特許 6240693 ＤＣＤＣコンバータ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6240693

(24)【登録日】2017年11月10日

(45)【発行日】2017年11月29日

(54)【発明の名称】ＤＣＤＣコンバータ

(51)【国際特許分類】

   H03F 3/217 20060101AFI20171120BHJP

   H01L 29/786 20060101ALI20171120BHJP

   H02M 3/155 20060101ALI20171120BHJP

   H01L 21/822 20060101ALI20171120BHJP

   H01L 27/04 20060101ALI20171120BHJP

   H01L 21/336 20060101ALI20171120BHJP

【ＦＩ】

   H03F3/217

   H01L29/78 613Z

   H02M3/155 P

   H01L29/78 618B

   H01L29/78 620

   H01L27/04 B

   H01L29/78 627F

【請求項の数】2

【全頁数】23

(21)【出願番号】特願2016-27700(P2016-27700)

(22)【出願日】2016年2月17日

(62)【分割の表示】特願2012-99396(P2012-99396)の分割

【原出願日】2012年4月25日

(65)【公開番号】特開2016-149771(P2016-149771A)

(43)【公開日】2016年8月18日

【審査請求日】2016年2月17日

(31)【優先権主張番号】特願2011-102549(P2011-102549)

(32)【優先日】2011年4月29日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000153878

【氏名又は名称】株式会社半導体エネルギー研究所

(72)【発明者】

【氏名】渡邉 一徳

【審査官】 緒方 寿彦

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００２−３００４７９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−２５２１８５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平８−３４０６６９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−３４１７９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−２８２３７２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−０８６９２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１４１２３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−１０９６１０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−０９４５７２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０３Ｆ ３／２１７

Ｈ０２Ｍ ３／１５５

Ｈ０１Ｌ ２１／３３６

Ｈ０１Ｌ ２１／８２２

Ｈ０１Ｌ ２７／０４

Ｈ０１Ｌ ２９／７８６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

電力変換部と、出力検出部と、制御回路と、を有し、
前記電力変換部は、スイッチを有し、
前記制御回路は、半導体装置と、パルス幅変調器と、を有し、
前記半導体装置は、アンプと、トランジスタと、容量素子と、を有し、
前記電力変化部が出力する電圧は、前記出力検出部において抵抗分圧され、
前記アンプの第１の入力端子は、前記抵抗分圧された前記電圧が第１の信号として入力され、
前記アンプの第２の入力端子は、参照電圧が第２の信号として入力され、
前記アンプの出力端子は、前記トランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
前記トランジスタのソース又はドレインの他方は、前記容量素子と電気的に接続され、
前記トランジスタは、酸化物半導体層にチャネル形成領域を有することを特徴とするＤＣＤＣコンバータ。

【請求項2】

請求項１において、
前記酸化物半導体層は、結晶を有し、
前記結晶は、前記酸化物半導体層の表面に概略垂直なｃ軸配向を有することを特徴とするＤＣＤＣコンバータ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、２つの信号の誤差を増幅して出力する半導体装置及びその駆動方法に関する
。特に、当該半導体装置が動作を停止する機能（スタンバイ機能）を有する半導体装置及
びその駆動方法に関する。なお、本明細書において、半導体装置とは、半導体特性を利用
して動作する全ての装置を指すこととする。

【背景技術】

【0002】

環境意識の高まりから、各種半導体装置の消費電力を低減することが求められている。
例えば、特許文献１では、パルス幅変調回路を有する多周波スイッチング電源（パルス幅
変調（ＰＷＭ）方式によって制御される電源回路）の消費電力を低減する技術が開示され
ている。具体的には、当該電源は、通常動作状態であるか待機（スタンバイ）状態である
かによってパルス幅変調回路に供給されるクロック信号の周波数を変化させることで消費
電力の低減を図っている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００１−８６７３９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、２つの電位の誤差を増幅して出力する半導体装置（いわゆる誤差増幅器）が
知られている。誤差増幅器には、目的に応じて多様な用途が存在する。例えば、誤差増幅
器を用いて、上述のパルス幅変調方式によって制御される電源回路を構成することが可能
である。

【0005】

図１０は、当該電源回路が有するＤＣＤＣコンバータの構成例を示す図である。図１０
に示すＤＣＤＣコンバータは、電力変換部１と、出力検出部２と、制御回路部３とを有す
る。ここで、図１０に示す電源回路は、外部から電力変換部１に入力される直流電圧（Ｖ
ｉｎ）を直流電圧（Ｖｏｕｔ）へと変換するＤＣＤＣコンバータである。なお、出力検出
部２は、直流電圧（Ｖｏｕｔ）を基にフィードバック信号を検出する機能を有する。また
、制御回路部３は、当該フィードバック信号に応じて電力変換部１における電力変換を制
御する機能を有する。

【0006】

具体的には、電力変換部１は、スイッチ１１と、ダイオード１２と、インダクタ１３と
、キャパシタ１４とを有する。なお、スイッチ１１の一方の端子は、直流電圧（Ｖｉｎ）
が入力される端子に電気的に接続されている。また、ダイオード１２のアノードは接地電
位が入力される端子に電気的に接続され、カソードはスイッチ１１の他方の端子に電気的
に接続されている。また、インダクタ１３の一端はスイッチ１１の他方の端子及びダイオ
ード１２のカソードに電気的に接続され、他端は直流電圧（Ｖｏｕｔ）を出力する端子に
電気的に接続されている。また、キャパシタ１４の一方の電極は直流電圧（Ｖｏｕｔ）を
出力する端子に電気的に接続され、他方の電極は接地電位が入力される端子に電気的に接
続されている。

【0007】

出力検出部２は、抵抗２１と、抵抗２２とを有する。なお、抵抗２１の一端は、直流電
圧（Ｖｏｕｔ）を出力する端子に電気的に接続されている。また、抵抗２２の一端は抵抗
２１の他端に電気的に接続され、他端は接地電位が入力される端子に電気的に接続されて
いる。

【0008】

制御回路部３は、誤差増幅器３１と、パルス幅変調器３２と、スイッチ駆動回路３３と
、参照電圧発生器３４とを有する。そして、誤差増幅器３１は、トランスコンダクタンス
アンプ３１１と、キャパシタ３１２とを有する。また、パルス幅変調器３２は、比較器３
２１と、三角波発振器３２２とを有する。

【0009】

なお、トランスコンダクタンスアンプ３１１の反転入力端子（−）は抵抗２１の他端及
び抵抗２２の一端に電気的に接続され、非反転入力端子（＋）は参照電圧発生器３４が参
照電圧（Ｖｒｅｆ）を供給する配線に電気的に接続されている。また、キャパシタ３１２
の一方の電極はトランスコンダクタンスアンプ３１１の出力端子に電気的に接続され、他
方の電極は接地されている。また、比較器３２１の非反転入力端子（＋）はトランスコン
ダクタンスアンプ３１１の出力端子及びキャパシタ３１２の一方の電極に電気的に接続さ
れ、反転入力端子（−）は三角波発振器３２２が三角波を供給する配線に電気的に接続さ
れている。また、スイッチ駆動回路３３の入力端子は比較器３２１の出力端子に電気的に
接続されている。また、スイッチ駆動回路３３の出力信号によって、スイッチ１１のスイ
ッチングが制御される。

【0010】

次いで、図１０に示すＤＣＤＣコンバータの動作について以下に詳述する。

【0011】

電力変換部１が出力する直流電圧（Ｖｏｕｔ）は、外部に存在する負荷に対して供給さ
れると共に出力検出部２が有する抵抗２１、２２によって抵抗分圧される。当該抵抗分圧
された電圧は、フィードバック信号として制御回路部３が有する誤差増幅器３１に入力さ
れる。誤差増幅器３１では、当該フィードバック信号と参照電圧の誤差を増幅して誤差信
号として出力する。当該誤差信号は、パルス幅変調器３２が有する比較器３２１に入力さ
れる。比較器３２１は、当該誤差信号と三角波の比較を基にして２値の信号を出力する。
当該２値の信号は、スイッチ駆動回路３３を介してスイッチ１１のスイッチングを制御す
る信号となる。電力変換部１では、スイッチ１１によって直流電圧（Ｖｉｎ）が供給され
るか否かが選択される。すなわち、スイッチ１１がオン状態となるデューティー比によっ
て、電力変換部１に供給される電力が制御される。

【0012】

端的に述べると、図１０に示すＤＣＤＣコンバータは、パルス幅変調方式を利用したフ
ィードバック制御によって制御されるＤＣＤＣコンバータ（いわゆるパルス幅変調方式に
よって制御される降圧型ＤＣＤＣコンバータ）である。

【0013】

図１０に示すＤＣＤＣコンバータにおいては、直流電圧（Ｖｉｎ）又は直流電圧（Ｖｏ
ｕｔ）が供給される負荷のインピーダンスなどの変動に伴う直流電圧（Ｖｏｕｔ）の変動
に対し、直流電圧（Ｖｏｕｔ）が一定となるように、制御回路部３においてスイッチ１１
がオン状態となるデューティー比が制御される。具体的には、当該変動が生じた場合には
、フィードバック信号が変動することになる。これにより、フィードバック信号と参照電
圧に誤差が生じ、当該誤差に応じたトランスコンダクタンスアンプ３１１の出力電流によ
ってキャパシタ３１２の充放電が生じる。そして、当該充放電によって誤差信号が変動す
る。その結果、比較器３２１が出力する２値の信号のデューティー比が変動することで、
スイッチ１１がオン状態となるデューティー比が制御される。

【0014】

なお、この動作によりフィードバック信号が参照電圧と等しくなるように制御され、等
しくなった時に当該動作は終了する。すなわち、当該動作は、キャパシタ３１２の充放電
が収束し、誤差増幅器３１が出力する誤差信号が固定される（定常状態となる）ことによ
って終了する。

【0015】

ここで、図１０に示すＤＣＤＣコンバータにおいて消費電力の低減を図るためには、誤
差増幅器３１などにスタンバイ機能を付加することが効果的である。ただし、誤差増幅器
３１をスタンバイ状態とした場合、キャパシタ３１２の一方の電極に保持された電荷がト
ランスコンダクタンスアンプ３１１を介して消失する（固定された誤差信号が消失する）
。よって、誤差増幅器３１がスタンバイ状態から復帰した際には、フィードバック信号と
参照電圧が等しくなるまでキャパシタ３１２に対する充放電が行われる。その結果、直流
電圧（Ｖｏｕｔ）が所望の値となるまでに動作の遅延が発生する。他方、当該遅延は、図
１０に示すＤＣＤＣコンバータにおいてキャパシタ３１２の保持容量を低減する又はキャ
パシタ３１２を削除すれば発生しない。ただし、キャパシタ３１２はフィードバック制御
における位相補償の役割を果たしている。そのため、キャパシタ３１２の保持容量の低減
などを行う場合には、ＤＣＤＣコンバータの出力が発振する蓋然性が高くなる。

【0016】

以上の内容が本発明の一態様が解決しようとする課題の一例である。端的に述べると、
本発明の一態様は、２つの電位の誤差を増幅して出力する半導体装置におけるスタンバイ
状態からの復帰に際して生じる動作遅延を抑制することを課題の一とする。

【課題を解決するための手段】

【0017】

本発明の一態様の半導体装置は、チャネルが酸化物半導体層に形成されるトランジスタ
によって、トランスコンダクタンスアンプの出力端子とキャパシタの一方の電極の電気的
な接続を制御することを要旨とする。ここで、酸化物半導体は、バンドギャップが広く、
且つ真性キャリア密度が低いという特徴を有する。よって、酸化物半導体層に生じるオフ
電流を極めて低くすることが可能である。このような特徴は、他の半導体（例えば、シリ
コン）にはない酸化物半導体に特有の特徴である。

【0018】

具体的には、本発明の一態様は、第１の信号と第２の信号の誤差を増幅し、誤差信号と
して出力する半導体装置であって、第１の入力端子が第１の信号を供給する配線に電気的
に接続され、第２の入力端子が第２の信号を供給する配線に電気的に接続されるトランス
コンダクタンスアンプと、ゲートがスタンバイ信号を供給する配線に電気的に接続され、
ソース及びドレインの一方がトランスコンダクタンスアンプに電気的に接続されるトラン
ジスタと、一方の電極がトランジスタのソース及びドレインの他方に電気的に接続され、
他方の電極が固定電位を供給する配線に電気的に接続されるキャパシタと、を有し、トラ
ンジスタは、チャネルが酸化物半導体層に形成されるトランジスタであり、トランスコン
ダクタンスアンプの出力端子、及びトランジスタのソース及びドレインの一方が電気的に
接続するノードの電位、又は、トランジスタのソース及びドレインの他方、及びキャパシ
タの一方の電極が電気的に接続するノードの電位が誤差信号となる半導体装置である。

【発明の効果】

【0019】

本発明の一態様の半導体装置は、チャネルが酸化物半導体層に形成されるトランジスタ
によって、トランスコンダクタンスアンプの出力端子とキャパシタの一方の電極の電気的
な接続を制御することが可能である。よって、トランスコンダクタンスアンプがスタンバ
イ状態となる場合であっても、当該トランジスタをオフ状態とすることでキャパシタの一
方の電極において長期に渡って電荷の保持を行うことが可能となる。また、トランスコン
ダクタンスアンプをスタンバイ状態から復帰する際には、当該トランジスタをオン状態と
することで、キャパシタの充放電を早期に収束させることができる。これにより、早期に
当該半導体装置の動作を定常状態とすることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】（Ａ）、（Ｂ）半導体装置の構成例を示す図。

【図2】（Ａ）〜（Ｅ）酸化物半導体の構造の一例を説明する図。

【図3】（Ａ）〜（Ｃ）酸化物半導体の構造の一例を説明する図。

【図4】（Ａ）〜（Ｃ）酸化物半導体の構造の一例を説明する図。

【図5】（Ａ）〜（Ｄ）トランジスタの構造例を示す図。

【図6】酸化物半導体成膜時の基板温度と欠陥密度の関係を示す図。

【図7】理想的なトランジスタの移動度の算出結果を示す図。

【図8】（Ａ）、（Ｂ）ＤＣＤＣコンバータの具体例を示す図。

【図9】（Ａ）、（Ｂ）電子機器の一例を示す図。

【図10】ＤＣＤＣコンバータの構成例を示す図。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下では、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。ただし、本発明
は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨およびその範囲から逸脱することなくその形態
および詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。したがって、
本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。

【0022】

＜半導体装置の構成例＞
図１（Ａ）、（Ｂ）は、本発明の一態様の半導体装置の構成例を示す図である。図１（
Ａ）に示す半導体装置１００は、信号（Ｉｎ１）と信号（Ｉｎ２）の誤差を増幅し、誤差
信号（Ｖ）として出力する機能を有する。具体的には、半導体装置１００は、反転入力端
子（−）
が信号（Ｉｎ１）を供給する配線に電気的に接続され、非反転入力端子（＋）が信号（Ｉ
ｎ２）を供給する配線に電気的に接続されるトランスコンダクタンスアンプ１０１と、ゲ
ートが信号（Ｉｎ３）を供給する配線に電気的に接続され、ソース及びドレインの一方が
トランスコンダクタンスアンプ１０１の出力端子に電気的に接続されるトランジスタ１０
２と、一方の電極がトランジスタ１０２のソース及びドレインの他方に電気的に接続され
、他方の電極が固定電位を供給する配線に電気的に接続されるキャパシタ１０３とを有す
る。なお、トランジスタ１０２は、チャネルが酸化物半導体層に形成されるトランジスタ
である。

【0023】

図１（Ａ）に示す半導体装置１００においては、トランスコンダクタンスアンプ１０１
の反転入力端子（−）に入力される信号（Ｉｎ１）及び非反転入力端子（＋）に入力され
る信号（Ｉｎ２）に応じてトランスコンダクタンスアンプ１０１の出力電流が制御される
。そして、トランジスタ１０２がオン状態であれば、当該出力電流によってキャパシタ１
０３の充放電が生じる。この結果、トランスコンダクタンスアンプ１０１の出力端子及び
キャパシタ１０３の一方の電極が電気的に接続するノードの電位が誤差信号（Ｖ）となる
。なお、トランジスタ１０２のスイッチングは、外部から入力される信号（Ｉｎ３）によ
って制御される。

【0024】

加えて、図１（Ａ）に示す半導体装置１００においては、トランスコンダクタンスアン
プ１０１をスタンバイ状態とすることが可能である。

【0025】

ここで、図１（Ａ）に示す半導体装置においては、信号（Ｉｎ３）を制御することによ
って、トランスコンダクタンスアンプ１０１がスタンバイ状態となる前にトランジスタ１
０２をオフ状態とし、且つトランスコンダクタンスアンプ１０１がスタンバイ状態から復
帰した後にトランジスタ１０２をオン状態とすることが可能である。よって、図１（Ａ）
に示す半導体装置においては、トランスコンダクタンスアンプ１０１をスタンバイ状態と
する期間において、キャパシタ１０３の一方の電極に保持された電荷の消失を抑制するこ
とが可能である。これにより、図１（Ａ）に示す半導体装置においては、トランスコンダ
クタンスアンプ１０１がスタンバイ状態から復帰する際におけるキャパシタ１０３の充放
電を早期に収束させることができる。これにより、早期に当該半導体装置の動作を定常状
態とすることが可能となる。

【0026】

なお、本発明の一態様の半導体装置の構成として、図１（Ｂ）に示す半導体装置１５０
を適用することも可能である。ここで、図１（Ｂ）に示す半導体装置１５０は、誤差信号
（Ｖ）として電位が出力されるノードの位置が図１（Ａ）に示す半導体装置１００と異な
る。具体的には、図１（Ａ）に示す半導体装置１００においては、トランジスタ１０２の
ソース及びドレインの一方とトランスコンダクタンスアンプ１０１の出力端子が電気的に
接続するノードの電位を誤差信号（Ｖ）として出力しているのに対して、図１（Ｂ）に示
す半導体装置１５０においては、トランジスタ１０２のソース及びドレインの他方とキャ
パシタ１０３の一方の電極が電気的に接続するノードの電位を誤差信号（Ｖ）として出力
している。その他の点について、図１（Ｂ）に示す半導体装置１５０は、図１（Ａ）に示
す半導体装置１００と同様であるため、詳細な説明については上述の説明を援用すること
とする。

【0027】

＜酸化物半導体について＞
以下では、酸化物半導体について詳述する。

【0028】

酸化物半導体は、少なくともＩｎ、Ｇａ、Ｓｎ及びＺｎから選ばれた一種以上の元素を
含有する。例えば、四元系金属の酸化物であるＩｎ−Ｓｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導
体、三元系金属の酸化物であるＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｚｎ
−Ｏ系酸化物半導体、Ｉｎ−Ａｌ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体、Ｓｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系酸
化物半導体、Ａｌ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体、若しくはＳｎ−Ａｌ−Ｚｎ−Ｏ系酸
化物半導体、二元系金属の酸化物であるＩｎ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体、Ｓｎ−Ｚｎ−Ｏ
系酸化物半導体、Ａｌ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体、Ｚｎ−Ｍｇ−Ｏ系酸化物半導体、Ｓｎ
−Ｍｇ−Ｏ系酸化物半導体、Ｉｎ−Ｍｇ−Ｏ系酸化物半導体、若しくはＩｎ−Ｇａ−Ｏ系
酸化物半導体、又は一元系金属の酸化物であるＩｎ−Ｏ系酸化物半導体、Ｓｎ−Ｏ系酸化
物半導体、若しくはＺｎ−Ｏ系酸化物半導体などである。また、上記酸化物半導体にＩｎ
とＧａとＳｎとＺｎ以外の元素、例えばＳｉを含ませてもよい。

【0029】

なお、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体とは、インジウム（Ｉｎ）、ガリウム（Ｇ
ａ）、亜鉛（Ｚｎ）を有する酸化物半導体、という意味であり、その組成比は問わない。

【0030】

また、酸化物半導体層として、化学式ＩｎＭＯ_３（ＺｎＯ）_ｍ（ｍ＞０）で表記される
薄膜を用いることができる。ここで、Ｍは、Ｚｎ、Ｇａ、Ａｌ、Ｍｎ及びＣｏから選ばれ
た一または複数の金属元素を示す。例えばＭとして、Ｇａ、Ｇａ及びＡｌ、Ｇａ及びＭｎ
、またはＧａ及びＣｏなどがある。

【0031】

また、酸化物半導体としてＩｎ−Ｚｎ−Ｏ系の材料を用いる場合、原子数比で、Ｉｎ／
Ｚｎ＝０．５〜５０、好ましくはＩｎ／Ｚｎ＝１〜２０、さらに好ましくはＩｎ／Ｚｎ＝
１．５〜１５とする。Ｚｎに対するＩｎの原子数比を好ましい前記範囲とすることで、上
述の半導体素子における電界効果移動度を向上させることができる。ここで、化合物の原
子数比がＩｎ：Ｚｎ：Ｏ＝Ｘ：Ｙ：Ｚのとき、Ｚ＞１．５Ｘ＋Ｙとする。

【0032】

また、酸化物半導体層としては、電子供与体（ドナー）となる水分又は水素などの不純
物が低減されて高純度化されることが好ましい。具体的には、高純度化された酸化物半導
体層は、二次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ：Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ Ｉｏｎ Ｍａｓｓ Ｓ
ｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）による水素濃度の測定値が、５×１０^１９／ｃｍ^３以下、好ま
しくは５×１０^１８／ｃｍ^３以下、より好ましくは５×１０^１７／ｃｍ^３以下、更に好ま
しくは１×１０^１６／ｃｍ^３以下である。また、ホール効果測定により測定できる酸化物
半導体層のキャリア密度は、１×１０^１４／ｃｍ^３未満、好ましくは１×１０^１２／ｃｍ
^３未満、更に好ましくは１×１０^１１／ｃｍ^３未満である。

【0033】

ここで、酸化物半導体層中の、水素濃度の分析について触れておく。半導体層中の水素
濃度測定は、二次イオン質量分析法で行う。ＳＩＭＳ分析は、その原理上、試料表面近傍
や、材質が異なる層との積層界面近傍のデータを正確に得ることが困難であることが知ら
れている。そこで、層中における水素濃度の厚さ方向の分布をＳＩＭＳで分析する場合、
対象となる層が存在する範囲において、値に極端な変動がなく、ほぼ一定の値が得られる
領域における平均値を、水素濃度として採用する。また、測定の対象となる層の厚さが小
さい場合、隣接する層内の水素濃度の影響を受けて、ほぼ一定の値が得られる領域を見い
だせない場合がある。この場合、当該層が存在する領域における、水素濃度の極大値又は
極小値を、当該層中の水素濃度として採用する。更に、当該層が存在する領域において、
極大値を有する山型のピーク、極小値を有する谷型のピークが存在しない場合、変曲点の
値を水素濃度として採用する。

【0034】

スパッタリング法を用いて酸化物半導体層を作製する場合には、ターゲット中の水素濃
度のみならず、チャンバー内に存在する水、水素を極力低減しておくことが重要である。
具体的には、当該形成以前にチャンバー内をベークする、チャンバー内に導入されるガス
中の水、水素濃度を低減する、及びチャンバーからガスの排気する排気系における逆流を
防止するなどを行うことが効果的である。

【0035】

また、酸化物半導体層は非晶質であっても良いが、結晶性を有していても良い。例えば
、酸化物半導体層を、ｃ軸配向を有した結晶（Ｃ Ａｘｉｓ Ａｌｉｇｎｅｄ Ｃｒｙｓ
ｔａｌ：ＣＡＡＣとも呼ぶ）を含む酸化物半導体膜（ＣＡＡＣ−ＯＳ膜とも呼ぶ）を用い
て構成することが可能である。

【0036】

具体的には、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜は、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜が成膜される膜表面に平行なａ−
ｂ面において六角形の格子を有する結合を有し、なおかつ、ａ−ｂ面に概略垂直なｃ軸配
向を有する、六方晶構造の亜鉛を含む結晶を有する。

【0037】

ＣＡＡＣ−ＯＳは、非晶質の酸化物半導体と比較して、金属と酸素の結合が秩序化して
いる。すなわち、酸化物半導体が非晶質の場合は、個々の金属原子によって金属原子に配
位している酸素原子の配位数が異なることも有り得るが、ＣＡＡＣ−ＯＳでは金属原子に
配位している酸素原子の数はほぼ一定となる。そのため、微視的な酸素の欠損が減少し、
水素原子（水素イオンを含む）又はアルカリ金属原子の脱着による電荷の移動や不安定性
を減少させる効果がある。

【0038】

したがって、酸化物半導体層をＣＡＡＣ−ＯＳ膜で構成することによって、チャネルが
酸化物半導体層に形成されるトランジスタの信頼性を向上させることが可能である。

【0039】

なお、スパッタリング法を用いてＣＡＡＣ−ＯＳ膜を成膜する場合には、雰囲気中の酸
素ガス比が高い方が好ましい。例えば、アルゴン及び酸素の混合ガス雰囲気中でスパッタ
リング法を行う場合には、酸素ガス比を３０％以上とすることが好ましく、４０％以上と
することがより好ましい。雰囲気中からの酸素の補充によって、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の結晶
化が促進されるからである。

【0040】

また、スパッタリング法を用いてＣＡＡＣ−ＯＳ膜を成膜する場合には、ＣＡＡＣ−Ｏ
Ｓ膜が成膜される基板を１５０℃以上に加熱しておくことが好ましく、１７０℃以上に加
熱しておくことがより好ましい。基板温度の上昇に伴って、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の結晶化が
促進されるからである。

【0041】

また、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜に対して、窒素雰囲気中又は真空中において熱処理を行った後
には、酸素雰囲気中又は酸素と他のガスとの混合雰囲気中において熱処理を行うことが好
ましい。先の熱処理で生じる酸素欠損を後の熱処理における雰囲気中からの酸素供給によ
って復元することができるからである。

【0042】

また、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜が成膜される膜表面（被成膜面）は平坦であることが好ましい
。よって、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜が成膜される前に当該被成膜表面に対して化学機械研磨（Ｃ
ｈｅｍｉｃａｌ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ：ＣＭＰ）などの平坦化処
理を行うことが好ましい。また、当該被成膜面の平均ラフネスは、０．５ｎｍ以下である
ことが好ましく、０．３ｎｍ以下であることがより好ましい。

【0043】

次いで、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の結晶構造について図２乃至図４を参照して詳述する。なお
、特に断りがない限り、図２乃至図４は上方向をｃ軸方向とし、ｃ軸方向と直交する面を
ａｂ面とする。なお、単に上半分、下半分という場合、ａｂ面を境にした場合の上半分、
下半分をいう。また、図２において、丸で囲まれたＯは４配位のＯを示し、二重丸で囲ま
れたＯは３配位のＯを示す。

【0044】

図２（Ａ）に、１個の６配位のＩｎと、Ｉｎに近接の６個の４配位の酸素原子（以下４
配位のＯ）と、を有する構造を示す。Ｉｎが１個に対して、近接の酸素原子のみ示した構
造を、ここではサブユニットと呼ぶ。図２（Ａ）の構造は、八面体構造をとるが、簡単の
ため平面構造で示している。なお、図２（Ａ）の上半分および下半分にはそれぞれ３個ず
つ４配位のＯがある。図２（Ａ）に示すサブユニットは電荷が０である。

【0045】

図２（Ｂ）に、１個の５配位のＧａと、Ｇａに近接の３個の３配位の酸素原子（以下３
配位のＯ）と、Ｇａに近接の２個の４配位のＯと、を有する構造を示す。３配位のＯは、
いずれもａｂ面に存在する。図２（Ｂ）の上半分および下半分にはそれぞれ１個ずつ４配
位のＯがある。また、Ｉｎも５配位をとるため、図２（Ｂ）に示す構造をとりうる。図２
（Ｂ）に示すサブユニットは電荷が０である。

【0046】

図２（Ｃ）に、１個の４配位のＺｎと、Ｚｎに近接の４個の４配位のＯと、を有する構
造を示す。図２（Ｃ）の上半分には１個の４配位のＯがあり、下半分には３個の４配位の
Ｏがある。図２（Ｃ）に示すサブユニットは電荷が０である。

【0047】

図２（Ｄ）に、１個の６配位のＳｎと、Ｓｎに近接の６個の４配位のＯと、を有する構
造を示す。図２（Ｄ）の上半分には３個の４配位のＯがあり、下半分には３個の４配位の
Ｏがある。図２（Ｄ）に示すサブユニットは電荷が＋１となる。

【0048】

図２（Ｅ）に、２個のＺｎを含むサブユニットを示す。図２（Ｅ）の上半分には１個の
４配位のＯがあり、下半分には１個の４配位のＯがある。図２（Ｅ）に示すサブユニット
は電荷が−１となる。

【0049】

ここでは、サブユニットのいくつかの集合体を１グループと呼び、複数のグループの集
合体を１ユニットと呼ぶ。

【0050】

ここで、これらのサブユニット同士が結合する規則について説明する。Ｉｎの上半分の
３個のＯは下方向に３個の近接Ｉｎを有し、下半分の３個のＯは上方向に３個の近接Ｉｎ
を有する。Ｇａの上半分の１個のＯは下方向に１個の近接Ｇａを有し、下半分の１個のＯ
は上方向に１個の近接Ｇａを有する。Ｚｎの上半分の１個のＯは下方向に１個の近接Ｚｎ
を有し、下半分の３個のＯは上方向に３個の近接Ｚｎを有する。この様に、金属原子の上
方向の４配位のＯの数と、そのＯの下方向にある近接金属原子の数は等しく、同様に金属
原子の下方向の４配位のＯの数と、そのＯの上方向にある近接金属原子の数は等しい。Ｏ
は４配位なので、下方向にある近接金属原子の数と、上方向にある近接金属原子の数の和
は４になる。従って、金属原子の上方向にある４配位のＯの数と、別の金属原子の下方向
にある４配位のＯの数との和が４個のとき、金属原子を有する二種のサブユニット同士は
結合することができる。例えば、６配位の金属原子（ＩｎまたはＳｎ）が上半分の４配位
のＯを介して結合する場合、４配位のＯが３個であるため、５配位の金属原子（Ｇａまた
はＩｎ）または４配位の金属原子（Ｚｎ）のいずれかと結合することになる。

【0051】

これらの配位数を有する金属原子は、ｃ軸方向において、４配位のＯを介して結合する
。また、このほかにも、層構造の合計の電荷が０となるようにサブユニット同士が結合し
て１グループを構成する。

【0052】

図３（Ａ）に、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｚｎ−Ｏ系の層構造を構成する１グループのモデル図を示
す。図３（Ｂ）に、３つのグループで構成されるユニットを示す。なお、図３（Ｃ）は、
図３（Ｂ）の層構造をｃ軸方向から観察した場合の原子配列を示す。

【0053】

図３（Ａ）においては、簡単のため、３配位のＯは省略し、４配位のＯは個数のみ示し
、例えば、Ｓｎ原子の上半分および下半分にはそれぞれ３個ずつ４配位のＯがあることを
丸枠の３として示している。同様に、図３（Ａ）において、Ｉｎ原子の上半分および下半
分にはそれぞれ１個ずつ４配位のＯがあり、丸枠の１として示している。また、同様に、
図３（Ａ）において、下半分には１個の４配位のＯがあり、上半分には３個の４配位のＯ
があるＺｎ原子と、上半分には１個の４配位のＯがあり、下半分には３個の４配位のＯが
あるＺｎ原子とを示している。

【0054】

図３（Ａ）において、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｚｎ−Ｏ系の層構造を構成するグループは、上から
順に４配位のＯが３個ずつ上半分および下半分にあるＳｎ原子が、４配位のＯが１個ずつ
上半分および下半分にあるＩｎ原子と結合し、そのＩｎ原子が、上半分に３個の４配位の
ＯがあるＺｎ原子と結合し、そのＺｎ原子の下半分の１個の４配位のＯを介して４配位の
Ｏが３個ずつ上半分および下半分にあるＩｎ原子と結合し、そのＩｎ原子が、上半分に１
個の４配位のＯがあるＺｎ２個からなるサブユニットと結合し、このサブユニットの下半
分の１個の４配位のＯを介して４配位のＯが３個ずつ上半分および下半分にあるＳｎ原子
と結合している構成である。このグループを複数結合してユニットを構成する。

【0055】

ここで、３配位のＯおよび４配位のＯの場合、結合１本当たりの電荷はそれぞれ−０．
６６７、−０．５と考えることができる。例えば、Ｉｎ（６配位または５配位）、Ｚｎ（
４配位）、Ｓｎ（５配位または６配位）の電荷は、それぞれ＋３、＋２、＋４である。従
って、Ｓｎを含むサブユニットは電荷が＋１となる。そのため、Ｓｎを含む層構造を形成
するためには、電荷＋１を打ち消す電荷−１が必要となる。電荷−１をとる構造として、
図２（Ｅ）に示すように、２個のＺｎを含むサブユニットが挙げられる。例えば、Ｓｎを
含むサブユニットが１個に対し、２個のＺｎを含むサブユニットが１個あれば、電荷が打
ち消されるため、層構造の合計の電荷を０とすることができる。

【0056】

また、Ｉｎは５配位および６配位のいずれもとることができるものとする。具体的には
、図３（Ｂ）に示したユニットとすることで、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｚｎ−Ｏ系の結晶（Ｉｎ_２Ｓ
ｎＺｎ_３Ｏ_８）を得ることができる。なお、得られるＩｎ−Ｓｎ−Ｚｎ−Ｏ系の層構造は
、Ｉｎ_２ＳｎＺｎ_２Ｏ_７（ＺｎＯ）_ｍ（ｍは０または自然数。）とする組成式で表すこと
ができる。なお、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｚｎ−Ｏ系の結晶は、ｍの数が大きいと結晶性が向上する
ため、好ましい。

【0057】

また、このほかにも、四元系金属の酸化物であるＩｎ−Ｓｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物
や、三元系金属の酸化物であるＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物（ＩＧＺＯとも表記する。
）、Ｉｎ−Ａｌ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物、Ｓｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物、Ａｌ−Ｇａ−Ｚｎ
−Ｏ系酸化物、Ｓｎ−Ａｌ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物や、二元系金属の酸化物であるＩｎ−Ｚｎ
−Ｏ系酸化物、Ｓｎ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物、Ａｌ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物、Ｚｎ−Ｍｇ−Ｏ系酸
化物、Ｓｎ−Ｍｇ−Ｏ系酸化物、Ｉｎ−Ｍｇ−Ｏ系酸化物や、Ｉｎ−Ｇａ−Ｏ系酸化物、
一元系金属の酸化物であるＩｎ−Ｏ系酸化物、Ｓｎ−Ｏ系酸化物、Ｚｎ−Ｏ系酸化物など
を用いた場合も同様である。

【0058】

例えば、図４（Ａ）に、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系の層構造を構成する１グループのモデ
ル図を示す。

【0059】

図４（Ａ）において、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系の層構造を構成するグループは、上から
順に４配位のＯが３個ずつ上半分および下半分にあるＩｎ原子が、４配位のＯが１個上半
分にあるＺｎ原子と結合し、そのＺｎ原子の下半分の３個の４配位のＯを介して、４配位
のＯが１個ずつ上半分および下半分にあるＧａ原子と結合し、そのＧａ原子の下半分の１
個の４配位のＯを介して、４配位のＯが３個ずつ上半分および下半分にあるＩｎ原子と結
合している構成である。このグループを複数結合してユニットを構成する。

【0060】

図４（Ｂ）に３つのグループで構成されるユニットを示す。なお、図４（Ｃ）は、図４
（Ｂ）の層構造をｃ軸方向から観察した場合の原子配列を示している。

【0061】

ここで、Ｉｎ（６配位または５配位）、Ｚｎ（４配位）、Ｇａ（５配位）の電荷は、そ
れぞれ＋３、＋２、＋３であるため、Ｉｎ、ＺｎおよびＧａのいずれかを含むサブユニッ
トは、電荷が０となる。そのため、これらのサブユニットの組み合わせであればグループ
の合計の電荷は常に０となる。

【0062】

また、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系の層構造を構成するグループは、図４（Ａ）に示したグ
ループに限定されず、Ｉｎ、Ｇａ、Ｚｎの配列が異なるグループを組み合わせたユニット
も取りうる。

【0063】

＜チャネルが酸化物半導体層に形成されるトランジスタについて＞
チャネルが酸化物半導体層に形成されるトランジスタについて図５（Ａ）〜（Ｄ）を参
照して説明する。なお、図５（Ａ）〜（Ｄ）は、トランジスタの構造例を示す断面模式図
である。

【0064】

図５（Ａ）に示すトランジスタは、導電層６０１（ａ）と、絶縁層６０２（ａ）と、酸
化物半導体層６０３（ａ）と、導電層６０５ａ（ａ）と、導電層６０５ｂ（ａ）と、絶縁
層６０６（ａ）と、導電層６０８（ａ）と、を含んでいる。

【0065】

導電層６０１（ａ）は、被素子形成層６００（ａ）の上に設けられている。

【0066】

絶縁層６０２（ａ）は、導電層６０１（ａ）の上に設けられている。

【0067】

酸化物半導体層６０３（ａ）は、絶縁層６０２（ａ）を介して導電層６０１（ａ）に重
畳する。

【0068】

導電層６０５ａ（ａ）及び導電層６０５ｂ（ａ）のそれぞれは、酸化物半導体層６０３
（ａ）の上に設けられ、酸化物半導体層６０３（ａ）に電気的に接続されている。

【0069】

絶縁層６０６（ａ）は、酸化物半導体層６０３（ａ）、導電層６０５ａ（ａ）、及び導
電層６０５ｂ（ａ）の上に設けられている。

【0070】

導電層６０８（ａ）は、絶縁層６０６（ａ）を介して酸化物半導体層６０３（ａ）に重
畳する。

【0071】

なお、必ずしも導電層６０１（ａ）及び導電層６０８（ａ）の一方を設けなくてもよい
。また、導電層６０８（ａ）を設けない場合には、絶縁層６０６（ａ）を設けなくてもよ
い。

【0072】

図５（Ｂ）に示すトランジスタは、導電層６０１（ｂ）と、絶縁層６０２（ｂ）と、酸
化物半導体層６０３（ｂ）と、導電層６０５ａ（ｂ）と、導電層６０５ｂ（ｂ）と、絶縁
層６０６（ｂ）と、導電層６０８（ｂ）と、を含んでいる。

【0073】

導電層６０１（ｂ）は、被素子形成層６００（ｂ）の上に設けられている。

【0074】

絶縁層６０２（ｂ）は、導電層６０１（ｂ）の上に設けられている。

【0075】

導電層６０５ａ（ｂ）及び導電層６０５ｂ（ｂ）のそれぞれは、絶縁層６０２（ｂ）の
一部の上に設けられている。

【0076】

酸化物半導体層６０３（ｂ）は、導電層６０５ａ（ｂ）及び導電層６０５ｂ（ｂ）の上
に設けられ、導電層６０５ａ（ｂ）及び導電層６０５ｂ（ｂ）に電気的に接続されている
。また、酸化物半導体層６０３（ｂ）は、絶縁層６０２（ｂ）を介して導電層６０１（ｂ
）に重畳する。

【0077】

絶縁層６０６（ｂ）は、酸化物半導体層６０３（ｂ）、導電層６０５ａ（ｂ）、及び導
電層６０５ｂ（ｂ）の上に設けられている。

【0078】

導電層６０８（ｂ）は、絶縁層６０６（ｂ）を介して酸化物半導体層６０３（ｂ）に重
畳する。

【0079】

なお、必ずしも導電層６０１（ｂ）及び導電層６０８（ｂ）の一方を設けなくてもよい
。導電層６０８（ｂ）を設けない場合には、絶縁層６０６（ｂ）を設けなくてもよい。

【0080】

図５（Ｃ）に示すトランジスタは、導電層６０１（ｃ）と、絶縁層６０２（ｃ）と、酸
化物半導体層６０３（ｃ）と、導電層６０５ａ（ｃ）と、導電層６０５ｂ（ｃ）と、を含
んでいる。

【0081】

酸化物半導体層６０３（ｃ）は、領域６０４ａ（ｃ）及び領域６０４ｂ（ｃ）を含んで
いる。領域６０４ａ（ｃ）及び領域６０４ｂ（ｃ）は、互いに離間し、それぞれドーパン
トが添加された領域である。なお、領域６０４ａ（ｃ）及び領域６０４ｂ（ｃ）の間の領
域がチャネル形成領域になる。酸化物半導体層６０３（ｃ）は、被素子形成層６００（ｃ
）の上に設けられる。なお、必ずしも領域６０４ａ（ｃ）及び領域６０４ｂ（ｃ）を設け
なくてもよい。

【0082】

導電層６０５ａ（ｃ）及び導電層６０５ｂ（ｃ）は、酸化物半導体層６０３（ｃ）の上
に設けられ、酸化物半導体層６０３（ｃ）に電気的に接続されている。また、導電層６０
５ａ（ｃ）及び導電層６０５ｂ（ｃ）の側面は、テーパ状である。

【0083】

また、導電層６０５ａ（ｃ）は、領域６０４ａ（ｃ）の一部に重畳するが、必ずしもこ
れに限定されない。導電層６０５ａ（ｃ）を領域６０４ａ（ｃ）の一部に重畳させること
により、導電層６０５ａ（ｃ）及び領域６０４ａ（ｃ）の間の抵抗値を小さくすることが
できる。また、導電層６０５ａ（ｃ）に重畳する酸化物半導体層６０３（ｃ）の領域の全
てが領域６０４ａ（ｃ）でもよい。

【0084】

また、導電層６０５ｂ（ｃ）は、領域６０４ｂ（ｃ）の一部に重畳するが、必ずしもこ
れに限定されない。導電層６０５ｂ（ｃ）を領域６０４ｂ（ｃ）の一部に重畳させること
により、導電層６０５ｂ（ｃ）及び領域６０４ｂ（ｃ）の間の抵抗を小さくすることがで
きる。また、導電層６０５ｂ（ｃ）に重畳する酸化物半導体層６０３（ｃ）の領域の全て
が領域６０４ｂ（ｃ）でもよい。

【0085】

絶縁層６０２（ｃ）は、酸化物半導体層６０３（ｃ）、導電層６０５ａ（ｃ）、及び導
電層６０５ｂ（ｃ）の上に設けられている。

【0086】

導電層６０１（ｃ）は、絶縁層６０２（ｃ）を介して酸化物半導体層６０３（ｃ）に重
畳する。絶縁層６０２（ｃ）を介して導電層６０１（ｃ）と重畳する酸化物半導体層６０
３（ｃ）の領域がチャネル形成領域になる。

【0087】

また、図５（Ｄ）に示すトランジスタは、導電層６０１（ｄ）と、絶縁層６０２（ｄ）
と、酸化物半導体層６０３（ｄ）と、導電層６０５ａ（ｄ）と、導電層６０５ｂ（ｄ）と
、を含んでいる。

【0088】

導電層６０５ａ（ｄ）及び導電層６０５ｂ（ｄ）は、被素子形成層６００（ｄ）の上に
設けられる。また、導電層６０５ａ（ｄ）及び導電層６０５ｂ（ｄ）の側面は、テーパ状
である。

【0089】

酸化物半導体層６０３（ｄ）は、領域６０４ａ（ｄ）及び領域６０４ｂ（ｄ）と、を含
んでいる。領域６０４ａ（ｄ）及び領域６０４ｂ（ｄ）は、互いに離間し、それぞれドー
パントが添加された領域である。また、領域６０４ａ（ｄ）及び領域６０４ｂ（ｄ）の間
の領域がチャネル形成領域になる。酸化物半導体層６０３（ｄ）は、例えば導電層６０５
ａ（ｄ）、導電層６０５ｂ（ｄ）、及び被素子形成層６００（ｄ）の上に設けられ、導電
層６０５ａ（ｄ）及び導電層６０５ｂ（ｄ）に電気的に接続される。なお、必ずしも領域
６０４ａ（ｄ）及び領域６０４ｂ（ｄ）を設けなくてもよい。

【0090】

領域６０４ａ（ｄ）は、導電層６０５ａ（ｄ）に電気的に接続されている。

【0091】

領域６０４ｂ（ｄ）は、導電層６０５ｂ（ｄ）に電気的に接続されている。

【0092】

絶縁層６０２（ｄ）は、酸化物半導体層６０３（ｄ）の上に設けられている。

【0093】

導電層６０１（ｄ）は、絶縁層６０２（ｄ）を介して酸化物半導体層６０３（ｄ）に重
畳する。絶縁層６０２（ｄ）を介して導電層６０１（ｄ）と重畳する酸化物半導体層６０
３（ｄ）の領域がチャネル形成領域になる。

【0094】

さらに、図５（Ａ）乃至図５（Ｄ）に示す各構成要素について説明する。

【0095】

被素子形成層６００（ａ）乃至被素子形成層６００（ｄ）としては、例えば絶縁層、又
は絶縁表面を有する基板などを用いることができる。また、予め素子が形成された層を被
素子形成層６００（ａ）乃至被素子形成層６００（ｄ）として用いることもできる。

【0096】

導電層６０１（ａ）乃至導電層６０１（ｄ）のそれぞれは、トランジスタのゲートとし
ての機能を有する。なお、トランジスタのゲートとしての機能を有する層をゲート電極又
はゲート配線ともいう。

【0097】

導電層６０１（ａ）乃至導電層６０１（ｄ）としては、例えばモリブデン、マグネシウ
ム、チタン、クロム、タンタル、タングステン、アルミニウム、銅、ネオジム、若しくは
スカンジウムなどの金属材料、又はこれらを主成分とする合金材料の層を用いることがで
きる。また、導電層６０１（ａ）乃至導電層６０１（ｄ）の形成に適用可能な材料の層の
積層により、導電層６０１（ａ）乃至導電層６０１（ｄ）を構成することもできる。

【0098】

絶縁層６０２（ａ）乃至絶縁層６０２（ｄ）のそれぞれは、トランジスタのゲート絶縁
層としての機能を有する。

【0099】

絶縁層６０２（ａ）乃至絶縁層６０２（ｄ）としては、例えば酸化シリコン層、窒化シ
リコン層、酸化窒化シリコン層、窒化酸化シリコン層、酸化アルミニウム層、窒化アルミ
ニウム層、酸化窒化アルミニウム層、窒化酸化アルミニウム層、酸化ハフニウム層、又は
酸化ランタン層を用いることができる。

【0100】

また、絶縁層６０２（ａ）乃至絶縁層６０２（ｄ）としては、例えば元素周期表におけ
る第１３族元素及び酸素元素を含む材料の絶縁層を用いることもできる。例えば、酸化物
半導体層６０３（ａ）乃至酸化物半導体層６０３（ｄ）が第１３族元素を含む場合に、酸
化物半導体層６０３（ａ）乃至酸化物半導体層６０３（ｄ）に接する絶縁層として第１３
族元素を含む絶縁層を用いることにより、該絶縁層と酸化物半導体層との界面の状態を良
好にすることができる。

【0101】

第１３族元素及び酸素元素を含む材料としては、例えば酸化ガリウム、酸化アルミニウ
ム、酸化アルミニウムガリウム、酸化ガリウムアルミニウムなどが挙げられる。なお、酸
化アルミニウムガリウムとは、ガリウムの含有量（原子％）よりアルミニウムの含有量（
原子％）が多い物質のことをいい、酸化ガリウムアルミニウムとは、ガリウムの含有量（
原子％）がアルミニウムの含有量（原子％）以上の物質のことをいう。例えば、Ａｌ_２Ｏ
_ｘ（ｘ＝３＋α、αは０より大きく１より小さい値）、Ｇａ_２Ｏ_ｘ（ｘ＝３＋α、αは０
より大きく１より小さい値）、又はＧａ_ｘＡｌ_２−ｘＯ_３＋α（ｘは０より大きく２より
小さい値、αは０より大きく１より小さい値）で表記される材料を用いることもできる。

【0102】

また、絶縁層６０２（ａ）乃至絶縁層６０２（ｄ）に適用可能な材料の層の積層により
絶縁層６０２（ａ）乃至絶縁層６０２（ｄ）を構成することもできる。例えば、複数のＧ
ａ_２Ｏ_ｘで表記される酸化ガリウムを含む層の積層により絶縁層６０２（ａ）乃至絶縁層
６０２（ｄ）を構成してもよい。また、Ｇａ_２Ｏ_ｘで表記される酸化ガリウムを含む絶縁
層及びＡｌ_２Ｏ_ｘで表記される酸化アルミニウムを含む絶縁層の積層により絶縁層６０２
（ａ）乃至絶縁層６０２（ｄ）を構成してもよい。

【0103】

また、トランジスタのチャネル長を３０ｎｍとしたとき、酸化物半導体層６０３（ａ）
乃至酸化物半導体層６０３（ｄ）の厚さを例えば５ｎｍ程度にしてもよい。このとき、酸
化物半導体層６０３（ａ）乃至酸化物半導体層６０３（ｄ）がＣＡＡＣ−ＯＳ膜からなる
酸化物半導体層であれば、トランジスタにおける短チャネル効果を抑制することができる
。

【0104】

領域６０４ａ（ｃ）、領域６０４ｂ（ｃ）、領域６０４ａ（ｄ）、及び領域６０４ｂ（
ｄ）は、Ｎ型又はＰ型の導電型を付与するドーパントが添加され、トランジスタのソース
又はドレインとしての機能を有する。ドーパントとしては、例えば元素周期表における１
３族の元素（例えば硼素など）、元素周期表における１５族の元素（例えば窒素、リン、
及び砒素の一つ又は複数）、及び希ガス元素（例えばヘリウム、アルゴン、及びキセノン
の一つ又は複数）の一つ又は複数を用いることができる。なお、トランジスタのソースと
しての機能を有する領域をソース領域ともいい、トランジスタのドレインとしての機能を
有する領域をドレイン領域ともいう。領域６０４ａ（ｃ）、領域６０４ｂ（ｃ）、領域６
０４ａ（ｄ）、及び領域６０４ｂ（ｄ）にドーパントを添加することにより導電層との接
続抵抗を小さくすることができるため、トランジスタを微細化することができる。

【0105】

導電層６０５ａ（ａ）乃至導電層６０５ａ（ｄ）、及び導電層６０５ｂ（ａ）乃至導電
層６０５ｂ（ｄ）のそれぞれは、トランジスタのソース又はドレインとしての機能を有す
る。なお、トランジスタのソースとしての機能を有する層をソース電極又はソース配線と
もいい、トランジスタのドレインとしての機能を有する層をドレイン電極又はドレイン配
線ともいう。

【0106】

導電層６０５ａ（ａ）乃至導電層６０５ａ（ｄ）、及び導電層６０５ｂ（ａ）乃至導電
層６０５ｂ（ｄ）としては、例えばアルミニウム、マグネシウム、クロム、銅、タンタル
、チタン、モリブデン、若しくはタングステンなどの金属材料、又はこれらの金属材料を
主成分とする合金材料の層を用いることができる。例えば、銅、マグネシウム、及びアル
ミニウムを含む合金材料の層により、導電層６０５ａ（ａ）乃至導電層６０５ａ（ｄ）、
及び導電層６０５ｂ（ａ）乃至導電層６０５ｂ（ｄ）を構成することができる。また、導
電層６０５ａ（ａ）乃至導電層６０５ａ（ｄ）、及び導電層６０５ｂ（ａ）乃至導電層６
０５ｂ（ｄ）に適用可能な材料の層の積層により、導電層６０５ａ（ａ）乃至導電層６０
５ａ（ｄ）、及び導電層６０５ｂ（ａ）乃至導電層６０５ｂ（ｄ）を構成することもでき
る。例えば、銅、マグネシウム、及びアルミニウムを含む合金材料の層と銅を含む層の積
層により、導電層６０５ａ（ａ）乃至導電層６０５ａ（ｄ）、及び導電層６０５ｂ（ａ）
乃至導電層６０５ｂ（ｄ）を構成することができる。

【0107】

また、導電層６０５ａ（ａ）乃至導電層６０５ａ（ｄ）、及び導電層６０５ｂ（ａ）乃
至導電層６０５ｂ（ｄ）としては、導電性の金属酸化物を含む層を用いることもできる。
導電性の金属酸化物としては、例えば酸化インジウム、酸化スズ、酸化亜鉛、酸化インジ
ウム酸化スズ、又は酸化インジウム酸化亜鉛を用いることができる。なお、導電層６０５
ａ（ａ）乃至導電層６０５ａ（ｄ）、及び導電層６０５ｂ（ａ）乃至導電層６０５ｂ（ｄ
）に適用可能な導電性の金属酸化物は、酸化シリコンを含んでいてもよい。

【0108】

絶縁層６０６（ａ）及び絶縁層６０６（ｂ）としては、絶縁層６０２（ａ）乃至絶縁層
６０２（ｄ）に適用可能な材料の層を用いることができる。また、絶縁層６０６（ａ）及
び絶縁層６０６（ｂ）に適用可能な材料の積層により、絶縁層６０６（ａ）及び絶縁層６
０６（ｂ）を構成してもよい。例えば、酸化シリコン層、酸化アルミニウム層などにより
絶縁層６０６（ａ）及び絶縁層６０６（ｂ）を構成してもよい。例えば、酸化アルミニウ
ム層を用いることにより、酸化物半導体層６０３（ａ）及び酸化物半導体層６０３（ｂ）
への不純物（水）の侵入抑制効果をより高めることができ、また、酸化物半導体層６０３
（ａ）及び酸化物半導体層６０３（ｂ）中の酸素の脱離抑制効果を高めることができる。

【0109】

導電層６０８（ａ）及び導電層６０８（ｂ）のそれぞれは、トランジスタのゲートとし
ての機能を有する。なお、トランジスタが導電層６０１（ａ）及び導電層６０８（ａ）の
両方、又は導電層６０１（ｂ）及び導電層６０８（ｂ）の両方を含む構造である場合、導
電層６０１（ａ）及び導電層６０８（ａ）の一方、又は導電層６０１（ｂ）及び導電層６
０８（ｂ）の一方を、バックゲート、バックゲート電極、又はバックゲート配線ともいう
。ゲートとしての機能を有する導電層を、チャネル形成層を介して複数設けることにより
、トランジスタの閾値電圧を制御しやすくすることができる。

【0110】

導電層６０８（ａ）及び導電層６０８（ｂ）としては、例えば導電層６０１（ａ）乃至
導電層６０１（ｄ）に適用可能な材料の層を用いることができる。また、導電層６０８（
ａ）及び導電層６０８（ｂ）に適用可能な材料の層の積層により導電層６０８（ａ）及び
導電層６０８（ｂ）を構成してもよい。

【0111】

また、絶縁層６０２（ａ）乃至絶縁層６０２（ｄ）に適用可能な材料の積層によりチャ
ネル保護層としての機能を有する絶縁層を構成してもよい。

【0112】

また、被素子形成層６００（ａ）乃至被素子形成層６００（ｄ）の上に下地層を形成し
、該下地層の上にトランジスタを形成してもよい。このとき、下地層としては、例えば絶
縁層６０２（ａ）乃至絶縁層６０２（ｄ）に適用可能な材料の層を用いることができる。
また、絶縁層６０２（ａ）乃至絶縁層６０２（ｄ）に適用可能な材料の積層により下地層
を構成してもよい。例えば、酸化アルミニウム層及び酸化シリコン層の積層により下地層
を構成することにより、下地層に含まれる酸素が酸化物半導体層６０３（ａ）乃至酸化物
半導体層６０３（ｄ）を介して脱離するのを抑制することができる。

【0113】

また、酸化物半導体層６０３（ａ）乃至酸化物半導体層６０３（ｄ）に接する絶縁層中
の酸素を過剰にすることにより、酸化物半導体層６０３（ａ）乃至酸化物半導体層６０３
（ｄ）に供給されやすくなる。よって、酸化物半導体層６０３（ａ）乃至酸化物半導体層
６０３（ｄ）中、又は当該絶縁層と酸化物半導体層６０３（ａ）乃至酸化物半導体層６０
３（ｄ）の界面における酸素欠陥を低減することができるため、酸化物半導体層６０３（
ａ）乃至酸化物半導体層６０３（ｄ）のキャリア濃度をより低減することができる。また
、これに限定されず、製造過程により酸化物半導体層６０３（ａ）乃至酸化物半導体層６
０３（ｄ）に含まれる酸素を過剰にした場合であっても、酸化物半導体層６０３（ａ）乃
至酸化物半導体層６０３（ｄ）に接する上記絶縁層により、酸化物半導体層６０３（ａ）
乃至酸化物半導体層６０３（ｄ）からの酸素の脱離を抑制することができる。

【0114】

次いで、チャネルが酸化物半導体層に形成されるトランジスタの電界効果移動度の理論
値について、図６及び図７を参照して説明する。なお、ここでは、Ｌｅｖｉｎｓｏｎモデ
ルを用いて、半導体内部に欠陥がないと仮定した場合の電界効果移動度を理論的に算出し
ている。酸化物半導体に限らず、実際に測定される絶縁ゲート型トランジスタの電界効果
移動度は、さまざまな理由によって本来の移動度よりも低くなる。そして、移動度を低下
させる要因としては半導体内部の欠陥や半導体と絶縁膜との界面の欠陥がある。

【0115】

半導体本来の移動度をμ_０、測定される電界効果移動度をμとし、半導体中に何らかの
ポテンシャル障壁（粒界等）が存在すると仮定すると、以下の様に表現できる。

【0116】

【数1】

【0117】

ここで、Ｅはポテンシャル障壁の高さであり、ｋがボルツマン定数、Ｔは絶対温度であ
る。

【0118】

また、ポテンシャル障壁が欠陥に由来すると仮定すると、Ｌｅｖｉｎｓｏｎモデルでは
、以下の様に表される。

【0119】

【数2】

【0120】

ここで、ｅは電気素量、Ｎはチャネル内の単位面積当たりの平均欠陥密度、εは半導体
の誘電率、ｎはチャネルのキャリア面密度、Ｃ_ｏｘは単位面積当たりの容量、Ｖ_ｇはゲー
ト電圧、ｔはチャネルの厚さである。なお、厚さ３０ｎｍ以下の酸化物半導体層であれば
、チャネルの厚さは酸化物半導体層の厚さと同一として差し支えない。

【0121】

また、線形領域におけるドレイン電流Ｉ_ｄは、以下の様に表現できる。

【0122】

【数3】

【0123】

ここで、Ｌはチャネル長、Ｗはチャネル幅であり、ここでは、Ｌ＝Ｗ＝１０μｍである
。また、Ｖ_ｄはドレイン電圧である。

【0124】

さらに、上式の両辺をＶｇで割り、更に両辺の対数を取ると、以下の様になる。

【0125】

【数4】

【0126】

数４の右辺はＶ_ｇの関数である。この式からわかるように、縦軸をｌｎ（Ｉｄ／Ｖｇ）
、横軸を１／Ｖｇとする直線の傾きから欠陥密度Ｎが求められる。すなわち、トランジス
タのＩ_ｄ―Ｖ_ｇ特性から、欠陥密度を評価できる。

【0127】

欠陥密度は酸化物半導体の成膜時の基板温度に依存する。図６は基板加熱温度と欠陥密
度の関係を示す。酸化物半導体としては、インジウム（Ｉｎ）、ガリウム（Ｇａ）、亜鉛
（Ｚｎ）の比率が、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１のものを用いた。基板加熱温度が高い
ものは室温で成膜したものよりも欠陥密度が低下することが示される。

【0128】

このようにして求めた欠陥密度等をもとに数１および数２よりμ_０＝８０ｃｍ^２／Ｖｓ
が導出される。欠陥の多い酸化物半導体（Ｎ＝１．５×１０^１２／ｃｍ^２程度）では、移
動度は１０ｃｍ^２／Ｖｓ程度である。しかし、半導体内部および半導体と絶縁膜との界面
の欠陥が無い理想的な酸化物半導体の移動度は８０ｃｍ^２／Ｖｓとなる。

【0129】

ただし、酸化物半導体層内部に欠陥がなくても、チャネルとゲート絶縁層との界面での
散乱によってトランジスタの輸送特性は影響を受ける。すなわち、ゲート絶縁層界面から
ｘだけ離れた場所における移動度μ_１は、以下の様に表される。

【0130】

【数5】

【0131】

ここで、Ｄはゲート方向の電界、Ｂ、ｌは定数である。Ｂおよびｌは、実際の測定結果
より求めることができ、上記の測定結果からは、Ｂ＝２．３８×１０^７ｃｍ／ｓ、ｌ＝１
０ｎｍ（界面散乱が及ぶ深さ）である。Ｄが増加する（すなわち、ゲート電圧が高くなる
）と数５の第２項が増加するため、移動度μ_１は低下することがわかる。

【0132】

酸化物半導体層内部に欠陥が無い理想的なトランジスタの移動度μ_２を計算した結果を
図７に示す。なお、計算にはシノプシス社製デバイスシミュレーションソフト、Ｓｅｎｔ
ａｕｒｕｓ Ｄｅｖｉｃｅを使用し、酸化物半導体のバンドギャップ、電子親和力、比誘
電率、厚さをそれぞれ、３．１５電子ボルト、４．６電子ボルト、１５、３０ｎｍとした
。さらに、ゲート、ソース、ドレインの仕事関数をそれぞれ、５．５電子ボルト、４．６
電子ボルト、４．６電子ボルトとした。また、ゲート絶縁層の厚さは３０ｎｍ、比誘電率
は４．１とした。チャネル長およびチャネル幅はともに１０μｍ、ドレイン電圧Ｖ_ｄは０
．１Ｖである。

【0133】

図７で示されるように、ゲート電圧１Ｖ強で移動度５０ｃｍ^２／Ｖｓ以上のピークをつ
けるが、ゲート電圧がさらに高くなると、界面散乱が大きくなり、移動度が低下すること
が分かった。

【0134】

＜半導体装置の具体例＞
図８（Ａ）、（Ｂ）は、本発明の一態様に係る半導体装置の具体例を示す図である。具
体的には、図８（Ａ）、（Ｂ）に示す半導体装置は、パルス幅変調方式によって制御され
るＤＣＤＣコンバータである。

【0135】

図８（Ａ）に示すＤＣＤＣコンバータは、電力変換部１と、出力検出部２と、制御回路
部４とを有する。なお、電力変換部１及び出力検出部２の構成は、図１０を参照して説明
したＤＣＤＣコンバータが有する電力変換部１及び出力検出部２の構成と同様である。よ
って、ここでは、上述の説明を援用することとする。

【0136】

制御回路部４は、半導体装置１００と、パルス幅変調器３２と、スイッチ駆動回路３３
と、参照電圧発生器３４とを有する。なお、半導体装置１００、並びにパルス幅変調器３
２、スイッチ駆動回路３３、及び参照電圧発生器３４の構成は、図１（Ａ）を参照して説
明した半導体装置１００、並びに図１０を参照して説明したパルス幅変調器３２、スイッ
チ駆動回路３３、及び参照電圧発生器３４の構成と同様である。よって、ここでは、上述
の説明を援用することとする。

【0137】

なお、トランスコンダクタンスアンプ１０１の反転入力端子（−）は抵抗２１の他端及
び抵抗２２の一端に電気的に接続され、非反転入力端子（＋）は参照電圧（Ｖｒｅｆ）を
供給する配線に電気的に接続されている。また、トランスコンダクタンスアンプ１０１の
出力端子、及びトランジスタ１０２のソース及びドレインの一方は、比較器３２１の非反
転入力端子（＋）に電気的に接続されている。

【0138】

図８（Ａ）に示すＤＣＤＣコンバータは、パルス幅変調方式を利用したフィードバック
制御によって制御されるＤＣＤＣコンバータ（いわゆるパルス幅変調方式によって制御さ
れる降圧型ＤＣＤＣコンバータ）である。そして、当該ＤＣＤＣコンバータは、図１（Ａ
）に示す半導体装置１００を有する。これにより、図８（Ａ）に示すＤＣＤＣコンバータ
においては、トランスコンダクタンスアンプ１０１などをスタンバイ状態から復帰する際
に早期に直流電圧（Ｖｏｕｔ）を固定することが可能となる。

【0139】

また、図８（Ａ）に示すＤＣＤＣコンバータが有するスイッチ１１として、チャネルが
酸化物半導体層に形成されるトランジスタを適用することは好ましい。当該トランジスタ
がオフ状態となっている際に生じる電流を低減することが出来ると共に、当該トランジス
タと、図８（Ａ）に示すトランジスタ１０２とを同一工程において作製することができる
（製造工程数を低減することができる）からである。

【0140】

なお、図８（Ａ）においては、図１（Ａ）に示す半導体装置１００を有するＤＣＤＣコ
ンバータの具体例について例示したが、図１（Ｂ）に示す半導体装置１５０を半導体装置
１００と置換することも可能である。

【0141】

また、図８（Ａ）においては、降圧型ＤＣＤＣコンバータの具体例について例示したが
、本発明の一態様に係る半導体装置は、降圧型ＤＣＤＣコンバータに限定されない。例え
ば、当該半導体装置として、昇圧型、昇降圧型、反転型、ｃｕｋ型、ＳＥＰＩＣ型、又は
フライバック型のＤＣＤＣコンバータを適用することも可能である。

【0142】

一例として、昇圧型ＤＣＤＣコンバータの具体例を図８（Ｂ）に示す。

【0143】

図８（Ｂ）に示すＤＣＤＣコンバータは、電力変換部５と、出力検出部２と、制御回路
部４とを有する。なお、出力検出部２及び制御回路部４の構成は、図１０を参照して説明
したＤＣＤＣコンバータが有する出力検出部２及び図８（Ａ）を参照して説明した制御回
路部４の構成と同様である。よって、ここでは、上述の説明を援用することとする。

【0144】

電力変換部５は、スイッチ５１と、ダイオード５２と、インダクタ５３と、キャパシタ
５４とを有する。なお、インダクタ５３の一端は、直流電圧（Ｖｉｎ）が入力される端子
に電気的に接続されている。スイッチ５１の一方の端子は接地電位が入力される端子に電
気的に接続され、他方の端子はインダクタ５３の他端に電気的に接続されている。また、
ダイオード５２のアノードはインダクタ５３の他端及びスイッチ５１の他方の端子に電気
的に接続され、カソードは直流電圧（Ｖｏｕｔ）を出力する端子に電気的に接続されてい
る。また、キャパシタ５４の一方の電極は直流電圧（Ｖｏｕｔ）を出力する端子に電気的
に接続され、他方の電極は接地電位が入力される端子に電気的に接続されている。

【0145】

図８（Ｂ）に示すＤＣＤＣコンバータは、パルス幅変調方式を利用したフィードバック
制御によって制御されるＤＣＤＣコンバータ（いわゆるパルス幅変調方式によって制御さ
れる昇圧型ＤＣＤＣコンバータ）である。そして、図８（Ｂ）に示すＤＣＤＣコンバータ
は、図８（Ａ）に示すＤＣＤＣコンバータと同様に、トランスコンダクタンスアンプ１０
１などをスタンバイ状態から復帰する際に早期に直流電圧（Ｖｏｕｔ）を固定することが
可能である。

【実施例】

【0146】

図９（Ａ）、（Ｂ）は、上述の半導体装置を有する電子機器の実施例を示す図である。

【0147】

図９（Ａ）は、照明装置を示す図である。図９（Ａ）に示す照明装置は、筐体１００１
と、照明部１００３とを有している。そして、筐体１００１内には上述の半導体装置が設
けられている。当該半導体装置を設けることによって、照明装置をスタンバイ状態から復
帰する際に生じる動作遅延を抑制することが可能となる。

【0148】

図９（Ｂ）は、表示装置を示す図である。図９（Ｂ）に示す表示装置は、筐体２００１
と、筐体２００１に組み込まれた表示部２００３と、筐体２００１を支持するスタンド２
００５とを有する。そして、筐体２００１内には上述の半導体装置が設けられている。当
該半導体装置を設けることによって、表示装置がスタンバイ状態から復帰する際に生じる
動作遅延を抑制することが可能となる。

【符号の説明】

【0149】

１ 電力変換部
２ 出力検出部
３ 制御回路部
４ 制御回路部
５ 電力変換部
１１ スイッチ
１２ ダイオード
１３ インダクタ
１４ キャパシタ
２１ 抵抗
２２ 抵抗
３１ 誤差増幅器
３２ パルス幅変調器
３３ スイッチ駆動回路
３４ 参照電圧発生器
５１ スイッチ
５２ ダイオード
５３ インダクタ
５４ キャパシタ
１００ 半導体装置
１０１ トランスコンダクタンスアンプ
１０２ トランジスタ
１０３ キャパシタ
１５０ 半導体装置
３１１ トランスコンダクタンスアンプ
３１２ キャパシタ
３２１ 比較器
３２２ 三角波発振器
６００（ａ） 被素子形成層
６００（ｂ） 被素子形成層
６００（ｃ） 被素子形成層
６００（ｄ） 被素子形成層
６０１（ａ） 導電層
６０１（ｂ） 導電層
６０１（ｃ） 導電層
６０１（ｄ） 導電層
６０２（ａ） 絶縁層
６０２（ｂ） 絶縁層
６０２（ｃ） 絶縁層
６０２（ｄ） 絶縁層
６０３（ａ） 酸化物半導体層
６０３（ｂ） 酸化物半導体層
６０３（ｃ） 酸化物半導体層
６０３（ｄ） 酸化物半導体層
６０４ａ（ｃ） 領域
６０４ｂ（ｃ） 領域
６０４ａ（ｄ） 領域
６０４ｂ（ｄ） 領域
６０５ａ（ａ） 導電層
６０５ｂ（ａ） 導電層
６０５ａ（ｂ） 導電層
６０５ｂ（ｂ） 導電層
６０５ａ（ｃ） 導電層
６０５ｂ（ｃ） 導電層
６０５ａ（ｄ） 導電層
６０５ｂ（ｄ） 導電層
６０６（ａ） 絶縁層
６０６（ｂ） 絶縁層
６０８（ａ） 導電層
６０８（ｂ） 導電層
１００１ 筐体
１００３ 照明部
２００１ 筐体
２００３ 表示部
２００５ スタンド

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】