特許6237182樹脂組成物、レジストパターン形成方法、重合体及び化合物

発明の名称　樹脂組成物、レジストパターン形成方法、重合体及び化合物

出願人　ＪＳＲ株式会社　（識別番号 4178）

　　　　特許公開件数ランキング 2060 位（10件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1326 位（13件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6237182

公報発行日　2017年11月29

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6237182

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