含有率に基づいて、分析対象元素の分析値に対する新規検出元素による蛍光Ｘ線の吸収励起の影響度を吸収励起影響度として計算して対応する所定の基準値と比較し、
あらかじめ記憶した重なり補正テーブルから分析対象元素の分析線に対する新規検出元素による妨害線の重なり補正係数を呼び出し、その重なり補正係数、新規検出元素の半定量分析値およびあらかじめ設定された試料構成元素の含有率に基づいて、分析対象元素の分析線に対する新規検出元素による妨害線の重なりの影響度を重なり影響度として計算して対応する所定の基準値と比較し、
前記吸収励起影響度および前記重なり影響度の少なくとも一方が、対応する所定の基準値よりも大きい場合に、定量分析条件として、当該新規検出元素を分析対象試料における分析対象元素として追加する蛍光Ｘ線分析装置。

【請求項2】

請求項１に記載の蛍光Ｘ線分析装置において、
前記定量分析条件設定手段が、
新規検出元素の半定量分析値が所定の含有率よりも大きい場合に、定量分析条件として、当該新規検出元素を分析対象試料における分析対象元素として追加することなく、残分元素として設定する蛍光Ｘ線分析装置。

【請求項3】

請求項１に記載の蛍光Ｘ線分析装置において、
前記定量分析条件設定手段が、
分析対象試料における分析対象元素として追加する新規検出元素については、定量分析条件として、あらかじめ記憶した装置感度定数を用いるファンダメンタルパラメーター法による定量演算条件を設定する蛍光Ｘ線分析装置。

【発明の詳細な説明】

【関連出願】

【0001】

本出願は、２０１５年８月２８日出願の特願２０１５−１６９５４３の優先権を主張するものであり、それらの全体を参照により本願の一部をなすものとして引用する。

【技術分野】

【0002】

本発明は、試料に１次Ｘ線を照射して発生する２次Ｘ線の強度を測定する走査型の蛍光Ｘ線分析装置に関する。

【背景技術】

【0003】

従来、試料に１次Ｘ線を照射して、試料から発生する蛍光Ｘ線等の２次Ｘ線の強度を測定し、その測定強度に基づいて、例えば試料における元素の含有率について定量分析を行う走査型の蛍光Ｘ線分析装置がある。このような装置においては、分析対象試料に対応する標準試料が備えられるとともに、定量分析条件として、あらかじめ、分析対象試料における分析対象元素ならびに標準試料における試料構成元素およびその含有率（化学分析値）が設定されており、標準試料を測定して検量線を作成し、分析対象試料の定量分析を行う。

【0004】

定量分析条件の設定に関連し、品種記憶手段、半定量分析手段、品種判定手段および定量分析手段を備えることにより、試料について、半定量分析結果に基づく試料の品種の判定、その判定した品種に適切な分析条件での定量分析が、自動的に行われる蛍光Ｘ線分析装置がある（特許文献１参照）。また、検量線を補正するための理論マトリックス補正係数を計算するにあたり、試料に対して適切な補正モデルが設定される蛍光Ｘ線分析装置がある（特許文献２参照）。これらの装置によれば、試料の品種に応じて定量分析条件の選択が自動的になされるので、熟練していない操作者でも正確な分析ができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２００２−３４０８２２号公報

【特許文献2】特開２０１３−２０５０８０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかし、標準試料に含有率が不明な元素が含まれていて、しかもその元素が含まれることで分析対象元素の分析が影響を受けて誤差を生じることがあり、そのような場合には、上述のような蛍光Ｘ線分析装置を用いても、試料の品種に応じた定量分析条件をあらかじめ設定する際に標準試料において含有率が不明な元素については考慮されていないことから、分析対象元素について正確な分析ができない。

【0007】

本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、標準試料に含有率が不明な元素が含まれている場合でも、定量分析条件において分析対象元素の適切な追加が自動的になされ、正確な分析ができる走査型の蛍光Ｘ線分析装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

前記目的を達成するために、本発明は、試料に１次Ｘ線を照射して発生する２次Ｘ線の強度を測定する走査型の蛍光Ｘ線分析装置であって、分析対象試料に対応する検量線を作成するための複数の標準試料と、定量分析条件として、あらかじめ、分析対象試料における分析対象元素ならびに標準試料における試料構成元素およびその含有率が設定される定量分析条件設定手段とを備えている。

【0009】

そして、前記定量分析条件設定手段が、標準試料について定性分析および定性分析結果に基づく定量分析である半定量分析を行い、あらかじめ設定された試料構成元素以外の元素を新規検出元素として検出し、新規検出元素およびあらかじめ設定された試料構成元素についてファンダメンタルパラメーター法（以下、ＦＰ法ともいう）により蛍光Ｘ線の吸収励起に関する理論マトリックス補正係数を計算し、その理論マトリックス補正係数、新規検出元素の半定量分析値およびあらかじめ設定された試料構成元素の含有率に基づいて、分析対象元素の分析値に対する新規検出元素による蛍光Ｘ線の吸収励起の影響度を吸収励起影響度として計算して対応する所定の基準値と比較する。

【0010】

さらに、前記定量分析条件設定手段が、あらかじめ記憶した重なり補正テーブルから分析対象元素の分析線に対する新規検出元素による妨害線の重なり補正係数を呼び出し、その重なり補正係数、新規検出元素の半定量分析値およびあらかじめ設定された試料構成元素の含有率に基づいて、分析対象元素の分析線に対する新規検出元素による妨害線の重なりの影響度を重なり影響度として計算して対応する所定の基準値と比較し、前記吸収励起影響度および前記重なり影響度の少なくとも一方が、対応する所定の基準値よりも大きい場合に、定量分析条件として、当該新規検出元素を分析対象試料における分析対象元素として追加する。

【0011】

本発明の蛍光Ｘ線分光装置によれば、標準試料の定性分析結果および半定量分析結果に基づいて、あらかじめ設定された試料構成元素以外の新規検出元素について、分析対象元素の分析値に対する蛍光Ｘ線の吸収励起影響度と、分析対象元素の分析線に対する妨害線の重なり影響度とから、分析対象元素として追加すべきか否かを判定する定量分析条件設定手段を備えているので、標準試料に含有率が不明な元素が含まれている場合でも、定量分析条件において分析対象元素の適切な追加が自動的になされ、正確な分析ができる。

【0012】

本発明の蛍光Ｘ線分光装置においては、前記定量分析条件設定手段が、新規検出元素の半定量分析値が所定の含有率よりも大きい場合に、定量分析条件として、当該新規検出元素を分析対象試料における分析対象元素として追加することなく、残分元素として設定することが好ましい。標準試料が例えば鉄鋼である場合、主成分である鉄は残分元素とすべきであって分析対象元素とすべきでない元素であるが、その鉄が新規検出元素として検出され得るので、この好ましい構成により、そのような新規検出元素を半定量分析値に基づいて分析対象試料における分析対象元素として追加することなく、残分元素として設定する。

【0013】

本発明の蛍光Ｘ線分光装置においては、前記定量分析条件設定手段が、分析対象試料における分析対象元素として追加する新規検出元素については、定量分析条件として、あらかじめ記憶した装置感度定数を用いるファンダメンタルパラメーター法による定量演算条件を設定することが好ましい。分析対象試料における分析対象元素として追加する新規検出元素についての定量演算方法としては、標準試料における追加した分析対象元素の含有率として半定量分析値を設定する検量線法もあるが、ゴニオメータを走査させて測定したＸ線強度に基づく半定量分析値の精度が今一つ十分でないところ、この好ましい構成によれば、あらかじめ記憶した装置感度定数を用いるファンダメンタルパラメーター法が適用され、ゴニオメータを固定して測定したＸ線強度に基づく、より精度の高い定量分析値を用いるので、全体としてより正確な分析ができる。

【0014】

請求の範囲および／または明細書および／または図面に開示された少なくとも２つの構成のどのような組合せも、本発明に含まれる。特に、請求の範囲の各請求項の２つ以上のどのような組合せも、本発明に含まれる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

この発明は、添付の図面を参考にした以下の好適な実施形態の説明からより明瞭に理解されるであろう。しかしながら、実施形態および図面は単なる図示および説明のためのものであり、この発明の範囲を定めるために利用されるべきでない。この発明の範囲は添付の請求の範囲によって定まる。添付図面において、複数の図面における同一の部品番号は、同一部分を示す。

【図1】本発明の一実施形態の蛍光Ｘ線分析装置を示す概略図である。

【図2】同蛍光Ｘ線分析装置の動作を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、本発明の一実施形態の装置について、図にしたがって説明する。図１に示すように、この装置は、試料１，１４に１次Ｘ線３を照射して発生する２次Ｘ線５の強度を測定する走査型の蛍光Ｘ線分析装置であって、試料１，１４が載置される試料台２と、試料１，１４に１次Ｘ線３を照射するＸ線管等のＸ線源４と、試料１，１４から発生する蛍光Ｘ線等の２次Ｘ線５を分光する分光素子６と、その分光素子６で分光された２次Ｘ線７が入射され、その強度を検出する検出器８とを備えている。検出器８の出力は、図示しない増幅器、波高分析器、計数手段などを経て、装置全体を制御する制御手段１１に入力される。

【0017】

この装置は、波長分散型でかつ走査型の蛍光Ｘ線分析装置であり、検出器８に入射する２次Ｘ線７の波長が変化するように、分光素子６と検出器８を連動させる連動手段１０、すなわちいわゆるゴニオメータを備えている。２次Ｘ線５がある入射角θで分光素子６へ入射すると、その２次Ｘ線５の延長線９と分光素子６で分光（回折）された２次Ｘ線７は入射角θの２倍の分光角２θをなすが、連動手段１０は、分光角２θを変化させて分光される２次Ｘ線７の波長を変化させつつ、その分光された２次Ｘ線７が検出器８に入射するように、分光素子６を、その表面の中心を通る紙面に垂直な軸Ｏを中心に回転させ、その回転角の２倍だけ、検出器８を、軸Ｏを中心に円１２に沿って回転させる。分光角２θの値（２θ角度）は、連動手段１０から制御手段１１に入力される。

【0018】

この装置は、分析対象試料１に対応する検量線を作成するための、組成が相異なる複数の標準試料１４を備えるとともに、定量分析条件として、あらかじめ、分析対象試料１における分析対象元素ならびに各標準試料１４における試料構成元素およびその含有率が設定される定量分析条件設定手段１３を制御手段１１の一部として備えている。なお、分析対象試料１と標準試料１４とを合わせて試料１，１４という。

【0019】

定量分析条件設定手段１３は、各標準試料１４について定性分析および定性分析結果に基づく定量分析である半定量分析を行い、あらかじめ設定された試料構成元素以外の元素を新規検出元素として検出する。ここで、定性分析とは、所定の標準的な分析条件で広い波長範囲において２次Ｘ線５の強度を測定してスペクトルを得て、ピークの同定解析を行う分析のことをいい、例えば、ゴニオメータ１０を走査させてＦからＵまで全元素のスペクトル測定を行い、測定したスペクトルから検出されたピークの同定解析を行う。半定量分析とは、定性分析で測定したＸ線強度に基づいて、各元素の含有率を定量する分析のことをいう。定量分析とは、ゴニオメータ１０を固定して測定したＸ線強度に基づき、分析対象試料１に対応した検量線を用いて、またはあらかじめ記憶した装置感度定数を用いるファンダメンタルパラメーター法により、各元素の含有率を定量する分析のことをいう。

【0020】

また、定量分析条件設定手段１３は、新規検出元素およびあらかじめ設定された試料構成元素についてファンダメンタルパラメーター法により蛍光Ｘ線の吸収励起に関する理論マトリックス補正係数を計算し、その理論マトリックス補正係数、新規検出元素の半定量分析値およびあらかじめ設定された試料構成元素の含有率に基づいて、分析対象元素の分析値に対する新規検出元素による蛍光Ｘ線の吸収励起の影響度を吸収励起影響度として計算して対応する所定の基準値と比較する。

【0021】

さらに、定量分析条件設定手段１３は、あらかじめ記憶した重なり補正テーブルから分析対象元素の分析線に対する新規検出元素による妨害線の重なり補正係数を呼び出し、その重なり補正係数、新規検出元素の半定量分析値およびあらかじめ設定された試料構成元素の含有率に基づいて、分析対象元素の分析線に対する新規検出元素による妨害線の重なりの影響度を重なり影響度として計算して対応する所定の基準値と比較する。

【0022】

そして、定量分析条件設定手段１３は、前記吸収励起影響度および前記重なり影響度の少なくとも一方が、対応する所定の基準値よりも大きい場合に、定量分析条件として、当該新規検出元素を分析対象試料１における分析対象元素として追加する。

【0023】

さらにまた、本発明の蛍光Ｘ線分析装置としては必須ではないが、本実施形態の蛍光Ｘ線分析装置では、定量分析条件設定手段１３が、新規検出元素の半定量分析値が所定の含有率よりも大きい場合に、定量分析条件として、当該新規検出元素を分析対象試料１における分析対象元素として追加することなく、残分元素として設定する。

【0024】

さらにまた、本発明の蛍光Ｘ線分析装置としては必須ではないが、本実施形態の蛍光Ｘ線分析装置では、定量分析条件設定手段１３が、分析対象試料１における分析対象元素として追加する新規検出元素については、定量分析条件として、あらかじめ記憶した装置感度定数を用いるファンダメンタルパラメーター法による定量演算条件を設定する。

【0025】

本実施形態の蛍光Ｘ線分析装置が備える定量分析条件設定手段１３は、具体的には、図２のフローチャートに示したように動作する。なお、図２において、ＹＥＳはＹ、ＮＯはＮと略記している。また、定量分析条件設定手段１３には、定量分析条件として、あらかじめ、分析対象試料１における分析対象元素、各標準試料１４における試料構成元素（分析対象試料１における分析対象元素を含む）およびその含有率、可能性のある分析線と妨害線の組み合わせごとに求められた理論強度による重なり補正係数の表である重なり補正テーブル、代表的な元素について純物質などを測定した測定強度とＦＰ法による理論強度の比から求められた装置感度定数のライブラリである感度ライブラリなどが設定されている。

【0026】

まず、ステップＳ１において、各標準試料１４について定性分析および定性分析結果に基づく定量分析である半定量分析を行う。次に、ステップＳ２において、半定量分析結果においてあらかじめ設定された試料構成元素以外の元素を検出していなければ、動作を終了し、検出していれば、その単数または複数の元素を新規検出元素として、ステップＳ３に進む。

【0027】

次に、ステップＳ３において、新規検出元素のうち、最大含有率の元素の半定量分析値が所定の含有率（例えば５０％）よりも大きいか否かを判定する。これは、最大含有率の新規検出元素が主成分であるか否かの判定である。最大含有率の半定量分析値が所定の含有率以下である場合には、後述するステップＳ６に進み、最大含有率の半定量分析値が所定の含有率よりも大きい場合には、ステップＳ４に進む。次に、ステップＳ４において、定量分析条件として、当該新規検出元素を分析対象試料１における分析対象元素として追加することなく、残分元素として設定する。

【0028】

標準試料１４が例えば鉄鋼である場合、主成分である鉄は残分元素とすべきであって分析対象元素とすべきでない元素であるが、その鉄がステップＳ２において新規検出元素として検出され得るので、ステップＳ３、Ｓ４により、そのような新規検出元素を半定量分析値に基づいて分析対象試料１における分析対象元素として追加することなく、残分元素としている。

【0029】

次に、ステップＳ５において、ステップＳ４で残分元素として設定した新規検出元素以外にまだ新規検出元素があるか否かを確認して、なければ動作を終了し、あればステップＳ６に進む。次に、ステップＳ６において、新規検出元素ｋおよびあらかじめ設定された試料構成元素ｉ，ｊについてファンダメンタルパラメーター法により蛍光Ｘ線の吸収励起に関する理論マトリックス補正係数α_ｉｋ，α_ｉｊを計算し、その理論マトリックス補正係数α_ｉｋ，α_ｉｊ、新規検出元素ｋの半定量分析値Ｗ_ｋおよびあらかじめ設定された試料構成元素ｉ，ｊの含有率Ｗ_ｉ，Ｗ_ｊに基づいて、分析対象元素ｉの分析値に対する新規検出元素ｋによる蛍光Ｘ線の吸収励起の影響度を、次式（１）により吸収励起影響度ΔＷ_ｉ／Ｗ_ｉとして計算する。

【0030】

ΔＷ_ｉ／Ｗ_ｉ＝α_ｉｋＷ_ｋ／（１＋Σα_ｉｊＷ_ｊ） …（１）

【0031】

なお、この計算においては、試料構成元素ｊにすべての新規検出元素ｋも含め、試料構成元素ｉ，ｊの含有率Ｗ_ｉ，Ｗ_ｊ（新規検出元素ｋの半定量分析値Ｗ_ｋを含む）については、基本的に複数の標準試料１４における含有率、半定量分析値の平均値を用いるが、式（１）の吸収励起影響度ΔＷ_ｉ／Ｗ_ｉにおいて判定の対象となっている新規検出元素ｋの半定量分析値Ｗ_ｋについては、複数の標準試料１４における最大値を用い、それ以外の試料構成元素ｉ，ｊの含有率Ｗ_ｉ，Ｗ_ｊ（判定の対象となっていない新規検出元素ｋの半定量分析値Ｗ_ｋを含む）については、最大値を用いた半定量分析値Ｗ_ｋとの合計含有率が１００％（mass％、以下同様）になるように調整する。

【0032】

次に、ステップＳ７において、分析対象元素ｉごとに計算した吸収励起影響度ΔＷ_ｉ／Ｗ_ｉが、１つでも対応する所定の基準値よりも大きい場合、判定の対象となっている新規検出元素ｋについて影響ありとする。ここで、吸収励起影響度に対応する所定の基準値は、例えば、複数の標準試料１４における分析対象元素ｉの平均含有率が０．１％よりも大きい場合は０．００５とし、０．１％以下の場合は０．０２とする。

【0033】

次に、ステップＳ８において、ステップＳ７で影響ありとされた場合には後述するステップＳ１１へ進み、ステップＳ７で影響ありとされなかった場合には、ステップＳ９に進む。次に、ステップＳ９において、あらかじめ記憶した重なり補正テーブルから分析対象元素ｉの分析線に対する新規検出元素ｋによる妨害線の重なり補正係数^３γ_ｉｋを呼び出し、その重なり補正係数^３γ_ｉｋ、新規検出元素ｋによる妨害線の理論強度^ＴＩ_ｋおよび分析対象元素ｉの分析線の理論強度^ＴＩ_ｉに基づいて、分析対象元素ｉの分析線に対する新規検出元素ｋによる妨害線の重なりの影響度を、次式（２）の重なり影響度^３γ_ｉｋ^ＴＩ_ｋ／^ＴＩ_ｉとして計算する。

【0034】

^３γ_ｉｋ^ＴＩ_ｋ／^ＴＩ_ｉ …（２）

【0035】

ここで、分析対象元素ｉの分析線の理論強度^ＴＩ_ｉ、新規検出元素ｋによる妨害線の理論強度^ＴＩ_ｋは、ステップＳ６で用いたのと同様の新規検出元素ｋの半定量分析値Ｗ_ｋおよびあらかじめ設定された試料構成元素ｉ，ｊの含有率Ｗ_ｉ，Ｗ_ｊに基づいて、ＦＰ法により計算される。

【0036】

次に、ステップＳ１０において、分析対象元素ｉごとに計算した重なり影響度^３γ_ｉｋ^ＴＩ_ｋ／^ＴＩ_ｉが、１つでも対応する所定の基準値よりも大きい場合、判定の対象となっている新規検出元素ｋについて影響ありとする。ここで、重なり影響度に対応する所定の基準値は、例えば、ステップＳ７での吸収励起影響度ΔＷ_ｉ／Ｗ_ｉに対応する所定の基準値と同様に、複数の標準試料１４における分析対象元素ｉの平均含有率が０．１％よりも大きい場合は０．００５とし、０．１％以下の場合は０．０２とする。

【0037】

次に、ステップＳ１１において、未判定の新規検出元素ｋが残っているか否かを確認し、残っていればステップＳ６に戻り、残っていなければステップＳ１２に進む。次に、ステップＳ１２において、定量分析条件として、影響ありとされた新規検出元素ｋを分析対象試料１における分析対象元素ｉとして追加して、動作を終了する。

【0038】

さて、分析対象元素ｉとして追加する新規検出元素ｋについては、標準試料１４において既知の含有率（化学分析値）が設定されていないところ、分析対象試料１における定量演算方法としては、標準試料１４における追加した分析対象元素ｉの含有率としてステップＳ１で求めた同元素（新規検出元素ｋ）の半定量分析値Ｗ_ｋを設定する検量線法もあるが、ゴニオメータ１０を走査させて測定したＸ線強度に基づく半定量分析値Ｗ_ｋの精度は今一つ十分でない。

【0039】

そこで、本実施形態の蛍光Ｘ線分析装置では、定量分析条件設定手段１３が、ステップＳ１２において、影響ありとされた新規検出元素ｋを分析対象試料１における分析対象元素ｉとして追加する際に、その新たな分析対象元素ｉについては、定量分析条件として、以下のような、あらかじめ記憶した装置感度定数ｋ_ｉを用いるファンダメンタルパラメーター法による定量演算条件を設定する。この定量演算では、まず、次式（３）により、ゴニオメータ１０を固定して測定したＸ線強度Ｉ_Ｍｉを、あらかじめ設定された感度ライブラリから呼び出した装置感度定数ｋ_ｉを用いて理論強度スケールに換算し、換算測定強度^ＴＩ_Ｍｉとする。

【0040】

^ＴＩ_Ｍｉ＝ｋ_ｉＩ_Ｍｉ …（３）

【0041】

そして、次式（４）および（５）による繰り返し計算（逐次近似計算）を適切な収束条件で行う。ここで、^ＴＩ_ｉＰは分析対象元素ｉが１００％の純物質における理論強度、Ｗ_ｉ(0) は初期含有率、Ｗ_ｉ(n) はｎ回目の含有率、^ＴＩ_ｉｎは各元素のｎ回目の含有率による組成から計算した分析対象元素ｉについての理論強度、Ｗ_ｉ(n+1) はｎ＋１回目の含有率、つまり定量分析値である。

【0042】

Ｗ_ｉ(0) ＝１００×^ＴＩ_Ｍｉ／^ＴＩ_ｉＰ …（４）

【0043】

Ｗ_ｉ(n+1) ＝Ｗ_ｉ(n) ×^ＴＩ_Ｍｉ／^ＴＩ_ｉｎ …（５）

【0044】

なお、式（４）および（５）による繰り返し計算と同時に、もともと定量分析条件に設定されていた分析対象元素ｉについては、検量線法の次式（６）および（７）による繰り返し計算が行われる。ここで、Ａ，Ｂは検量線定数、α_ｊは理論マトリックス補正係数である。ただし、式（４）〜（７）においては重なり補正項を省略している。また、式（５）の繰り返し計算において、理論強度^ＴＩ_ｉｎを計算するための組成の一部として、もともと定量分析条件に設定されていた分析対象元素ｉについては、式（７）によるｎ回目の含有率Ｗ_ｉ(n) が用いられ、一方、式（７）の繰り返し計算において、加補正成分の含有率Ｗ_ｊ(n) として、追加された新たな分析対象元素ｉについては、式（５）によるｎ回目の含有率Ｗ_ｉ(n) が用いられる。

【0045】

Ｗ_ｉ(0) ＝ＡＩ_Ｍｉ＋Ｂ …（６）

【0046】

Ｗ_ｉ(n+1) ＝（ＡＩ_Ｍｉ＋Ｂ）（１＋Σα_ｊＷ_ｊ(n)） …（７）

【0047】

この構成によれば、追加された新たな分析対象元素ｉについては、あらかじめ記憶した装置感度定数ｋ_ｉを用いるファンダメンタルパラメーター法が適用され、ゴニオメータ１０を固定して測定したＸ線強度Ｉ_Ｍｉに基づく、より精度の高い定量分析値Ｗ_ｉ(n+1) を用いるので、全体としてより正確な分析ができる。

【0048】

以上のように、本実施形態の蛍光Ｘ線分光装置によれば、標準試料１４の定性分析結果および半定量分析結果に基づいて、あらかじめ設定された試料構成元素以外の新規検出元素ｋについて、分析対象元素ｉの分析値に対する蛍光Ｘ線の吸収励起影響度ΔＷ_ｉ／Ｗ_ｉと、分析対象元素ｉの分析線に対する妨害線の重なり影響度^３γ_ｉｋ^ＴＩ_ｋ／^ＴＩ_ｉとから、分析対象元素ｉとして追加すべきか否かを判定する定量分析条件設定手段１１を備えているので、標準試料１４に含有率が不明な元素が含まれている場合でも、定量分析条件において分析対象元素ｉの適切な追加が自動的になされ、正確な分析ができる。

【0049】

以上のとおり、図面を参照しながら好適な実施例を説明したが、当業者であれば、本件明細書を見て、自明な範囲内で種々の変更および修正を容易に想定するであろう。したがって、そのような変更および修正は、添付の請求の範囲から定まるこの発明の範囲内のものと解釈される。

【符号の説明】

【0050】

１ 分析対象試料
３ １次Ｘ線
５ ２次Ｘ線
１３ 定量分析条件設定手段
１４ 標準試料

【図1】

【図2】