特許 6233527 ラダー型フィルタ及びデュプレクサ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6233527

(24)【登録日】2017年11月2日

(45)【発行日】2017年11月22日

(54)【発明の名称】ラダー型フィルタ及びデュプレクサ

(51)【国際特許分類】

   H03H 9/64 20060101AFI20171113BHJP

   H03H 9/72 20060101ALI20171113BHJP

   H03H 9/145 20060101ALI20171113BHJP

【ＦＩ】

   H03H9/64 Z

   H03H9/72

   H03H9/145 C

   H03H9/145 D

【請求項の数】8

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2016-552882(P2016-552882)

(86)(22)【出願日】2015年9月18日

(86)【国際出願番号】JP2015076759

(87)【国際公開番号】WO2016056384

(87)【国際公開日】20160414

【審査請求日】2016年5月24日

(31)【優先権主張番号】特願2014-205547(P2014-205547)

(32)【優先日】2014年10月6日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000006231

【氏名又は名称】株式会社村田製作所

(74)【代理人】

【識別番号】110001232

【氏名又は名称】特許業務法人 宮▲崎▼・目次特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】道上 彰

(72)【発明者】

【氏名】川▲崎▼ 幸一郎

(72)【発明者】

【氏名】葛下 琢真

【審査官】 ▲高▼須 甲斐

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００４−２８２７０７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１４／１３３０８４（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２００７−２５９０２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−１８２４０７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０５−１６７３８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−１７４３０７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０８−０６５０８９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０３Ｈ ９／６４

Ｈ０３Ｈ ９／７２

Ｈ０３Ｈ ９／１４５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

入力端子及び出力端子を結ぶ直列腕に設けられた複数の直列腕共振子と、前記直列腕とグラウンド電位とを結ぶ複数の並列腕にそれぞれ設けられた複数の並列腕共振子とを有するラダー型フィルタであって、
圧電基板と、
前記圧電基板上に配置された絶縁膜と、
前記圧電基板上に設けられており、一対のバスバーと、該一対のバスバーにそれぞれ接続された複数本の電極指とを有する第１，第２のＩＤＴ電極と、
前記圧電基板上に設けられており、少なくとも一部が前記第１のＩＤＴ電極の一方側のバスバーとして設けられている第１の配線電極と、
前記圧電基板上に設けられており、少なくとも一部が前記第２のＩＤＴ電極の一方側のバスバーとして設けられている第２の配線電極と、
前記第２の配線電極上に積層された第３の配線電極とを備え、
前記第１，第２のＩＤＴ電極が、前記複数の直列腕共振子又は前記複数の並列腕共振子として設けられており、
前記第１の配線電極と、前記第２の配線電極とが、それぞれ異なる電位に接続され、
前記第１の配線電極と、前記第２の配線電極とが、隔てられており、
前記第３の配線電極の少なくとも一部が、積層方向において、前記絶縁膜を介して、前記第１の配線電極の少なくとも一部と重なり合っており、
前記複数の並列腕共振子が、前記複数の並列腕のうち１つの並列腕に設けられており、かつ前記第１のＩＤＴ電極により形成されている第１の並列腕共振子と、前記複数の並列腕のうち前記第１の並列腕共振子が設けられている並列腕とは他の並列腕に設けられており、かつ前記第２のＩＤＴ電極により形成されている第２の並列腕共振子とを有する、ラダー型フィルタ。

【請求項2】

前記第２の配線電極の前記複数本の電極指の延びる方向に沿う寸法である幅が、前記第１の配線電極の前記複数本の電極指の延びる方向に沿う寸法である幅より小さい、請求項１に記載のラダー型フィルタ。

【請求項3】

前記第１の配線電極の厚みが、前記第２の配線電極の厚みと同じ厚みである、請求項１または２に記載のラダー型フィルタ。

【請求項4】

前記第３の配線電極の厚みが、前記第１，第２の配線電極の厚みより大きい、請求項１〜３のいずれか１項に記載のラダー型フィルタ。

【請求項5】

前記複数の電極指が延びる方向において、前記第１の並列腕共振子の少なくとも一部が、前記第２の並列腕共振子の少なくとも一部と重なっている、請求項１〜４のいずれか１項に記載のラダー型フィルタ。

【請求項6】

前記第１の配線電極の一端が、前記第１の並列腕共振子に接続され、前記第１の配線電極の他端がグラウンド電位に接続されており、
前記第２の配線電極の一端が、前記第２の並列腕共振子に接続され、前記第２の配線電極の他端が前記複数の直列腕共振子のうち少なくとも１つの直列腕共振子に接続されている、請求項１〜５のいずれか１項に記載のラダー型フィルタ。

【請求項7】

前記第１の並列腕共振子が設けられている並列腕と、前記第２の並列腕共振子が設けられている並列腕とが隣接している、請求項１〜６のいずれか１項に記載のラダー型フィルタ。

【請求項8】

送信フィルタと、受信フィルタとを備え、
前記送信フィルタが、請求項１〜７のいずれか１項に記載のラダー型フィルタを有する、デュプレクサ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、複数の弾性波共振子を用いて構成されているラダー型フィルタ及び該ラダー型フィルタを送信フィルタとして有するデュプレクサに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、ラダー型弾性表面波フィルタが、携帯電話機のデュプレクサの送信フィルタなどに広く用いられている。

【0003】

下記の特許文献１や特許文献２には、ＩＤＴ電極からなる複数の共振子を有するラダー型フィルタが開示されている。特許文献１では、あるＩＤＴ電極のバスバーを含む配線と、他のＩＤＴ電極のバスバーを含む配線とが、平面視において、重なり合わないように配置されている。他方、特許文献２では、あるＩＤＴ電極のバスバーと、他のＩＤＴ電極のバスバーとが、平面視において、誘電体薄膜を介して重なり合うように配置されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０００−１９６４１２号公報

【特許文献2】特開平８−３０７１９１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献１のラダー型フィルタでは、配線同士が重ならないように配置されているため、小型化を図ることが困難であった。

【0006】

他方、特許文献２では、電極指部分と同様に膜厚が薄いバスバー同士が、誘電体薄膜を介して重ねられているため、抵抗成分が大きくなることがあった。そのため、損失が大きくなることがあった。

【0007】

本発明の目的は、小型化を図ることができ、かつ低損失とすることが可能な、ラダー型フィルタ及びデュプレクサを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明に係るラダー型フィルタは、入力端子及び出力端子を結ぶ直列腕に設けられた複数の直列腕共振子と、上記直列腕とグラウンド電位とを結ぶ複数の並列腕にそれぞれ設けられた複数の並列腕共振子とを有するラダー型フィルタであって、圧電基板と、上記圧電基板上に配置された絶縁膜と、上記圧電基板上に設けられており、一対のバスバーと、該一対のバスバーにそれぞれ接続された複数本の電極指とを有する第１，第２のＩＤＴ電極と、上記圧電基板上に設けられており、少なくとも一部が上記第１のＩＤＴ電極の一方側のバスバーとして設けられている第１の配線電極と、上記圧電基板上に設けられており、少なくとも一部が上記第２のＩＤＴ電極の一方側のバスバーとして設けられている第２の配線電極と、上記第２の配線電極上に積層された第３の配線電極とを備え、上記第１，第２のＩＤＴ電極が、上記複数の直列腕共振子又は上記複数の並列腕共振子として設けられており、上記第１の配線電極と、上記第２の配線電極とが、それぞれ異なる電位に接続され、上記第１の配線電極と、上記第２の配線電極とが、隔てられており、上記第３の配線電極の少なくとも一部が、積層方向において、上記絶縁膜を介して、上記第１の配線電極の少なくとも一部と重なり合っている。

【0009】

本発明に係るラダー型フィルタのある特定の局面では、上記第２の配線電極の上記複数本の電極指の延びる方向に沿う寸法である幅が、上記第１の配線電極の上記複数本の電極指の延びる方向に沿う寸法である幅より小さい。

【0010】

本発明に係るラダー型フィルタの他の特定の局面では、上記第１の配線電極の厚みが、上記第２の配線電極の厚みと同じ厚みである。

【0011】

本発明に係るラダー型フィルタの別の特定の局面では、上記第３の配線電極の厚みが、上記第１，第２の配線電極の厚みより大きい。

【0012】

本発明に係るラダー型フィルタのさらに別の特定の局面では、上記複数の並列腕共振子が、上記複数の並列腕のうち１つの並列腕に設けられており、かつ上記第１のＩＤＴ電極により形成されている第１の並列腕共振子と、上記複数の並列腕のうち上記第１の並列腕共振子が設けられている並列腕とは他の並列腕に設けられており、かつ上記第２のＩＤＴ電極により形成されている第２の並列腕共振子とを有する。

【0013】

本発明に係るラダー型フィルタのさらに他の特定の局面では、上記複数の電極指が延びる方向において、上記第１の並列腕共振子の少なくとも一部が、上記第２の並列腕共振子の少なくとも一部と重なっている。

【0014】

本発明に係るラダー型フィルタのさらに他の特定の局面では、上記第１の配線電極の一端が、上記第１の並列腕共振子に接続され、上記第１の配線電極の他端がグラウンド電位に接続されており、上記第２の配線電極の一端が、上記第２の並列腕共振子に接続され、上記第２の配線電極の他端が上記複数の直列腕共振子のうち少なくとも１つの直列腕共振子に接続されている。

【0015】

本発明に係るラダー型フィルタのさらに他の特定の局面では、上記第１の並列腕共振子が設けられている並列腕と、上記第２の並列腕共振子が設けられている並列腕とが隣接している。

【0016】

本発明に係るデュプレクサは、送信フィルタと、受信フィルタとを備え、上記送信フィルタが、本発明に従って得られる上記ラダー型フィルタを有する。

【発明の効果】

【0017】

本発明では、上記のように第２の配線電極上に第３の配線電極が積層されており、該第３の配線電極の少なくとも一部は、第１の配線電極の少なくとも一部と、積層方向において、絶縁膜を介して、重なり合っている部分を有している。従って、本発明によれば、小型化を図ることができ、かつ低損失とすることを可能とする、ラダー型フィルタ及びデュプレクサを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】図１は、本発明の一実施形態に係るラダー型フィルタの回路図である。

【図2】図２（ａ）は、本発明の一実施形態に係るラダー型フィルタから絶縁膜及び第３の配線電極を除去した構造を示す模式的平面図であり、図２（ｂ）は、その並列腕共振子Ｐ２及び並列腕共振子Ｐ３が設けられている部分を拡大した模式的平面図であり、図２（ｃ）は、１ポート型弾性波共振子の電極構造の模式的平面図である。

【図3】図３は、図２（ｂ）に示されるラダー型フィルタの並列腕共振子Ｐ２及び並列腕共振子Ｐ３が設けられている部分に、第３の配線電極及び絶縁膜を適用した構造を説明するための模式的平面図である。

【図4】図４は、図３に示されるラダー型フィルタのＡ−Ａ線に沿う模式的断面図である。

【図5】図５は、ラダー型フィルタの直列腕に抵抗成分（レジスタンス）１Ωが付加された場合の減衰量周波数特性と、並列腕に抵抗成分１Ωが付加された場合の減衰量周波数特性とを比較するための図である。

【図6】図６は、本発明の一実施形態に係るラダー型フィルタにおいて、並列腕共振子に並列に静電容量が接続されていることを説明するための回路図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。

【0020】

（ラダー型フィルタ）
図１は、本発明の一実施形態に係るラダー型フィルタの回路図である。図２（ａ）は、本発明の一実施形態に係るラダー型フィルタから絶縁膜及び第３の配線電極を除去した構造を示す模式的平面図であり、図２（ｂ）は、その並列腕共振子Ｐ２及び並列腕共振子Ｐ３が設けられている部分を拡大した模式的平面図であり、図２（ｃ）は、１ポート型弾性波共振子の電極構造の模式的平面図である。

【0021】

図１に示すラダー型フィルタ１では、入力端子７と出力端子８とを結ぶ直列腕に、直列腕共振子Ｓ１〜Ｓ４が設けられている。直列腕共振子Ｓ２は、直列分割されている。すなわち、直列腕共振子Ｓ２は、２個の分割共振子Ｓ２ａ，Ｓ２ｂに分割されている。同様にして、直列腕共振子Ｓ３は、２個の分割共振子Ｓ３ａ，Ｓ３ｂに分割されており、直列腕共振子Ｓ４は、２個の分割共振子Ｓ４ａ，Ｓ４ｂに分割されている。

【0022】

直列腕共振子Ｓ１と直列腕共振子Ｓ２との間の接続点と、グラウンド電位とを結ぶ並列腕においては、並列腕共振子Ｐ１が設けられている。同様に、直列腕共振子Ｓ２と直列腕共振子Ｓ３との間の接続点と、グラウンド電位とを結ぶ並列腕においては、並列腕共振子Ｐ２が設けられている。また、直列腕共振子Ｓ３と直列腕共振子Ｓ４との間の接続点と、グラウンド電位とを結ぶ並列腕においては、並列腕共振子Ｐ３が設けられている。直列腕共振子Ｓ１，Ｓ２（分割共振子Ｓ２ａ，Ｓ２ｂ），Ｓ３（分割共振子Ｓ３ａ，Ｓ３ｂ），Ｓ４（分割共振子Ｓ４ａ，Ｓ４ｂ）及び並列腕共振子Ｐ１〜Ｐ３は、１ポート型弾性波共振子からなる。

【0023】

１ポート型弾性波共振子は、図２（ｃ）に示す電極構造を有する。すなわち、ＩＤＴ電極３と、ＩＤＴ電極３の弾性波伝搬方向両側に配置された反射器１１，１２とが、圧電基板の主面上に形成されている。それによって、１ポート型弾性波共振子が構成されている。

【0024】

ＩＤＴ電極３は、Ａｌ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ａｕ、Ａｇ、Ｔｉ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗまたはこれらの金属のいずれかを主体とする合金などの適宜の金属材料により形成することができる。ＩＤＴ電極３は、単層であってもよいし、２種以上の金属層が積層された積層体であってもよい。

【0025】

ＩＤＴ電極３は、複数本の第１の電極指と、複数本の第２の電極指とを有する。複数本の第１の電極指及び複数本の第２の電極指は、弾性波伝搬方向と直交する方向に延びている。複数本の第１の電極指と、複数本の第２の電極指とは、互いに間挿し合っている。複数本の第１，第２の電極指の各一端が、第１，第２のバスバーにそれぞれ接続されている。

【0026】

図２（ａ）に示すように、ラダー型フィルタ１は、矩形板状の圧電基板２を有する。圧電基板２は、ＬｉＴａＯ_３やＬｉＮｂＯ_３のような圧電単結晶基板からなる。圧電基板２は、圧電セラミックスにより形成されていてもよい。なお、本実施形態において、圧電基板２は、ＬｉＮｂＯ_３により形成されている。

【0027】

図２（ａ）においては、直列腕共振子Ｓ１，Ｓ２（分割共振子Ｓ２ａ，Ｓ２ｂ），Ｓ３（分割共振子Ｓ３ａ，Ｓ３ｂ），Ｓ４（分割共振子Ｓ４ａ，Ｓ４ｂ）及び並列腕共振子Ｐ１〜Ｐ３におけるＩＤＴ電極３の複数本の第１の電極指と、複数本の第２の電極指とが互いに間挿し合っている部分を、矩形枠状の対角線同士を結んでなるブロックにより略図的に示している。ブロックの電極指が延びる方向の両端には、ＩＤＴ電極３の第１，第２のバスバーがそれぞれ位置している。

【0028】

なお、並列腕共振子Ｐ２のＩＤＴ電極３の第１のバスバー３ａは、第１の配線電極４の少なくとも一部として設けられている。並列腕共振子Ｐ３の第２のバスバー３ｂは、第２の配線電極５の少なくとも一部として設けられている。

【0029】

図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、並列腕共振子Ｐ２は、第１の配線電極４を介して、グラウンド電位に接続される電極ランド９に接続されている。第１の配線電極４の一端は、グラウンド電位に接続される電極ランド９に接続されており、他端が並列腕共振子Ｐ２に接続されている。

【0030】

他方、並列腕共振子Ｐ３は、第２の配線電極５を介して、直列腕共振子Ｓ３，Ｓ４に接続されている。第２の配線電極５の一端は、並列腕共振子Ｐ３に接続されており、他端が直列腕共振子Ｓ３，Ｓ４に接続されている。従って、第２の配線電極５は、第１の配線電極４とは、異なる電位に接続されている。

【0031】

本実施形態においては、ＩＤＴ電極３の電極指が延びる方向において、並列腕共振子Ｐ２の少なくとも一部が並列腕共振子Ｐ３の少なくとも一部と重なっている。従って、後述する本発明の特徴的な構造を容易に適用することができる。

【0032】

図３は、図２（ｂ）に示されるラダー型フィルタの並列腕共振子Ｐ２及び並列腕共振子Ｐ３が設けられている部分に、第３の配線電極６及び絶縁膜を適用した構造を説明するための模式的平面図である。なお、絶縁膜については、図３では図示せず、設けられる領域のみを示す。図３においては、図２（ｂ）における第２の配線電極５上に、第３の配線電極６が形成されている。絶縁膜は、図示の一点鎖線１０Ａの外側のコーナー部の領域と、一点鎖線１０Ｂで囲まれた領域とを除いた残りの領域を覆っている。第３の配線電極６の一部は、絶縁膜を介して、第１の配線電極４の一部と重なり合っている。もっとも、本発明において、第３の配線電極６と第１の配線電極４とは、圧電基板２の主面側に向かって平面視したときに、絶縁膜を介して少なくとも一部が重なり合っていればよく、電極指と接続されるバスバーを構成する第１の配線電極４の全部が、圧電基板２の主面側に向かって平面視したときに、第３の配線電極６に重なり合っていてもよい。

【0033】

図４は、上記絶縁膜をも含めた、図３に示すラダー型フィルタのＡ−Ａ線に沿う模式的断面図である。以下、図４の模式的断面図を参照して、圧電基板２上における、第１〜第３の配線電極４〜６と、絶縁膜１０との位置関係について、より詳細に説明する。

【0034】

図４に示すように、圧電基板２の主面上には、第１，第２のＩＤＴ電極３Ａ，３Ｂが設けられている。第１のＩＤＴ電極３Ａは、並列腕共振子Ｐ２を形成している。他方、第２のＩＤＴ電極３Ｂは、並列腕共振子Ｐ３を形成している。

【0035】

第１のＩＤＴ電極３Ａは、複数本の第１，第２の電極指により構成される第１のＩＤＴ電極３Ａの電極指部分３ｃと、図示を省略している第１，第２のバスバーとにより形成されている。第２のＩＤＴ電極３Ｂは、複数本の第１，第２の電極指により構成される第２のＩＤＴ電極３Ｂの電極指部分３ｄと、図示を省略している第１，第２のバスバーとにより形成されている。第１のＩＤＴ電極３Ａの電極指部分３ｃ及び第２のＩＤＴ電極３Ｂの電極指部分３ｄ上には、絶縁膜１０が設けられている。

【0036】

絶縁膜１０は、誘電体であるＳｉＯ_２により形成されている。もっとも、絶縁膜１０を構成する材料としては、特に限定されない。ポリイミド等の樹脂材料、またはＳｉＯ_２、ＳｉＮ、Ｓｉ_３Ｎ_４、ＳｉＯＮ、ＳｉＣ、Ｔａ_２Ｏ_５、ＴｉＯ_２、ＴｉＮ、Ａｌ_２Ｏ_３、ＴｅＯ_２などの一般的な誘電体材料を用いることができる。誘電体膜は、単層構造、あるいは積層構造であってもよい。なお、第１のＩＤＴ電極３Ａの電極指部分３ｃ及び第２のＩＤＴ電極３Ｂの電極指部分３ｄ上に、絶縁膜１０を設けない構成であってもよい。

【0037】

第１のＩＤＴ電極３Ａの第１のバスバーは、第１の配線電極４の少なくとも一部として設けられている。他方、第２のＩＤＴ電極３Ｂの第２のバスバーは、第２の配線電極５の少なくとも一部として設けられている。

【0038】

第１，第２の配線電極４，５は、弾性波伝搬方向に沿って延びるように、圧電基板２上に設けられている。第１の配線電極４及び第２の配線電極５のバスバーを形成する部分は、所定の距離を介して互いに隔てられている。特に本実施形態においては、絶縁膜１０を介して隔てられている部分を有している。もっとも、互いに隣り合う第１，第２の配線電極４，５の隙間に、絶縁膜１０が充填されることで、第１，第２の配線電極４，５が完全に隔てられていてもよい。第１の配線電極４と第２の配線電極５とは、絶縁膜１０を介して互いに電気的に絶縁されている。弾性波伝搬方向に沿って延びる第２の配線電極５の電極指方向に沿う寸法である幅Ｗ２は、弾性波伝搬方向に沿って延びる第１の配線電極４の電極指方向に沿う寸法である幅Ｗ１より小さい。

【0039】

圧電基板２の主面から上方に延びる第１の配線電極４の厚みＤ１は、第２の配線電極５の厚みＤ２と同じ厚みである。本実施形態のように、第１の配線電極４の厚みＤ１が第２の配線電極５の厚みＤ２と同じ厚みである場合、第１，第２の配線電極４，５を、共通のプロセスで製造できるため好ましい。もっとも、本発明において、第１の配線電極４の厚みＤ１と、第２の配線電極５の厚みＤ２は異なっていてもよい。第１，第２の配線電極４，５の厚みＤ１，Ｄ２は、特に限定されないが、それぞれ数十ｎｍ〜数百ｎｍであることが好ましい。

【0040】

第１，第２の配線電極４，５は、ＮｉＣｒ合金、Ｐｔ、Ｔｉ、ＡｌＣｕ合金及びＴｉがこの順に積層されることにより形成されている。もっとも、第１，第２の配線電極４，５を構成する材料としては、特に限定されず、Ａｌ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ａｕ、Ａｇ、Ｔｉ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗまたはこれらの金属のいずれかを主体とする合金などの適宜の金属材料により形成することができる。第１，第２の配線電極４，５は、単層であってもよいし、本実施形態のように２種以上の金属層が積層された積層体であってもよい。第１，第２の配線電極４，５は、同じ材料で構成されていてもよく、他の材料により構成されていてもよい。なお、本実施形態における各層の厚みについては、順にＮｉＣｒ合金：１０ｎｍ、Ｐｔ：７０ｎｍ、Ｔｉ：６０ｎｍ、ＡｌＣｕ合金：１３０ｎｍ及びＴｉ：１０ｎｍである。

【0041】

第２の配線電極５上には、第３の配線電極６が積層されている。第３の配線電極６の一部は、積層方向において、絶縁膜１０を介して、第１の配線電極４の一部とも重なっている。絶縁膜１０上に配置された第３の配線電極６の厚みＤ３は、第１の配線電極４の厚みＤ１及び第２の配線電極５の厚みＤ２より厚い。第３の配線電極６の厚みＤ３が、第１の配線電極４の厚みＤ１及び第２の配線電極５の厚みＤ２より厚い場合、さらに低損失にし得るため好ましい。

【0042】

第３の配線電極６は、Ｔｉ、ＡｌＣｕ合金、Ｔｉ及びＰｔが積層されることにより形成されている。第３の配線電極６を構成する材料としては、特に限定されず、Ａｌ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ａｕ、Ａｇ、Ｔｉ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗまたはこれらの金属のいずれかを主体とする合金などの適宜の金属材料により形成することができる。第３の配線電極６は、単層であってもよいし、本実施形態のように２種以上の金属層が積層された積層体であってもよい。第３の配線電極６は、第１，第２の配線電極４，５と、同じ材料で構成されていてもよく、他の材料により構成されていてもよい。第３の配線電極６の膜厚は、特に限定されないが、さらに低損失にできることから、１０００ｎｍ〜３０００ｎｍであることが好ましい。

【0043】

本実施形態のように、第１，第２の配線電極４，５が異なる電位に接続されている場合、短絡防止の観点から、第１の配線電極４と第２の配線電極５とを所定の距離以上を隔てて配置する必要がある。従って、フィルタのサイズが大きくなる傾向にあった。また、第１，第２の配線電極４，５の幅Ｗ１，Ｗ２を短くした場合、配線幅の減少により抵抗値が増加して抵抗損失が大きくなることから、従来、小型化を図ることが困難であった。

【0044】

この点に関し、ラダー型フィルタ１においては、第２の配線電極５に積層されている第３の配線電極６の一部が、第２のＩＤＴ電極３Ｂのバスバーを露出する絶縁膜１０の開口部の内部に設けられる第３の配線電極６の第１部分６ａと、絶縁膜１０の上方の表面に沿って該第１部分６ａから第１の配線電極４側に向かって延びるように設けられる第３の配線電極６の第２部分６ｂとを備えている。本実施形態において、開口部は、図３の一点鎖線１０Ｂで囲まれた部分である。圧電基板２の主面側に向かって平面視したときに、第２のＩＤＴ電極３Ｂのバスバーの延びる方向に長手方向を有する長方形を含む形状を有している。

【0045】

すなわち、圧電基板２の主面側に向かって平面視したときに、第３の配線電極６の第２部分６ｂが、絶縁膜１０を介して第１の配線電極４の一部と重なり合っている。従って、第２の配線電極５の幅Ｗ２を広くすることなく、互いに隣り合う第１，第２のＩＤＴ電極３Ａ，３Ｂのバスバーを構成する互いに隣り合う第１，第２の配線電極４，５間の距離を保ちながら、小型化を図ることが可能となる。

【0046】

もっとも、このような構造を採る場合、抵抗値の増大に基づき損失が大きくなることが懸念される。しかしながら、ラダー型フィルタ１では、第２の配線電極５と電気的に接続されるように、第２の配線電極５上に第３の配線電極６の一部が積層されて接合されている。このため、低損失とすることが可能となる。また、電気抵抗を低損失にできることから、第３の配線電極６が接合されている第２の配線電極５の幅Ｗ２を小さくすることも可能となる。従って、さらにラダー型フィルタ１の小型化を図りつつ、低損失とすることが可能となる。

【0047】

また、本実施形態においては、第３の配線電極６が直接積層されていない第１の配線電極４が、並列腕共振子Ｐ２に接続されており、直列腕共振子Ｓ１〜Ｓ４には接続されていない。そのため、さらに低損失とすることができる。これを、以下、図５を参照して、より詳細に説明する。

【0048】

図５は、ラダー型フィルタの直列腕に抵抗成分(インダクタンス)１Ωが付加された場合の減衰量周波数特性と、並列腕に抵抗成分１Ωが付加された場合の減衰量周波数特性とを比較するための図である。図５中、実線は、並列腕に抵抗成分１Ωが付加された場合の減衰量周波数特性を示しており、破線は、直列腕に抵抗成分１Ωが付加された場合の減衰量周波数特性を示している。また、図５中、一点鎖線は、直列腕にも並列腕にも抵抗が付加されない場合の減衰量周波数特性を示している。並列腕に抵抗成分１Ωが付加された場合と、直列腕にも並列腕にも抵抗成分が付加されない場合とは、減衰量周波数特性の差が小さい。そのため、図５中では、８８０ＭＨｚ付近以外の周波数帯域では実線と一点鎖線とが重なって表示されている。

【0049】

図５に示すように、直列腕に抵抗成分が付加された場合、共振周波数付近のＱが劣化するため、直列腕及び並列腕のいずれにも抵抗成分が付加されていない場合と比較して、８９０〜９１０ＭＨｚ付近の広範囲で０．２ｄＢ程度損失が大きくなっていることがわかる。他方、並列腕に抵抗成分が付加された場合、低域側の８８０ＭＨｚ付近のみで０．２ｄＢ程度損失が大きくなっている。よって、並列腕に抵抗が付加された場合は、抵抗成分を直列腕に付加した場合よりも、損失を小さくできることがわかる。

【0050】

従って、第３の配線電極６が直接積層されておらず、かつ抵抗値の増大が生じやすい第１の配線電極４は、直列腕共振子Ｓ１〜Ｓ４には接続されず、並列腕共振子Ｐ１〜Ｐ３に接続されることが好ましい。これにより、さらに損失の増加を抑止することが可能となる。

【0051】

図３に戻り、ラダー型フィルタ１においては、圧電基板２の主面側に向かって平面視したときに、並列腕共振子Ｐ３のグラウンド電位に接続される電極ランド９に接続された第２のＩＤＴ電極のバスバーを構成している第３の配線電極６の一部が、絶縁膜１０を介して、並列腕共振子Ｐ２に接続されている第１の配線電極４の一部と重なり合っている。従って、ラダー型フィルタ１においては、正確には、図６に回路図で示すように、並列腕共振子Ｐ３に並列に静電容量が接続されることとなる。この静電容量が形成されている場合、並列腕共振子Ｐ３の反共振周波数が低域側に移動する。これにより、並列腕共振子Ｐ３のインピーダンス特性における共振周波数と反共振周波数間の急峻性が高くなる。この急峻性の指標に、共振周波数と反共振周波数との周波数の差を、共振周波数で割った比率である比帯域の値を用いることができる。反共振周波数が低域側に移動して共振子の急峻性が高くなると、比帯域の値が小さくなる。並列腕共振子Ｐ３に並列に静電容量が接続された構成が用いられるとき、比帯域の小さい並列腕共振子Ｐ３は、共振周波数と反共振周波数間のインピーダンスの急峻性が高くなるため、ラダー型フィルタの通過帯域外の低域側の急峻性を高くすることが可能となる。

【0052】

なお、ラダー型フィルタ１においては、並列腕共振子Ｐ２及び並列腕共振子Ｐ３が設けられている箇所において本発明を適用したが、本発明は、複数の並列腕共振子のうちの任意の２個の並列腕共振子に適用することができる。もっとも、本実施形態のように、隣接する２個の並列腕共振子に用いた場合、容易に本発明を適用できるため好ましい。

【0053】

（デュプレクサ）
本発明に係るデュプレクサは、送信フィルタと、受信フィルタとを備える。上記送信フィルタは、上述した本発明に係るラダー型フィルタを有する。従って、本発明に係るデュプレクサは、小型化を図ることができ、かつ低損失とすることができる。

【0054】

特に、ラダー型フィルタ１のように、耐電力性を高めるために直列分割された共振子が設けられている場合は、サイズが大きくなる。従って、本発明は、ラダー型フィルタ１のような送信フィルタを備えるデュプレクサに好適に用いることができる。

【符号の説明】

【0055】

１…ラダー型フィルタ
２…圧電基板
３…ＩＤＴ電極
３Ａ，３Ｂ…第１，第２のＩＤＴ電極
３ａ，３ｂ…第１，第２のバスバー
３ｃ…第１のＩＤＴ電極の電極指部分
３ｄ…第２のＩＤＴ電極の電極指部分
４〜６…第１〜第３の配線電極
６ａ，６ｂ…第１，第２部分
７…入力端子
８…出力端子
９…電極ランド
１０…絶縁膜
１１，１２…反射器
Ｄ１〜Ｄ３…第１〜第３の配線電極の厚み
Ｐ１〜Ｐ３…並列腕共振子
Ｓ１〜Ｓ４…直列腕共振子
Ｓ２ａ，Ｓ２ｂ，Ｓ３ａ，Ｓ３ｂ，Ｓ４ａ，Ｓ４ｂ…分割共振子
Ｗ１，Ｗ２…第１，第２の配線電極の幅

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】