特許6233555炭化珪素エピタキシャル基板及び炭化珪素半導体装置の製造方法

発明の名称　炭化珪素エピタキシャル基板及び炭化珪素半導体装置の製造方法

出願人　住友電気工業株式会社　（識別番号 2130）

　　　　特許公開件数ランキング 81 位（690件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 50 位（749件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6233555

公報発行日　2017年11月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6233555

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