特許 6235364 現像装置および現像方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6235364

(24)【登録日】2017年11月2日

(45)【発行日】2017年11月22日

(54)【発明の名称】現像装置および現像方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/027 20060101AFI20171113BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20171113BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/30 569C

   H01L21/30 569F

   H01L21/304 643A

【請求項の数】5

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2014-26208(P2014-26208)

(22)【出願日】2014年2月14日

(65)【公開番号】特開2015-153895(P2015-153895A)

(43)【公開日】2015年8月24日

【審査請求日】2015年12月28日

(73)【特許権者】

【識別番号】317006041

【氏名又は名称】東芝メモリ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】特許業務法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】竹石 知之

【審査官】 赤尾 隼人

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００４−１９３５３８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−１８７９２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−０１７３９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１８２９３１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／０２７；２１／３０４；２１／６７

Ｇ０３Ｆ ７／３０−７／４２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ウェハを保持するウェハホルダと、
前記ウェハホルダを回転させる回転部と、
前記ウェハ上に現像液を供給する第１ノズルと、
前記ウェハ上にリンス液を供給する第２ノズルと、
前記ウェハ上にガスを噴出させる第３ノズルと、
前記ウェハ上で独立に走査できるように前記第１ノズル、前記第２ノズルおよび前記第３ノズルを案内するノズルガイドと、
前記ノズルガイドにて案内させながら前記第１ノズルを駆動する第１ノズル駆動部と、
前記ノズルガイドにて案内させながら前記第２ノズルを駆動する第２ノズル駆動部と、
前記ノズルガイドにて案内させながら前記第３ノズルを駆動する第３ノズル駆動部と、
前記ノズルガイドを駆動するガイド駆動部と、
前記ウェハ上に前記現像液が供給されている時に前記ウェハの中央部から端部に向かって移動するように前記第１ノズルを駆動制御する第１ノズル駆動制御部と、
前記ウェハ上に前記リンス液が供給されている時に前記ウェハの中央部から端部に向かって移動するように前記第２ノズルを駆動制御する第２ノズル駆動制御部と、
前記ウェハ上に前記リンス液および前記ガスが供給されている時に前記ウェハの中央部から端部に向かって移動するように前記第３ノズルを駆動制御する第３ノズル駆動制御部と、
前記ノズルガイドを前記ウェハホルダの外側に退避させる退避制御部とを備え、
前記第２ノズル駆動制御部は、前記第１ノズルが前記ウェハの中央部にある時に前記第２ノズルを前記ウェハの中央部に移動させ、
前記第３ノズル駆動制御部は、前記第１ノズルが前記ウェハの中央部にある時に前記第３ノズルを前記ウェハの中央部に移動させる現像装置。

【請求項2】

ウェハを保持するウェハホルダと、
前記ウェハホルダを回転させる回転部と、
前記ウェハ上に現像液を供給する第１ノズルと、
前記ウェハ上にリンス液を供給する第２ノズルと、
前記ウェハ上で直線状に独立に走査できるように前記第１ノズルおよび前記第２ノズルを案内するノズルガイドと、
前記ノズルガイドにて案内させながら前記第１ノズルを駆動する第１ノズル駆動部と、
前記ノズルガイドにて案内させながら前記第２ノズルを駆動する第２ノズル駆動部と、
前記ウェハ上に前記現像液が供給されている時に走査開始位置から走査終了位置に移動するように前記第１ノズルを駆動制御する第１ノズル駆動制御部と、
前記ウェハ上に前記リンス液が供給されている時に走査開始位置から走査終了位置に移動するように前記第２ノズルを駆動制御する第２ノズル駆動制御部とを備え、
前記第２ノズル駆動制御部は、前記第１ノズルの走査開始位置に前記第１ノズルがある時に前記第２ノズルの走査開始位置に前記第２ノズルを移動させ、
前記第１ノズルの走査開始位置および前記第２ノズルの走査開始位置は前記ウェハの中央部に設定し、
前記ノズルガイドは、前記第２ノズルを前記ウェハの中央部に保持したまま前記第１ノズルが前記ウェハ上を直線状に走査できるように前記第１ノズルを案内する現像装置。

【請求項3】

現像装置による現像方法であって、
前記現像装置は、
ウェハを保持するウェハホルダと、
前記ウェハホルダを回転させる回転部と、
前記ウェハ上に現像液を供給する第１ノズルと、
前記ウェハ上にリンス液を供給する第２ノズルと、
前記ウェハ上で直線状に独立に走査できるように前記第１ノズルおよび前記第２ノズルを案内するノズルガイドと、
前記ノズルガイドにて案内させながら前記第１ノズルを駆動する第１ノズル駆動部と、
前記ノズルガイドにて案内させながら前記第２ノズルを駆動する第２ノズル駆動部と、
前記ウェハ上に前記現像液が供給されている時に走査開始位置から走査終了位置に移動するように前記第１ノズルを駆動制御する第１ノズル駆動制御部と、
前記ウェハ上に前記リンス液が供給されている時に走査開始位置から走査終了位置に移動するように前記第２ノズルを駆動制御する第２ノズル駆動制御部とを備え、
前記回転部にて回転されているウェハ上に前記第１ノズルから現像液を供給させながら、前記第２ノズルを前記第１ノズルの走査開始位置に隣接して保持させた状態で、前記第１ノズルを前記走査開始位置から走査終了位置に移動させ、
前記回転部にて回転されている前記ウェハ上に前記第２ノズルから前記リンス液を供給させ、
前記第１ノズルの走査開始位置および前記第２ノズルの走査開始位置は前記ウェハの中央部に設定する現像方法。

【請求項4】

前記ウェハホルダ上に前記ウェハを置く前に、前記ノズルガイドを前記ウェハホルダの外側に退避させ、
前記ウェハホルダ上に前記ウェハを置いた後に、前記ノズルガイドを前記ウェハホルダ上に移動させる請求項３記載の現像方法。

【請求項5】

現像装置による現像方法であって、
前記現像装置は、
ウェハを保持するウェハホルダと、
前記ウェハホルダを回転させる回転部と、
前記ウェハ上に現像液を供給する第１ノズルと、
前記ウェハ上にリンス液を供給する第２ノズルと、
前記ウェハ上にガスを噴出させる第３ノズルと、
前記ウェハ上で独立に走査できるように前記第１ノズル、前記第２ノズルおよび前記第３ノズルを第１ガイド部、第２ガイド部および第３ガイド部に沿ってそれぞれ案内するノズルガイドと、
前記ノズルガイドにて案内させながら前記第１ノズルを駆動する第１ノズル駆動部と、
前記ノズルガイドにて案内させながら前記第２ノズルを駆動する第２ノズル駆動部と、
前記ノズルガイドにて案内させながら前記第３ノズルを駆動する第３ノズル駆動部と、
前記ノズルガイドを駆動するガイド駆動部と、
前記ウェハ上に前記現像液が供給されている時に前記ウェハの中央部から端部に向かって移動するように前記第１ノズルを駆動制御する第１ノズル駆動制御部と、
前記ウェハ上に前記リンス液が供給されている時に前記ウェハの中央部から端部に向かって移動するように前記第２ノズルを駆動制御する第２ノズル駆動制御部と、
前記ウェハ上に前記リンス液および前記ガスが供給されている時に前記ウェハの中央部から端部に向かって移動するように前記第３ノズルを駆動制御する第３ノズル駆動制御部と、
前記ノズルガイドを前記ウェハホルダの外側に退避させる退避制御部とを備え、
前記回転部にて回転されているウェハ上に前記第１ノズルから現像液を供給させながら、前記第２ノズルを走査開始位置に保持させた状態で、前記第１ノズルを走査開始位置から走査終了位置に前記第１ガイド部に沿って移動させ、
前記回転部にて回転されている前記ウェハ上に前記第２ノズルから前記リンス液を供給させながら、前記第２ノズルを前記走査開始位置から走査終了位置に前記第２ガイド部に沿って移動させ、
前記第２ノズルから前記リンス液が供給されている時に、前記第３ノズルを走査開始位置から走査終了位置に前記第３ガイド部に沿って移動させ、
前記第１ノズルの走査開始位置、前記第２ノズルの走査開始位置および前記第３ノズルの走査開始位置は前記ウェハの中央部に設定する現像方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の実施形態は、現像装置および現像方法に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体ウェハ上のレジスト膜の現像では、半導体ウェハを回転させるとともに、現像液ノズルから半導体ウェハの表面に現像液を吐出させながら、現像液ノズルを半導体ウェハの半径方向に走査することで、半導体ウェハの表面に現像液膜を形成する方法がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１３−１７５６７７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明の一つの実施形態は、生産性の低下を防止しつつ、現像処理時のパーティクルの発生を抑制することが可能な現像装置および現像方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明の一つの実施形態によれば、回転されているウェハ上に第１ノズルから現像液を供給させながら、リンス液を供給する第２ノズルを前記第１ノズルの走査開始位置に隣接して保持させた状態で、前記第１ノズルを前記走査開始位置から走査終了位置に移動させ、回転されている前記ウェハ上に前記第２ノズルから前記リンス液を供給させる。前記第１ノズルの走査開始位置および前記第２ノズルの走査開始位置は前記ウェハの中央部に設定する。

【図面の簡単な説明】

【0006】

【図1】図１（ａ）および図１（ｂ）は、第１実施形態に係る現像方法の一例を示す斜視図である。

【図2】図２（ａ）および図２（ｂ）は、第１実施形態に係る現像方法の一例を示す斜視図である。

【図3】図３（ａ）および図３（ｂ）は、第１実施形態に係る現像方法の一例を示す斜視図である。

【図4】図４（ａ）および図４（ｂ）は、第２実施形態に係る現像方法の一例を示す斜視図である。

【図5】図５（ａ）および図５（ｂ）は、第２実施形態に係る現像方法の一例を示す斜視図である。

【図6】図６（ａ）および図６（ｂ）は、第２実施形態に係る現像方法の一例を示す斜視図である。

【図7】図７（ａ）および図７（ｂ）は、第３実施形態に係る現像方法の一例を示す斜視図である。

【図8】図８（ａ）および図８（ｂ）は、第３実施形態に係る現像方法の一例を示す斜視図である。

【図9】図９（ａ）および図９（ｂ）は、第３実施形態に係る現像方法の一例を示す斜視図である。

【図10】図１０（ａ）は、第４実施形態に係る現像液ノズルの駆動機構の概略構成を示す斜視図、図１０（ｂ）は、第５実施形態に係る現像液ノズルの駆動機構の概略構成を示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0007】

以下に添付図面を参照して、実施形態に係る現像装置および現像方法を詳細に説明する。なお、これらの実施形態により本発明が限定されるものではない。

【0008】

（第１実施形態）
図１（ａ）、図１（ｂ）、図２（ａ）、図２（ｂ）、図３（ａ）および図３（ｂ）は、第１実施形態に係る現像装置および現像方法の一例を示す斜視図である。
図１（ａ）、図１（ｂ）、図２（ａ）、図２（ｂ）、図３（ａ）および図３（ｂ）において、この現像装置には、ウェハＷを保持するウェハホルダ３、ウェハホルダ３を支持する支持台１、ウェハホルダ３を回転させるモータ２、液跳ねした現像液１３Ａやリンス液１３Ｂを受けるカップ４、現像液１３ＡをウェハＷ上に供給する現像液ノズル８Ａ、リンス液１３ＢをウェハＷ上に供給するリンスノズル８Ｂ、ガイド部７Ａ、７Ｂおよびノズル駆動部１２Ａ、１２Ｂが設けられたノズルガイド７、ノズルガイド７を支持するアーム５およびアーム５を駆動するモータ６が設けられている。なお、ガイド部７Ａ、７Ｂは、ウェハＷ上で独立に走査できるように現像液ノズル８Ａおよびリンスノズル８Ｂを案内することができる。ノズル駆動部１２Ａは、ガイド部７Ａにて案内させながら現像液ノズル８Ａを駆動する。ノズル駆動部１２Ｂは、ガイド部７Ｂにて案内させながらリンスノズル８Ｂを駆動する。なお、ガイド部７Ａ、７Ｂは、互いに並列して直線状に設けることができる。ノズル駆動部１２Ａ、１２Ｂは、現像液ノズル８Ａおよびリンスノズル８Ｂをそれぞれ直線状に移動させることができる。この時、動力部としてモータを用いた場合、モータの回転運動を直線運動に変換する変換機構を設けることができる。

【0009】

ここで、ウェハホルダ３はモータ２を介して支持台１に配置されている。カップ４は、ウェハホルダ３の外周を囲むように配置されている。モータ６はアーム５を介してノズルガイド７に接続されている。現像液ノズル８Ａは、現像液供給管９Ａを介して現像液供給管部１０Ａに接続されている。リンスノズル８Ｂは、リンス液供給管９Ｂを介してリンス液供給管部１０Ｂに接続されている。なお、現像液供給管９Ａおよびリンス液供給管９Ｂは、現像液ノズル８Ａおよびリンスノズル８Ｂの移動を妨げないように樹脂などの湾曲可能な材料で構成することができる。現像液供給管部１０Ａおよびリンス液供給管部１０Ｂは、現像液１３Ａおよびリンス液１３Ｂをそれぞれ送り出したり止めたりするためのポンプやバルブなどがあってもよい。

【0010】

また、この現像装置には、ウェハＷ上に塗布されたレジスト膜Ｒの現像を制御する現像制御部１１が設けられている。現像制御部１１には、回転制御部１１Ａ、退避制御部１１Ｂ、第１ノズル駆動制御部１１Ｃ、第２ノズル駆動制御部１１Ｄ、第１供給制御部１１Ｅおよび第２供給制御部１１Ｆが設けられている。
回転制御部１１Ａはモータ２の回転を制御する。退避制御部１１Ｂはモータ６の駆動を制御する。第１ノズル駆動制御部１１Ｃはノズル駆動部１２Ａを駆動制御する。第２ノズル駆動制御部１１Ｄはノズル駆動部１２Ｂを駆動制御する。第１供給制御部１１Ｅは現像液１３Ａの供給を制御する。第２供給制御部１１Ｆはリンス液１３Ｂの供給を制御する。
ここで、第１ノズル駆動制御部１１Ｃは、ウェハＷ上に現像液１３Ａが供給されている時に走査開始位置から走査終了位置に移動するように現像液ノズル８Ａを駆動制御する。第２ノズル駆動制御部１１Ｄは、ウェハＷ上にリンス液１３Ｂが供給されている時に走査開始位置から走査終了位置に移動するようにリンスノズル８Ｂを駆動制御する。また、第２ノズル駆動制御部１１Ｄは、現像液ノズル８Ａの走査開始位置に現像液ノズル８Ａがある時にリンスノズル８Ｂの走査開始位置にリンスノズル８Ｂを移動させる。なお、現像液ノズル８Ａおよびリンスノズル８Ｂの走査開始位置は、ウェハＷの中央部とすることができる。現像液ノズル８Ａおよびリンスノズル８Ｂの走査終了位置はウェハＷの端部とすることができる。

【0011】

そして、図１（ａ）に示すように、モータ６を介してアーム５が駆動されることでノズルガイド７がウェハホルダ３の外側に退避される。そして、レジスト膜Ｒが塗布されたウェハＷがウェハホルダ３上に置かれる。ウェハＷは、例えば、真空吸着などによりウェハホルダ３上に固定することができる。なお、レジスト膜Ｒには、ウェハＷ上に形成されるパターンに応じた潜像を露光処理により予め形成することができる。ここで、ノズルガイド７がウェハホルダ３の外側に退避されている時に、ガイド部７Ａ、７Ｂにそれぞれ沿って現像液ノズル８Ａおよびリンスノズル８Ｂを走査開始位置に移動させることができる。

【0012】

次に、図１（ｂ）に示すように、モータ６を介してアーム５が退避時と逆方向に駆動されることでノズルガイド７がウェハＷ上に移動される。この時、現像液ノズル８Ａおよびリンスノズル８ＢがウェハＷの中央部に来るようにすることができる。

【0013】

次に、図２（ａ）および図２（ｂ）に示すように、モータ２を介してウェハホルダ３が回転されることでウェハＷが回転される。そして、リンスノズル８ＢがウェハＷの中央部で静止されたまま、現像液１３Ａが現像液ノズル８ＡからウェハＷ上に供給されながら現像液ノズル８Ａがガイド部７Ａに沿ってウェハＷの中央部から端部の方向に移動される。
ここで、現像液ノズル８ＡがウェハＷの端部に到達すると、現像液１３Ａが液跳ねする。この液跳ねした現像液１３Ａはカップ４に回収させることができる。この時、リンスノズル８ＢをウェハＷの中央部で静止させたまま保持させることにより、液跳ねした現像液１３Ａがリンスノズル８Ｂに付着するのを防止することができる。このため、リンスノズル８ＢがウェハＷ上を走査される時に、リンスノズル８Ｂから現像液１３ＡがウェハＷ上に落ちるのを防止することができ、ウェハＷ上でのパーティクルの発生を防止することができる。

【0014】

現像液ノズル８ＡがウェハＷの端部に到達すると、現像液１３Ａの供給が停止される。現像液１３ＡがウェハＷ上に供給されると、潜像が形成されたレジスト膜Ｒが現像される。この時、例えば、３０秒間だけ静止現像を行うことができる。

【0015】

次に、図３（ａ）および図３（ｂ）に示すように、リンス液１３Ｂがリンスノズル８ＢからウェハＷ上に供給されながらリンスノズル８Ｂがガイド部７Ｂに沿ってウェハＷの中央部から端部の方向に移動される。リンスノズル８ＢがウェハＷの端部に到達すると、リンス液１３Ｂの供給が停止される。なお、リンス液１３Ｂは、例えば、純水を用いることができる。リンス液１３ＢがウェハＷ上に供給されると、ウェハＷ上の現像液１３Ａが流され、現像が停止される。また、リンス液１３Ｂの供給中にウェハＷが回転されることで振り切り乾燥される。

【0016】

ここで、現像液ノズル８Ａの走査開始位置に現像液ノズル８Ａがある時にリンスノズル８Ｂの走査開始位置にリンスノズル８Ｂを移動させることにより、現像液ノズル８Ａが走査終了位置に到達した後に、リンスノズル８Ｂを走査開始位置に移動させる必要がなくなる。このため、リンスノズル８Ｂを走査開始位置に移動させるのに必要な時間を低減することができ、生産性を向上させることができる。
また、現像液ノズル８Ａおよびリンスノズル８Ｂを案内するノズルガイド７を設けることにより、現像液ノズル８Ａおよびリンスノズル８Ｂを一括して退避させることができる。このため、現像液ノズル８Ａおよびリンスノズル８Ｂに対して独立に退避機構を設ける必要がなくなり、退避機構を簡易化することができる。

【0017】

（第２実施形態）
図４（ａ）、図４（ｂ）、図５（ａ）、図５（ｂ）、図６（ａ）および図６（ｂ）は、第２実施形態に係る現像装置および現像方法の一例を示す斜視図である。
図４（ａ）、図４（ｂ）、図５（ａ）、図５（ｂ）、図６（ａ）および図６（ｂ）において、この現像装置には、図１（ａ）の現像装置のノズルガイド７および現像制御部１１の代わりにノズルガイド７´および現像制御部１１´が設けられている。また、この現像装置には、ガス１３ＣをウェハＷ上に噴出するガス噴出ノズル８Ｃが追加されている。なお、ガス１３Ｃは、例えば、窒素ガスを用いることができる。

【0018】

ノズルガイド７´には、ガイド部７Ｃおよびノズル駆動部１２Ｃが図１（ａ）のノズルガイド７に追加されている。ガイド部７Ｃは、リンスノズル８Ｂに隣接してウェハＷ上で走査できるようにガス噴出ノズル８Ｃを案内することができる。ノズル駆動部１２Ｃは、ガイド部７Ｃにて案内させながらガス噴出ノズル８Ｃを駆動する。なお、ガイド部７Ａ、７Ｂ、７Ｃは、互いに並列して直線状に設けることができる。ノズル駆動部１２Ｃは、ガス噴出ノズル８Ｃを直線状に移動させることができる。この時、動力部としてモータを用いた場合、モータの回転運動を直線運動に変換する変換機構を設けることができる。

【0019】

ここで、モータ６はアーム５を介してノズルガイド７´に接続されている。ガス噴出ノズル８Ｃは、ガス供給管９Ｃを介してガス給管部１０Ｃに接続されている。なお、ガス供給管９Ｃは、ガス噴出ノズル８Ｃの移動を妨げないように樹脂などの湾曲可能な材料で構成することができる。ガス給管部１０Ｃは、ガス１３Ｃを送り出したり止めたりするためのポンプやバルブなどがあってもよい。

【0020】

現像制御部１１´には、第３ノズル駆動制御部１１Ｇおよび第３供給制御部１１Ｈが図１（ａ）の現像制御部１１に追加されている。第３ノズル駆動制御部１１Ｇはノズル駆動部１２Ｃを駆動制御する。第３供給制御部１１Ｈはガス１３Ｃの供給を制御する。
ここで、第３ノズル駆動制御部１１Ｇは、ウェハＷ上にガス１３Ｃが供給されている時に走査開始位置から走査終了位置に移動するようにガス噴出ノズル８Ｃを駆動制御する。また、第３ノズル駆動制御部１１Ｇは、現像液ノズル８Ａの走査開始位置に現像液ノズル８Ａがある時にガス噴出ノズル８Ｃの走査開始位置にガス噴出ノズル８Ｃを移動させる。なお、ガス噴出ノズル８Ｃの走査開始位置は、ウェハＷの中央部とすることができる。ガス噴出ノズル８Ｃの走査終了位置はウェハＷの端部とすることができる。

【0021】

そして、図４（ａ）に示すように、モータ６を介してアーム５が駆動されることでノズルガイド７´がウェハホルダ３の外側に退避される。そして、レジスト膜Ｒが塗布されたウェハＷがウェハホルダ３上に置かれる。ここで、ノズルガイド７´がウェハホルダ３の外側に退避されている時に、ガイド部７Ａ、７Ｂ、７Ｃにそれぞれ沿って現像液ノズル８Ａ、リンスノズル８Ｂおよびガス噴出ノズル８Ｃを走査開始位置に移動させることができる。

【0022】

次に、図４（ｂ）に示すように、モータ６を介してアーム５が退避時と逆方向に駆動されることでノズルガイド７´がウェハＷ上に移動される。この時、現像液ノズル８Ａ、リンスノズル８Ｂおよびガス噴出ノズル８ＣがウェハＷの中央部に来るようにすることができる。

【0023】

次に、図５（ａ）および図５（ｂ）に示すように、モータ２を介してウェハホルダ３が回転されることでウェハＷが回転される。そして、リンスノズル８ＢがウェハＷの中央部で静止されたまま、現像液１３Ａが現像液ノズル８ＡからウェハＷ上に供給されながら現像液ノズル８Ａがガイド部７Ａに沿ってウェハＷの中央部から端部の方向に移動される。
ここで、現像液ノズル８ＡがウェハＷの端部に到達すると、現像液１３Ａが液跳ねする。この時、リンスノズル８Ｂおよびガス噴出ノズル８ＣをウェハＷの中央部で静止させたまま保持させることにより、液跳ねした現像液１３Ａがリンスノズル８Ｂおよびガス噴出ノズル８Ｃに付着するのを防止することができる。このため、リンスノズル８Ｂおよびガス噴出ノズル８ＣがウェハＷ上を走査される時に、リンスノズル８Ｂおよびガス噴出ノズル８Ｃから現像液１３ＡがウェハＷ上に落ちるのを防止することができ、ウェハＷ上でのパーティクルの発生を防止することができる。

【0024】

現像液ノズル８ＡがウェハＷの端部に到達すると、現像液１３Ａの供給が停止される。現像液１３ＡがウェハＷ上に供給されると、潜像が形成されたレジスト膜Ｒが現像される。この時、例えば、３０秒間だけ静止現像を行うことができる。

【0025】

次に、図６（ａ）および図６（ｂ）に示すように、リンス液１３Ｂがリンスノズル８ＢからウェハＷ上に供給されながらリンスノズル８Ｂがガイド部７Ｂに沿ってウェハＷの中央部から端部の方向に移動される。この時、ガス１３Ｃがガス噴出ノズル８ＣからウェハＷ上に供給されながらガス噴出ノズル８Ｃがガイド部７Ｃに沿ってウェハＷの中央部から端部の方向に移動される。

【0026】

リンスノズル８ＢがウェハＷの端部に到達すると、リンス液１３Ｂの供給が停止される。また、ガス噴出ノズル８ＣがウェハＷの端部に到達すると、ガス１３Ｃの供給が停止される。リンス液１３ＢがウェハＷ上に供給されると、ウェハＷ上の現像液１３Ａが流され、現像が停止される。また、リンス液１３Ｂの供給中にウェハＷが回転されることで振り切り乾燥される。また、ガス１３ＣをウェハＷ上に供給しながらリンス液１３ＢをウェハＷ上に供給することにより、現像時に溶解したレジスト膜Ｒを除去の効率化を図ることができる。

【0027】

ここで、現像液ノズル８Ａの走査開始位置に現像液ノズル８Ａがある時にリンスノズル８Ｂの走査開始位置にリンスノズル８Ｂおよびガス噴出ノズル８Ｃを移動させることにより、現像液ノズル８Ａが走査終了位置に到達した後に、リンスノズル８Ｂおよびガス噴出ノズル８Ｃを走査開始位置に移動させる必要がなくなる。このため、リンスノズル８Ｂおよびガス噴出ノズル８Ｃを走査開始位置に移動させるのに必要な時間を低減することができ、生産性を向上させることができる。
また、現像液ノズル８Ａ、リンスノズル８Ｂおよびガス噴出ノズル８Ｃを案内するノズルガイド７を設けることにより、現像液ノズル８Ａ、リンスノズル８Ｂおよびガス噴出ノズル８Ｃを一括して退避させることができる。このため、現像液ノズル８Ａ、リンスノズル８Ｂおよびガス噴出ノズル８Ｃに対して独立に退避機構を設ける必要がなくなり、退避機構を簡易化することができる。
なお、上述した第２実施形態では、現像液ノズル８Ａ、リンスノズル８Ｂおよびガス噴出ノズル８Ｃが独立して駆動される構成について説明したが、リンスノズル８Ｂおよびガス噴出ノズル８Ｃを一体化し、リンスノズル８Ｂおよびガス噴出ノズル８Ｃを一括して駆動するようにしてもよい。この場合、ガス噴出ノズル８Ｃを駆動する駆動機構を、リンスノズル８Ｂを駆動する駆動機構と別個に設ける必要がなくなり、駆動機構を簡易化することができる。

【0028】

（第３実施形態）
図７（ａ）、図７（ｂ）、図８（ａ）、図８（ｂ）、図９（ａ）および図９（ｂ）は、第２実施形態に係る現像装置および現像方法の一例を示す斜視図である。
図７（ａ）、図７（ｂ）、図８（ａ）、図８（ｂ）、図９（ａ）および図９（ｂ）において、この現像装置には、図１（ａ）の現像装置のノズルガイド７および現像制御部１１の代わりにノズルガイド７´´および現像制御部１１´´が設けられている。

【0029】

ノズルガイド７´´では、ガイド部７Ｂおよびノズル駆動部１２Ｂが図１（ａ）のノズルガイド７から除去されている。リンスノズル８Ｂは、現像液ノズル８Ａの走査開始位置に隣接してノズルガイド７´´に固定されている。例えば、ノズルガイド７´´がウェハＷ上に移動された時に、リンスノズル８ＢがウェハＷの中央部に来るようにノズルガイド７´´に固定することができる。モータ６はアーム５を介してノズルガイド７´´に接続されている。現像制御部１１´´では、第２ノズル駆動制御部１１Ｄが図１（ａ）の現像制御部１１から除去されている。

【0030】

そして、図７（ａ）に示すように、モータ６を介してアーム５が駆動されることでノズルガイド７´´がウェハホルダ３の外側に退避される。そして、レジスト膜Ｒが塗布されたウェハＷがウェハホルダ３上に置かれる。ここで、ノズルガイド７´´がウェハホルダ３の外側に退避されている時に、ガイド部７Ａに沿って現像液ノズル８Ａを走査開始位置に移動させることができる。

【0031】

次に、図７（ｂ）に示すように、モータ６を介してアーム５が退避時と逆方向に駆動されることでノズルガイド７´´がウェハＷ上に移動される。この時、現像液ノズル８ＡがウェハＷの中央部に来るようにすることができる。また、リンスノズル８Ｂは、ノズルガイド７´´に固定されたままウェハＷの中央部に来るようにすることができる。

【0032】

次に、図８（ａ）および図８（ｂ）に示すように、モータ２を介してウェハホルダ３が回転されることでウェハＷが回転される。そして、リンスノズル８ＢがウェハＷの中央部で固定されたまま、現像液１３Ａが現像液ノズル８ＡからウェハＷ上に供給されながら現像液ノズル８Ａがガイド部７Ａに沿ってウェハＷの中央部から端部の方向に移動される。
ここで、現像液ノズル８ＡがウェハＷの端部に到達すると、現像液１３Ａが液跳ねする。この時、リンスノズル８ＢをウェハＷの中央部で固定させたまま保持させることにより、液跳ねした現像液１３Ａがリンスノズル８Ｂに付着するのを防止することができる。このため、リンスノズル８Ｂからリンス液１３ＢがウェハＷ上に供給される時に、リンスノズル８Ｂから現像液１３ＡがウェハＷ上に落ちるのを防止することができ、ウェハＷ上でのパーティクルの発生を防止することができる。

【0033】

現像液ノズル８ＡがウェハＷの端部に到達すると、現像液１３Ａの供給が停止される。現像液１３ＡがウェハＷ上に供給されると、潜像が形成されたレジスト膜Ｒが現像される。この時、例えば、３０秒間だけ静止現像を行うことができる。

【0034】

次に、図９（ａ）および図９（ｂ）に示すように、リンスノズル８ＢがウェハＷの中央部に固定されたままリンス液１３Ｂがリンスノズル８ＢからウェハＷ上に供給される。リンス液１３Ｂが所定時間だけウェハＷ上に供給されると、リンス液１３Ｂの供給が停止される。リンス液１３ＢがウェハＷ上に供給されると、ウェハＷ上の現像液１３Ａが流され、現像が停止される。また、リンス液１３Ｂの供給中にウェハＷが回転されることで振り切り乾燥される。

【0035】

ここで、ノズルガイド７´´がウェハＷ上に移動された時に、リンスノズル８ＢがウェハＷの中央部に来るようにノズルガイド７´´に固定することにより、現像液ノズル８Ａが走査終了位置に到達した後に、リンスノズル８ＢをウェハＷの中央部に移動させる必要がなくなる。このため、リンスノズル８ＢをウェハＷの中央部に移動させるのに必要な時間を低減することができ、生産性を向上させることができる。
また、現像液ノズル８Ａおよびリンスノズル８Ｂを保持するノズルガイド７´´を設けることにより、現像液ノズル８Ａおよびリンスノズル８Ｂを一括して退避させることができる。このため、現像液ノズル８Ａおよびリンスノズル８Ｂに対して独立に退避機構を設ける必要がなくなり、退避機構を簡易化することができる。
また、リンスノズル８Ｂをノズルガイド７´´に固定することにより、リンスノズル８Ｂを駆動する駆動機構を設ける必要がなくなり、駆動機構を簡易化することができる。
なお、上述した第３実施形態では、リンスノズル８Ｂをノズルガイド７´´に固定する構成について説明したが、図４（ａ）のリンスノズル８Ｂおよびガス噴出ノズル８Ｃをノズルガイド７´に固定する構成であってもよい。

【0036】

（第４実施形態）
図１０（ａ）は、第４実施形態に係る現像液ノズルの駆動機構の概略構成を示す斜視図である。
図１０（ａ）において、この駆動機構には、現像液ノズル８Ａを保持するノズルホルダ２１、回転軸２２およびモータ２３が設けられている。ここで、回転軸２２には雄ネジを設け、ノズルホルダ２１には、回転軸２２の雄ネジとかみ合う雌ネジを設けることができる。現像液ノズル８Ａはノズルホルダ２１に固定されている。モータ２３は回転軸２２の一端に接続されている。回転軸２２は、その雄ネジがノズルホルダ２１とかみ合うようにノズルホルダ２１を貫通している。そして、モータ２３を回転させると、ノズルホルダ２１および回転軸２２を介して回転運動が直線運動に変換され、ノズルホルダ２１が回転軸２２に沿って直線運動する。このため、ノズルホルダ２１とともに現像液ノズル８Ａを直線運動させることができる。

【0037】

（第５実施形態）
図１０（ｂ）は、第５実施形態に係る現像液ノズルの駆動機構の概略構成を示す斜視図である。
図１０（ｂ）において、この駆動機構には、滑車３１、３２、支持軸３３、モータ３４およびベルト３５が設けられている。滑車３１は支持軸３３にて支持され、滑車３２はモータ３４に接続されている。ここで、ベルト３５は滑車３１、３２間に架け渡されている。現像液ノズル８Ａはベルト３５に固定されている。そして、モータ３３を回転させると、滑車３１、３２およびベルト３５を介して回転運動が直線運動に変換され、ベルト３５の移動に伴って現像液ノズル８Ａを直線運動させることができる。

【0038】

なお、図１０（ａ）および図１０（ｂ）の実施形態では、現像液ノズル８Ａの駆動機構を例に取ったが、リンスノズル８Ｂの駆動機構についても同様に構成することができる。また、図１０（ａ）または図１０（ｂ）の駆動機構はノズルガイド７、７´、７´´に取り付けることができる。この時、図１０（ａ）または図１０（ｂ）の駆動機構はノズルガイド７、７´、７´´に内蔵するようにしてもよいし、ノズルガイド７、７´、７´´の外部に固定するようにしてもよい。

【0039】

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

【符号の説明】

【0040】

１ 支持台、２、６ モータ、３ ウェハホルダ、４ カップ、５ アーム、７ ノズルガイド、７Ａ、７Ｂ ガイド部、８Ａ 現像液ノズル、８Ｂ リンスノズル、９Ａ 現像液供給管、９Ｂ リンス液供給管、１０Ａ 現像液供給管部、１０Ｂ リンス液供給管部、１１ 現像制御部、１１Ａ 回転制御部、１１Ｂ 退避制御部、１１Ｃ 第１ノズル駆動制御部、１１Ｄ 第２ノズル駆動制御部、１１Ｅ 第１供給制御部、１１Ｆ 第２供給制御部、１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ ノズル駆動部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】