特許 6232752 駆動装置、電子部品搬送装置、および電子部品検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6232752

(24)【登録日】2017年11月2日

(45)【発行日】2017年11月22日

(54)【発明の名称】駆動装置、電子部品搬送装置、および電子部品検査装置

(51)【国際特許分類】

   H02N 2/14 20060101AFI20171113BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20171113BHJP

   H05K 13/04 20060101ALI20171113BHJP

【ＦＩ】

   H02N2/14

   H01L21/68 A

   H05K13/04 B

【請求項の数】17

【全頁数】45

(21)【出願番号】特願2013-115022(P2013-115022)

(22)【出願日】2013年5月31日

(65)【公開番号】特開2014-236545(P2014-236545A)

(43)【公開日】2014年12月15日

【審査請求日】2016年5月17日

(73)【特許権者】

【識別番号】000002369

【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100116665

【弁理士】

【氏名又は名称】渡辺 和昭

(74)【代理人】

【識別番号】100164633

【弁理士】

【氏名又は名称】西田 圭介

(74)【代理人】

【識別番号】100179475

【弁理士】

【氏名又は名称】仲井 智至

(72)【発明者】

【氏名】松沢 明

(72)【発明者】

【氏名】浦野 治

(72)【発明者】

【氏名】西村 義輝

(72)【発明者】

【氏名】塩澤 雅邦

(72)【発明者】

【氏名】宮澤 修

【審査官】 小林 紀和

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０６−１９７５６９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０３−０２２８７９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−２２３０７７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０４−０３３５７７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０９−３０８２７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０３−１２４２７６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−１２１１８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特許第５９０３８５８（ＪＰ，Ｂ２）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０２Ｎ ２／１４

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｈ０５Ｋ １３／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１方向に移動可能な基部と、
複数の移動部と、
前記移動部を移動させるモーターと、
前記モーターを駆動する駆動回路と、
前記モーターと前記駆動回路とを断続する断続部と、を備え、
複数の前記移動部は、前記基部に保持され、前記第１方向とは異なる第２方向に移動可能に設けられた第１移動部と、前記第１方向に移動可能に設けられた第２移動部と、前記第１方向及び前記第２方向に直交する方向に回転軸を有し、前記基体部に対して回動可能に設けられた第３移動部と、を含み、
前記駆動回路の数は前記モーターの数よりも少ないことを特徴とする駆動装置。

【請求項2】

前記モーターは圧電モーターであることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。

【請求項3】

前記駆動装置には前記移動部の移動を制動する制動部が備えられていることを特徴とする請求項１または２に記載の駆動装置。

【請求項4】

前記駆動回路を複数備えることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の駆動装置。

【請求項5】

前記第２方向は、前記第１方向に直交する方向である、請求項１ないし５のいずれか１項に記載の駆動装置。

【請求項6】

前記第３移動部は、前記第１移動部と前記第２移動部との間に配置されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の駆動装置。

【請求項7】

前記断続部は、各々の前記モーターと前記駆動回路の間に設けられていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の駆動装置。

【請求項8】

前記断続部は、フォトモスリレーを有することを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載の駆動装置。

【請求項9】

前記断続部は、ロータリースイッチを有することを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項に記載の駆動装置。

【請求項10】

第１方向に移動可能な基部と、
電子部品を把持する把持部と、
前記把持部を移動させる複数の移動部と、
前記移動部に設けられ、前記移動部を移動させるモーターと、
前記モーターを駆動する駆動回路と、
前記モーターと前記駆動回路とを断続する断続部と、を備え、
複数の前記移動部は、前記基部に保持され、前記第１方向とは異なる第２方向に移動可能に設けられた第１移動部と、前記第１方向に移動可能に設けられた第２移動部と、前記第１方向及び前記第２方向に直交する方向に回転軸を有し、前記基体部に対して回動可能に設けられた第３移動部と、を含み、
前記駆動回路の数は前記モーターの数よりも少ないことを特徴とする電子部品搬送装置。

【請求項11】

前記モーターは圧電モーターであることを特徴とする請求項１０に記載の電子部品搬送装置。

【請求項12】

前記第２方向は、前記第１方向に直交する方向である、請求項１０または１１に記載の駆動装置。

【請求項13】

前記第３移動部は、前記第１移動部と前記第２移動部との間に配置されていることを特徴とする請求項１０ないし１２のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。

【請求項14】

電子部品を検査する検査部と、
第１方向に移動可能な基部と、
前記電子部品を把持する把持部と、
前記把持部を移動させる複数の移動部と、
前記移動部に設けられ、前記移動部を移動させるモーターと、
前記モーターを駆動する駆動回路と、
前記モーターと前記駆動回路とを断続する断続部と、を備え、
複数の前記移動部は、前記基部に保持され、前記第１方向とは異なる第２方向に移動可能に設けられた第１移動部と、前記第１方向に移動可能に設けられた第２移動部と、前記第１方向及び前記第２方向に直交する方向に回転軸を有し、前記基体部に対して回動可能に設けられた第３移動部と、を含み、
前記駆動回路の数は前記モーターの数よりも少ないことを特徴とする電子部品検査装置。

【請求項15】

前記モーターは圧電モーターであることを特徴とする請求項１３に記載の電子部品検査装置。

【請求項16】

前記第２方向は、前記第１方向に直交する方向である、請求項１４または１５に記載の駆動装置。

【請求項17】

前記第３移動部は、前記第１移動部と前記第２移動部との間に配置されていることを特徴とする請求項１４ないし１６のいずれか１項に記載の電子部品検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、駆動装置、電子部品搬送装置、および電子部品検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

複数のモーターを個別の駆動回路で駆動して可動部を移動させる駆動装置が知られている。このような駆動装置は、例えば位置決め装置として用いられ、可動部を異なる方向に移動させる複数のモーターを駆動回路で順次駆動することにより、可動部を所定の位置に位置決めすることができる。従来の位置決め装置では、一般に電磁モーターやパルスモーターが用いられているが、非駆動状態にある回転子が回転してしまわないように保持するブレーキ機構がモーター毎に必要であった。

【0003】

これに対して、圧電モーター（圧電アクチュエーター）を用いた駆動装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。圧電モーターは、圧電素子で生じる振動を摩擦力で回転部に伝達し、非駆動状態においても摩擦力により回転部の位置が保持されるので、ブレーキ機構を必要としない。したがって、特許文献１に記載のような圧電モーターを用いた駆動装置では、電磁モーターやパルスモーターを用いた駆動装置に比べて、駆動装置の小型化、軽量化を図ることができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００１−１３６７６０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献１に記載の駆動装置では、各圧電モーターを個別の駆動回路で駆動するため、駆動回路が圧電モーターと同じ数だけ必要となる。このため、駆動装置をより小型化、軽量化、低コスト化することが困難であるという課題があった。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
本発明の駆動装置は、複数の移動部と、
前記移動部を移動させるモーターと、
前記モーターを駆動する駆動回路と、
前記モーターと前記駆動回路とを断続する断続部と、を備え、
前記駆動回路の数は前記モーターの数よりも少ないことを特徴とする。
これにより、モーターと駆動回路とを断続してモーターを選択的に駆動させることにより、共通の駆動回路で複数のモーターを時分割で駆動させて、移動部を移動させることができる。これによって、モーターの数に対して、駆動回路の数を少なくすることができる。この結果、駆動装置の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。

【0007】

本発明の駆動装置では、前記モーターは圧電モーターであることが好ましい。
これにより、移動部の微細な移動が可能であり、移動部の位置決め精度を向上させることができる。また、圧電モーターには停止時に一定の制動効果があるので、外力が加わった場合でも移動部が位置ずれしにくくなる。
本発明の駆動装置では、前記駆動装置には前記移動部の移動を制動する制動部が備えられていることが好ましい。
これにより、大きな外力が加わった場合でも移動部が位置ずれしにくくなる。

【0008】

本発明の駆動装置では、前記駆動回路を複数備えることが好ましい。
これにより、１つの駆動回路が担当するモーターの数を減少させることができるので、駆動回路が１つのモーターを制御可能な時間を長くすることができ、これによって、より多彩な制御を行うことができる。
本発明の駆動装置では、前記移動部の各々の移動方向は異なることが好ましい。
これにより、各モーターを切り替えて個別に駆動し、各移動部を異なる方向に移動させることにより、対象物を容易に、かつ精度良く所望の位置へ移動させることができる。

【0009】

本発明の駆動装置では、複数の前記移動部は、第１移動部と、前記第１移動部の移動方向と直交する方向に移動可能な第２移動部と、前記第１移動部の移動方向及び前記第２移動部の移動方向にそれぞれ直交する方向に回転軸を有する第３移動部であることが好ましい。
これにより、各モーターを切り替えて個別に駆動し、第１移動部、第２移動部、第３移動部を異なる方向に移動または回動させることにより、対象物を容易に、かつ精度良く所望の位置へ移動させることができる。

【0010】

本発明の駆動装置では、基部を有し、
前記第１移動部は、前記基部に対して移動可能に設けられており、
前記第３移動部は、前記第１移動部と前記第２移動部との間に配置されていることが好ましい。
これにより、第３移動部の移動方向の慣性力を小さくすることができ、第３移動部の移動方向と同じ方向に加減速が加わった場合でも、その第３移動部が位置ずれしにくくなる。

【0011】

本発明の駆動装置では、前記断続部は、各々の前記モーターと前記駆動回路の間に設けられていることが好ましい。
これにより、複数のモーターを一つずつ個別に駆動させることができるので、各移動部の移動を一つずつ個別に制御することができ、これによって、対象物を容易に、かつ精度良く所望の位置へ移動させることができる。
本発明の駆動装置では、前記断続部は、フォトモスリレーを有することが好ましい。
これにより、メカニカルリレー（電磁リレー）で構成される場合に比べて、接続及び遮断の際の動作時間が短く、消費電力が小さく、長寿命である。これにより、より高性能で信頼性の高い駆動装置を提供できる。

【0012】

本発明の駆動装置では、前記断続部は、ロータリースイッチを有することが好ましい。
これにより、断続部をフォトモスリレーで構成した場合に比べて、例えば、装置のメンテナンスや調整時のようにそのフォトモスリレーを動作させるセレクト信号を出力できない場合でも、ロータリースイッチを手動で回転させて、容易に、モーターと駆動回路とを断続することができる。

【0013】

本発明の電子部品搬送装置は、電子部品を把持する把持部と、
前記把持部を移動させる複数の移動部と、
前記移動部に設けられ、前記移動部を移動させるモーターと、
前記モーターを駆動する駆動回路と、
前記モーターと前記駆動回路とを断続する断続部と、を備え、
前記駆動回路の数は前記モーターの数よりも少ないことを特徴とする。
これにより、モーターと駆動回路とを断続してモーターを選択的に駆動させることにより、共通の駆動回路で複数のモーターを時分割で駆動させて、移動部を移動させることができる。これによって、モーターの数に対して、駆動回路の数を少なくすることができる。この結果、電子部品搬送装置の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記モーターは圧電モーターであることが好ましい。
これにより、移動部の微細な移動が可能であり、移動部の位置決め精度を向上させることができる。また、圧電モーターには停止時に一定の制動効果があるので、外力が加わった場合でも移動部が位置ずれしにくくなる。

【0014】

本発明の電子部品搬送装置では、複数の前記移動部は、第１移動部と、前記第１移動部の移動方向と直交する方向に移動可能な第２移動部と、前記第１移動部の移動方向及び前記第２移動部の移動方向にそれぞれ直交する方向に回転軸を有する第３移動部であることが好ましい。
これにより、各モーターを切り替えて個別に駆動し、第１移動部、第２移動部、第３移動部を異なる方向に移動または回動させることにより、把持部を容易に、かつ精度良く所望の位置へ移動させることができる。

【0015】

本発明の電子部品搬送装置では、基部を有し、
前記第１移動部は、前記基部に対して移動可能に設けられており、
前記第３移動部は、前記第１移動部と前記第２移動部との間に配置されていることが好ましい。
これにより、第３移動部の移動方向の慣性力を小さくすることができ、第３移動部の移動方向と同じ方向に加減速が加わった場合でも、その第３移動部が位置ずれしにくくなる。

【0016】

本発明の電子部品検査装置は、電子部品を検査する検査部と、
前記電子部品を把持する把持部と、
前記把持部を移動させる複数の移動部と、
前記移動部に設けられ、前記移動部を移動させるモーターと、
前記モーターを駆動する駆動回路と、
前記モーターと前記駆動回路とを断続する断続部と、を備え、
前記駆動回路の数は前記モーターの数よりも少ないことを特徴とする。
これにより、モーターと駆動回路とを断続してモーターを選択的に駆動させることにより、共通の駆動回路で複数のモーターを時分割で駆動させて、移動部を移動させることができる。これによって、モーターの数に対して、駆動回路の数を少なくすることができる。この結果、電子部品検査装置の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。

【0017】

本発明の電子部品検査装置では、前記モーターは圧電モーターであることが好ましい。
これにより、移動部の微細な移動が可能であり、移動部の位置決め精度を向上させることができる。また、圧電モーターには停止時に一定の制動効果があるので、外力が加わった場合でも移動部が位置ずれしにくくなる。
本発明の電子部品検査装置では、複数の前記移動部は、第１移動部と、前記第１移動部の移動方向と直交する方向に移動可能な第２移動部と、前記第１移動部の移動方向及び前記第２移動部の移動方向にそれぞれ直交する方向に回転軸を有する第３移動部であることが好ましい。
これにより、各モーターを切り替えて個別に駆動し、第１移動部、第２移動部、第３移動部を異なる方向に移動または回動させることにより、把持部を容易に、かつ精度良く所望の位置へ移動させることができる。

【0018】

本発明の電子部品検査装置では、基部を有し、
前記第１移動部は、前記基部に対して移動可能に設けられており、
前記第３移動部は、前記第１移動部と前記第２移動部との間に配置されていることが好ましい。
これにより、第３移動部の移動方向の慣性力を小さくすることができ、第３移動部の移動方向と同じ方向に加減速が加わった場合でも、その第３移動部が位置ずれしにくくなる。

【0019】

本発明のロボットハンドは、複数の回動可能な指部と、
前記指部を回動させるモーターと、
前記モーターを駆動する駆動回路と、
前記モーターと前記駆動回路とを断続する断続部と、を備え、
前記駆動回路の数は前記モーターの数よりも少ないことを特徴とする。
これにより、モーターと駆動回路とを断続してモーターを選択的に駆動させることにより、共通の駆動回路で複数のモーターを時分割で駆動させて、指部を回動させることができる。これによって、モーターの数に対して、駆動回路の数を少なくすることができる。この結果、ロボットハンドの小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。
本発明のロボットハンドでは、前記モーターは圧電モーターであることが好ましい。
これにより、指部の微細な移動が可能であり、移動部の位置決め精度を向上させることができる。また、圧電モーターには停止時に一定の制動効果があるので、外力が加わった場合でも移動部が位置ずれしにくくなる。

【0020】

本発明のロボットは、複数の回動可能な腕部と、
前記腕部を回動させるモーターと、
前記モーターを駆動する駆動回路と、
前記モーターと前記駆動回路とを断続する断続部と、を備え、
前記駆動回路の数は前記モーターの数よりも少ないことを特徴とする。
これにより、モーターと駆動回路とを断続してモーターを選択的に駆動させることにより、共通の駆動回路で複数のモーターを時分割で駆動させて、腕部を回動させることができる。これによって、モーターの数に対して、駆動回路の数を少なくすることができる。この結果、ロボットの小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。
本発明のロボットでは、前記モーターは圧電モーターであることが好ましい。
これにより、腕部の微細な移動が可能であり、移動部の位置決め精度を向上させることができる。また、圧電モーターには停止時に一定の制動効果があるので、外力が加わった場合でも移動部が位置ずれしにくくなる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】第１の実施形態に係る駆動装置の概略構成を示すブロック図である。

【図2】第１の実施形態に係る駆動装置に用いる圧電モーターの構成を示す模式図である。

【図3】第１の実施形態に係る駆動装置の構成を示すブロック図である。

【図4】第１の実施形態に係る駆動回路の構成を示すブロック図である。

【図5】第１の実施形態に係る駆動装置の駆動制御方法を説明する図である。

【図6】第２の実施形態に係る駆動装置に用いる圧電モーターの構成を示す模式図である。

【図7】第２の実施形態に係る駆動装置の構成を示すブロック図である。

【図8】第２の実施形態に係る駆動回路の構成を示すブロック図である。

【図9】第３の実施形態に係る電子部品の一例を示す図である。

【図10】第３の実施形態に係る電子部品搬送装置及び電子部品検査装置を示す概略平面図である。

【図11】図１０に示す電子部品検査装置が有する検査用個別ソケットの断面図である。

【図12】図１０に示す電子部品検査装置が有する供給ロボットのハンドユニットを示す平面図（部分断面図）である。

【図13】図１０に示す電子部品検査装置が有する供給ロボットのハンドユニットを示す斜視図である。

【図14】図１０に示す電子部品検査装置が有する検査用ロボットのハンドユニットを示す分解斜視図である。

【図15】図１０に示す電子部品検査装置が有する検査用ロボットのハンドユニットの移動機構のＸ方向に垂直な平面で取った断面図である。

【図16】図１０に示す電子部品検査装置が有する位置決め機構の概略構成を示すブロック図である。

【図17】図１０に示す電子部品検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。

【図18】図１０に示す電子部品検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。

【図19】図１０に示す電子部品検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。

【図20】図１０に示す電子部品検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。

【図21】図１０に示す電子部品検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。

【図22】図１０に示す電子部品検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。

【図23】図１０に示す電子部品検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。

【図24】図１０に示す電子部品検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。

【図25】図１０に示す電子部品検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。

【図26】第４の実施形態に係るロボットハンド及びロボットの構造を示す模式図である。

【図27】第５の実施形態に係る駆動装置に用いる圧電モーターの構成を示す模式図である。

【図28】第６の実施形態に係る駆動装置におけるロータリースイッチを示す模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下、本発明の駆動装置、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、ロボットハンドおよびロボットを添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。なお、参照する各図面において、構成を判り易く示すため、各構成要素の寸法の比率、角度等が異なる場合がある。
なお、以下の実施形態では、図１０に示すように、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とする。また、Ｘ軸とＹ軸で規定される平面を「ＸＹ平面」と言い、Ｙ軸とＺ軸で規定される平面を「ＹＺ平面」と言い、Ｘ軸とＺ軸で規定される平面を「ＸＺ平面」と言う。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ方向（第１方向）」と言い、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ方向（第２方向）」と言い、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ方向（第３方向）」と言う。また、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向において、矢印先端側を（＋）側、矢印基端側を（−）側と言う。

【0023】

（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係る駆動装置の概略構成を示すブロック図である。図２は、第１の実施形態に係る駆動装置に用いる圧電モーターの構成を示す模式図である。図３は、第１の実施形態に係る駆動装置の構成を示すブロック図である。図４は、第１の実施形態に係る駆動回路の構成を示すブロック図である。図５は、第１の実施形態に係る駆動装置の駆動制御方法を説明する図である。

【0024】

＜駆動装置＞
まず、第１の実施形態に係る駆動装置の概略構成を説明する。図１は、第１の実施形態に係る駆動装置の概略構成を示すブロック図である。図１に示すように、第１の実施形態に係る駆動装置１００は、３つの駆動ユニット１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃで構成される。

【0025】

駆動ユニット１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃのそれぞれは、同じ構成を有しており、符号の末尾に付したａ、ｂ、ｃにより、各駆動ユニット１０１と、各駆動ユニット１０１が備える可動部５０、駆動回路３０、断続部としてのリレー２１、２２、２３、２４、及び圧電モーター１１、１２、１３、１４とを対応させている。
すなわち、駆動装置１００は、可動部５０ａ、５０ｂ、５０ｃと、駆動回路３０ａ、３０ｂ、３０ｃと、圧電モーター１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１４ａ、１４ｂ、１４ｃと、リレー２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２４ａ、２４ｂ、２４ｃと、を備えている。以下では、符号の末尾に付したａ、ｂ、ｃを省略して説明する。

【0026】

各駆動ユニット１０１において、可動部５０には、４個の圧電モーター１１、１２、１３、１４が設けられている。リレー２１、２２、２３、２４は、圧電モーター１１、１２、１３、１４毎に設けられている。すなわち、圧電モーター１１、１２、１３、１４は、それぞれリレー２１、２２、２３、２４に１対１で接続されており、リレー２１、２２、２３、２４を介して、圧電モーター１１、１２、１３、１４を駆動する駆動回路３０に接続されている。

【0027】

リレー２１、２２、２３、２４は、例えば、フォトモス（ＭＯＳ）リレーで構成されている。リレー２１、２２、２３、２４は、駆動回路３０から出力されるセレクト信号に基づいて動作し、圧電モーター１１、１２、１３、１４のそれぞれと駆動回路３０とを電気的に接続又は遮断（断続）する。リレー２１、２２、２３、２４の切り替えにより、圧電モーター１１、１２、１３、１４のうち駆動回路３０と電気的に接続された圧電モーターに対して、駆動回路３０からの駆動信号が選択的に供給される。また、圧電モーター１１、１２、１３、１４のうち駆動回路３０から駆動信号が供給された圧電モーターの動作により、エンコーダー信号が駆動回路３０にフィードバックされる。

【0028】

駆動装置１００は、３つの駆動ユニット１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃのそれぞれにおいて、リレー２１、２２、２３、２４の切り替えで、４つ（４軸）の圧電モーター１１、１２、１３、１４のいずれかを選択的に駆動回路３０に接続して時分割で駆動することにより、３つの可動部５０のそれぞれを所望の位置に移動させる１２軸の多軸駆動装置である。駆動装置１００の駆動制御方法については後述する。

【0029】

なお、本実施形態は、リレー２１、２２、２３、２４にフォトモスリレーを用いた構成としているが、メカニカルリレー（電磁リレー）用いた構成としてもよい。しかしながら、フォトモスリレーは、メカニカルリレーに比べて、接続と遮断との動作（応答）時間が短いので切り替えを速く行うことができるとともに、消費電力が小さく長寿命である。したがって、リレー２１、２２、２３、２４にはフォトモスリレーを用いることが好ましい。

【0030】

＜圧電モーター＞
次に、圧電モーター１１、１２、１３、１４の構成を説明する。図２は、第１の実施形態に係る駆動装置に用いる圧電モーターの構成を示す模式図である。図３は、第１の実施形態に係る駆動装置の構成を示すブロック図である。
圧電モーター１１、１２、１３、１４は、同じ構成を有している。図２に示すように、圧電モーター１１、１２、１３、１４のそれぞれは、振動体１と、被駆動体５と、保持部材８と、付勢バネ６と、基台７と、を備えている。振動体１、被駆動体５、保持部材８、及び付勢バネ６は、基台７に設置されている。なお、ここでは、被駆動体５が回転駆動されるローターである場合を例にとり説明する。

【0031】

図２に示す平面視で、振動体１は、短辺１ａと長辺１ｂとを有する略矩形形状である。以下の説明では、短辺１ａに沿った方向を短手方向と呼び、長辺１ｂに沿った方向を長手方向と呼ぶ。振動体１は、例えば、板状に形成された圧電素子で構成されるが、圧電素子と振動板とが積層された積層体であってもよい。
圧電素子は、電気機械変換作用を示す圧電材料からなり、例えば、一般式ＡＢＯ_３で示されるペロブスカイト構造を有する金属酸化物を材料として形成されている。このような金属酸化物としては、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ_３：ＰＺＴ）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ_３）等があげられる。

【0032】

振動体１の表面には、Ｎｉ、Ａｕ、Ａｇ等の導電性金属からなる電極３が設けられている。電極３は、振動体１の短手方向の中央部、及び長手方向の中央部に形成された溝部によって、略４等分されている。これにより、電極３は、個別電極として互いに電気的に隔離された電極部３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄの４つの電極部に分割されている。また、振動体１の反対側の表面には、共通電極９（図３参照）が設けられている。

【0033】

電極３の４つの電極部のうち、互いに対角となるように配置され対を成す電極部３ａ、３ｄは、第１屈曲振動用電極として機能する。また、電極部３ａ、３ｄと交差する対角となるように配置され対を成す電極部３ｃ、３ｂは、第２屈曲振動用電極として機能する。電極部３ａ、３ｄが配置された領域、及び電極部３ｃ、３ｂが配置された領域が、それぞれ振動体１の短手方向に屈曲振動を励起する屈曲振動励起領域となる。

【0034】

振動体１は、被駆動体５側に突出するように延設され、被駆動体５の側面（円周面）に当接する摺動部（凸部）４を有している。また、振動体１は、短手方向両外側に向かって延設された一対の腕部１ｃを有している。腕部１ｃには厚さ方向に貫通する貫通孔が設けられており、貫通孔を挿通させたネジを介して、腕部１ｃが保持部材８に固定されている。これにより、振動体１は、保持部材８に対して、腕部１ｃを基点として屈曲振動が可能な状態で保持される。

【0035】

被駆動体５は、円盤形状を有しており、振動体１の摺動部４が設けられた側に配置されている。被駆動体５は、基台７に立設された棒状の軸５ａを回転中心として、回転自在に保持されている。圧電モーター１１、１２、１３、１４のそれぞれにおいて、被駆動体５に近い位置には、エンコーダー５１、５２、５３、５４（図３参照）が設けられている。エンコーダー５１、５２、５３、５４は、被駆動体５の位置や回転速度に基づくエンコーダー信号Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３、Ｅ４を駆動回路３０にフィードバックする。

【0036】

基台７は、振動体１の短手方向の両外側に、長手方向に沿って延在して配置された一対のスライド部７ａを有している。保持部材８は、基台７に対して、スライド部７ａに沿ってスライド移動可能に支持されている。
保持部材８の被駆動体５とは反対側と基台７との間には、付勢バネ６が設置されている。付勢バネ６は、保持部材８を介して振動体１を被駆動体５に向けて付勢し、この付勢力により、摺動部４が被駆動体５に所定の力で当接する。付勢バネ６の付勢力は、被駆動体５と摺動部４との間で適切な摩擦力が発生するように適宜設定されている。これにより、振動体１の振動が、摺動部４を介して被駆動体５に効率よく伝達される。

【0037】

駆動回路３０（図１参照）から、共通電極９に対して共通信号（図３に示すＣＯＭ）が供給され、第１屈曲振動用電極である電極部３ａ、３ｄに対して駆動信号（図３に示すＤｒｖＡ）が供給されると、振動体１に、短手方向に沿って屈曲する屈曲振動が励振される。この屈曲振動により、摺動部４は、時計回りの楕円軌道を描くように摺動する。これにより、被駆動体５が、図２に矢印で示すように、反時計回りに回転する。

【0038】

一方、共通電極９に対して共通信号（ＣＯＭ）が供給され、第２屈曲振動用電極である電極部３ｃ、３ｂに対して駆動信号（図３に示すＤｒｖＢ）が供給されると、振動体１に、短手方向に沿って屈曲する屈曲振動が励振される。この屈曲振動により、摺動部４は、反時計回りの楕円軌道を描くように摺動する。これにより、被駆動体５が、図２に示す矢印とは反対の、時計回りに回転する。

【0039】

このように、圧電モーター１１、１２、１３、１４は、駆動回路３０から共通電極９と電極部３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄとの間に駆動信号が供給される際に、第１屈曲振動用電極（電極部３ａ、３ｄ）を選択する場合と、第２屈曲振動用電極（電極部３ｃ、３ｂ）を選択する場合とを切り替えることにより、被駆動体５を反時計回り及び時計回りの双方向に回転させることが可能である。これにより、可動部５０（図１参照）を移動させる方向を正方向と逆方向とで切り替えることができる。

【0040】

なお、被駆動体５は、上述の回転駆動されるローターに限定されるものではない。被駆動体５は直線駆動されるリニア被駆動体であってもよく、被駆動体５の駆動方向は任意に構成できる。被駆動体５がリニア被駆動体である場合、第１屈曲振動用電極（電極部３ａ、３ｄ）と第２屈曲振動用電極（電極部３ｃ、３ｂ）とを切り替えることにより、被駆動体５の直動方向を正方向と逆方向とで切り替えることができる。

【0041】

図３に示すように、圧電モーター１１、１２、１３、１４のうち、リレー２１、２２、２３、２４で駆動回路３０に電気的に接続された圧電モーターのみが、屈曲振動用電極の駆動信号（ＤｒｖＡ又はＤｒｖＢ）及び共通信号（ＣＯＭ）が供給されて駆動される。リレー２１、２２、２３、２４で駆動回路３０との電気的な接続が遮断された圧電モーターは非駆動状態となる。

【0042】

非駆動状態において、被駆動体５は、摺動部４との間に働く摩擦力により、回転を停止した際の位置で保持される。したがって、圧電モーター１１、１２、１３、１４では、電磁モーターやパルスモーターのように非駆動状態において回転子が回転しないようにモーター毎に設けられるブレーキ機構を必要としない。このため、圧電モーター１１、１２、１３、１４を用いることで、駆動装置１００の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。
なお、圧電モーター１１、１２、１３、１４は、被駆動体５の回転を増速又は減速して伝達する増減速機構をさらに備えていてもよい。増減速機構を備えていると、被駆動体５の回転速度を増速又は減速して所望の回転速度を容易に得ることができる。

【0043】

＜駆動回路＞
次に、第１の実施形態に係る駆動回路の概略構成を説明する。図４は、第１の実施形態に係る駆動回路の構成を示すブロック図である。図４に示すように、駆動回路３０（３０ａ、３０ｂ、３０ｃ）は、主制御部４０と、副制御部４１と、発振器３１と、ゲインアンプ３２と、ＰＷＭ部３３と、デジタルアンプ３４と、インダクターコンデンサー３５、３６と、リレー３７、３８と、を備えている。

【0044】

主制御部４０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）で構成される。主制御部４０は、駆動装置１００を含むシステム全体を制御する制御装置（図示省略）と、ＣＡＮ（Controller Area Network）を介して接続されている。主制御部４０は、制御装置の指示に基づいて、リレー２１、２２、２３、２４で圧電モーター１１、１２、１３、１４を切り替えて時分割で駆動する等の、駆動装置１００の動作の制御を行う。

【0045】

副制御部４１は、ロジックＩＣやＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等で構成される。副制御部４１は、主制御部４０とＳＰＩ（Serial Peripheral Interface）を介して接続されている。副制御部４１は、主制御部４０の指示に基づいて、発振器３１で生成する信号の周波数、ゲインアンプ３２の増幅率、リレー３７、３８の切り替え等の制御を行う。また、副制御部４１は、エンコーダー５１、５２、５３、５４からフィードバックされたエンコーダー信号（図３に示すＥ１、Ｅ２、Ｅ３、Ｅ４）に基づいて、圧電モーター１１、１２、１３、１４の被駆動体５の位置や回転速度を検出する。

【0046】

発振器３１は、ＤＤＳ（Direct Digital Synthesizer）等で構成される。発振器３１は、圧電モーター１１、１２、１３、１４の振動体１に供給する駆動信号のもととなる信号を生成する。発振器３１で生成された信号は、ＤＡコンバーターによりアナログ信号に変換される。また、発振器３１は、副制御部４１の指示に基づいて、駆動信号の周波数を調整する。

【0047】

ゲインアンプ３２は、例えば、デジタルポテンショメーターとオペアンプとで構成される。ゲインアンプ３２は、発振器３１からのアナログ信号をデジタル制御により増幅する。また、ゲインアンプ３２は、副制御部４１の指示に基づいて、駆動信号の電圧値を調整する。
ＰＷＭ部３３は、ＰＷＭ（Pulse Width Modulation）回路で構成される。ＰＷＭ部３３は、ゲインアンプ３２からの入力信号におけるパルスのデューティー比を変えることにより、等価的なアナログ制御を行なう。

【0048】

デジタルアンプ３４は、ＭＯＳトランジスターのＨブリッジ回路で構成され、ＰＷＭ部３３との併用により、デジタルアンプとして機能する。デジタルアンプ３４は、ＰＷＭ部３３からの信号の電力を増幅してスイッチングを行う。なお、主制御部４０からの「Ｓｌｅｅｐ」指示があると、電力を増幅してスイッチングを行う機能がＯＦＦ状態となる。
インダクターコンデンサー３５、３６は、デジタルアンプ３４から出力される駆動信号の波形を整形して正弦波とする。また、インダクターコンデンサー３５、３６は、フィルター回路、圧電モーター１１、１２、１３、１４の整合回路、昇圧回路等としての機能も兼ねている。

【0049】

インダクターコンデンサー３５から、リレー３７を介して圧電モーター１１、１２、１３、１４の第１屈曲振動用電極（図２に示す電極部３ａ、３ｄ）に駆動信号（ＤｒｖＡ）が出力され、リレー３８を介して第２屈曲振動用電極（図２に示す電極部３ｃ、３ｂ）に駆動信号（ＤｒｖＢ）が出力される。インダクターコンデンサー３６から、圧電モーター１１、１２、１３、１４の共通電極９（図３参照）に共通信号（ＣＯＭ）が出力される。

【0050】

リレー３７、３８は、フォトモスリレーで構成されている。リレー３７、３８は、副制御部４１の指示に基づいて動作し、第１屈曲振動用電極（電極部３ａ、３ｄ）、第２屈曲振動用電極（電極部３ｃ、３ｂ）とインダクターコンデンサー３５とが電気的に接続した状態及び電気的に切断した状態を切り替える。リレー３７、３８を切り替えて、第１屈曲振動用電極（電極部３ａ、３ｄ）又は第２屈曲振動用電極（電極部３ｃ、３ｂ）を選択することにより、圧電モーター１１、１２、１３、１４の被駆動体５は反時計回り又は時計回りに回転する。

【0051】

＜駆動制御方法＞
次に、第１の実施形態に係る駆動装置の駆動制御方法を説明する。図５は、第１の実施形態に係る駆動装置の駆動制御方法を説明する図である。
先に図１を参照して説明したように、駆動ユニット１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃのそれぞれにおいて、駆動回路３０からリレー２１、２２、２３、２４及び圧電モーター１１、１２、１３、１４に、セレクト信号及び駆動信号が出力される。図５（ａ）は、駆動回路３０からリレー２１、２２、２３、２４及び圧電モーター１１、１２、１３、１４に出力されるセレクト信号及び駆動信号の構成を模式的に示している。

【0052】

図５（ａ）に示すように、セレクト信号は、時分割で順次現出する信号Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４を含んでいる。信号Ｓ１は、例えば動作開始等の基準時点から時間Ｔ１経過後に現出し、信号Ｓ２は時間Ｔ１から時間Ｔ２経過後に現出する。そして、信号Ｓ３は時間Ｔ２から時間Ｔ３経過後に現出し、信号Ｓ４は時間Ｔ３から時間Ｔ４経過後に現出する。また、駆動信号は、信号Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４に同期するとともに、信号Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４のそれぞれの持続時間に対応して出力される。

【0053】

信号Ｓ１はリレー２１を接続状態とする信号であり、同様に、信号Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４はそれぞれリレー２２、２３、２４を個別に接続状態とする信号である。リレー２１、２２、２３、２４のうち、セレクト信号（信号Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４）で指定されたリレーは接続状態となり、それ以外のリレーは切断状態となる。したがって、圧電モーター１１、１２、１３、１４のうち、セレクト信号に基づいて接続状態となったリレーに対応する圧電モーターのみが選択的に駆動回路３０に電気的に接続される。

【0054】

図５（ｂ）に示すように、時間Ｔ１経過後にはセレクト信号（信号Ｓ１）で指定されたリレー２１が接続状態となり、圧電モーター１１のみが駆動回路３０に電気的に接続されるので、駆動信号は圧電モーター１１のみに供給される。また、図５（ｃ）に示すように、時間Ｔ１から時間Ｔ２経過後にはセレクト信号（信号Ｓ２）で指定されたリレー２２が接続状態となり、圧電モーター１２のみが駆動回路３０に電気的に接続されるので、駆動信号は圧電モーター１２のみに供給される。

【0055】

同様にして、図５（ｄ）に示す時間Ｔ３経過後にはリレー２３が接続状態となって駆動信号が圧電モーター１３に供給され、図５（ｅ）に示す時間Ｔ４経過後にはリレー２４が接続状態となって駆動信号が圧電モーター１４に供給される。このようにして、一つの駆動回路３０により、４個の圧電モーター１１、１２、１３、１４を時分割で順次駆動することができる。また、これにより、駆動回路３０と接続する配線を、４個の圧電モーター１１、１２、１３、１４で共通とすることができる。
このとき、３つの駆動ユニット１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃにおいて、セレクト信号及び駆動信号を同期させて供給することにより、それぞれの圧電モーター１１、１２、１３、１４を同期させて駆動することができる。すなわち、図１に示す可動部５０ａ、５０ｂ、５０ｃを同期させて移動させることができる。

【0056】

ここで、４個の圧電モーター１１、１２、１３、１４により図１に示す可動部５０（５０ａ、５０ｂ、５０ｃ）を移動させる方向は、同一であってもよいし、それぞれ異なっていてもよい。例えば、圧電モーター１１、１２、１３、１４のそれぞれによる移動方向を、互いに直交するＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の３方向、及びＺ方向を回転軸（回動軸）として回転（回動）するθ方向とすれば、リレー２１、２２、２３、２４の切り替えにより圧電モーター１１、１２、１３、１４を順次駆動させることで、可動部５０をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、θ方向に順次移動させて所望の位置に移動配置することができる。この場合、可動部５０を、対象物をＸ方向に移動する移動部、対象物をＹ方向に移動する移動部、対象物をＺ方向に移動する移動部、対象物をθ方向に移動する移動部で構成し、各移動部に、それぞれ、圧電モーター１１、１２、１３、１４を設ける。各移動部は、それぞれ、圧電モーター１１、１２、１３、１４の駆動により移動する。
あるいは、増減速機構により、圧電モーター１１、１２、１３、１４の順に可動部５０を移動させる速度を遅く（移動させる距離を小さく）すれば、リレー２１、２２、２３、２４の切り替えにより圧電モーター１１、１２、１３、１４を順次駆動させることで、可動部５０の位置合わせを段階的に微細に行うことができる。
なお、駆動装置１００が備える駆動ユニットの数や、一つの駆動回路３０に接続する圧電モーターの数は、上述の数に限定されるものではない。また、一つのリレーに複数の圧電モーターを接続して、これら複数の圧電モーターと駆動回路３０との電気的な接続及び切断を一緒に行う構成とすることも可能である。

【0057】

以上述べたように、第１の実施形態に係る駆動装置１００の構成によれば、以下の効果が得られる。
（１）圧電モーター１１、１２、１３、１４と駆動回路３０との間に設けられたリレー２１、２２、２３、２４は、圧電モーター１１、１２、１３、１４のうちの少なくとも一つと駆動回路３０とを電気的に接続又は遮断する。そのため、駆動回路３０と電気的に接続する圧電モーターをリレー２１、２２、２３、２４で切り替えて選択的に駆動させることにより、共通の駆動回路３０で複数の圧電モーター１１、１２、１３、１４を時分割で駆動させることができる。これにより、圧電モーター１１、１２、１３、１４の数に対して、駆動回路３０の数及び配線の数を少なくすることができる。また、圧電モーターを用いるので、電磁モーターやパルスモーターを用いる場合に比べて、モーター毎に設けられるブレーキ機構を不要もしくは制動能力が低いものでも適応可能にできる。この結果、駆動装置１００の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。また、圧電モーター１１、１２、１３、１４の数に対して配線の数を少なくすることができるので、配線の重量や配線の束による可動部５０への負荷を低減できる。これにより、可動部５０の位置決め精度を向上させることができる。

【0058】

（２）圧電モーター１１、１２、１３、１４のそれぞれによる移動方向を、互いに直交するＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の３方向、及びＺ方向を回転軸として回転するθ方向とすれば、リレー２１、２２、２３、２４を切り替えることにより、圧電モーター１１、１２、１３、１４を個別に駆動させて、可動部５０をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、θ方向の異なる方向に移動させる動作を個別に行うことができる。これにより、可動部５０を容易に、かつ精度良く所望の位置へ移動させることができる。

【0059】

（３）リレー２１、２２、２３、２４が圧電モーター１１、１２、１３、１４毎に設けられているので、共通の駆動回路３０で複数の圧電モーター１１、１２、１３、１４を一つずつ個別に駆動させることができる。
（４）リレー２１、２２、２３、２４がフォトモスリレーで構成されるので、メカニカルリレー（電磁リレー）で構成される場合に比べて、接続及び遮断の際の動作時間が短く、消費電力が小さく、長寿命である。これにより、より高性能で信頼性の高い駆動装置１００を提供できる。

【0060】

（第２の実施形態）
＜駆動装置＞
次に、第２の実施形態に係る駆動装置を説明する。第２の実施形態に係る駆動装置は、第１の実施形態に対して、圧電モーターの振動体に屈曲振動だけでなく縦振動が励起される点が異なっているが、その他の構成はほぼ同じである。以下、本実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図６は、第２の実施形態に係る駆動装置に用いる圧電モーターの構成を示す模式図である。図７は、第２の実施形態に係る駆動装置の構成を示すブロック図である。図８は、第２の実施形態に係る駆動回路の構成を示すブロック図である。

【0061】

第２の実施形態に係る駆動装置１０２は、第１の実施形態に係る駆動装置１００と同様に、３つの駆動ユニット（図示省略）を備え、それぞれの駆動ユニットに、駆動回路３０と、圧電モーター６１、６２、６３、６４と、リレー２１、２２、２３、２４と、を備えている。図６に示すように、圧電モーター６１、６２、６３、６４のそれぞれは、振動体２と、被駆動体５と、保持部材８と、付勢バネ６と、基台７と、を備えている。

【0062】

振動体２の電極３の表面は５分割されており、電極部３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄに加えて、電極部３ｅが設けられている。電極部３ｅは、電極部３ａ、３ｂと電極部３ｃ、３ｄとの間の短手方向中央部に配置されており、電極部３ａ、３ｂを合わせた面積（電極部３ｃ、３ｄを合わせた面積）とほぼ同じ面積を有している。電極部３ｅは、縦振動用電極として機能する。縦振動とは、振動体２に長手方向に沿って伸縮する振動のことを指す。

【0063】

図７に示すように、圧電モーター６１、６２、６３、６４は、それぞれリレー２１、２２、２３、２４により、駆動回路３０と電気的に接続又は遮断される。駆動回路３０に電気的に接続された圧電モーターには、第１屈曲振動用信号（ＤｒｖＡ）又は第２屈曲振動用信号（ＤｒｖＢ）のいずれかと、縦振動用の駆動信号（Ｄｒｖ）とが供給される。
振動体２の電極部３ａ、３ｄに第１屈曲振動用の駆動信号（ＤｒｖＡ）が供給され、電極部３ｅに縦振動用の駆動信号（Ｄｒｖ）が供給されると、振動体２の短手方向に沿って屈曲する屈曲振動とともに長手方向に沿って伸縮する縦振動が励振される。このような屈曲振動と縦振動とが合成されて振動体２が励振されることにより、摺動部４は時計回りの楕円軌道を描くように摺動するので、被駆動体５は反時計回りに回転する。
一方、振動体２の電極部３ｃ、３ｂに第２屈曲振動用の駆動信号（ＤｒｖＢ）が供給され、電極部３ｅに縦振動用の駆動信号（Ｄｒｖ）が供給されると、屈曲振動と縦振動とが合成されて振動体２が励振されることにより、摺動部４は反時計回りの楕円軌道を描くように摺動するので、被駆動体５は時計回りに回転する。

【0064】

図８に示すように、第２の実施形態に係る駆動装置１０２の駆動回路３０は、縦振動用の駆動信号（Ｄｒｖ）が出力される点以外は、第１の実施形態と同じ構成を有している。縦振動用の駆動信号（Ｄｒｖ）は、リレー３７、３８の動作に関わらず、インダクターコンデンサー３５から出力される。
このように、第２の実施形態に係る駆動装置１０２は、振動体２の電極が５分割され屈曲振動用の電極部３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄに加えて縦振動用の電極部３ｅを有する圧電モーター６１、６２、６３、６４を備えているが、第１の実施形態と同様に、リレー２１、２２、２３、２４により選択的に駆動回路３０と電気的に接続される。これにより、第２の実施形態に係る駆動装置１０２においても、第１の実施形態に係る駆動装置１００と同様の効果が得られる。

【0065】

（第３の実施形態）
＜電子部品搬送装置及び電子部品検査装置＞
次に、第３の実施形態に係る電子部品搬送装置及び電子部品検査装置を説明する。第３の実施形態に係る電子部品搬送装置及び電子部品検査装置は、第１の実施形態に係る駆動装置の基本構成と同様の構成を有する位置決め機構を備えている。以下、本実施形態について、前述した各実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

【0066】

まず、第３の実施形態に係る電子部品搬送装置及び電子部品検査装置で搬送又は検査する電子部品の一例を説明する。図９は、第３の実施形態に係る電子部品の一例を示す図である。詳しくは、図９（ａ）は電子部品の構造を示す模式側面図であり、図９（ｂ）及び図９（ｃ）は電子部品の構造を示す概略斜視図である。図９（ｂ）は半導体素子が形成された面を示し、図９（ｃ）は電極のみが形成された面を示している。

【0067】

図９（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すように、電子部品７０は四角形の基板７１を備えている。基板７１の一方の面を第１面７０ａとし、他方の面を第２面７０ｂとする。図９（ｂ）に示すように、第１面７０ａには四角形の半導体チップ７２が設置され、その周囲に２列に配列された第１電極７３ａが配置されている。図９（ｃ）に示すように、第２面７０ｂには第２電極７３ｂが格子状に配置されている。基板７１内には配線層と絶縁層とが積層して形成され、半導体チップ７２は配線層の配線を介して第１電極７３ａ及び第２電極７３ｂで構成される電極７３に接続されている。
なお、ここでは、電子部品の一例として基板７１に半導体チップ７２が実装された電子部品７０を説明したが、電子部品はこの構成に限定されるものではない。電子部品としては、例えば、半導体チップ、ＬＣＤ等の表示デバイス、水晶デバイス、各種センサー、インクジェットヘッド等が挙げられる。

【0068】

次に、第３の実施形態に係る電子部品搬送装置及び電子部品検査装置について説明する。
図１０は、第３の実施形態に係る電子部品搬送装置及び電子部品検査装置を示す概略平面図、図１１は、図１０に示す電子部品検査装置が有する検査用個別ソケットの断面図、図１２は、図１０に示す電子部品検査装置が有する供給ロボットのハンドユニットを示す平面図（部分断面図）、図１３は、図１０に示す電子部品検査装置が有する供給ロボットのハンドユニットを示す斜視図、図１４は、図１０に示す電子部品検査装置が有する検査用ロボットのハンドユニットを示す分解斜視図、図１５は、図１０に示す電子部品検査装置が有する検査用ロボットのハンドユニットの移動機構のＸ方向に垂直な平面で取った断面図、図１６は、図１０に示す電子部品検査装置が有する位置決め機構の概略構成を示すブロック図、図１７〜図２５は、図１０に示す電子部品検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。
なお、図１５では、Ｘブロック２２０ｋに圧電モーター３００ｘを取り付けた部分の近傍が拡大して示されている。

【0069】

［電子部品検査装置］
図１０に示す電子部品検査装置１ｋは、電子部品７０の電気的特性を検査するための装置である。
電子部品検査装置１ｋは、供給トレイ２ｋと、回収トレイ３ｋと、第１のシャトル４ｋと、第２のシャトル５ｋと、検査用ソケット（検査部）６と、供給ロボット７ｋと、回収ロボット８ｋと、検査用ロボット９ｋと、各部の制御を行う制御装置１０ｋと、位置決め機構１１０と、第１カメラ６００ｋと、第２カメラ５００ｋとを有している。

【0070】

本実施形態の電子部品検査装置１ｋでは、これら各部のうちの検査用ソケット６ｋを除く構成、すなわち、供給トレイ２ｋと、回収トレイ３ｋと、第１のシャトル４ｋと、第２のシャトル５ｋと、供給ロボット７ｋと、回収ロボット８ｋと、検査用ロボット９ｋと、制御装置１０ｋと、位置決め機構１１０と、第１カメラ６００ｋと、第２カメラ５００ｋとによって、電子部品７０の搬送を実行する電子部品搬送装置が構成されている。

【0071】

また、電子部品検査装置１ｋは、上記各部を搭載する台座１１ｋと、上記各部を収容するように台座１１ｋに被せられた図示しない安全カバーとを有しており、この安全カバーの内側（以下「領域Ｓ」と言う）に、第１のシャトル４ｋ、第２のシャトル５ｋ、検査用ソケット６ｋ、供給ロボット７ｋ、回収ロボット８ｋ、検査用ロボット９ｋ、第１カメラ６００ｋおよび第２カメラ５００ｋが配置されているとともに、領域Ｓの内外に移動可能なように、供給トレイ２ｋおよび回収トレイ３ｋが配置されている。また、領域Ｓ内にて電子部品７０の電気的特性の検査が行われる。

【0072】

（供給トレイ）
供給トレイ２ｋは、検査を行う電子部品７０を領域Ｓ外から領域Ｓ内に搬送するためのトレイである。図１０に示すように、供給トレイ２ｋは、板状をなしており、その上面には、電子部品７０を保持するための複数（多数）のポケット２１ｋが行列状に形成されている。

【0073】

このような供給トレイ２ｋは、領域Ｓの内外を跨るようにＹ方向へ延びるレール２３ｋに支持されており、例えばリニアモーター等の図示しない駆動手段によって、レール２３ｋに沿ってＹ方向に往復移動可能となっている。そのため、領域Ｓ外にて電子部品７０を供給トレイ２ｋに配置した後、供給トレイ２ｋを領域Ｓ内に移動し、供給トレイ２ｋからすべての電子部品７０が取り除かれた後、領域Ｓ内の供給トレイ２ｋを領域Ｓ外へ移動することができる。

【0074】

なお、供給トレイ２ｋは、直接レール２３ｋに支持されていなくてもよく、例えば、載置面を有するステージがレール２３ｋに支持されており、このステージの載置面に供給トレイ２ｋを載置するような構成であってもよい。このような構成によれば、供給トレイ２ｋへの電子部品７０の収容を、電子部品検査装置１ｋとは別の場所にて行うことができ、装置の利便性が向上する。なお、後述する回収トレイ３ｋについても同様の構成とすることができる。

【0075】

（回収トレイ）
回収トレイ３ｋは、検査済みの電子部品７０を収容し、領域Ｓ内から領域Ｓ外に搬送するためのトレイである。図１０に示すように、回収トレイ３ｋは、板状をなしており、その上面には、電子部品７０を保持するための複数のポケット３１ｋが行列状に形成されている。

【0076】

このような回収トレイ３ｋは、領域Ｓの内外を跨るようにＹ方向へ延びるレール３３ｋに支持されており、例えばリニアモーター等の図示しない駆動手段によって、レール３３ｋに沿ってＹ方向に往復移動可能となっている。そのため、領域Ｓ内にて検査済みの電子部品７０を回収トレイ３ｋに配置した後、供給トレイを領域Ｓ内に移動し、供給トレイ２ｋからすべての電子部品７０が取り除かれた後、回収トレイ３ｋを領域Ｓ外へ移動することができる。

【0077】

なお、前述した供給トレイ２ｋと同様に、回収トレイ３ｋは、直接レール３３ｋに支持されていなくてもよく、例えば、載置面を有するステージがレール３３ｋに支持されており、このステージの載置面に回収トレイ３ｋを載置するような構成であってもよい。
このような回収トレイ３ｋは、前述した供給トレイ２ｋに対してＸ方向に離間して設けられており、供給トレイ２ｋと回収トレイ３ｋの間に、第１のシャトル４ｋ、第２のシャトル５ｋおよび検査用ソケット６ｋが配置されている。

【0078】

（第１のシャトル）
第１のシャトル４ｋは、供給トレイ２ｋによって領域Ｓ内に搬送されてきた電子部品７０をさらに検査用ソケット６ｋの近傍まで搬送するため、さらには、検査用ソケット６ｋによって検査された検査済みの電子部品７０を回収トレイ３ｋの近傍まで搬送するためのものである。

【0079】

図１０に示すように、第１のシャトル４ｋは、ベース部材４１ｋと、ベース部材４１ｋに固定された２つのトレイ４２ｋ、４３ｋを有している。これら２つのトレイ４２ｋ、４３ｋは、Ｘ方向に並んで設けられている。また、トレイ４２ｋ、４３ｋの上面には、それぞれ、電子部品７０を保持するための４つのポケット４２１ｋ、４３１ｋが行列状に形成されている。具体的には、トレイ４２ｋ、４３ｋには、Ｘ方向およびＹ方向にそれぞれ２つずつ並ぶように４つのポケット４２１ｋ、４３１ｋが形成されている。

【0080】

トレイ４２ｋ、４３ｋのうち、供給トレイ２ｋ側に位置するトレイ４２ｋは、供給トレイ２ｋに収容された電子部品７０を収容するトレイであり、回収トレイ３ｋ側に位置するトレイ４３ｋは、検査用ソケット６ｋでの電気的特性の検査を終えた電子部品７０を収容するためのトレイである。すなわち、一方のトレイ４２ｋは、未検査の電子部品７０を収容するためのトレイであり、他方のトレイ４３ｋは、検査済みの電子部品７０を収容するためのトレイである。
トレイ４２ｋに収容された電子部品７０は、検査用ロボット９ｋによって検査用ソケット６ｋに搬送され、検査のために検査用ソケット６ｋに配置された電子部品７０は、検査終了後、検査用ロボット９ｋによってトレイ４３ｋに搬送される。

【0081】

このような第１のシャトル４ｋは、Ｘ方向へ延びるレール４４ｋに支持されており、例えばリニアモーター等の図示しない駆動手段によって、レール４４ｋに沿ってＸ方向に往復移動可能となっている。これにより、第１のシャトル４ｋがＸ方向（−）側に移動し、トレイ４２ｋが供給トレイ２ｋに対してＹ方向（＋）側に並ぶとともに、トレイ４３ｋが検査用ソケット６ｋに対してＹ方向（＋）側に並んだ状態と、トレイ４３ｋが回収トレイ３ｋに対してＹ方向（＋）側に並ぶとともに、トレイ４２ｋが検査用ソケット６ｋに対してＹ方向（＋）側に並んだ状態とをとることができる。

【0082】

（第２のシャトル）
第２のシャトル５ｋは、前述した第１のシャトル４ｋと同様の機能および構成を有している。すなわち、第２のシャトル５ｋは、供給トレイ２ｋによって領域Ｓ内に搬送されてきた電子部品７０をさらに検査用ソケット６ｋの近傍まで搬送するため、さらには、検査用ソケット６ｋによって検査された検査済みの電子部品７０を回収トレイ３ｋの近傍まで搬送するためのものである。

【0083】

図１０に示すように、第２のシャトル５ｋは、ベース部材５１ｋと、ベース部材５１ｋに固定された２つのトレイ５２ｋ、５３ｋを有している。これら２つのトレイ５２ｋ、５３ｋは、Ｘ方向に並んで設けられている。また、トレイ５２ｋ、５３の上面には、それぞれ、電子部品７０を保持するための４つのポケット５２１ｋ、５３１ｋが行列状に形成されている。

【0084】

トレイ５２ｋ、５３ｋのうち、供給トレイ２ｋ側に位置するトレイ５２ｋは、供給トレイ２ｋに収容された電子部品７０を収容するトレイであり、回収トレイ３ｋ側に位置するトレイ４３ｋは、検査用ソケット６ｋでの電気的特性の検査を終えた電子部品７０を収容するためのトレイである。
トレイ５２ｋに収容された電子部品７０は、検査用ロボット９ｋによって検査用ソケット６ｋに搬送され、検査のために検査用ソケット６ｋに配置された電子部品７０は、検査終了後、検査用ロボット９ｋによってトレイ５３ｋに搬送される。

【0085】

このような第２のシャトル５ｋは、Ｘ方向へ延びるレール５４ｋに支持されており、例えばリニアモーター等の図示しない駆動手段によって、レール５４ｋに沿ってＸ方向に往復移動可能となっている。これにより、第２のシャトル５ｋがＸ方向（−）側に移動し、トレイ５２ｋが供給トレイ２ｋに対してＹ方向（＋）側に並ぶとともに、トレイ５３ｋが検査用ソケット６ｋに対してＹ方向（−）側に並んだ状態と、第２のシャトル５ｋがＸ方向（＋）側に移動し、トレイ５３ｋが回収トレイ３ｋに対してＹ方向（＋）側に並ぶとともに、トレイ４２ｋが検査用ソケット６ｋに対してＹ方向（−）側に並んだ状態とをとることができる。
なお、第２のシャトル５ｋは、前述した第１のシャトル４ｋに対してＹ方向に離間して設けられており、第１のシャトル４ｋと第２のシャトル５ｋの間に、検査用ソケット６ｋが配置されている。

【0086】

（検査用ソケット）
検査用ソケット（検査部）６は、電子部品７０の電気的特性を検査するためのソケットである。
検査用ソケット６ｋは、電子部品７０を配置するための４つの検査用ソケット６１ｋを有している。また、４つの検査用ソケット６１ｋは、行列状に設けられている。具体的には、４つの検査用ソケット６１ｋは、Ｘ方向およびＹ方向にそれぞれ２つずつ並ぶように設けられている。なお、検査用ソケット６１ｋの数は、４つに限定されず、１〜３つでもよいし、５つ以上であってもよい。また、検査用ソケット６１ｋの配列状態についても特に限定されず、例えば、Ｘ方向またはＹ方向に一列に配置されていてもよい。

【0087】

作業の効率化という観点から見れば、検査用ソケット６１ｋの数は、多いほどよいが、電子部品検査装置１ｋの小型をさらに考慮すると、４〜２０程度であるのが好ましい。これにより、一度の検査によって検査することのできる電子部品７０の数が十分に多くなり、作業の効率化を図ることができる。複数の検査用ソケット６１ｋは、行列状に配列しても一列に配列してもよい。すなわち、２×２、４×４、８×２のように行列状に配置してもよいし、４×１、８×１のように一列に配置してもよい。

【0088】

また、前述したトレイ４２ｋ（トレイ４３ｋ、５２ｋ、５３ｋについても同様）に形成されたポケット４２１ｋの配列は、検査用ソケット６１ｋの配列と同様とし、配設ピッチもほぼ等しくするのが好ましい。これにより、トレイ４２ｋ、５２ｋに収容された電子部品７０を円滑に検査用ソケット６１ｋに移し替えることができる。また、検査用ソケット６１ｋに配置された電子部品７０を円滑にトレイ４３ｋ、５３ｋに移し替えることができる。そのため、作業の効率化を図ることができる。

【0089】

図１１に示すように、各検査用ソケット６１ｋは、ＸＹ平面に垂直な側面６１１ｋを有している。ここで、従来の検査用個別ソケットは、その側面がテーパ状をなしており、これにより、電子部品７０を検査用個別ソケットに配置し易くしていた。このように、側面をテーパ状にしたのは、電子部品７０の検査用個別ソケットに対する位置決めを高精度に行うことができなかったためである。これに対して、本願発明では、電子部品７０の検査用ソケット６１ｋに対する位置決めを従来の装置よりもより高精度に行うことができるため、側面をテーパ状にする必要がない。側面をＸＹ平面に垂直な面で構成することにより、従来のテーパ状のものに対して、検査用ソケット６１ｋにて電子部品７０をより確実に保持することができる。すなわち、検査用ソケット６１ｋ内での電子部品７０の不本意な変位をより確実に防止することができる。

【0090】

また、各検査用ソケット６１ｋには、底部６１３ｋから突出する複数のプローブピン６２ｋが設けられている。これら複数のプローブピン６２ｋは、それぞれ、図示しないスプリング等により、上方に付勢されている。また、プローブピン６２ｋは、検査用ソケット６１ｋに電子部品７０が配置されると、その電子部品７０が有する外部端子と接触する。これにより、プローブピン６２ｋを介して電子部品７０と検査制御部１０１ｋとが電気的に接続された状態、すなわち、電子部品７０の電気的特性の検査を行うことのできる状態となる。

【0091】

なお、検査用ソケット６ｋの近傍には、さらに、図示しないカメラが設けられており、また、検査用ソケット６１ｋの近傍には図示しないソケットマークが設けられている。これにより、前記カメラによって、検査用ソケット６１ｋの位置とソケットマークの相対位置を認識し、さらにソケットマークと後述する第１ハンドユニット９２ｋが有するデバイスマークの相対位置を認識し、デバイスマークと電子部品７０との相対位置を認識し、検査用ソケット６１ｋと電子部品７０との位置を精度良く位置決めすることができる。

【0092】

（第１カメラ）
図１０に示すように、第１カメラ６００ｋは、第１のシャトル４ｋと検査用ソケット６ｋの間であって、検査用ソケット６ｋに対してＹ方向（＋）側に並んで設けられている。このような第１カメラ６００ｋは、トレイ４２ｋに収容されていた電子部品７０を保持した検査用ロボット９ｋの第１ハンドユニット９２ｋが上方を通過する際に、第１ハンドユニット９２ｋに保持された電子部品７０および第１ハンドユニット９２ｋが有するデバイスマークを撮像する。

【0093】

（第２カメラ）
図１０に示すように、第２カメラ５００ｋは、前述した第１カメラ６００ｋと同様の機能を有する。このような第２カメラ５００ｋは、第２のシャトル５ｋと検査用ソケット６ｋの間であって、検査用ソケット６ｋに対してＹ方向（−）側に並んで設けられている。第２カメラ５００ｋは、後述するように、トレイ５２ｋに収容されていた電子部品７０を保持した検査用ロボット９ｋの第２ハンドユニット９３ｋが上方を通過する際に、第２ハンドユニット９３ｋに保持された電子部品７０および第２ハンドユニット９３ｋが有するデバイスマークを撮像する。

【0094】

（供給ロボット）
供給ロボット７ｋは、領域Ｓ内に搬送された供給トレイ２ｋに収容された電子部品７０を、第１のシャトル４ｋのトレイ４２ｋおよび第２のシャトル５ｋのトレイ５２ｋに移し替えるためのロボットである。
図１０および図１２に示すように、このような供給ロボット７ｋは、台座１１ｋに支持された支持フレーム７２ｋと、支持フレーム７２ｋに支持され、支持フレーム７２ｋに対してＹ方向に往復移動可能な移動フレーム（Ｙ方向移動フレーム）７３ｋと、移動フレーム７３ｋに支持され、移動フレーム７３ｋに対してＸ軸方向に往復移動可能なハンドユニット支持部（Ｘ方向移動フレーム）７４ｋと、ハンドユニット支持部７４ｋに支持された４つのハンドユニット７５ｋとを有している。

【0095】

支持フレーム７２ｋには、Ｙ方向に延在するレール７２１ｋが形成されており、このレール７２１ｋに沿って移動フレーム７３ｋがＹ方向に往復移動する。また、移動フレーム７３ｋには、Ｘ方向に延在する図示しないレールが形成されており、このレールに沿ってハンドユニット支持部７４ｋがＸ方向に往復移動する。
なお、支持フレーム７２ｋに対する移動フレーム７３ｋの移動、移動フレーム７３ｋに対するハンドユニット支持部７４ｋの移動は、それぞれ、例えばリニアモーター等の駆動手段によって行うことができる。

【0096】

４つのハンドユニット７５ｋは、Ｘ方向およびＹ方向にそれぞれ２つずつ並ぶように行列状に配置されている。このように、トレイ４２ｋ、５２ｋに形成された４つのポケット４２１ｋ、５２１ｋの配列に対応するようにハンドユニット７５ｋを設けることにより、供給トレイ２ｋからトレイ４２ｋ、５２ｋへの電子部品７０の移し替えを円滑に行うことができる。なお、ハンドユニット７５ｋの数は、４つに限定されず、例えば１〜３つでもよいし、５つ以上であってもよい。また、ハンドユニット７５ｋは、ポケット２１ｋの配列と、ポケット４２１ｋ、５２１ｋの配列に応じて配列を可変できる構造としてもよい。

【0097】

図１２に示すように、各ハンドユニット７５ｋは、先端側に位置し、電子部品７０を保持する保持部７５１ｋと、保持部７５１ｋをハンドユニット支持部７４ｋに対してＺ方向に往復移動（昇降）させる昇降装置７５２ｋとを有している。昇降装置７５２ｋは、例えば、リニアモーター等の駆動手段を利用した装置とすることができる。
保持部７５１ｋは、電子部品７０と対向する吸着面７５１ａと、吸着面７５１ａに開放する吸着孔７５１ｂと、吸着孔７５１ｂ内を減圧する減圧ポンプ７５１ｃとを有している。吸着孔７５１ｂを塞ぐように吸着面７５１ａを電子部品７０に接触させた状態にて、減圧ポンプ７５１ｃによって吸着孔７５１ｂ内を減圧すると、吸着面７５１ａに電子部品７０を吸着・保持することができる。反対に、減圧ポンプ７５１ｃを停止し吸着孔７５１ｂ内を解放すれば、保持した電子部品７０を放すことができる。

【0098】

このような供給ロボット７ｋは、次のようにして、供給トレイ２ｋからトレイ４２ｋ、５２ｋへの電子部品７０の搬送を行う。なお、供給トレイ２ｋからトレイ４２ｋ、５２ｋへの電子部品７０の搬送は、互いに同様の方法で行われるため、以下では、トレイ４２ｋへの電子部品７０の搬送について代表して説明する。
まず、第１のシャトル４ｋをＸ方向（−）側へ移動させ、トレイ４２ｋが供給トレイ２ｋに対してＹ方向に並んだ状態とする。次に、ハンドユニット７５ｋが供給トレイ２ｋ上に位置するように、移動フレーム７３ｋをＹ方向に移動させるとともに、ハンドユニット支持部７４ｋをＸ方向に移動させる。次に、昇降装置７５２ｋによって保持部７５１ｋを降下させ、保持部７５１ｋを供給トレイ２ｋ上の電子部品７０に接触させて、上述した方法により保持部７５１ｋに電子部品７０を保持させる。

【0099】

次に、昇降装置７５２ｋによって保持部７５１ｋを上昇させ、保持した電子部品７０を供給トレイ２ｋから取り除く。次に、ハンドユニット７５ｋが第１のシャトル４ｋのトレイ４２ｋ上に位置するように、移動フレーム７３ｋをＹ方向に移動させるとともに、ハンドユニット支持部７４ｋをＸ方向に移動させる。次に、昇降装置７５２ｋによって、保持部７５１ｋを降下させ、保持部７５１ｋに保持された電子部品７０をトレイ４２ｋのポケット４２１ｋ内に配置する。次に、電子部品７０の吸着状態を解除し、保持部７５１ｋから電子部品７０を放す。必要に応じて、このような作業を繰り返してもよい。
これにより、供給トレイ２ｋからトレイ４２ｋへの電子部品７０の搬送（移し替え）が完了する。

【0100】

（検査用ロボット）
検査用ロボット９ｋは、供給ロボット７ｋによって、トレイ４２ｋ、５２ｋへ搬送された電子部品７０をさらに検査用ソケット６ｋへ搬送するとともに、検査用ソケット６ｋに配置され、電気的特性の検査を終えた電子部品７０をトレイ４３ｋ、５３ｋへ搬送する装置である。

【0101】

また、検査用ロボット９ｋは、トレイ４２ｋ、５２ｋから検査用ソケット６ｋへ電子部品７０を搬送する際に、検査用ソケット６ｋ（検査用ソケット６１ｋ）に対する電子部品７０の位置決めを高精度に行うことができる。
また、検査用ロボット９ｋは、電子部品７０を検査用ソケット６ｋに配置し、電気的特性の検査を行う際、電子部品７０をプローブピン６２ｋに押し付け、電子部品７０に所定の検査圧を印加する機能も有している。

【0102】

図１０に示すように、検査用ロボット９ｋは、台座１１ｋに対して固定的に設けられた第１フレーム９１１ｋと、第１フレーム９１１ｋに支持され、第１フレーム９１１ｋに対してＹ方向へ往復移動可能な第２フレーム９１２ｋと、第２フレーム９１２ｋに支持された第１ハンドユニット支持部９１３ｋおよび第２ハンドユニット支持部９１４ｋと、第１ハンドユニット支持部９１３ｋに支持された４つの第１ハンドユニット９２ｋと、第２ハンドユニット支持部９１４ｋに支持された４つの第２ハンドユニット９３ｋとを有している。

【0103】

第１フレーム９１１ｋには、Ｙ方向に延在するレール９１１ａｋが形成されており、このレール９１１ａｋに沿って第２フレーム９１２ｋがＹ方向に往復移動する。また、第２フレーム９１２ｋには、Ｚ方向に延在する貫通孔９１２ａｋ、９１２ｂｋが形成されている。
第１フレーム９１１ｋに対する第２フレーム９１２ｋの移動は、例えばリニアモーター等の図示しない駆動手段によって行うことができる。

【0104】

第１ハンドユニット支持部９１３ｋに支持された４つの第１ハンドユニット９２ｋは、第１のシャトル４ｋの各トレイ４２ｋ、４３ｋと検査用ソケット６ｋとの間で電子部品７０を搬送する装置である。また、未検査の電子部品７０をトレイ４２ｋから検査用ソケット６ｋに搬送する際に、検査用ソケット６ｋ（検査用ソケット６１ｋ）に対する当該電子部品７０の位置決めを行う装置でもある。

【0105】

同様に、第２ハンドユニット支持部９１４ｋに支持された４つの第２ハンドユニット９３ｋは、第２のシャトル５ｋの各トレイ５２ｋ、５３ｋと検査用ソケット６ｋとの間で電子部品７０を搬送する装置である。また、未検査の電子部品７０をトレイ５２ｋから検査用ソケット６ｋに搬送する際に、検査用ソケット６ｋ（検査用ソケット６１ｋ）に対する当該電子部品７０の位置決めを行う装置でもある。

【0106】

４つの第１ハンドユニット９２ｋは、第１ハンドユニット支持部９１３ｋの下側に、Ｘ方向およびＹ方向にそれぞれ２つずつ並ぶように行列状に配置されている。また、４つの第１ハンドユニット９２ｋの配設ピッチは、トレイ４２ｋ（トレイ４３ｋ、５２ｋ、５３ｋについても同様）に形成された４つのポケット４２１ｋおよび検査用ソケット６ｋに設けられた４つの検査用ソケット６１ｋの配設ピッチとほぼ等しい。

【0107】

このように、第１ハンドユニット９２ｋをポケット４２１ｋおよび検査用ソケット６１ｋの配列に対応するように配置することにより、トレイ４２ｋ、４３ｋと検査用ソケット６ｋとの間での電子部品７０の搬送を円滑に行うことができる。
なお、第１ハンドユニット９２ｋの数は、４つに限定されず、例えば、１〜３つでもよいし、５つ以上であってもよい。
同様に、４つの第２ハンドユニット９３ｋは、第２ハンドユニット支持部９１４ｋの下側に、Ｘ方向およびＹ方向にそれぞれ２つずつ並ぶように行列状に配置されている。これら４つの第２ハンドユニット９３ｋの配置や配設ピッチは、前述した４つの第１ハンドユニット９２ｋと同様である。

【0108】

以下、図１３〜図１５に基づいて第１ハンドユニット９２ｋおよび第２ハンドユニット９３ｋの構成について詳細に説明するが、各ハンドユニット９２ｋ、９３ｋは、互いに同様の構成であるため、以下では、１つの第１ハンドユニット９２ｋについて代表して説明し、その他の第１ハンドユニット９２ｋおよび各第２ハンドユニット９３ｋについては、その説明を省略する。

【0109】

図１３および図１４に示すように、第１ハンドユニット９２ｋは、Ｘ方向およびＹ方向の座標と、Ｚ方向を回転軸（回動軸）として回転（回動）する方向であるθ方向の回転角度とをそれぞれ微調整するための移動機構１５０ｋや、Ｚ方向に移動可能なＺステージなどを有している。また、第１ハンドユニット９２ｋの先端部には、電子部品７０を把持する把持部１４２ｋが設けられている。なお、把持部１４２ｋの構成は、前述したハンドユニット７５ｋの保持部７５１ｋと同様であり、図１３では、減圧ポンプ等の図示は、省略されている。

【0110】

移動機構１５０ｋは、最上段に全体を支えるユニットベース（基部）２００ｋが配置されており、このユニットベース２００ｋは第１ハンドユニット支持部９１３ｋに取り付けられている。ユニットベース２００ｋの下方には、ユニットベース２００ｋに対してＸ方向に移動可能にＸブロック２２０ｋが設けられている。また、Ｘブロック２２０ｋの下方には、Ｘブロック２２０ｋの動きに随伴すると共に、θ方向に回動可能にθブロック２４０ｋが設けられている。さらに、θブロック２４０ｋの下方には、θブロック２４０ｋの動きに随伴すると共に、θブロック２４０ｋに対してＹ方向に移動可能にＹブロック２６０ｋが設けられている。θブロック２４０ｋは、Ｘブロック２２０ｋとＹブロック２６０ｋとの間に配置されている。なお、図中の破線矢印は、各ブロック（２２０ｋ、２４０ｋ、２６０ｋ）の移動方向を表している。また、本実施形態のＸブロック２２０ｋ、Ｙブロック２６０ｋ、θブロック２４０ｋは、それぞれ、本発明の「移動部」に相当している。すなわち、Ｘブロック２２０ｋは、本発明の「第１移動部」に相当し、Ｙブロック２６０ｋは、本発明の「第２移動部」に相当し、θブロック２４０ｋは、本発明の「第３移動部」に相当している。

【0111】

また、移動機構１５０ｋには、Ｘブロック２２０ｋを駆動するＸ方向用の圧電モーター３００ｘと、θブロック２４０ｋを駆動するθ方向用の圧電モーター３００θと、Ｙブロック２６０ｋを駆動するＹ方向用の圧電モーター３００ｙの３つの圧電モーターが設けられている。なお、３つの圧電モーター（３００ｘ、３００θ、３００ｙ）を特に区別する必要がない場合には、これらを単に圧電モーター３００ｋと称することがある。また、圧電モーター３００ｋは、前述した各実施形態と同様のものを用いる。

【0112】

さらに、移動機構１５０ｋには、ユニットベース２００ｋ、Ｘブロック２２０ｋ、θブロック２４０ｋ、およびＹブロック２６０ｋを上下方向（Ｚ方向）に貫通するシャフト２８０ｋが設けられている。シャフト２８０ｋは、Ｙブロック２６０ｋに対してＺ方向に移動可能に取り付けられており、Ｙブロック２６０ｋの動きに随伴すると共に、図示しないＺステージの動作によってＺ方向に移動する。なお、Ｚステージの移動は、例えばリニアモーター等によって行うことができる。また、シャフト２８０ｋの下端には把持部１４２ｋが取り付けられている。

【0113】

ユニットベース２００ｋは略矩形の平板形状であり、シャフト２８０ｋをＺ方向に通す円形断面の貫通孔２０８ｋが設けられている。貫通孔２０８ｋの大きさは、シャフト２８０ｋがＹブロック２６０ｋの動きに随伴してＸ方向およびＹ方向に移動しても内周面に当たることのない大きさに形成されている。また、ユニットベース２００ｋの下面（Ｘブロック２２０ｋと向き合う面）には、下向きの凹形断面に形成された２つのＸレール受け２０２ｋがＸ方向と平行に延設されており、これら２つのＸレール受け２０２ｋはＹ方向に離間して配置されている。Ｘレール受け２０２ｋの内壁側面には、断面形状が半円形の外溝２０４ｋが形成されており、外溝２０４ｋに沿って複数のボール２０６ｋが配置されている。

【0114】

Ｘブロック２２０ｋの上面（ユニットベース２００ｋと向き合う面）には、ユニットベース２００ｋ側の２つのＸレール受け２０２ｋに対応して２つのＸレール２２２ｋがＸ方向と平行に延設されている。Ｘレール２２２ｋの両側面には、Ｘレール受け２０２ｋの外溝２０４ｋと向き合う半円形断面の内溝２２４ｋが形成されている。Ｘレール２２２ｋを対応するＸレール受け２０２ｋと嵌め合せた状態では、内溝２２４ｋと外溝２０４ｋとの間に複数のボール２０６ｋが挿入されて、各Ｘレール２２２ｋの両側にボールガイドを形成する。そして、ボール２０６ｋが内溝２２４ｋおよび外溝２０４ｋに沿って転動することにより、Ｘブロック２２０ｋはユニットベース２００ｋに対して円滑に移動する。

【0115】

また、Ｘブロック２２０ｋのＹ方向を向いた側面の一方（図面手前側）には圧電モーター３００ｘが取り付けられており、他方（図中奥側）には圧電モーター３００θが取り付けられている。Ｘブロック２２０ｋを駆動する圧電モーター３００ｘは、振動体１の短手方向をＸ方向に合わせて、振動体１の摺動部４がユニットベース２００ｋに付勢された状態で取り付けられている。ユニットベース２００ｋ側の摺動部４が付勢される部分には、略長方体形状に形成されたセラミックス製の受圧体２１０ｋが埋め込まれている。また、θブロック２４０ｋを駆動する圧電モーター３００θは、振動体１の短手方向をＸ方向に合わせて、振動体１の摺動部４をθブロック２４０ｋに向けて取り付けられている。
さらに、Ｘブロック２２０ｋには、シャフト２８０ｋを通す円形断面の貫通孔２２６ｋがＺ方向に貫通して設けられている。Ｘブロック２２０ｋの貫通孔２２６ｋは、ユニットベース２００ｋの貫通孔２０８ｋよりも内径が大きく形成されている。

【0116】

θブロック２４０ｋの上面（Ｘブロック２２０ｋに向き合う面）からは、シャフト２８０ｋを通す貫通孔２４４ｋが設けられた円筒形状の案内軸２４２ｋが立設されている。案内軸２４２ｋの外周面には、断面形状が半円形に形成された２つの内溝２４６ｋが上下方向（Ｚ方向）に離間して設けられており、内溝２４６ｋに沿って複数のボール２４８ｋが配置されている。案内軸２４２ｋの外径は、Ｘブロック２２０ｋの貫通孔２２６ｋの内径よりも小さく形成されており、貫通孔２２６ｋの内周面には、案内軸２４２ｋの内溝２４６ｋと向き合う２つの外溝（図示せず）が設けられている。案内軸２４２ｋをＸブロック２２０ｋの貫通孔２２６ｋに挿通した状態では、案内軸２４２ｋの内溝２４６ｋと対応する貫通孔２２６ｋの外溝との間に複数のボール２４８ｋが挿入されて、リング状のボールガイドを形成する。そして、ボール２４８ｋが内溝２４６ｋおよび外溝に沿って転動することにより、θブロック２４０ｋはＸブロック２２０ｋに対して円滑に回動する。

【0117】

また、θブロック２４０ｋの上面には、圧電モーター３００θと向き合う位置に受圧台２５０ｋが立設されている。この受圧台２５０ｋの上面には、セラミックス製の受圧体２５２ｋが取り付けられており、圧電モーター３００θに内蔵された振動体１の摺動部４が付勢される。
また、θブロック２４０ｋには、Ｙブロック２６０ｋを駆動する圧電モーター３００ｙが、振動体１の短手方向をＹ方向に合わせると共に、振動体１の摺動部４をＹブロック２６０ｋに向けて取り付けられている。
さらに、θブロック２４０ｋの下面（Ｙブロック２６０ｋと向き合う面）には、２つのＹレール２５４ｋがＹ方向と平行に延設されており、２つのＹレール２５４ｋはＸ方向およびＹ方向に離間して配置されている。Ｙレール２５４ｋの両側面には、断面形状が半円形の内溝２５６ｋが形成されている。

【0118】

Ｙブロック２６０ｋの上面（θブロック２４０ｋと向き合う面）には、θブロック２４０ｋ側の２つのＹレール２５４ｋに対応して２つのＹレール受け２６２ｋがＹ方向と平行に延設されている。Ｙレール受け２６２ｋは、断面形状が上向きの凹形に形成されており、内壁側面には、Ｙレール２５４ｋの内溝２５６ｋと向き合う半円形断面の外溝２６４ｋが形成され、外溝２６４ｋに沿って複数のボール２６６ｋが配置されている。Ｙレール受け２６２ｋを対応するＹレール２５４ｋと嵌め合せた状態では、内溝２５６ｋと外溝２６４ｋとの間に複数のボール２６６ｋが挿入されて、各Ｙレール２５４ｋの両側にボールガイドを形成する。そして、ボール２６６ｋが内溝２５６ｋおよび外溝２６４ｋに沿って転動することにより、Ｙブロック２６０ｋはθブロック２４０ｋに対して円滑に移動する。
また、Ｙブロック２６０ｋの上面には、圧電モーター３００ｙと向き合う位置にセラミックス製の受圧体２６８ｋが取り付けられており、圧電モーター３００ｙに内蔵された振動体１の摺動部４が付勢される。さらに、Ｙブロック２６０ｋには、シャフト２８０ｋをＺ方向に移動可能に支持する円筒形状のシャフト支持部２７０ｋが設けられている。

【0119】

以上のような構成を有する移動機構１５０ｋでは、３つの圧電モーター３００ｋのうち、圧電モーター３００ｘの振動体１に電圧を印加することによって、Ｘブロック２２０ｋをユニットベース２００ｋに対してＸ方向に移動させることができる。また、圧電モーター３００θの振動体１に電圧を印加することによって、θブロック２４０ｋをＸブロック２２０ｋに対してθ方向に回動させることができる。さらに、圧電モーター３００ｙの振動体１に電圧を印加することによって、Ｙブロック２６０ｋをθブロック２４０ｋに対してＹ方向に移動させることができる。

【0120】

第１実施形態で説明したように、圧電モーター３００ｘは、楕円運動を利用してＸブロック２２０ｋを駆動する。すなわち、図１４に示すように圧電モーター３００ｘは、振動体１の短手方向（屈曲方向）をＸ方向に合わせてＸブロック２２０ｋ側に固定されており、振動体１の摺動部４がユニットベース２００ｋの受圧体２１０ｋに付勢された状態で楕円運動を発生させる。すると、摺動部４は、振動体１が伸長する際には受圧体２１０ｋに付勢された状態で屈曲方向の何れか一方に向かって移動し、振動体１が収縮する際には受圧体２１０ｋから離れた状態で元の位置まで復帰する動作を繰り返す。この結果、受圧体２１０ｋと摺動部４との間に働く摩擦力によって、Ｘブロック２２０ｋは、ユニットベース２００ｋに対して屈曲方向（Ｘ方向）の何れか他方に向かって移動する。

【0121】

また、圧電モーター３００θは、Ｘブロック２２０ｋ側に固定されており、θブロック２４０ｋ側に設けられた受圧台２５０ｋの受圧体２５２ｋに振動体１の摺動部４が付勢された状態となっている。このため、圧電モーター３００θを動作させると、摺動部４と受圧体２５２ｋとの間に働く摩擦力によって、θブロック２４０ｋはＸブロック２２０ｋに対してθ方向に回動する。

【0122】

また、圧電モーター３００ｙは、振動体１の短手方向（屈曲方向）をＹ方向に合わせてθブロック２４０ｋ側に固定されており、Ｙブロック２６０ｋ側に設けられた受圧体２６８ｋに振動体１の摺動部４が付勢された状態となっている。このため、圧電モーター３００ｙを動作させると、摺動部４と受圧体２６８ｋとの間に働く摩擦力によって、Ｙブロック２６０ｋはθブロック２４０ｋに対してＹ方向に移動する。従って、電子部品検査装置１ｋは、移動機構１５０ｋの圧電モーター３００ｘ、圧電モーター３００θ、圧電モーター３００ｙを動作させることにより、把持部１４２ｋで把持した電子部品７０の位置および姿勢を微調整することが可能である。加えて、こうした圧電モーター３００ｋは、電磁力を利用してローターを回転させる電磁モーターに比べて小型化が容易であると共に、ギアなどを介すことなく直接的に駆動力を伝えることができるので、移動機構１５０ｋのアクチュエーターに圧電モーター３００ｋを用いることによって、移動機構１５０ｋの小型化を図ることができる。

【0123】

ここで、移動機構１５０ｋでは、Ｘブロック２２０ｋ、θブロック２４０ｋ、およびＹブロック２６０ｋがそれぞれ異なる方向（Ｘ方向、θ方向、およびＹ方向）に移動可能に設けられており、各ブロック（２２０、２４０、２６０）には、荷重などが加わることによってガタつきが発生することがある。特に、移動機構１５０ｋの全体を支持するユニットベース２００ｋに近い側のＸブロック２２０ｋには、θブロック２４０ｋやＹブロック２６０ｋの重量がかかるのでガタつきが生じ易く、Ｘブロック２２０ｋの動きに随伴するθブロック２４０ｋやＹブロック２６０ｋにＸブロック２２０ｋのガタつきが伝わることにより、移動機構１５０ｋ全体として大きなガタつきが生じてしまう。そこで、移動機構１５０ｋでは以下のようにしてガタつきを抑制している。

【0124】

前述したように、ユニットベース２００ｋ側のＸレール受け２０２ｋに形成された外溝２０４ｋと、Ｘブロック２２０ｋ側のＸレール２２２ｋに形成された内溝２２４ｋとの間には複数のボール２０６ｋが挿入されており、これら複数のボール２０６ｋによって、Ｘ方向に平行なボールガイドがＸレール２２２ｋの両側に形成されている（図１５参照）。これら２列のボールガイドに沿って複数のボール２０６ｋが転動することでＸブロック２２０ｋはユニットベース２００ｋに対して円滑に移動する。以下では、２列のボールガイドを含む平面を「移動面」と呼ぶ。なお、ボール２０６ｋの円滑な転動のために、ボール２０６ｋと内溝２２４ｋや外溝２０４ｋとの間には若干の隙間（遊び）が設けられている。

【0125】

また、Ｘブロック２２０ｋの側面に取り付けられた圧電モーター３００ｘは、内蔵する振動体１の短手方向（屈曲方向）をＸ方向に合わせると共に、上端側（摺動部４が設けられた側）をＸブロック２２０ｋとは反対側に傾けて固定されている。そして、振動体１は、付勢バネ６によって長手方向（伸縮方向）に付勢され、ユニットベース２００ｋの受圧体２１０ｋに摺動部４が付勢された状態となっている。このため、振動体１の摺動部４が受圧体２１０ｋに付勢される方向（付勢方向）は、移動面に対して所定の角度（図示した例では７５度）で傾斜している。

【0126】

なお、受圧体２１０ｋは、略直方体形状に形成されており、下面（振動体１の摺動部４が当接する面）が振動体１の付勢方向と直交する状態でユニットベース２００ｋに埋め込まれている。これにより、ユニットベース２００ｋの下面に対して振動体１の摺動部４が斜めに付勢されても、付勢力で受圧体２１０ｋの位置が横方向（Ｙ方向）にずれてしまうことはなく、摺動部４と受圧体２１０ｋとの間に働く摩擦力によってＸブロック２２０ｋをユニットベース２００ｋに対して精度良く移動させることができる。また、移動機構１５０ｋでは、ユニットベース２００ｋが樹脂材料で形成されているのに対して、受圧体２１０ｋがセラミックスや金属材料などの樹脂材料よりも硬度の高い材料で形成されている。このため、摺動部４と受圧体２１０ｋとの間に働く摩擦力で受圧体２１０ｋが摩耗することを抑制できる。

【0127】

ここで、Ｘブロック２２０ｋは、圧電モーター３００ｘに内蔵された振動体１の摺動部４がユニットベース２００ｋの受圧体２１０ｋに付勢されることによって、付勢方向とは反対方向の反力を受ける。この反力には、移動面に平行な図中右方向の成分と、移動面に垂直な図中下方向の成分とが含まれる。そして、Ｘブロック２２０ｋが移動面に平行な反力を受けることによって、Ｘレール２２２ｋの両側のボールガイドのうち、圧電モーター３００ｘから遠い側（図中右側）のボールガイドでは、ボール２０６ｋと内溝２２４ｋおよび外溝２０４ｋとの隙間が詰まり、内溝２２４ｋおよび外溝２０４ｋでボール２０６ｋを挟持した状態となる。

【0128】

また、圧電モーター３００ｘに近い側（図中左側）のボールガイドでは、内溝２２４ｋと外溝２０４ｋとの間隔が広がるものの、Ｘブロック２２０ｋが移動面に垂直な反力を受けることによって、図中右側の隙間が詰まったボールガイドを軸にＸブロック２２０ｋを下方に向かって回転させるモーメントが発生し、内溝２２４ｋの上端側と外溝２０４ｋの下端側とでボール２０６ｋを挟持した状態となる。

【0129】

以上のように、この移動機構１５０ｋでは、振動体１の付勢方向を移動面に対して傾斜させることにより、Ｘレール２２２ｋの両側のボールガイドの何れにおいても内溝２２４ｋと外溝２０４ｋとでボール２０６ｋを挟持しておくことができる。しかも一方のボールガイドでは移動面と平行な方向にボール２０６ｋを挟持し、他方のボールガイドでは移動面に垂直な方向にボール２０６ｋを挟持して互いに挟持方向が異なるので、Ｘブロック２２０ｋに任意の方向から荷重が加わっても、Ｘブロック２２０ｋのガタつきを抑制することができる。そして、このようにユニットベース２００ｋに近い側に配置されてθブロック２４０ｋおよびＹブロック２６０ｋの重量がかかるＸブロック２２０ｋのガタつきを抑制することにより、移動機構１５０ｋ全体としての剛性を高めることができる。

【0130】

また、移動機構１５０ｋでは、Ｘ方向に移動するＸブロック２２０ｋをユニットベース２００ｋに近い上段の位置に配置し、Ｙ方向に移動するＹブロック２６０ｋをユニットベース２００ｋから遠い下段の位置に配置している。これは次のような理由による。先ず、前述したように電子部品検査装置１ｋでは、移動機構１５０ｋを内蔵した第１ハンドユニット９２ｋが第１ハンドユニット支持部９１３ｋに取り付けられており、が第１ハンドユニット支持部９１３ｋを支持する第２フレーム９１２ｋを移動させることによって第１ハンドユニット９２ｋをＹ方向に移動させることができる。そして、電子部品７０を検査位置まで移動させる際には、第２フレーム９１２ｋをＹ方向に移動させることから、移動機構１５０ｋにはＹ方向の慣性力が働く。Ｙ方向と直交するＸ方向に移動可能なＸブロック２２０ｋは、移動方向に慣性力がかからないため、ユニットベース２００ｋに近い上段の位置に配置することによってＸブロック２２０ｋにθブロック２４０ｋおよびＹブロック２６０ｋの重量がかかっても、慣性力によるＸブロック２２０ｋの位置ずれ（移動方向への滑り）の発生を防止することができる。

【0131】

一方、Ｙ方向に移動可能なＹブロック２６０ｋは、移動方向に慣性力がかかるものの、他のブロック（２２０ｋ、２４０ｋ）の重量がかかることのない下段の位置に配置しておけば、Ｙブロック２６０ｋに大きな慣性力が働くことはなく、Ｙブロック２６０ｋの位置ずれ（移動方向への滑り）を抑制することができる。結果として、慣性力によるＹブロック２６０ｋの位置ずれを防止するブレーキ機構などを追加する必要がなく、移動機構１５０ｋの小型化を図ることができる。

【0132】

さらに、移動機構１５０ｋでは、Ｘブロック２２０ｋとＹブロック２６０ｋとの間にθブロック２４０ｋが設けられており、θブロック２４０ｋを駆動する圧電モーター３００θは、内蔵する振動体１の短手方向（屈曲方向）をＸ方向に合わせて配置されている。このように圧電モーター３００θを配置しておけば、第２フレーム９１２ｋの移動に伴って移動機構１５０ｋにＹ方向の慣性力がかかっても、振動体１の摺動部４と受圧体２５２ｋとの間に摩擦力が働く方向（振動体１の屈曲方向）と慣性方向とが重ならないので、慣性力によるθブロック２４０ｋの位置ずれ（θ方向への滑り）を抑制することができる。

【0133】

なお、制御装置１０ｋは、位置決め機構１１０を介して、４つの第１ハンドユニット９２ｋの駆動をそれぞれ独立して制御できるように構成されており、これにより、各第１ハンドユニット９２ｋに保持された４つの電子部品７０の位置決め（位置補正）をそれぞれ独立して行うことができる。同様に、制御装置１０ｋは、位置決め機構１１０を介して、４つの第２ハンドユニット９３ｋの駆動をそれぞれ独立して制御できるように構成されており、これにより、各第２ハンドユニット９３ｋに保持された４つの電子部品７０の位置決め（位置補正）をそれぞれ独立して行うことができる。

【0134】

（回収ロボット）
回収ロボット８ｋは、第１のシャトル４ｋが有するトレイ４３ｋおよび第２のシャトル５ｋが有するトレイ５３ｋに収容された検査済みの電子部品７０を、回収トレイ３ｋに移し替えるためのロボットである。
回収ロボット８ｋは、供給ロボット７ｋと同様の構成をなしている。すなわち、回収ロボット８ｋは、台座１１ｋに支持され、Ｙ方向に延在するレール８２１ｋを有する支持フレーム８２ｋと、支持フレーム８２ｋに支持され、支持フレーム８２ｋに対してＹ方向に往復移動可能な移動フレーム（Ｙ方向移動フレーム）８３ｋと、移動フレーム８３ｋに支持され、移動フレーム８３ｋに対してＸ方向に往復移動可能なハンドユニット支持部（Ｘ方向移動フレーム）８４ｋと、ハンドユニット支持部８４ｋに支持された複数のハンドユニット８５ｋとを有している。これら各部の構成は、供給ロボット７ｋの対応する各部の構成と同様であるため、その説明を省略する。

【0135】

このような回収ロボット８ｋは、次のようにして、トレイ４３ｋ、５３から回収トレイ３ｋへの電子部品７０の搬送を行う。なお、トレイ４３ｋ、５３からの回収トレイ３ｋへの電子部品７０の搬送は、互いに同様の方法で行われるため、以下では、トレイ４３ｋからの電子部品７０の搬送について代表して説明する。
まず、第１のシャトル４ｋをＸ方向（＋）側へ移動させ、トレイ４３ｋが回収トレイ３ｋに対してＹ方向に並んだ状態とする。次に、ハンドユニット８５ｋがトレイ４３ｋ上に位置するように、移動フレーム８３ｋをＹ方向に移動させるとともに、ハンドユニット支持部８４ｋをＸ方向に移動させる。次に、ハンドユニット８５ｋの保持部を降下させて、保持部を供給トレイ２ｋ上の電子部品７０に接触させ、保持部に電子部品７０を保持させる。

【0136】

次に、ハンドユニット支持部８４ｋの保持部を上昇させ、保持した電子部品７０をトレイ４３ｋから取り除く。次に、ハンドユニット８５ｋが回収トレイ３ｋ上に位置するように、移動フレーム８３ｋをＹ方向に移動させるとともに、ハンドユニット支持部８４ｋをＸ方向に移動させる。次に、ハンドユニット支持部８４ｋの保持部を降下させ、保持部に保持された電子部品７０を回収トレイ３ｋのポケット３１ｋ内に配置する。次に、電子部品７０の吸着状態を解除し、保持部から電子部品７０を放す。
これにより、トレイ４３ｋから回収トレイ３ｋへの電子部品７０の搬送（移し替え）が完了する。

【0137】

ここで、トレイ４３ｋに収容された検査済みの電子部品７０の中には、所定の電気的特性を発揮することのできなかった不良品が存在する場合がある。そのため、例えば、回収トレイ３ｋを２つ用意し、一方を、所定の電気的特性を満たした良品を収容するためのトレイとして用い、他方を、前記不良品を回収するためのトレイとして用いてもよい。また、１つの回収トレイ３ｋを用いる場合には、所定のポケット３１ｋを前記不良品を収容するためのポケットとして利用してもよい。これにより、良品と不良品を明確に分別することができる。

【0138】

このような場合、例えば、４つのハンドユニット８５ｋに保持された４つの電子部品７０のうちの３つが良品であり、残りの１つが不良品である場合、回収ロボット８ｋは、３つの良品を良品用の回収トレイに搬送するとともに、１つの不良品を不良品用の回収トレイに搬送する。各ハンドユニット８５ｋの駆動（電子部品７０の吸着）が独立しているため、このような作動を簡単に行うことができる。

【0139】

（制御装置）
制御装置１０ｋは、駆動制御部１０２ｋと、検査制御部１０１ｋとを有している。駆動制御部１０２ｋは、例えば、供給トレイ２ｋ、回収トレイ３ｋ、第１のシャトル４ｋおよび第２のシャトル５ｋの移動や、供給ロボット７ｋ、回収ロボット８ｋ、検査用ロボット９ｋ、第１カメラ６００ｋおよび第２カメラ５００ｋ等の機械的な駆動を制御する。また、検査制御部１０１ｋは、図示しないメモリー内に記憶されたプログラムに基づいて、検査用ソケット６ｋに配置された電子部品７０の電気的特性の検査を行う。

【0140】

（位置決め機構）
図１６に示すように、位置決め機構１１０は、第１の実施形態に係る駆動装置１００の基本構成を適用した位置決め機構であり、２つの駆動ユニット１１１ａ、１１１ｂで構成されている。
駆動ユニット１１１ａは、４つの第１ハンドユニット９２ｋのそれぞれを駆動するものであり、駆動ユニット１１１ｂは、４つの第２ハンドユニット９３ｋのそれぞれを駆動するものであり、それぞれ、電子部品７０を所定の位置に移動配置することができる。

【0141】

駆動ユニット１１１ａは、駆動回路９０ａと、１２個のリレー、すなわち、４つのリレー２１ｘ、４つのリレー２１ｙ、４つのリレー２１θと、１２個の圧電モーター、すなわち、４つの圧電モーター３００ｘ、４つの圧電モーター３００ｙ、４つの圧電モーター３００θとを有している。各リレー２１ｘには、それぞれ、対応する圧電モーター３００ｘが接続され、各リレー２１ｙには、それぞれ、対応する圧電モーター３００ｙが接続され、各リレー２１θには、それぞれ、対応する圧電モーター３００θが接続される。そして、各リレー２１ｘ、２１ｙ、２１θの切り替えにより、それぞれ、圧電モーター３００ｘ、３００ｙ、３００θが駆動回路９０ａと電気的に接続した状態、又は遮断した状態となる。

【0142】

同様に、駆動ユニット１１１ｂは、駆動回路９０ｂと、１２個のリレー、すなわち、４つのリレー２１ｘ、４つのリレー２１ｙ、４つのリレー２１θと、１２個の圧電モーター、すなわち、４つの圧電モーター３００ｘ、４つの圧電モーター３００ｙ、４つの圧電モーター３００θとを有している。各リレー２１ｘには、それぞれ、対応する圧電モーター３００ｘが接続され、各リレー２１ｙには、それぞれ、対応する圧電モーター３００ｙが接続され、各リレー２１θには、それぞれ、対応する圧電モーター３００θが接続される。そして、各リレー２１ｘ、２１ｙ、２１θの切り替えにより、それぞれ、圧電モーター３００ｘ、３００ｙ、３００θが駆動回路９０ｂと電気的に接続した状態、又は遮断した状態となる。

【0143】

このように、位置決め機構１１０の駆動ユニット１１１ｂは、共通の駆動回路９０ａで１２個の圧電モーターを駆動し、同様に、共通の駆動回路９０ｂで１２個の圧電モーターを駆動するので、圧電モーターの数に対して駆動回路９０の数及び配線の数を少なくすることができる。したがって、位置決め機構１１０の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。
また、離れた位置に配置された駆動回路９０ａ、９０ｂと、圧電モーター３００ｘ、３００ｙ、３００θとの間の配線の数が少なくて済むため、配線の重量や配線の束による負荷を小さく抑えられるので、位置決めが行い易くなり、より精密な位置決めを行うことが可能となる。

【0144】

次に、第１ハンドユニット９２ｋが把持した電子部品７０の位置決め（ビジュアルアライメント）の方法について説明する。なお、以下で説明する位置決め方法は、一例であり、これに限定されない。また、第２ハンドユニット９３ｋが把持した電子部品７０の位決めの方法については、同様であるので、その説明は、省略する。
トレイ４２ｋに収容れた未検査の電子部品７０を把持部１４２ｋにて把持し、トレイ４２ｋの直上から検査用ソケット６ｋの直上まで第１ハンドユニット９２ｋが移動する途中、第１ハンドユニット９２ｋは、第１カメラ６００ｋの直上を通過する。第１カメラ６００ｋは、第１ハンドユニット９２ｋが、その直上を通過する際に、第１ハンドユニット９２ｋに保持された電子部品７０および第１ハンドユニット９２ｋが有するデバイスマークを捉える様に撮像する。これにより得られた画像データは、制御装置１０ｋに送信され、制御装置１０ｋによって画像認識処理される。

【0145】

具体的には、画像認識処理では、第１カメラ６００ｋから取得した画像データに所定の処理が施され、第１ハンドユニット９２ｋのデバイスマークと電子部品７０との相対位置および相対角度が算出される。そして、同算出された相対位置および相対角度がデバイスマークと電子部品７０との適正な位置関係を示す基準位置および基準角度と対比され、相対位置と基準位置との間に生じている「ずれ位置量」と、相対角度と基準角度との間に生じている「ずれ角度量」とがそれぞれ演算される。なお、前記基準位置および前記基準角度は、第１ハンドユニット９２ｋが予め設定されている検査用原点位置に配置されたときに電子部品７０の外部端子が検査用ソケット６１ｋのプローブピン６２ｋに好適に接続される位置を言う。
そして、制御装置１０ｋは、求められたずれ位置量およびずれ角度量に基づいて、必要に応じて圧電モーター３００ｘ、３００ｙ、３００θを駆動し、相対位置および相対角度が基準位置および基準角度に一致するように、電子部品７０の位置及び姿勢（角度）を補正する。

【0146】

具体的には、相対位置と基準位置との間にズレ位置量が発生している場合、制御装置１０ｋは、圧電モーター３００ｘを駆動し、Ｘブロック２２０ｋをユニットベース２００ｋに対してＸ方向に移動させるとともに、圧電モーター３００ｙを駆動し、Ｙブロック２６０ｋをθブロック２４０ｋに対してＹ方向に移動させることにより、または、これらＸブロック２２０ｋ、Ｙブロック２６０ｋの移動のうちのいずれか一方を行うことにより、相対位置を基準位置に一致させる。また、相対角度と基準角度との間にズレ角度量が発生している場合、制御装置１０ｋは、圧電モーター３００θを駆動し、θブロック２４０ｋをＸブロック２２０ｋに対してθ方向に回動させることにより、相対位置を基準位置に一致させる。以上のような制御によって、把持した電子部品７０の位置決めを行うことができる。

【0147】

［検査装置による検査方法］
次に、電子部品検査装置１ｋによる電子部品７０の検査方法について説明する。なお、以下で説明する検査方法、特に電子部品７０の搬送手順は、一例であり、これに限定されない。
（ステップ１）
まず、図１７に示すように、各ポケット２１ｋに電子部品７０が収容された供給トレイ２ｋを領域Ｓ内へ搬送するとともに、第１、第２のシャトル４ｋ、５ｋをＸ方向（−）側に移動させ、トレイ４２ｋ、５２ｋがそれぞれ供給トレイ２ｋに対してＹ方向（＋）側に並んだ状態とする。

【0148】

（ステップ２）
次に、図１８に示すように、供給ロボット７ｋによって、供給トレイ２ｋに収容された電子部品７０をトレイ４２ｋ、５２ｋに移し替え、トレイ４２ｋ、５２ｋの各ポケット４２１ｋ、５２１ｋに電子部品７０を収容する。
（ステップ３）
次に、図１９に示すように、第１、第２のシャトル４ｋ、５ｋをともにＸ方向（＋）側に移動し、トレイ４２ｋが検査用ソケット６ｋに対してＹ方向（＋）側に、トレイ５２ｋが検査用ソケット６ｋに対してＹ方向（−）側に並んだ状態とする。

【0149】

（ステップ４）
次に、図２０に示すように、第１、第２ハンドユニット支持部９１３ｋ、９１４ｋを一体的にＹ方向（＋）側に移動させ、第１ハンドユニット支持部９１３ｋがトレイ４２ｋの直上に位置するとともに、第２ハンドユニット支持部９１４ｋが検査用ソケット６ｋの直上に位置した状態とする。
その後、各第１ハンドユニット９２ｋがトレイ４２ｋに収容された電子部品７０を保持する。具体的には、まず、各第１ハンドユニット９２ｋがＺ方向（−）側へ移動し、トレイ４２ｋに収容された電子部品７０を吸着・保持する。次に、各第１ハンドユニット９２ｋがＺ方向（＋）側へ移動する。これにより、各第１ハンドユニット９２ｋに保持された電子部品７０をトレイ４２ｋから取り出す。

【0150】

（ステップ５）
次に、図２１に示すように、第１、第２ハンドユニット支持部９１３ｋ、９１４ｋを一体的にＹ方向（−）側に移動させ、第１ハンドユニット支持部９１３ｋが検査用ソケット６ｋの直上（検査用原点位置）に位置するとともに、第２ハンドユニット支持部９１４ｋがトレイ５２ｋの直上に位置した状態とする。当該移動の最中、第１ハンドユニット支持部９１３ｋ（各第１ハンドユニット９２ｋ）が第１カメラ６００ｋの直上を通過し、この際、第１カメラ６００ｋが各第１ハンドユニット９２ｋに保持された電子部品７０および各第１ハンドユニット９２ｋのデバイスマーク９４９ｋを捉える様に撮像する。そして、撮像により得られた画像データに基づいて、制御装置１０ｋが、各電子部品７０の位置決め（ビジュアルアライメント）を独立して行う。前記位置決め（ビジュアルアライメント）は、検査用ソケット６１ｋと前記ソケットマークの相対位置の認識、前記ソケットマークとデバイスマーク９４９ｋの相対位置の認識、デバイスマーク９４９ｋと電子部品７０との相対位置の認識と位置決めを行う事であり、検査用ソケット６１ｋと電子部品７０との位置決めが行われたことになる。

【0151】

このような第１、第２ハンドユニット支持部９１３ｋ、９１４ｋの移動および電子部品７０の位置決めと並行して、次のような作業も行う。まず、第１のシャトル４ｋをＸ方向（−）側に移動させ、トレイ４３ｋが検査用ソケット６ｋに対してＹ方向に並んだ状態とするとともに、トレイ４２ｋが供給トレイ２ｋに対してＹ方向に並んだ状態とする。次に、供給ロボット７ｋにより、供給トレイ２ｋに収容された電子部品７０をトレイ４２ｋに移し替え、トレイ４２ｋの各ポケット４２１ｋに電子部品７０を収容する。

【0152】

（ステップ６）
次に、第１ハンドユニット支持部９１３ｋをＺ方向（−）側に移動させ、各第１ハンドユニット９２ｋに保持された電子部品７０が検査用ソケット６ｋの各検査用ソケット６１ｋ内に配置する。この際、所定の検査圧（圧力）で電子部品７０を検査用ソケット６１ｋに押し当てる。これにより、電子部品７０の外部端子と検査用ソケット６１ｋに設けられたプローブピン６２ｋとが電気的に接続された状態となり、この状態にて、制御装置１０ｋの検査制御部１０１ｋによって各検査用ソケット６１ｋ内の電子部品７０に対して電気的特性の検査を実施する。当該検査が終了すると、第１ハンドユニット支持部９１３ｋをＺ方向（＋）側に移動させ、各第１ハンドユニット９２ｋに保持された電子部品７０を検査用ソケット６１ｋから取り出す。
このような作業（電子部品７０の検査）と並行して、第２ハンドユニット支持部９１４ｋに支持された各第２ハンドユニット９３ｋがトレイ５２ｋに収容された電子部品７０を保持し、電子部品７０をトレイ５２ｋから取り出す。

【0153】

（ステップ７）
次に、図２２に示すように、第１、第２ハンドユニット支持部９１３ｋ、９１４ｋを一体的にＹ方向（＋）側に移動させ、第１ハンドユニット支持部９１３ｋが第１のシャトル４ｋのトレイ４３ｋの直上に位置するとともに、第２ハンドユニット支持部９１４ｋが検査用ソケット６ｋの直上（検査用原点位置）に位置する状態とする。当該移動の最中、第２ハンドユニット支持部９１４ｋ（各第２ハンドユニット９３ｋ）が第２カメラ５００ｋの直上を通過し、この際、第２カメラ５００ｋが各第２ハンドユニット９３ｋに保持された電子部品７０および各第２ハンドユニット９３ｋのデバイスマークを捉える様に撮像する。そして、撮像により得られた画像データに基づいて、制御装置１０ｋが、前述したような方法により、各電子部品７０の位置決めを独立して行う。

【0154】

このような第１、第２ハンドユニット支持部９１３ｋ、９１４ｋの移動と並行して、次のような作業も行う。まず、第２のシャトル５ｋをＸ方向（−）側に移動させ、トレイ５３ｋが検査用ソケット６ｋに対してＹ方向に並んだ状態とするとともに、トレイ５２ｋが供給トレイ２ｋに対してＹ方向に並んだ状態とする。次に、供給ロボット７ｋによって、供給トレイ２ｋに収容された電子部品７０をトレイ５２ｋに移し替え、トレイ５２ｋの各ポケット５２１ｋに電子部品７０を収容する。

【0155】

（ステップ８）
次に、図２３に示すように、第２ハンドユニット支持部９１４ｋをＺ方向（−）側に移動させ、各第２ハンドユニット９３ｋに保持された電子部品７０を検査用ソケット６ｋの各検査用ソケット６１ｋ内に配置する。そして、検査制御部１０１ｋによって、各検査用ソケット６１ｋ内の電子部品７０に対して電気的特性の検査が実施される。当該検査が終了すると、第２ハンドユニット支持部９１４ｋをＺ方向（＋）側に移動させ、第２ハンドユニット９３ｋに保持された電子部品７０を検査用ソケット６１ｋから取り出す。
このような作業と並行して次のような作業を行う。

【0156】

まず、各第１ハンドユニット９２ｋが保持する検査済みの電子部品７０をトレイ４３ｋの各ポケット４３１ｋに収容する。具体的には、まず、各第１ハンドユニット９２ｋをＺ方向（−）側へ移動させ、保持する電子部品７０をポケット４３１ｋ内に配置した後、吸着状態を解除する。次に、各第１ハンドユニット９２ｋをＺ方向（＋）側へ移動させる。これにより、各第１ハンドユニット９２ｋに保持されていた電子部品７０がトレイ４３ｋに収容される。

【0157】

次に、第１のシャトル４ｋをＸ方向（＋）側に移動させ、トレイ４２ｋが検査用ソケット６ｋに対してＹ方向に並びかつ第１ハンドユニット支持部９１３ｋ（各第１ハンドユニット９２ｋ）の直下に位置する状態とするとともに、トレイ４３ｋが回収トレイ３ｋに対してＹ方向に並んだ状態とする。次に、各第１ハンドユニット９２ｋがトレイ４２ｋに収容された電子部品７０を保持する。また、これと並行して、回収ロボット８ｋにより、トレイ４３ｋに収容された検査済みの電子部品７０を回収トレイ３ｋに移し替える。

【0158】

（ステップ９）
次に、図２４に示すように、第１、第２ハンドユニット支持部９１３ｋ、９１４ｋを一体的にＹ方向（−）側に移動させ、第１ハンドユニット支持部９１３ｋが検査用ソケット６ｋの直上（検査用原点位置）に位置するとともに、第２ハンドユニット支持部９１４ｋがトレイ５２ｋの直上に位置した状態とする。この際も、前述したステップ５と同様に、第１ハンドユニット９２ｋに保持された電子部品７０の位置決めを行う。

【0159】

このような第１、第２ハンドユニット支持部９１３ｋ、９１４ｋの移動と並行して、次のような作業も行う。まず、第１のシャトル４ｋをＸ方向（−）側に移動させ、トレイ４３ｋが検査用ソケット６ｋに対してＹ方向に並んだ状態となるとともに、トレイ４２ｋが供給トレイ２ｋに対してＹ方向に並んだ状態とする。次に、供給ロボット７ｋによって、供給トレイ２ｋに収容された電子部品７０をトレイ４２ｋに移し替え、トレイ４２ｋの各ポケット４２１ｋに電子部品７０を収容する。

【0160】

（ステップ１０）
次に、図２５に示すように、第１ハンドユニット支持部９１３ｋをＺ方向（−）側に移動させ、各第１ハンドユニット９２ｋに保持された電子部品７０を検査用ソケット６ｋの各検査用ソケット６１ｋ内に配置する。そして、検査制御部１０１ｋによって、各検査用ソケット６１ｋ内の電子部品７０に対して電気的特性の検査を実施する。そして、当該検査が終了すると、第１ハンドユニット支持部９１３ｋをＺ方向（＋）側に移動させ、各第１ハンドユニット９２ｋに保持された電子部品７０を検査用ソケット６１ｋから取り出す。

【0161】

このような作業と並行して次のような作業を行う。まず、各第２ハンドユニット９３ｋが保持する検査済みの電子部品７０をトレイ５３ｋの各ポケット５３１ｋに収容する。次に、第２のシャトル５ｋをＸ方向（＋）側に移動させ、トレイ５２ｋが検査用ソケット６ｋに対してＹ方向に並びかつ第２ハンドユニット支持部９１４ｋの直下に位置する状態とするとともに、トレイ５３ｋが回収トレイ３ｋに対してＹ方向に並んだ状態とする。次に、各第２ハンドユニット９３ｋがトレイ５２ｋに収容された電子部品７０を保持する。また、これと並行して、回収ロボット８ｋにより、トレイ５３ｋに収容された検査済みの電子部品７０を回収トレイ３ｋに移し替える。

【0162】

（ステップ１１）
これ以降は、前述したステップ７〜ステップ１０を繰り返す。なお、この繰り返しの途中にて、供給トレイ２ｋに収容された電子部品７０のすべてを第１のシャトル４ｋに移し終えると、供給トレイ２ｋが領域Ｓ外に移動する。そして、供給トレイ２ｋに新たな電子部品７０を供給するか、既に電子部品７０が収容されている別の供給トレイ２ｋと交換した後、供給トレイ２ｋが再び領域Ｓ内に移動する。同様に、繰り返しの途中にて、回収トレイ３ｋの全てのポケット３１ｋに電子部品７０が収容されると、回収トレイ３ｋが領域Ｓ外に移動する。そして、回収トレイ３ｋに収容された電子部品７０を取り除くか、回収トレイ３ｋを別の空である回収トレイ３ｋを交換した後、回収トレイ３ｋが再び領域Ｓ内に移動する。

【0163】

以上のような方法によれば、効率よく電子部品７０の検査を行うことができる。具体的には、検査用ロボット９ｋが第１ハンドユニット９２ｋと第２ハンドユニット９３ｋとを有しており、例えば、第１ハンドユニット９２ｋ（第２ハンドユニット９３ｋについても同様）が保持した電子部品７０が検査用ソケット６ｋにて検査されている状態にて、これと並行して第２ハンドユニット９３ｋが検査を終えた電子部品７０をトレイ５３ｋに収容するとともに、次に検査する電子部品７０を保持してスタンバイしている。このように、２つのハンドユニットを用いて、それぞれ、異なる作業を行うことにより、無駄な時間を削減でき、効率的に電子部品７０の検査を行うことができる。

【0164】

（第４の実施形態）
＜ロボットハンド及びロボット＞
次に、第４の実施形態に係るロボットハンド及びロボットを説明する。第４の実施形態に係るロボットハンド及びロボットは、関節部の駆動装置として、第１の実施形態に係る駆動装置と同様の構成を有する駆動装置を備えている。以下、本実施形態について、前述した各実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

【0165】

図２６は、第４の実施形態に係るロボットハンド及びロボットの構造を示す模式図である。図２６（ａ）は、ロボットハンドの構造を示す模式図である。図２６（ａ）に示すように、ロボットハンド３００は、ハンド本体部３０１と、２つの指部３０２ａ、３０２ｂと、制御装置３０７と、を備えている。２つの指部３０２ａ、３０２ｂは、ハンド本体部３０１に設置されている。

【0166】

指部３０２ａは、可動部としての３つの関節部３０４ａ、３０５ａ、３０６ａと、３つの指部材３０３ａと、が交互に接続されて構成されている。関節部３０４ａ、３０５ａ、３０６ａには、それぞれ圧電モーター１１ａ、１２ａ、１３ａとリレー２１ａ、２２ａ、２３ａとが設けられている。指部３０２ｂは、可動部としての３つの関節部３０４ｂ、３０５ｂ、３０６ｂと３つの指部材３０３ｂとが交互に接続されて構成されている。関節部３０４ｂ、３０５ｂ、３０６ｂには、それぞれ圧電モーター１１ｂ、１２ｂ、１３ｂとリレー２１ｂ、２２ｂ、２３ｂとが設けられている。

【0167】

制御装置３０７には、駆動回路３０ａ、３０ｂが配置されている。駆動回路３０ａには、圧電モーター１１ａ、１２ａ、１３ａ及びリレー２１ａ、２２ａ、２３ａが接続されている。駆動回路３０ａからのセレクト信号に基づくリレー２１ａ、２２ａ、２３ａの切り替えにより、圧電モーター１１ａ、１２ａ、１３ａが時分割で駆動され、関節部３０４ａ、３０５ａ、３０６ａが回動する。同様に、駆動回路３０ｂには、圧電モーター１１ｂ、１２ｂ、１３ｂ及びリレー２１ｂ、２２ｂ、２３ｂが接続されており、駆動回路３０ｂからのセレクト信号に基づくリレー２１ｂ、２２ｂ、２３ｂの切り替えにより、圧電モーター１１ｂ、１２ｂ、１３ｂが時分割で駆動され、関節部３０４ｂ、３０５ｂ、３０６ｂが回動する。これにより、指部３０２ａ、３０２ｂを人間の指のように所望の形態に変形させることが可能になっている。

【0168】

図２６（ｂ）は、ロボットの構造を示す模式図である。図２６（ｂ）に示すように、ロボット３１０は、ロボット本体部３１１と、２つの腕部３１２ａ、３１２ｂと、制御装置３１７と、を備えている。２つの腕部３１２ａ、３１２ｂは、ロボット本体部３１１に設置されている。
腕部３１２ａは、可動部としての３つの関節部３１４ａ、３１５ａ、３１６ａと２つの腕部材３１３ａとが交互に接続されて構成されている。関節部３１４ａ、３１５ａ、３１６ａには、それぞれ圧電モーター１１ｅ、１２ｅ、１３ｅとリレー２１ｅ、２２ｅ、２３ｅとが設けられている。腕部３１２ａの一端はロボット本体部３１１に設置され、他端にはロボットハンド３００ａが設置されている。ロボットハンド３００ａは、図２６（ａ）と同様の構成を有する。

【0169】

腕部３１２ｂは、可動部としての３つの関節部３１４ｂ、３１５ｂ、３１６ｂと２つの腕部材３１３ｂとが交互に接続されて構成されている。関節部３１４ｂ、３１５ｂ、３１６ｂには、それぞれ圧電モーター１１ｆ、１２ｆ、１３ｆとリレー２１ｆ、２２ｆ、２３ｆとが設けられている。腕部３１２ｂの一端はロボット本体部３１１に設置され、他端にはロボットハンド３００ｂが設置されている。ロボットハンド３００ｂは、図２６（ａ）と同様の構成を有するが、駆動回路３０ｃ、３０ｄのそれぞれに接続された各３つの圧電モーター及びリレー（図示省略）を関節部に備えている。

【0170】

制御装置３１７には、駆動回路３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ、３０ｅ、３０ｆが配置されている。駆動回路３０ｅには、圧電モーター１１ｅ、１２ｅ、１３ｅ及びリレー２１ｅ、２２ｅ、２３ｅが接続されている。駆動回路３０ｅからのセレクト信号に基づくリレー２１ｅ、２２ｅ、２３ｅの切り替えにより、圧電モーター１１ｅ、１２ｅ、１３ｅが時分割で駆動され、関節部３１４ａ、３１５ａ、３１６ａが回動する。

【0171】

同様に、駆動回路３０ｆには、圧電モーター１１ｆ、１２ｆ、１３ｆ及びリレー２１ｆ、２２ｆ、２３ｆが接続されており、駆動回路３０ｆからのセレクト信号に基づくリレー２１ｆ、２２ｆ、２３ｆの切り替えにより、圧電モーター１１ｆ、１２ｆ、１３ｆが時分割で駆動され、関節部３１４ｂ、３１５ｂ、３１６ｂが回動する。これにより、腕部３１２ａ、３１２ｂを人間の腕のように所望の形態に変形させることが可能になっている。

【0172】

以上述べたように、第４の実施形態に係るロボットハンド３００及びロボット３１０の構成によれば、以下の効果が得られる。なお、符号の末尾に付したａ、ｂ、ｃ、ｄ等は省略する。
（１）第１の実施形態に係る駆動装置１００と同様の駆動装置を各関節部に備えているので、圧電モーター１１、１２、１３の数に対して、駆動回路３０の数及び配線の数を少なくすることができる。また、圧電モーターを用いるので、電磁モーターやパルスモーターを用いる場合に比べて、モーター毎に設けられるブレーキ機構を不要もしくは制動能力が低いものでも適応可能にできる。この結果、ロボットハンド３００及びロボット３１０の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。

【0173】

（２）離れた位置に配置された駆動回路３０と圧電モーター１１、１２、１３との間の配線の数が少なくて済むため、指部３０２及び腕部３１２を変形させる際の配線の重量や配線の束の抑制力による負荷を小さく抑えられるので、ロボットハンド３００の指部３０２及びロボット３１０の腕部３１２において、より精密な動作を行うことが可能となる。
なお、上述した実施の形態は、あくまでも本発明の一態様を示すものであり、本発明の範囲内で任意に変形及び応用が可能である。変形例を以下に述べる。

【0174】

（第５の実施形態）
＜駆動装置＞
次に、第５の実施形態に係る駆動装置を説明する。第５の実施形態に係る駆動装置は、第２の実施形態に対して、圧電モーターが、さらに、移動部の移動を制動する制動部を有している点が異なっているが、その他の構成はほぼ同じである。以下、本実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

【0175】

図２７は、第５の実施形態に係る駆動装置に用いる圧電モーターの構成を示す模式図である。
第５の実施形態に係る駆動装置１０３では、圧電モーター６１０、６２０、６３０、６４０は、それぞれ、さらに、可動部５０（図１参照）の移動を制動する制動部９１を有している。なお、各圧電モーター６１０、６２０、６３０、６４０は、同様であるので、以下では、代表的に、圧電モーター６１０について説明する。

【0176】

圧電モーター６１０の制動部９１は、基部９２と、基部９２に対して移動可能に設置された当接部９３とを有しており、被駆動体５の近傍に設置されている。この制動部９１は、当接部９３が被駆動体５の側面（円周面）から離間した第１の状態（図２７（ａ）参照）と、当接部９３が被駆動体５の側面に当接した第２の状態（図２７（ｂ）参照）とをとり得るようになっている。なお、当接部９３の移動は、制動部９１に内蔵された図示しないモーターの駆動によりなされる。

【0177】

圧電モーター６１０を駆動する際は、図２７（ａ）に示すように、制動部９１の当接部９３を被駆動体５の側面から離間させる。そして、圧電モーター６１０を停止させる際は、図２７（ｂ）に示すように、制動部９１の当接部９３を被駆動体５の側面に圧接させる。これにより、被駆動体５が停止し、可動部５０（図１参照）が停止する。なお、圧電モーター６１０が停止した後は、制動部９１を前記第１の状態と前記第２の状態とのいずれの状態にしてもよいが、第２の状態にすることで、その制動部９１による制動動作が持続され、可動部５０が位置ずれしにくくなる。
以上述べたように、第５の実施形態に係る駆動装置１０３の構成によれば、圧電モーター６１０、６２０、６３０、６４０の制動能力に加えた更なる制動能力を得ることができ、大きな外力が加わった場合でも可動部５０が位置ずれしにくくなる。

【0178】

（第６の実施形態）
＜駆動装置＞
次に、第６の実施形態に係る駆動装置を説明する。第６の実施形態に係る駆動装置は、第２の実施形態に対して、フォトモスリレーをロータリースイッチに変更した点が異なっているが、その他の構成はほぼ同じである。以下、本実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

【0179】

図２８は、第６の実施形態に係る駆動装置におけるロータリースイッチを示す模式図である。
第６の実施形態に係る駆動装置１０４では、断続部として、第２実施形態におけるフォトモスリレー２１、２２、２３、２４に替えて、ロータリースイッチ４００が設けられている。このロータリースイッチ４００は、４回路４接点のものであるが、他の形態のものを用いてもよい。また、ロータリースイッチ４００は、手動で回転するものであるが、これに限定されず、例えば、モーター等の駆動源により回転するものを用いてもよく、また、手動とモーター等の駆動源とのそれぞれで回転するものを用いてもよい。

【0180】

ロータリースイッチ４００は、選択端子４１１、４１２、４１３、４１４および共通端子４１５を有する第１段部４１０と、選択端子４２１、４２２、４２３、４２４および共通端子４２５を有する第２段部４２０と、選択端子４３１、４３２、４３３、４３４および共通端子４３５を有する第３段部４３０と、選択端子４４１、４４２、４４３、４４４および共通端子４４５を有する第４段部４４０とを備えている。そして、ロータリースイッチ４００を回転操作すると、第１段部４１０、第２段部４２０、第３段部４３０、第４段部４４０が連動し、第１段部４１０では、共通端子４１５が、順次、選択端子４１１、４１２、４１３、４１４に電気的に接続される。第２段部４２０、第３段部４３０、第４段部４４０でも同様である。また、第１段部４１０において、共通端子４１５が選択端子４１１に電気的に接続されるときは、第２段部４２０において、共通端子４２５が選択端子４２１に電気的に接続され、第３段部４３０において、共通端子４３５が選択端子４３１に電気的に接続され、第４段部４４０において、共通端子４４５が選択端子４４１に電気的に接続さる。その他の端子についても同様である。

【0181】

また、第１段部４１０の共通端子４１５には、駆動回路３０から縦振動用の駆動信号（Ｄｒｖ）が入力される。そして、選択端子４１１には圧電モーター６１の電極部３ｅが電気的に接続され、選択端子４１２には圧電モーター６２の電極部３ｅが電気的に接続され、選択端子４１３には圧電モーター６３の電極部３ｅが電気的に接続され、選択端子４１４には圧電モーター６４の電極部３ｅが電気的に接続されている。これにより、ロータリースイッチ４００を回転操作すると、そのロータリースイッチ４００を介して、駆動回路３０の縦振動用の駆動信号（Ｄｒｖ）の出力部が、順次、圧電モーター６１、６２、６３、６４の電極部３ｅに電気的に接続される。

【0182】

また、第２段部４２０の共通端子４２５には、駆動回路３０から第１屈曲振動用の駆動信号（ＤｒｖＡ）が入力される。そして、選択端子４２１には圧電モーター６１の電極部３ａ、３ｄが電気的に接続され、選択端子４２２には圧電モーター６２の電極部３ａ、３ｄが電気的に接続され、選択端子４２３には圧電モーター６３の電極部３ａ、３ｄが電気的に接続され、選択端子４２４には圧電モーター６４の電極部３ａ、３ｄが電気的に接続されている。これにより、ロータリースイッチ４００を回転操作すると、そのロータリースイッチ４００を介して、駆動回路３０の第１屈曲振動用の駆動信号（ＤｒｖＡ）の出力部が、順次、圧電モーター６１、６２、６３、６４の電極部３ａ、３ｄに電気的に接続される。

【0183】

また、第３段部４３０の共通端子４３５には、駆動回路３０から第２屈曲振動用信号（ＤｒｖＢ）が入力される。そして、選択端子４３１には圧電モーター６１の電極部３ｂ、３ｃが電気的に接続され、選択端子４３２には圧電モーター６２の電極部３ｂ、３ｃが電気的に接続され、選択端子４３３には圧電モーター６３の電極部３ｂ、３ｃが電気的に接続され、選択端子４３４には圧電モーター６４の電極部３ｂ、３ｃが電気的に接続されている。これにより、ロータリースイッチ４００を回転操作すると、そのロータリースイッチ４００を介して、駆動回路３０の第２屈曲振動用信号（ＤｒｖＢ）の出力部が、順次、圧電モーター６１、６２、６３、６４の電極部３ｂ、３ｃに電気的に接続される。

【0184】

また、第４段部４４０の共通端子４４５には、駆動回路３０から共通信号（ＣＯＭ）が入力される。そして、選択端子４４１には圧電モーター６１の共通電極９が電気的に接続され、選択端子４４２には圧電モーター６２の共通電極９が電気的に接続され、選択端子４４３には圧電モーター６３の共通電極９が電気的に接続され、選択端子４４４には圧電モーター６４の共通電極９が電気的に接続されている。これにより、ロータリースイッチ４００を回転操作すると、そのロータリースイッチ４００を介して、駆動回路３０の共通信号（ＣＯＭ）の出力部が、順次、圧電モーター６１、６２、６３、６４の共通電極９に電気的に接続される。
このようにして、ロータリースイッチ４００の回転操作により、圧電モーター６１、６２、６３、６４のうち駆動回路３０と電気的に接続された圧電モーターに対して、駆動回路３０からの駆動信号が選択的に供給される。

【0185】

以上述べたように、第６の実施形態に係る駆動装置１０４の構成によれば、断続部をフォトモスリレーで構成した場合に比べて、例えば、装置のメンテナンスや調整時のようにそのフォトモスリレーを動作させるセレクト信号を出力できない場合でも、ロータリースイッチ４００を手動で回転させて、容易に、圧電モーター６１、６２、６３、６４のうちのいずれかと駆動回路３０とを選択的に接続することができる。
なお、本実施形態では、第２実施形態におけるフォトモスリレーに替えて、ロータリースイッチが設けられているが、本発明では、これに限定されず、例えば、フォトモスリレーと、ロータリースイッチとを併用してもよい。

【0186】

以上、本発明の駆動装置、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、ロボットハンドおよびロボットを、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。
また、本発明は、前記実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。

【0187】

また、前記第１の実施形態では、圧電モーター１１、１２、１３、１４のそれぞれに設けられたエンコーダー５１、５２、５３、５４から個別にエンコーダー信号が駆動回路３０にフィードバックされる構成であったが、これに限定されるものではない。エンコーダー側にも複数のリレーを設け、リレーでエンコーダー５１、５２、５３、５４を切り替える構成としてもよい。あるいは、エンコーダー５１、５２、５３、５４にて信号をシリアル化又は符号化して駆動回路３０にフィードバックし、駆動回路３０にてパラレル化又は復号化する構成としてもよい。このような構成にすれば、駆動回路３０とエンコーダー５１、５２、５３、５４との間の配線の数を低減することができる。
また、前記第１の実施形態では、駆動回路３０にデジタルアンプ３４を用いていたが、これに限定されるものではなく、駆動回路３０にアナログアンプを用いた構成としてもよい。駆動回路３０にアナログアンプを用いる場合、ＰＷＭ部３３及びインダクターコンデンサー３５、３６は削除される。

【0188】

また、本発明では、駆動ユニットにおける圧電モーターの数は、複数であればよい。
また、本発明では、駆動ユニットにおける駆動回路の数は、圧電モーターの数よりも少なければよく、例えば、複数であってもよい。
また、前記実施形態では、モーターとして、圧電モーターを用いていたが、本発明では、これに限定されず、例えば、各種の直流モーターや交流モーターを用いてもよい。

【0189】

また、前記実施形態では、ロボットの腕部における腕部材の数は２つであるが、本発明では、これに限定されず、ロボットの腕部における腕部材の数は、１つ、または、３つ以上でもよい。
また、前記実施形態では、ロボットは、腕部の数が２つの双腕ロボット（複腕ロボット）であるが、本発明では、これに限定されず、例えば、腕部の数が１つの単腕ロボット、または、腕部の数が３つ以上の複腕ロボットであってもよい。

【0190】

また、本発明のロボットは、アーム型ロボット（ロボットアーム）に限定されず、他の形式のロボット、例えば、スカラーロボット、脚式歩行（走行）ロボット等であってもよい。
また、本発明の駆動装置は、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、ロボットハンド、ロボットに限らず、他の装置、例えば、他の搬送装置、他の検査装置、部品加工装置、移動体等にも適用することができる。

【符号の説明】

【0191】

１１、１２、１３、１４、６１、６２、６３、６４、６１０、６２０、６３０、６４０…圧電モーター ２１、２２、２３、２４…リレー ３０、９０…駆動回路 ５０…可動部 ７０…電子部品 １００、１０２、１０３、１０４…駆動装置 １０１…駆動ユニット １１０…位置決め機構 １ｋ…電子機器検査装置 ３００…ロボットハンド ３１０…ロボット ３０４、３０５、３０６、３１４、３１５、３１６…関節部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】

【図28】