特許6236520能動掃気プレチャンバ

発明の名称　能動掃気プレチャンバ

出願人　プロメテウス　アプライド　テクノロジーズ，エルエルシー　（識別番号 513159376）

　　　　特許公開件数ランキング 4875 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 11941 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6236520

公報発行日　2017年11月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6236520

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