特許 6235839 管内面の微細亀裂検査方法及び管内面の微細亀裂検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6235839

(24)【登録日】2017年11月2日

(45)【発行日】2017年11月22日

(54)【発明の名称】管内面の微細亀裂検査方法及び管内面の微細亀裂検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 29/07 20060101AFI20171113BHJP

【ＦＩ】

   G01N29/07

【請求項の数】4

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2013-188318(P2013-188318)

(22)【出願日】2013年9月11日

(65)【公開番号】特開2015-55526(P2015-55526A)

(43)【公開日】2015年3月23日

【審査請求日】2016年8月10日

(73)【特許権者】

【識別番号】000006208

【氏名又は名称】三菱重工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000785

【氏名又は名称】誠真ＩＰ特許業務法人

(72)【発明者】

【氏名】坂本 慶吾

(72)【発明者】

【氏名】上林 正和

(72)【発明者】

【氏名】山田 健治

(72)【発明者】

【氏名】市原 太郎

【審査官】 田中 秀直

(56)【参考文献】

【文献】 米国特許出願公開第２００９／０３０１１９８（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２００４−３４７５７２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１１／００４１６１２（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２００６−３２２９０２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−３０１５８０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｎ ２９／００−２９／５２

ＪＳＴＰｌｕｓ（ＪＤｒｅａｍＩＩＩ）

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

検査する管の外周面に設置された送信プローブからラム波を送信するとともに、前記管の外周面に前記送信プローブと所定の間隔を開けて設置された受信プローブから前記ラム波を受信する送受信工程と、
前記受信プローブが受信したラム波からＡ０モードの波のピークとＳ０モードの波のピークを特定するピーク特定工程と、
前記Ａ０モードの波のピークから前記Ｓ０モードの波のピークまでの間に第３のピークがあるか否かを検出するピーク検出工程と、
前記ピーク検出工程で前記第３のピークを検出した場合に前記管の内面に微細亀裂があると判定する判定工程と、
を有し、
前記ピーク検出工程は、
受信したラム波からＡ０モードの波のピークを特定するＡ０ピーク特定工程と、
前記Ａ０ピーク特定工程において特定されたＡ０モードの波のピークを基準に前記ラム波の包絡線を作成する包絡線作成工程と、
前記包絡線作成工程において作成された包絡線からＳ０モードの波のピークを特定するＳ０ピーク特定工程と、
を備えたことを特徴とする微細亀裂の検査方法。

【請求項2】

検査する管の外周面に設置された送信プローブと、
前記管の外周面に前記送信プローブと所定の間隔を開けて設置された受信プローブと、
前記送信プローブから前記受信プローブに向けてラム波を送信する送信手段と、
前記送信手段から送信されたラム波を前記受信プローブから受信する受信手段と、
前記受信手段が受信したラム波からＡ０モードの波のピークとＳ０モードの波のピークを特定するピーク特定手段と、
前記ピーク特定手段が特定したＡ０モードの波のピークからＳ０モードの波のピークまで間に第３のピークがあるか否かを検出するピーク検出手段と、
前記ピーク検出手段が前記第３のピークを検出した場合に前記管の内面に微細亀裂があると判定する判定手段と、
を備え、
前記ピーク特定手段は、
前記受信手段が受信したラム波からＡ０モードの波のピークを特定するＡ０ピーク特定手段と、
前記Ａ０ピーク特定手段が特定したＡ０モードの波のピークを基準に前記ラム波の包絡線を作成する包絡線作成手段と、
前記包絡線作成手段が作成した包絡線からＳ０モードの波のピークを特定するＳ０ピーク特定手段と、
を備えたことを特徴とする管内面の微細亀裂検査装置。

【請求項3】

前記所定の間隔は、前記判定手段が前記Ａ０モードの波のピークと前記Ｓ０モードの波のピークを特定可能な間隔であることを特徴とする請求項２に記載の管内面の微細亀裂検査装置。

【請求項4】

前記所定の間隔は、前記管の肉厚、前記ラム波の周波数により定めることを特徴とする請求項２又は３に記載の管内面の微細亀裂検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、管内面に生じた微細亀裂の検査が可能な管内面の微細亀裂検査方法及び管内面の微細亀裂検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ガイド波により管の外面や内面に生じた欠陥を検査する管の欠陥検査方法が広く知られている。
例えば、管の一端部に探蝕子を設け、探蝕子からガイド波を送信するとともに、欠陥で反射した反射波を探蝕子で受信するものが知られている。この方法によれば、管の肉厚の２０％以上の腐食減肉された欠陥（厚さ５ｍｍの管では深さ１ｍｍ以上の欠陥）や、管の肉厚の５０％以上の亀裂欠陥（クラック）（厚さ５ｍｍの管では深さ２．５ｍｍ以上の欠陥）を検出できる（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００５−１００５５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載された欠陥検査方法では、深さ３００μｍの微細亀裂を検出することができない。
また、管の外周から管の中心に向けて超音波を送信するとともに、管の内周面で反射した超音波を受信するものが知られている。この方法では、微細亀裂で反射した超音波は管の内周面で反射した超音波に紛れ、微細亀裂で反射した超音波だけを抽出することができない。これにより、深さ３００μｍの微細亀裂を検出することはできない。
したがって、検査する管の一部を切り出して管の軸方向に切断することにより、管に微細亀裂が生じているか否かを確かめるしかなかった。
本発明は、上記実情を鑑みて、検査する管を切断しなくても管の内面に生じた微細亀裂の検出が可能な管内面の微細亀裂検査方法及び管内面の微細亀裂検査装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明は、検査する管の外周面に設置された送信プローブからラム波を送信するとともに、前記管の外周面に前記送信プローブと所定の間隔を開けて設置された受信プローブから前記ラム波を受信する送受信工程と、前記受信プローブが受信したラム波からＡ０モードの波のピークとＳ０モードの波のピークを特定するピーク特定工程と、前記Ａ０モードの波のピークから前記Ｓ０モードの波のピークまでの間に第３のピークがあるか否かを検出するピーク検出工程と、前記ピーク検出工程で前記第３のピークを検出した場合に前記管の内面に微細亀裂があると判定する判定工程と、を有することを特徴とする。
本発明によれば、Ａ０モードの波のピークからＳ０モードの波のピークまでの間に第３のピークを検出した場合に管の内面に微細亀裂があると判定する。これにより、検査する管を切断しなくても管の内面に微細亀裂があるか否かを判定できる。

【0006】

本発明は、検査する管の外周面に設置された送信プローブと、前記管の外周面に前記送信プローブと所定の間隔を開けて設置された受信プローブと、前記送信プローブから前記受信プローブに向けてラム波を送信する送信手段と、前記送信手段から送信されたラム波を前記受信プローブから受信する受信手段と、前記受信手段が受信したラム波からＡ０モードの波のピークとＳ０モードの波のピークを特定するピーク特定手段と、前記ピーク特定手段が特定したＡ０モードの波のピークからＳ０モードの波のピークまでの間に第３のピークがあるか否かを検出するピーク検出手段と、前記ピーク検出手段が前記第３のピークを検出した場合に前記管の内面に微細亀裂があると判定する判定手段と、を備えたことを特徴とする。
本発明によれば、Ａ０モードの波のピークからＳ０モードの波のピークまで間に第３のピークを検出した場合に管の内面に微細亀裂があると判定する。これにより、検査する管を切断しなくても管の内面に微細亀裂があるか否かを判定できる。

【0007】

本発明の一態様では、前記ピーク特定手段は、前記受信手段が受信したラム波からＡ０モードの波のピークを特定するＡ０ピーク特定手段と、前記Ａ０ピーク特定手段が特定したＡ０モードの波のピークを基準に前記ラム波の包絡線を作成する包絡線作成手段と、前記包絡線作成手段が作成した包絡線からＳ０モードの波のピークを特定するＳ０ピーク特定手段と、を備えることが好ましい。
このようにすれば、Ａ０モードの波のピークとＳ０モードの波のピークを簡単に検出できる。

【0008】

本発明の一態様では、前記所定の間隔は、前記判定手段が前記Ａ０モードの波のピークと前記Ｓ０モードの波のピークを特定可能な間隔であることが好ましい。
このようにすれば、Ａ０モードの波のピークとＳ０モードの波のピークとを確実に特定できる。

【0009】

本発明の一態様では、前記所定の間隔は、前記管の肉厚、前記ラム波の周波数により定めることが好ましい。
このようにすれば、管の肉厚、ラム波の周波数により、所定の間隔を定めることができる。

【発明の効果】

【0010】

以上説明したように、本発明によれば、Ａ０モードの波のピークからＳ０モードの波のピークまでの間に第３のピークを検出した場合に管の内面に微細亀裂があると判定するので、検査する管を切断しなくても管の内面に微細亀裂があるか否かを判定できる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本発明の実施の形態である管内面の微細亀裂検査装置の概要を示す模式図である。

【図2】図１に示した管内面の微細亀裂検査装置の制御構成を示すブロック図である。

【図3】送信プローブから送信するラム波の周波数を決定するための分散曲線を示す図である。

【図4】送信プローブから送信するラム波の周波数や管肉厚が変わった場合に測定に適した送信プローブから受信プローブまでの距離を示す図である。

【図5】図１に示した微細亀裂検査装置の制御手順を示すフローチャートである。

【図6】受信手段が受信した波形を示す図であって、微細亀裂がない管の波形を示すものである。

【図7】受信手段が受信した波形を示す図であって、微細亀裂がある管の波形を示すものである。

【図8】サンプル管の断面を示す図である。

【図9】サンプル管の検査に際して受信手段が受信した波形を示す図である。

【図10】サンプル管からスケールを取り除いた状態を示す図である。

【図11】サンプル管の検査に際してＡモードの波のピーク及び第３のピークの変遷を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下に添付図面を参照して、本発明に係る管内面の微細亀裂検査方法及び管内面の微細亀裂検査装置の好適な実施の形態を詳細に説明する。尚、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。

【0013】

図１は、本発明の実施の形態である管内面の微細亀裂検査装置を示す概念図であり、図２は、図１に示した管内面の微細亀裂検査装置の制御構成を示すブロック図である。
図１に示すように、管内面の微細亀裂検査装置は、装置本体２、送信プローブ３、受信プローブ４を備えて構成される。装置本体２は、図２に示すように、入力手段２１、設定手段２２、送信手段２３、受信手段２４、表示手段２５、判定手段２６、制御手段２７を備えている。

【0014】

入力手段２１は、装置本体２に、各種設定値を入力し、各種指示を与えるためのもので、テンキー２１１、スタートキー２１２等の各種のキーを有している。設定手段２２は、微細亀裂の検査に用いるラム波の周波数等を設定するためのもので、テンキー２１１等から入力された周波数を検査に用いるラム波の周波数に設定する。設定するラム波の周波数は、ラム波から分散されるＡ０モードとＳ０モードの波に十分な速度差があり、受信手段２４においてＡ０モードとＳ０モードの波が特定可能なものである。送信手段２３は、設定手段２２に設定された周波数のラム波を生成し、送信するためのもので、送信プローブ３が接続される接続端子２３１を備えている。受信手段２４は、送信手段２３から送信されたラム波を受信するためのもので、受信プローブ４が接続される接続端子２４１を備えている。表示手段２５は、受信手段２４が受信した波を表示器２５１に表示するためのもので、表示器２５１には、時間軸を表示する横軸と振幅を表示する縦軸とを表示する。判定手段２６は、管Ｔの内面に微細亀裂があるか否かを判定するためのもので、Ａ０ピーク特定手段２６１、包絡線作成手段２６２、Ｓ０ピーク特定手段２６３、ピーク検出手段２６４を備えている。

【0015】

Ａ０ピーク特定手段２６１は、受信手段２４が受信したラム波からＡ０モードの波のピークＰＡ（図６（ａ）参照）を特定するためのもので、受信手段２４が受信したラム波のピーク、すなわち、最も大きな振幅をＡ０モードの波のピークＰＡとする。包絡線作成手段２６２は、受信手段２４が受信したラム波の包絡線Ｅ（図６（ｂ）参照）を作成するためのもので、Ａ０ピーク特定手段２６１が特定したＡ０モードの波のピークＰＡを基準にラム波の包絡線Ｅを作成する。Ｓ０ピーク特定手段２６３は、受信手段２４が受信したラム波からＳ０モードの波のピークを特定するためもので、包絡線作成手段２６２が作成した包絡線Ｅにおいて所定のタイミング（Ｓ０モードの波の到達が予想されるタイミング）で再度大きくなった振幅をＳ０モードの波のピークＰＳ（図６（ｂ）参照）とする。ピーク検出手段２６４は、Ａ０モードの波のピークＰＡからＳ０モードの波のピークＰＳまでの間に第３のピークＰＣ（図７（ｂ）参照）があるか否かを検出するためのものである。そして、判定手段２６は、図７（ｂ）に示すように、ピーク検出手段２６４が第３のピークＰＣを検出した場合に管Ｔの内面に微細亀裂があると判定する一方、図６（ａ）に示すように、ピーク検出手段２６４が第３のピークを検出しない場合に管Ｔの内面に微細亀裂がないと判定する。

【0016】

制御手段２７は、上述した入力手段２１、設定手段２２、送信手段２３、受信手段２４、表示手段２５、判定手段２６を統括的に制御するためのものである。具体的には、送信手段２３にラム波を送信させるとともに、受信手段２４に送信手段２３から送信させたラム波を受信させる。また、受信手段２４に受信したラム波を表示手段２５に表示させる。さらに、判定手段２６に微細亀裂があるか否かを検出させる。

【0017】

送信プローブ３は、送信手段２３で生成されたラム波を送信するためのもので、送信手段２３に備えた接続端子２３１に接続され、図１に示すように、検査する管Ｔの外周面、検査する領域の一方側に設置される。具体的には、ラム波の送信方向が管Ｔの中心を通る軸線Ｏと平行となるように設置される。

【0018】

受信プローブ４は、受信手段２４にラム波を受信するためのもので、図２に示すように、受信手段２４に備えた接続端子２４１に接続される。具体的には、図１に示すように、検査する管Ｔの外周面、検査する領域の他方側に、受信方向が送信プローブ３の送信方向と一致するように、かつ、送信プローブ３から所定の間隔を開けて設置する。所定の間隔（送信プローブ３と受信プローブ４の間隔）は、Ａ０モードの波のピークＰＡ（図６及び図７参照）とＳ０モードの波のピークＰＳ（図６及び図７参照）とが特定できる間隔とする。

【0019】

上述した微細亀裂検査装置を用いて管Ｔの内面の微細亀裂を検査する場合には、まず、管Ｔを検査する者（以下、「検査者」という）が超音波肉厚計（図示せず）を用いて、検査する管Ｔの肉厚を計測する。これにより、検査する管Ｔの肉厚が特定される。次に、検査者は、送信手段２３が送信するラム波の周波数、送信プローブ３と受信プローブ４との間隔（プローブ間距離）を決定する。送信手段２３が送信するラム波の周波数は、図３に示す分散曲線に基づいて決定する。分散曲線は、ラム波の周波数と、ラム波から分散したＡ０モード、Ｓ０モードの波の速度との関係を示したものであり、Ａ０モードとＳ０モードに波の速度差が生じるラム波の周波数を送信手段２３が送信するラム波の周波数に決定する。また、プローブ間距離は、図４に示されたＡ０モードとＳ０モードの波の到達時間差に基づいて決定する。具体的には、Ａ０モードとＳ０モードの波の到達時間差が所定時間になるように決定する。

【0020】

ここでは、図４に示すように、検査する管Ｔの肉厚を５ｍｍ、ラム波の周波数を１．０ＭＨｚ、プローブ間距離を３００ｍｍとしたものを基本条件とし、他の肉厚では、Ａ０モードとＳ０モードの波の到達時間差が基本条件と同じになるように、ラム波の周波数、プローブ間距離を決定する。

【0021】

尚、ラム波の周波数は、基本条件により定まるものに限られず、図３に示すように、検査する管Ｔの肉厚が５ｍｍの場合に、ラム波の周波数を０．８〜１．２ＭＨｚ、好ましくは、０．９〜１．１ＭＨｚの範囲で任意に設定可能である。また、検査する管Ｔの肉厚が６．５ｍｍの場合に、ラム波の周波数を０．７〜１．２ＭＨｚ、好ましくは図４に示すように、０．７〜１．０の範囲で任意に設定可能である。さらに、図３に示すように、検査する管Ｔの肉厚が４．５ｍｍの場合に、ラム波の周波数を０．９〜１．２ｍｍ、好ましくは図４に示すように、１．０〜１．２ＭＨｚの範囲で任意に設定可能である。同様に、プローブ間距離は、基本条件により定まるものに限られず、Ａ０モードとＳ０モードの波の到達時間差が一定以上得られるものであれば任意に設定可能である。

【0022】

次に、検査者は、送信プローブ３と受信プローブ４を検査する管Ｔの外周面に設置する。具体的には、送信プローブ３を検査する領域の一方側に、ラム波の送信方向が管Ｔの中心を通る軸線Ｏと平行となるように設置し、受信プローブ４を検査する領域の他方側に、受信方向が送信プローブ３の送信方向と一致するように、かつ、送信プローブ３から決定したプローブ間距離を開けて設置する。

【0023】

次に、図５に示すように、検査者は、テンキー２１１等を用いて決定したラム波の周波数を装置本体（設定手段２２）に設定する（ステップＳ１：Ｙｅｓ）。次に、検査者は、スタートキー２１２等を用いて装置本体（制御手段２７）に検査開始を指示する（ステップＳ２：Ｙｅｓ）。すると、装置本体（制御手段２７）は、送信手段２３と受信手段２４に検査開始の指示を与える。制御手段２７から検査開始の指示を与えられた送信手段２３は、設定された所定周波数のラム波を生成し、所定長さのラム波を送信する（ステップＳ３）。これにより、所定周波数のラム波が送信プローブ３から受信プローブ４に向けて送信される。送信された所定周波数のラム波は、検査対象となる領域（管Ｔ）を伝播する際に分散される。一方、制御手段２７から検査開始の指示を与えられた受信手段２４は、ラム波の受信を開始する。これにより、受信手段２４は所定長さのラム波を受信プローブ４から受信する（ステップＳ４）。受信手段２４が受信するラム波は、検査対象となる管Ｔを伝播する際に分散されたもので、Ａ０モードの波とＳ０モードの波で構成される。Ａ０モードの波は、Ｓ０モードの波よりも振幅が大きくＳ０モードの波よりも早く受信手段２４に到達し、Ｓ０モードの波は、Ａ０モードの波よりも振幅が小さくＡ０モードの波よりも遅く受信手段２４に到達する。

【0024】

受信手段２４が所定長さのラム波を受信すると、制御手段２７は、表示手段２５に波形表示の指示を与えるとともに、判定手段２６に微細亀裂の有無判定の指示を与える。制御手段２７から波形表示の指示を与えられた表示手段２５は、受信手段２４が受信した所定長さのラム波（図６（ａ），図７（ａ）参照）を表示器２５１に表示する（ステップＳ５）。

【0025】

一方、制御手段２７から微細亀裂の有無判定の指示を与えられた判定手段２６は、まず、Ａ０ピーク特定手段２６１にピーク特定の指示を与える。ピーク特定の指示が与えられたＡ０ピーク特定手段２６１は、受信手段２４が受信したラム波からＡ０モードの波のピークＰＡを特定する（ステップＳ６）。尚、上述したように、Ａ０モードの波は、受信手段２４が受信した波の中で最も大きな振幅をＡ０モードの波のピークＰＡとする。

【0026】

Ａ０モードの波のピークＰＡが特定されると、判定手段２６は、包絡線作成手段２６２に包絡線作成の指示を与える。包絡線作成の指示が与えられた包絡線作成手段２６２は、Ａ０ピーク特定手段２６１が特定したＡ０モードの波のピークＰＡを基準にラム波の包絡線Ｅ（図６（ｂ）、図７（ｂ）参照）を作成する（ステップＳ７）。

【0027】

包絡線Ｅが作成されると、判定手段２６は、Ｓ０ピーク特定手段２６３にピーク特定の指示を与える。ピーク特定の指示が与えられたＳ０ピーク特定手段２６３は、Ｓ０モードの波のピークＰＳを特定する（ステップＳ８）。尚、上述したように、Ｓ０モードの波は、包絡線作成手段２６２が作成した包絡線Ｅにおいて所定タイミング（Ｓ０モードの波の到達が予想されるタイミング）で再度大きくなった振幅をＳＯモードの波のピークＰＳとする。

【0028】

Ｓ０モードの波のピークＰＳが特定されると、判定手段２６は、ピーク検出手段２６４にピーク検出の指示を与える。ピーク検出の指示が与えられたピーク検出手段２６４は、Ａ０モードの波のピークＰＡとＳ０モードの波のピークＰＳとの間に第３のピークＰＣ（図７（ｂ）参照）があるか否かを検出する（ステップＳ９）。

【0029】

図７に示すように、ピーク検出手段２６４が第３のピークＰＣを検出すると、判定手段２６は、管Ｔの内面に微細亀裂があると判定する（ステップＳ１０：Ｙｅｓ）。一方、図６に示すように、ピーク検出手段２６４が第３のピークＰＣを検出しないと、判定手段２６は、管Ｔの内面に微細亀裂がないと判定する（ステップＳ１０：ＮＯ）。

【0030】

サンプル管で上述した微細亀裂検査方法を検証する。サンプル管は、ガスボイラの配管に使われていたもので、外径が２８．６ｍｍ、肉厚５．３ｍｍでサンプル管の内面にスケールの蓄積と微細亀裂が認められる。また、サンプル管は、検証に際して軸方向に半割にする。

【0031】

また、検証に際して、ラム波の周波数を１．０ＭＨｚ、プローブ間距離を３００ｍｍとする。サンプル管を半割にした状態では、図８に示すように、スケール（ポーラススケール及び緻密スケール）の蓄積と微細亀裂Ｃが認められる。また、微細亀裂Ｃの深さは、２７２μｍである。

【0032】

まず、図８に示すように、スケールの蓄積と微細亀裂が認められる状態で、送信手段２３にラム波を送信させるとともに、受信手段２４にラム波を受信させる。この状態で受信手段が受信したラム波には、図９（ａ）に示すように、Ａ０モードの波のピークＰＡとＳ０モードの波のピークＰＳとの間に第３のピークＰＣが認められる。

【0033】

次に、図１０に示すように、歯ブラシ等でスケールを除去し、微細亀裂Ｃが認められる状態で、送信手段２３にラム波を送信させるとともに、受信手段２４にラム波を受信させる。この状態で受信手段２４が受信したラム波にも、図９（ｂ）に示すように、Ａ０モードの波のピークＰＡとＳ０モードの波のピークＰＳとの間に第３のピークＰＣが認められる。

【0034】

次に、グラインダ等で微細亀裂を除去した状態で、送信手段２３にラム波を送信させるとともに、受信手段２４にラム波を受信させる。この状態で受信手段２４が受信したラム波には、図９（ｃ）に示すように、Ａ０モードの波のピークＰＡとＳ０モードの波のピークＰＳとの間に第３のピークＰＣは認められない。

【0035】

以上により、管の内面に微細亀裂がある場合にＡ０モードの波のピークＰＡとＳ０モードの波のピークＰＳとの間に第３のピークＰＣが認められることが検証される。

【0036】

尚、図１１に示すように、Ａ０モードの波のピークＰＡの振幅は、スケールによる減衰が１５％程度認められ、微細亀裂による減衰が３０％程度認められる。これにより、Ａ０モードの波のピークＰＡの振幅の減衰は、スケールの蓄積、微細亀裂の有無を検査する際に補助的な指標にできる。

【0037】

また、図１１に示すように、第３のピークＰＣの振幅は、スケールによる減衰が５％程度認められる。これにより、第３のピークＰＣの振幅の減衰は、スケールの蓄積を検査する際に補助的な指標にできる。

【0038】

上述した本発明の実施の形態である微細亀裂検査装置は、受信手段２４が受信したラム波からＡ０モードの波のピークＰＡとＳ０モードの波のピークＰＳを特定し、Ａ０モードの波のピークＰＡからＳ０モードの波のピークＰＳまでの間に第３のピークＰＣを検出した場合に管Ｔの内面に微細亀裂があると判定するので、検査する管Ｔを切断しなくても管Ｔの内面に微細亀裂があるか否かを判定できる

【0039】

また、Ａ０モードの波のピークＰＡを基準に作成したラム波の包絡線ＥからＳ０モードの波のピークＰＳを特定し、Ａ０モードの波のピークＰＡからＳ０モードの波のピークＰＳまでの間に第３のピークＰＣがあるか否かを検出するので、Ａ０モードの波のピークＰＡからＳ０モードの波のピークＰＳまでの間に第３のピークＰＣがあるか否かを簡単に検出できる。

【0040】

また、送信プローブ３と受信プローブ４との間隔は、Ａ０モードの波のピークＰＡとＳ０モードの波のピークＰＳを特定可能な間隔であるので、Ａ０モードの波のピークＰＡとＳ０モードの波のピークＰＳとを確実に特定できる。

【0041】

また、送信プローブ３と受信プローブ４との間隔は、検査する管Ｔの肉厚、ラム波の周波数により定めるので、管Ｔの肉厚、ラム波の周波数により、所定の間隔を定めることができる。

【0042】

また、本発明の実施の形態である微細亀裂の検査方法は、受信プローブ４が受信したラム波からＡ０モードの波のピークＰＡとＳ０モードの波のピークＰＳを特定し、Ａ０モードの波のピークＰＡからＳ０モードの波のピークＰＳまでの間に第３のピークＰＣを検出した場合に管Ｔの内面に微細亀裂があると判定するので、検査する管Ｔを切断しなくても管Ｔの内面に微細亀裂があるか否かを判定できる。

【産業上の利用可能性】

【0043】

以上説明したように、本発明は、管を破壊することなく、管の内面の微細亀裂の有無を検出できるので、ガスプラント等のプラントを構成する各種配管の管の内面の微細亀裂の有無の検査に好適である。

【符号の説明】

【0044】

２ 装置本体
２１ 入力手段
２１１ テンキー
２１２ スタートキー
２２ 設定手段
２３ 送信手段
２３１ 接続端子
２４ 受信手段
２４１ 接続端子
２５ 表示手段
２５１ 表示器
２６ 判定手段
２６１ Ａ０ピーク特定手段（ピーク特定手段）
２６２ 包絡線作成手段
２６３ Ｓ０ピーク特定手段（ピーク特定手段）
２６４ ピーク検出手段
２７ 制御手段
３ 送信プローブ
４ 受信プローブ
Ｔ 管
Ｏ 軸線
Ｃ 微細亀裂
ＰＡ Ａ０モードの波のピーク
Ｅ 包絡線
ＰＳ Ｓ０モードの波のピーク
ＰＣ 第３のピーク

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】