特許6239364真空チャック装置および同真空チャック装置を備えた立形精密加工機並びにダイシング装置

発明の名称　真空チャック装置および同真空チャック装置を備えた立形精密加工機並びにダイシング装置

出願人　東芝機械株式会社　（識別番号 3458）

　　　　特許公開件数ランキング 723 位（33件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 644 位（33件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6239364

公報発行日　2017年11月29

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6239364

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