特許 6235265 Ｘ線発生装置及びＸ線検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6235265

(24)【登録日】2017年11月2日

(45)【発行日】2017年11月22日

(54)【発明の名称】Ｘ線発生装置及びＸ線検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/04 20060101AFI20171113BHJP

【ＦＩ】

   G01N23/04

【請求項の数】4

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2013-155821(P2013-155821)

(22)【出願日】2013年7月26日

(65)【公開番号】特開2015-25750(P2015-25750A)

(43)【公開日】2015年2月5日

【審査請求日】2016年6月8日

(73)【特許権者】

【識別番号】302046001

【氏名又は名称】アンリツインフィビス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100067323

【弁理士】

【氏名又は名称】西村 教光

(74)【代理人】

【識別番号】100124268

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 典行

(72)【発明者】

【氏名】森谷 淳一

(72)【発明者】

【氏名】斎藤 直也

【審査官】 立澤 正樹

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００１−３１８０６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−１８３４０５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−３００３７９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｎ ２３／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

Ｘ線管（８）が収容されて絶縁油（９）の満たされた容器（７）の上面開口部（１７）を塞ぐ基板（１２）を有し、該基板を貫通し吸熱端（１４）が前記絶縁油内に浸され放熱端（１５）が前記容器外方に突出する熱伝達部材（１３）を備えた放熱器（１１）と、
前記熱伝達部材の放熱端側を覆って前記容器に取り付けられ、両側が送排気開口部（２６，２６）となる略コ字状に形成されて遮蔽空間（２５）をなし、前記放熱器を透過するＸ線を遮蔽する遮蔽材（２２）及び支持材（２３）が積層されてなる遮蔽部材（１８）と、
前記送排気開口部に送排気間隙（２８）を介して前記遮蔽部材に被せられるチャンバ（２７）と、
前記両送排気開口部を通る延長直線（２９）に交差することで、開口端（３１）から前記放熱器の放熱側の放熱面が見えない方向で前記送排気間隙に連通し、前記チャンバに接続され、前記送排気開口部から前記開口端の間でＸ線を吸収散乱により減衰させる一対のダクト（３０，３０）と、
を具備することを特徴とするＸ線発生装置。

【請求項2】

請求項１記載のＸ線発生装置であって、
前記一対のダクトの少なくとも一方に送風ファン（３２）が取り付けられていることを特徴とするＸ線発生装置。

【請求項3】

請求項１または２記載のＸ線発生装置であって、
前記基板に複数の前記熱伝達部材が貫通して設けられ、
前記熱伝達部材の放熱端と遮蔽部材側壁内面（３３）の間隔（Ａ）、及び前記熱伝達部材と遮蔽部材天井面（３４）の間隔（Ｂ）が、隣接する前記熱伝達部材の放熱端同士の間隔（Ｃ）よりも小さいことを特徴とするＸ線発生装置。

【請求項4】

請求項１，２，３のいずれか１つに記載のＸ線発生装置（１００）を組み込んだことを特徴とするＸ線検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、Ｘ線発生装置及びＸ線検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

Ｘ線異物検出装置は、食肉，加工品等の食料品等被検査物にＸ線を照射して、照射したＸ線の透過量から被検査物中に金属等の異物が存在しているか否かを検出する装置である（例えば特許文献１参照）。

【0003】

Ｘ線を照射するＸ線発生器は、金属製の箱体内部に設けられているＸ線管を絶縁油により浸漬して密封されている。Ｘ線管自体はＸ線照射により発熱するため、Ｘ線管から絶縁油に伝導された熱を外部に放熱させて、Ｘ線管を冷却させる必要がある。

【0004】

Ｘ線管から絶縁油に伝導された熱を外部に放熱させる手段としては、通常、Ｘ線発生器周面に貫通保持された冷却フィンが用いられ、絶縁油から熱を伝導してＸ線発生器の外に放熱させている。しかし、冷却フィンは通常、熱伝達特性のよいＡｌが用いられ、ＡｌはＸ線の透過率が高いため、放熱と共にＸ線が漏洩することとなる。

【0005】

そこで、特許文献１のＸ線異物検出装置は、Ｘ線発生器から発生する熱を外部へ導く通風路を長くし、内面で漏洩Ｘ線の吸収散乱を繰り返させている。これにより、漏洩Ｘ線を減衰させ、Ｘ線漏洩の問題を解消している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００１−３１８０６２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかしながら、上記のような通風路（ダクト）を長くする構成では、空気の搬送距離が長くなったり、ダクトに複数の屈曲部が必要になったりして、冷却効率が落ちる欠点がある。また、屈曲した長いダクトを設ければ装置としての小型化に不利となる。そこで、冷却効率とＸ線遮蔽の問題が同時に解消できるＸ線発生装置の開発が望まれている。

【0008】

本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、その目的は、冷却効率を低下させずに、Ｘ線をより確実に遮蔽できるＸ線発生装置及びＸ線検査装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

次に、上記の課題を解決するための手段を、実施の形態に対応する図面を参照して説明する。
本発明の請求項１記載のＸ線発生装置１００は、Ｘ線管８が収容されて絶縁油９の満たされた容器７の上面開口部１７を塞ぐ基板１２を有し、該基板１２を貫通し吸熱端１４が前記絶縁油９内に浸され放熱端１５が前記容器７外方に突出する熱伝達部材１３を備えた放熱器１１と、
前記熱伝達部材１３の放熱端１５側を覆って前記容器７に取り付けられ、両側が送排気開口部２６，２６となる略コ字状に形成されて遮蔽空間２５をなし、前記放熱器１１を透過するＸ線を遮蔽する遮蔽材２２及び支持材２３が積層されてなる遮蔽部材１８と、
前記送排気開口部２６，２６に送排気間隙２８を介して前記遮蔽部材１８に被せられるチャンバ２７と、
前記両送排気開口部２６，２６を通る延長直線２９に交差することで、開口端３１から前記放熱器１１の放熱側の放熱面が見えない方向で前記送排気間隙２８に連通し、前記チャンバ２７に接続され、前記送排気開口部２６，２６から前記開口端３１の間でＸ線を吸収散乱により減衰させる一対のダクト３０，３０と、
を具備することを特徴とする。

【0010】

このＸ線発生装置１００では、略コ字状の遮蔽部材１８にチャンバ２７が連接されると、遮蔽部材１８の両側の送排気開口部２６，２６に、送排気間隙２８が接続形成される。チャンバ２７によって、Ｘ線の遮蔽と、省スペースでの送排気間隙２８の確保が可能となる。
チャンバ２７には、両側の送排気間隙２８，２８にそれぞれ連通する一対のダクト３０，３０が接続される。ダクト３０，３０は、両側の送排気開口部２６，２６を通る延長直線２９に交差することで開口端３１からの放熱器１１の放熱側の放熱面、すなわち熱伝達部材１３の放熱端１５や基板１２が見えない方向で送排気間隙２８に連通する。このチャンバ２７及びダクト３０，３０により出入口の向きが変更されることで、チャンバ２７内及びダクト３０，３０内でＸ線は吸収散乱を繰り返し、減衰して減少する。
遮蔽部材１８の送排気開口部２６，２６は、連接されるチャンバ２７によって広い空間の送排気間隙２８に接続される。これにより、通風路として絞られず、空気搬送抵抗が増加しない。その結果、冷却効率の低下が抑制される。

【0011】

本発明の請求項２記載のＸ線発生装置１００は、請求項１記載のＸ線発生装置１００であって、
前記一対のダクト３０，３０の少なくとも一方に送風ファン３２が取り付けられていることを特徴とする。

【0012】

このＸ線発生装置１００では、チャンバ２７に接続された一対のダクト３０の少なくとも一方に送風ファン３２が取り付けられる。チャンバ２７は、遮蔽部材１８に連接されることで、遮蔽部材１８の両側の送排気開口部２６に接続する送排気間隙２８が画成される。この送排気間隙２８の一方に接続されるダクト３０に送風ファン３２が設けられることで、一方のダクト３０から他方のダクト３０への空気の強制搬送が可能となる。これにより、遮蔽部材１８の内方における熱伝達部材１３と通過空気との熱交換を促進させ、冷却効果を増大させることができる。

【0013】

本発明の請求項３記載のＸ線発生装置１００は、請求項１または２記載のＸ線発生装置１００であって、
前記基板１２に複数の前記熱伝達部材１３が貫通して設けられ、
前記熱伝達部材１３の放熱端１５と遮蔽部材側壁内面３３の間隔Ａ、及び前記熱伝達部材１３と遮蔽部材天井面３４の間隔Ｂが、隣接する前記熱伝達部材１３同士の放熱端１５同士の間隔Ｃよりも小さいことを特徴とする。

【0014】

このＸ線発生装置１００では、遮蔽部材１８の内方を通過する空気が、熱伝達部材１３に接触し易くなる。すなわち、熱伝達部材１３と遮蔽部材側壁内面３３との間隔Ａや熱伝達部材１３と遮蔽部材天井面３４の間隔Ｂが広い場合に、空気が熱伝達部材１３同士の間を通らずに送風抵抗の小さいその間隙Ａや間隙Ｂを通過してしまう。これに対し、本構成では、遮蔽部材１８の内方を通過する空気が、熱伝達部材１３同士の間（間隙Ｃ）を優先して通過することになる。

【0015】

本発明の請求項４記載のＸ線検査装置２００は、請求項１，２，３のいずれか１つに記載のＸ線発生装置１００を組み込んだことを特徴とする。

【0016】

このＸ線検査装置２００では、上記の構成により小型となったＸ線発生装置１００が組み込まれるので、Ｘ線検査装置全体の小型化が可能となる。また、チャンバ２７によってＸ線の遮蔽性能も高められるので、装置へ近づく作業者（操作者）に対するＸ線量も低下させることが可能となる。さらに、チャンバ２７に接続されるダクト３０の向きを任意な方向に設定が可能なる。例えば、排気側のダクト３０における開口端３１の向きを、作業者から遠ざけたり、検査対象から遠ざけたりすることが容易となる。

【発明の効果】

【0017】

本発明に係る請求項１記載のＸ線発生装置によれば、チャンバを遮蔽部材に連接し、送排気間隙を介して、放熱器の放熱側の放熱面が開口端から見えない方向となってダクトが連通する構成としたので、Ｘ線の遮蔽性能が高まるとともに、ダクトの開口端位置においてのＸ線の漏洩が減少する効果を得られ、すなわち、Ｘ線の漏洩元となる放熱側の放熱面である熱伝達部材の放熱端及び基板の放熱側の面を開口端から見えない配置構造としたことで、Ｘ線は開口端までのダクト内やチャンバ内で減衰されることとなる。このようにＸ線の遮蔽性能，減衰効果が高まることにより、放熱器自体のＸ線遮蔽構造を簡略化或いは省略することができ、すなわち、従来の放熱器では冷却機能に加えＸ線遮蔽機能を付加しなければならない構成としていたが、放熱器から漏洩するＸ線を遮蔽材と支持材が積層してなる遮蔽部材とこの遮蔽部材に被せられるチャンバにより減少させることができることから、放熱器には容器内からのＸ線漏洩に対する構成を簡略或いは省略させることが可能となる。これにより放熱器の製作が容易になるとともに、製作コストも抑えることが可能となる。また、ダクトの開口端から放熱器の放熱側の放熱面が見えない構成とされるものの、この放熱面を構成する熱伝達部材の放熱端が通風部分に突出されて冷却が行なわれるとともにチャンバを介しての十分な空気の通過が行なわれ、Ｘ線を確実に遮蔽しながら冷却効率を低下させることなく放熱が行なえる効果を得られる。

【0018】

本発明に係る請求項２記載のＸ線発生装置によれば、送風ファンをダクトに取り付けることで、放熱器の放熱側を通過する空気量を増加させて冷却効率を高めることができる。このことから、送風ファンによる放熱器の放熱側の冷却効率を維持しつつ、ダクトのコンパクト化を図ることが可能となり、Ｘ線発生装置全体の小型化を図れる。

【0019】

本発明に係る請求項３記載のＸ線発生装置によれば、遮蔽部材の内方を通過する空気を熱伝達部材に効率よく接触させることができ、冷却効率を高めることができる。

【0020】

本発明に係る請求項４記載のＸ線検査装置によれば、チャンバによってＸ線の遮蔽性能，減衰効果が高められるので、装置へ近づく作業者に対するＸ線量を低下させることが可能となる。また、ダクトの開口端を、例えば搬送路に向かないよう装置の後方向などに構成でき、検査対象に塵埃がかかることを防止できる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】本発明の実施形態に係るＸ線発生装置を備えたＸ線検査装置の斜視図である。

【図2】図１に示したチャンバ及びダクトの設けられたＸ線検査装置の斜視図である。

【図3】図２に示したチャンバ、遮蔽部材、放熱器、及び容器の分解斜視図である。

【図4】図２に示したチャンバ及び遮蔽部材の断面図である。

【図5】図３に示したダクトの送風ファンの設けられる開口端の分解斜視図である。

【図6】放熱器の熱伝達部材と遮蔽部材側壁内面及び遮蔽部材天井面との位置関係を表す側面図である。

【図7】Ｒ部の設けられた変形例に係るチャンバの斜視図である。

【図8】上面に送風ファンが設けられた変形例に係るダクトの斜視図である。

【図9】チャンバに対して上向きに接続された変形例に係るダクトの斜視図である。

【図10】Ｚ字形の通風路を形成するようにチャンバに接続された変形例に係るダクトの平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下、本発明に係る実施形態を図面を参照して説明する。
図１は本発明の実施形態に係るＸ線発生装置を備えたＸ線検査装置の斜視図、図２は図１に示したチャンバ及びダクトの設けられたＸ線検査装置の斜視図、図３は図２に示したチャンバ、遮蔽部材、放熱器、及び容器の分解斜視図、図４は図２に示したチャンバ及び遮蔽部材の断面図、図５は図３に示したダクトの送風ファンの設けられる開口端の分解斜視図、図６は放熱器の熱伝達部材と遮蔽部材側壁内面及び遮蔽部材天井面との位置関係を表す側面図である。
本実施形態に係るＸ線発生装置１００は、例えばＸ線検査装置２００に好適に用いられる。Ｘ線検査装置２００は、装置本体１の内部に、生肉、魚、加工食品、医薬等の被検査物を搬送するコンベア２と、搬送される被検査物を搬送路途中において異物を検出する異物検出部３と、を有している。

【0023】

コンベア２は、不図示の駆動モータにより駆動され、搬入口４から搬入された被検査物を搬出口５へ搬出するようになっている。異物検出部３は、コンベア２の上方に設けられるＸ線発生装置１００とコンベア２の内側に設けられるＸ線検出器６と、で構成されている。

【0024】

Ｘ線発生装置１００は、容器７の内部に設けられている円筒状のＸ線管８を絶縁油９（図３参照）に浸した構成となっている。Ｘ線発生装置１００は、高電圧発生装置（図示略）でＸ線管８に、１０ｋＶ〜５００ｋＶ程度の電圧を印加する。これにより、高電圧で加速した電子を陽極のターゲットとなる金属に衝突させてＸ線を発生させる。Ｘ線管８は、その長手方向が被検査物の搬送方向に直交するように設けられている。生成されたＸ線は、下方のＸ線検出器６に向けて、長手方向に沿った不図示のスリットを介して、略円錐状の検出用Ｘ線１０を略三角形状のスクリーン状にして照射する。

【0025】

Ｘ線検出器６は、フォトダイオードと、フォトダイオード上に設けられたシンチレータとからなる複数のＸ線検出素子が用いられる。これらのＸ線検出素子が被検査物の搬送方向と直交する方向に並んでラインセンサ（Ｘ線センサ）が形成され、Ｘ線検査装置２００は、Ｘ線発生装置１００から搬送面上（コンベア２上）を搬送される被検査物にＸ線を照射して、透過Ｘ線を受けたＸ線検出器６から得られるＸ線透過量に基づいてこの被検査物を検査する。

【0026】

放熱器１１は、図３に示す矩形状の基板１２に、複数本（図では１２本）の熱伝達部材である棒状の冷却フィン１３を表面から裏面に、本実施形態では、上面から下面に略垂直に貫通させたものである。放熱器１１の基板１２は、容器開口縁１６に支持されて上面開口部である容器開口１７を密封する。それぞれの冷却フィン１３の下端である吸熱端１４は容器７に収納され、絶縁油９に浸されるようになっており、基板１２の下面と吸熱端１４とで吸熱側となり、また、上端である放熱端１５は上方である容器７外方に突出し、基板１２の上面と放熱端１５とで放熱側となる。これら冷却フィン１３及び基板１２は、アルミニウムなどの熱伝導性の良好な素材より構成される。なお、放熱器１１は、基板１２に複数本の逆Ｕ字状の冷却フィンを表面から裏面に貫通させたものや、板状に形成されるものなどその他の形状としてもよい。

【0027】

基板１２の上には、それぞれの冷却フィン１３の放熱端１５を覆い、これら放熱端１５と基板１２上面よりなる放熱側の放熱面から漏洩するＸ線を遮蔽するための遮蔽部材１８が設けられている。遮蔽部材１８は、左右側壁１９，１９と天井部２０とで下方が開口する略コ字状に形成される。遮蔽部材１８には、鉄、ステンレス鋼、鉛等のＸ線を透過させない金属が用いられる。本実施形態において、遮蔽部材１８は、内面側から、遮蔽材２２及び支持材２３が積層されてなる。

【0028】

遮蔽部材１８の両側壁１９，１９の下縁には鍔状の突出片２４が略水平外方に形成され、突出片２４は基板１２上となって容器７に固定される。基板１２から突出しているそれぞれの冷却フィン１３の放熱端１５は、略コ字状に形成された遮蔽部材１８の内方の遮蔽空間２５に収納される。そして、遮蔽部材１８の両端は矩形状に開放されている。

【0029】

すなわち、放熱器１１は、Ｘ線管８が収容されて絶縁油９の満たされた容器７の容器開口１７を塞ぐ基板１２を有し、この基板１２に冷却フィン１３が貫通し、吸熱端１４は絶縁油９内に、放熱端１５は遮蔽空間２５内に突出する。遮蔽部材１８は、冷却フィン１３の放熱端１５を覆って容器７に取り付けられ、両端が送排気開口部２６となる。

【0030】

遮蔽部材１８には、チャンバ２７が設けられる。チャンバ２７は、例えば基板１２に対して着脱自在に固定され、遮蔽部材１８を覆うように箱形状に形成される。チャンバ２７は、遮蔽部材１８の両送排気開口部２６の外側に位置し、それぞれの送排気開口部２６に連接される送排気間隙２８を形成する（図４参照）。

【0031】

さらに、チャンバ２７には、一対のダクト３０，３０が接続される。本実施形態において、ダクト３０は、チャンバ２７と同一素材によって、板金加工等により一体に成形される。ダクト３０は、両送排気開口部２６，２６を通る延長直線２９に交差、本実施形態では延長直線２９に対し略直角方向に送排気間隙２８の長手方向が位置し、その長手方向の一方である装置後方向に延設されるように位置することで、図５に示す開口端３１から放熱器１１の放熱側である冷却フィン１３の放熱端１５と基板１２の上面とからなる放熱面が見えない方向で、送排気間隙２８に連通している。チャンバ２７及びダクト３０は、例えばステンレス鋼等の金属板のみにより形成されても、Ｘ線を吸収散乱させ、漏洩Ｘ線をある程度減衰させることが可能となる。しかし、チャンバ２７及びダクト３０は、遮蔽部材１８と同様、内面側より遮蔽材２２及び支持材２３が積層されてなることがより好ましい。これにより、一層確実に漏洩Ｘ線を遮蔽することができる。

【0032】

また、図５に示すように、このダクト３０の少なくとも一方には、送風ファン３２が取り付けられている。両方のダクト３０に送風ファン３２が取り付けられる場合には、一方が外気を取り込む給気側となり、他方が外気に放出する排気側となる。

【0033】

なお、上記構成では、遮蔽部材１８に対して、チャンバ２７が被さるような遮蔽部材１８と別体な構成としているが、これら遮蔽部材１８とチャンバ２７とは、一体に構成されていてもよく、すなわち容器７に対して、遮蔽部材１８とチャンバ２７、そしてダクト３０が一体となって成形され着脱が可能となる構成としてもよい。

【0034】

また、図６に示すように、基板１２上に複数の冷却フィン１３の放熱端１５が突出した放熱器１１は、放熱端１５と、遮蔽部材側壁内面３３、遮蔽部材天井面３４とが所定の位置関係で配置されている。すなわち、冷却フィン１３の放熱端１５と遮蔽部材側壁内面３３の間隔Ａ、及び冷却フィン１３の放熱端１５と遮蔽部材天井面３４の間隔Ｂは、隣接する冷却フィン１３同士の間隔Ｃよりも小さく設定されている。

【0035】

次に、上記構成を有するＸ線発生装置１００、Ｘ線検査装置２００の作用を説明する。
Ｘ線発生装置１００では、略コ字状の遮蔽部材１８にチャンバ２７が連接されると、遮蔽部材１８の両側の送排気開口部２６に、送排気間隙２８が接続形成される。チャンバ２７が取り付けられることにより、Ｘ線の遮蔽と、省スペースでの送排気間隙２８の確保が可能となっている。

【0036】

通常、遮蔽材２２及び支持材２３等が積層してなる遮蔽部材１８に送排気等のためのダクトを接続するには、双方に接続継手などの構造の追加が必要となり、そのための接続スペースが少なからず必要となる。つまり、装置が大型化する。本構成では、チャンバ２７を被せることにより、接続継手等を用いずに、これら、Ｘ線の遮蔽と、送排気間隙２８の確保が同時に可能となる。

【0037】

チャンバ２７には、両側の送排気間隙２８にそれぞれ連通する一対のダクト３０が接続される。ダクト３０は、両側の送排気開口部２６を通る延長直線２９に交差することで開口端３１から放熱器１１の放熱側である冷却フィン１３の放熱端１５と基板１２とが見えない方向で送排気間隙２８に連通する。このチャンバ２７及びダクト３０により出入口の向きが変更されることで、チャンバ内及びダクト内でＸ線は吸収散乱を繰り返し、減衰して減少する。

【0038】

遮蔽部材１８の送排気開口部２６は、外側に被せられ連接されるチャンバ２７によって広い空間の送排気間隙２８に接続される。これにより、通風路が絞られず、空気搬送抵抗が増加しない。その結果、冷却効率の低下が抑制される。
このように、チャンバ２７は、Ｘ線を遮蔽しながら省スペースで且つ空気搬送抵抗を増加させずに、遮蔽部材１８に接続される。

【0039】

また、Ｘ線発生装置１００では、チャンバ２７に接続された一対のダクト３０の少なくとも一方に送風ファン３２が取り付けられる。遮蔽部材１８に被せられることで、チャンバ２７の内方には、遮蔽部材１８の両側の送排気開口部２６，２６に接続する送排気間隙２８，２８がそれぞれ画成される。この送排気間隙２８，２８の一方に接続されるダクト３０に送風ファン３２が設けられることで、一方のダクト３０から他方のダクト３０への空気の強制搬送が可能となる。これにより、遮蔽部材１８の内方における冷却フィン１３と通過空気との熱交換を促進させ、冷却効果を増大させることができる。

【0040】

送風ファン３２の送風性能は、冷却フィン１３と通過空気とが最適な熱伝達率で熱交換される送風量となるように設定される。なお、送風ファン３２は、給気用、排気用のいずれでもよい。送風ファン３２は、搬送空気漏洩の生じない点では空気搬送方向下流側に設ける排気用が望ましい。
このようにＸ線検査装置２００は、チャンバ２７に送風ファン３２が設けられることで、放熱器１１の放熱側である冷却フィン１３を通過する空気量を増加させて、冷却効率を高めることができる。

【0041】

さらに、Ｘ線発生装置１００では、冷却フィン１３と遮蔽部材側壁内面３３の間隔Ａ、及び冷却フィン１３と遮蔽部材天井面３４の間隔Ｂが、隣接する冷却フィン１３の間隔Ｃよりも小さく設定されている。遮蔽部材１８の内方を通過する空気は、冷却フィン１３に接触し易くなる。すなわち、冷却フィン１３と遮蔽部材側壁内面３３との間隔Ａが広い場合に、空気が冷却フィン１３の間を通らずに送風抵抗の小さいその間隙を通過してしまう。これに対し、本構成では、遮蔽部材１８の内方を通過する空気が、冷却フィン１３の間を優先して通過することになる。なお、冷却フィン１３と遮蔽部材側壁内面３３の間隔Ａ、及び冷却フィン１３と遮蔽部材天井面３４の間隔Ｂを小さくすることは、装置のコンパクト化にも有効となる。
その結果、通過する空気を冷却フィン１３の放熱端１５に効率よく接触させることができ、冷却効率を高めることができる。

【0042】

Ｘ線検査装置２００は、上記の構成により小型となったＸ線発生装置１００が組み込まれるので、Ｘ線検査装置２００全体の小型化が可能となる。また、チャンバ２７によってＸ線の遮蔽性能も高められるので、装置へ近づく作業者（操作者）に対するＸ線量も低下させることが可能となる。さらに、チャンバ２７に接続されるダクト３０の向きを任意な方向に設定が可能なる。例えば、排気側のダクト３０における開口端３１の向きを、作業者から遠ざけたり、検査対象から遠ざけたりすることが容易となる。

【0043】

以下に、上記実施形態に係るＸ線発生装置１００の変形例を説明する。
図７はＲ部３５の設けられた変形例に係るチャンバ３７の斜視図である。
この変形例に係るチャンバ３７は、チャンバ内の入隅部が湾曲面状のＲ部３５で形成されている。例えば図７では、装置背面側から見た図であるが、ダクト３０の延設方向と反対の角部分をＲ部としている。
このチャンバ３７によれば、入隅部によって発生する搬送空気の渦を、そのＲ形状によって抑制し、スムースな空気の流れとなって空気搬送効率を高め、空気搬送抵抗を低減することができ、これによりチャンバ３７に連接される遮蔽部材１８内の冷却フィン放熱端１５の冷却効果を向上させることが可能となる。また、Ｒ部３５を設けることは、Ｘ線の拡散を抑制する効果も期待できる。

【0044】

図８は上面に送風ファン３２が設けられた変形例に係るダクト４０の斜視図である。
この変形例に係るダクト４０は、開口端３１が上方向を向いて設けられている。従って、送排気間隙２８からの通風路は、左右側部である送排気間隙２８にて延長直線２９（図３参照）に対して水平方向９０度に曲がるとともに、その下流である開口端３１の内方でさらに上に９０度で曲がることになる。
このダクト４０によれば、スペースを増やさずに通風路の屈曲数を増やすことができ、Ｘ線をより多く吸収散乱させることができ、漏洩を減少させることができる。

【0045】

図９はチャンバ２７に対して上向きに接続された変形例に係るダクト５０の斜視図である。
この変形例に係るダクト５０は、図８で示したダクト４０のようにチャンバ２７の側部で一旦水平方向９０度に曲げず、送排気間隙２８の上方へ直接９０度で曲げて形成される。
このダクト５０によれば、遮蔽部材１８の送排気開口部２６の通風路断面積と同等の開口端３１を有するダクト５０とすることができ、送風抵抗を小さくでき、冷却効果を高めることができる。

【0046】

図１０はＺ字形の通風路を形成するようにチャンバ２７に接続された変形例に係るダクト６０の平面図である。
この変形例に係るダクト６０は、一対のダクト６０が一対の平行直線上に配置される。つまり、Ｚ字形の通風路を形成するようにチャンバ２７に接続される。
このダクト６０によれば、空気搬送方向を、同一方向にしながら、前後方向にずらすことができる。
この他、ダクト６０は、上下逆向きに接続されても、或いは直交方向に接続されてもよく、さらには、開口端３１の向きに関してもそれぞれ向きを変えることとしても良い。このようにして、チャンバ２７には、ダクト６０の接続向きを適宜に設定することが容易にできる。これにより、冷却効率を低下させずに、Ｘ線の遮蔽効果を高めながら、排気空気の作業者に対する干渉や、被検査対象に対する干渉が生じないようにすることができる。

【0047】

従って、本実施形態に係るＸ線発生装置１００によれば、冷却効率を低下させずに、Ｘ線をより確実に遮蔽できる。

【0048】

また、本実施形態に係るＸ線検査装置２００によれば、ダクト３０の開口端３１が例えば搬送路に向かないようにして、検査対象に塵埃がかかることを防止できる。

【符号の説明】

【0049】

７…容器
８…Ｘ線管
９…絶縁油
１１…放熱器
１２…基板
１３…熱伝達部材（冷却フィン）
１４…吸熱端
１５…放熱端
１７…上面開口部（容器開口）
１８…遮蔽部材
２６…送排気開口部
２７，３７…チャンバ
２８…送排気間隙
２９…延長直線
３０，４０，５０，６０…ダクト
３１…開口端
３２…送風ファン
３３…遮蔽部材側壁内面
３４…遮蔽部材天井面
１００…Ｘ線発生装置
２００…Ｘ線検査装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】