特許 6240777 洗浄装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6240777

(24)【登録日】2017年11月10日

(45)【発行日】2017年11月29日

(54)【発明の名称】洗浄装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/304 20060101AFI20171120BHJP

   B08B 3/02 20060101ALI20171120BHJP

   G02F 1/13 20060101ALI20171120BHJP

   C03C 23/00 20060101ALI20171120BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/304 643B

   H01L21/304 643C

   B08B3/02 C

   G02F1/13 101

   C03C23/00 A

【請求項の数】3

【全頁数】17

(21)【出願番号】特願2016-535907(P2016-535907)

(86)(22)【出願日】2015年7月17日

(86)【国際出願番号】JP2015070483

(87)【国際公開番号】WO2016013501

(87)【国際公開日】20160128

【審査請求日】2016年12月14日

(31)【優先権主張番号】特願2014-150590(P2014-150590)

(32)【優先日】2014年7月24日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000005049

【氏名又は名称】シャープ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001036

【氏名又は名称】特許業務法人暁合同特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】原田 吉典

【審査官】 加藤 芳健

(56)【参考文献】

【文献】 特開平１１−３０７４３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−０６６１７６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

Ｂ０８Ｂ ３／０２

Ｃ０３Ｃ ２３／００

Ｇ０２Ｆ １／１３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

板状体をその板面が搬送方向に沿うように搬送する搬送装置と、
前記板状体の板面に沿った方向のうち前記搬送方向と直交する方向に直線状に並列して配され、前記搬送装置により搬送される前記板状体上に洗浄液を噴射する複数のノズルであって、前記板状体上に噴射される前記洗浄液の少なくとも一部が前記板状体の前記直交する方向における両端部側に向かうように前記洗浄液を噴射する複数のノズルと、
を備え、
前記複数のノズルのうち少なくとも２つのノズルの前記洗浄液の噴射方向が、前記板状体の板面と直交する平面に対して傾けられており、
前記洗浄液の噴射方向が傾けられたノズルは、前記板状体の前記直交する方向における両端部側に近づくにつれて、前記洗浄液の噴射力が大きくなるものとされる、洗浄装置。

【請求項2】

前記洗浄液の噴射方向が傾けられたノズルは、前記板状体の前記直交する方向における両端部側に近づくにつれて、前記洗浄液の噴射方向の前記直交する平面に対する傾き角度が大きくなるものとされる、請求項１に記載の洗浄装置。

【請求項3】

前記洗浄液の噴射方向が前記平面に沿うものとされた複数の洗浄用ノズルをさらに備え、
前記複数のノズルが前記複数の洗浄用ノズルよりも前記搬送方向の下流側に配されている、請求項１または請求項２に記載の洗浄装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本明細書で開示される技術は、洗浄装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、液晶表示装置の主要構成部品である液晶パネルの製造過程において、ガラス基板を搬送装置によって搬送しながらガラス基板上に洗浄液を噴射し、ガラス基板の表面を洗浄する洗浄装置が知られている。この種の洗浄装置が備える搬送装置のうち、ガラス基板をその板面が搬送方向に沿うように搬送するいわゆる水平搬送タイプのものでは、ガラス基板上に噴射した洗浄液がガラス基板上に滞留することがある。このようにガラス基板上に洗浄液が滞留すると、洗浄液によってガラス基板から剥離された塵や埃等の異物がガラス基板上に再び付着し、蓄積されることがある。

【0003】

そこで下記特許文献１には、搬送装置によって搬送される板状体上への洗浄液の滞留防止を図った洗浄装置が開示されている。この洗浄装置では、洗浄液を噴射する複数のシャワーが、板状体の板面に沿った方向のうち板状体の搬送方向の上流側から下流側に向かう方向にＶ字型に屈曲した形状に並列して配されている。このため、各シャワーから噴射される洗浄液は板状板の表面に対してＶ字型にあたって板状体の端面側に向かって流れ、これにより、板状体の表面に洗浄液が滞留することを防止できるようになっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００３−１３６０２５号公報

【0005】

（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、上記特許文献１で開示される洗浄装置では、上述したように洗浄液を噴射する複数のシャワーがＶ字型に並列して配されるため、洗浄装置の製造過程において、複数のシャワーを配する工程が複雑となる虞がある。また、複数のシャワーをＶ字型に並列して配するためにＶ字型に屈曲した配管を用意する必要がある。

【発明の概要】

【0006】

本明細書で開示される技術は、上記の課題に鑑みて創作されたものであって、簡単な工程で製造することができ、搬送される板状体上に異物が再付着することを抑制できる洗浄装置を提供することを目的とする。

【0007】

（課題を解決するための手段）
本明細書で開示される技術は、板状体をその板面が搬送方向に沿うように搬送する搬送装置と、前記板状体の板面に沿った方向のうち前記搬送方向と直交する方向に直線状に並列して配され、前記搬送装置により搬送される前記板状体上に洗浄液を噴射する複数のノズルであって、前記板状体上に噴射される前記洗浄液の少なくとも一部が前記板状体の前記直交する方向における両端部側に向かうように前記洗浄液を噴射する複数のノズルと、を備える洗浄装置に関する。

【0008】

上記の洗浄装置では、板状体上に噴射される洗浄液の少なくとも一部が板状体の上記直交する方向における両端部側に向かうように複数のノズルから洗浄液が噴射される。このため、搬送される板状体上に洗浄液が滞留したとしても、ノズルから噴射される洗浄液によって、板状体上に滞留した洗浄液が、板状体の上記直交する方向における両端部から板状体の外側に流し落とされる。その結果、板状体上に滞留した洗浄液に含まれる異物が板状体に再付着することを抑制することができる。

【0009】

さらに、複数のノズルが直線状に並列して配されるため、洗浄装置の製造過程において、複数のノズルが直線状以外の形状（例えばＶ字型に屈曲した形状）に並列して配される構成と比べて簡単な工程で複数のノズルを配することができる。以上のように、上記の洗浄装置は、簡単な工程で製造することができ、搬送される板状体上に異物が再付着することを抑制することができる。

【0010】

上記の洗浄装置において、前記複数のノズルのうち少なくとも２つのノズルの前記洗浄液の噴射方向が、前記板状体の板面と直交する平面に対して傾けられていてもよい。

【0011】

この構成によると、板状体上に噴射される洗浄液の少なくとも一部が板状体の直交する方向における両端部側に向かうようにするためのノズルの具体的な構成を提供することができる。

【0012】

上記の洗浄装置において、前記洗浄液の噴射方向が傾けられたノズルは、前記板状体の前記直交する方向における両端部側に近づくにつれて、前記洗浄液の噴射方向の前記直交する平面に対する傾き角度が大きくなるものとされてもよい。

【0013】

搬送装置によって搬送される板状体上では、板状体の上記直交する方向における両端部側に近づくほど、洗浄液が滞留し易い。上記の構成によると、板状体上のうち洗浄液が滞留し易い側に近づくほど板状体上に噴射される洗浄液の噴射方向の傾き角度が大きくなるので、板状体上に滞留した洗浄液を板状体の外側に効果的に流し落とすことができる。

【0014】

上記の洗浄装置において、前記洗浄液の噴射方向が傾けられたノズルは、前記板状体の前記直交する方向における両端部側に近づくにつれて、前記洗浄液の噴射力が大きくなるものとされてもよい。

【0015】

この構成によると、板状体上のうち洗浄液が滞留し易い側に近づくほど板状体上に噴射される洗浄液の噴射力が大きくなるので、板状体上に滞留した洗浄液を板状体の外側に効果的に流し落とすことができる。

【0016】

上記の洗浄装置において、前記洗浄液の噴射方向が前記平面に沿うものとされた複数の洗浄用ノズルをさらに備え、前記複数のノズルが前記複数の洗浄用ノズルよりも前記搬送方向の下流側に配されていてもよい。

【0017】

この構成によると、洗浄用ノズルから板状体上に噴射された洗浄液が上記平面に対して傾かない形で板状体に当たることとなるので、搬送方向に沿って搬送される板状体を洗浄用ノズルによって効果的に洗浄することができる。そして、その後に、板状体上に滞留した洗浄液を複数のノズルによって板状体の外側に流し落とすことができる。

【0018】

（発明の効果）
本明細書で開示される技術によれば、簡単な工程で製造することができ、搬送される板状体上に異物が再付着することを抑制できる洗浄装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】液晶表示装置を長辺方向に沿って切断した断面の概略断面図

【図2】液晶パネルの概略平面図

【図3】液晶パネルの断面構成を示す概略断面図

【図4】液晶パネルを構成するアレイ基板における表示領域の平面構成を示す平面図

【図5】図４のV−V断面の断面図であって、アレイ基板の一部の断面構成を示す断面図

【図6】ガラス基板に対する各製造装置による処理手順を説明するためのブロック図

【図7】実施形態１に係る洗浄装置の側面図

【図8】洗浄装置の平面図

【図9】搬送方向の上流側に位置する分岐管部の正面図

【図10】搬送方向の上流側に位置する分岐管部の透過平面図

【図11】搬送方向の最も下流側に位置する分岐管部の正面図

【図12】搬送方向の最も下流側に位置する分岐管部の透過平面図

【図13】搬送方向の最も下流側に位置する分岐管部の斜視図

【図14】ガラス基板上の異物がガラス基板外へ排出される態様を模式的に示す平面図

【図15】実施形態１に係る洗浄装置の適用前後におけるパターン欠陥の検出結果を示すグラフ

【図16】搬送方向の最も下流側に位置する実施形態２に係る分岐管部の正面図

【図17】搬送方向の最も下流側に位置する実施形態３に係る分岐管部の正面図

【発明を実施するための形態】

【0020】

＜実施形態１＞
図１から図１５を参照して実施形態１を説明する。本実施形態では、液晶表示装置１０の構成部品である液晶パネル１１の製造過程において、ガラス基板（板状体の一例）３０Ａを搬送しながら、当該ガラス基板３０Ａの表面に対して洗浄処理を施す洗浄装置５０（図７参照）について例示する。なお、各図面の一部にはＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を示しており、各軸方向が各図面で共通した方向となるように描かれている。また、図１、図３、及び図５では、図の上側を液晶表示装置１０の上側（表側）とする。

【0021】

先に液晶表示装置１０、及び液晶パネル１１の構成について説明する。液晶表示装置１０は、図１及び図２に示すように、液晶パネル１１と、液晶パネル１１に実装されて当該液晶パネル１１を駆動する電子部品であるＩＣチップ１７と、ＩＣチップ１７に対して各種入力信号を外部から供給するコントロール基板１９と、液晶パネル１１と外部のコントロール基板１９とを電気的に接続するフレキシブル基板１８と、液晶パネル１１に光を供給する外部光源であるバックライト装置１４と、を備えている。また、液晶表示装置１０は、相互に組み付けた液晶パネル１１及びバックライト装置１４を収容して保持するための表裏一体の外部部材１５，１６を備えており、このうち表側の外部部材１５には、液晶パネル１１に表示された画像を外部から視認させるための開口部１５Ａが設けられている。

【0022】

バックライト装置１４は、図１に示すように、表側に向けて開口した略箱型をなすシャーシ１４Ａと、シャーシ１４Ａ内に配された図示しない光源（冷陰極管、ＬＥＤ、有機ＥＬ等）と、シャーシ１４Ａの開口部を覆う形で配される図示しない光学部材と、を備えている。光学部材は、光源から出射される光を面状の光に変換する等の機能を有している。光学部材を通過して面状となった光は、液晶パネル１１に入射し、液晶パネル１１において画像を表示するために利用される。

【0023】

液晶パネル１１は、図２に示すように、全体として縦長の矩形状をなしており、その長辺方向が各図面のＹ軸方向と一致し、その短辺方向が各図面のＸ軸方向と一致している。液晶パネル１１では、その大部分に画像を表示可能な表示領域Ａ１が配され、その長辺方向における一方の端部側（図２に示す下側）に偏った位置に画像が表示されない非表示領域Ａ２が配されている。非表示領域Ａ２の一部には、ＩＣチップ１７及びフレキシブル基板１８が異方性導電膜（不図示）を介した圧着接続によって実装されている。なお、液晶パネル１１では、図１に示すように、後述するカラーフィルタ基板２０よりも一回り小さな枠状の一点鎖線が表示領域Ａ１の外形をなしており、当該一点鎖線よりも外側の領域が非表示領域Ａ２となっている。

【0024】

液晶パネル１１は、図３に示すように、透光性に優れた一対のガラス製の基板２０、３０と、電界印加に伴って光学特性が変化する物質である液晶分子を含む液晶層１１Ａと、を備えている。液晶パネル１１を構成する両基板２０，３０は、液晶層１１Ａの厚さ分のセルギャップを維持した状態で図示しないシール材によって貼り合わされている。両基板２０，３０のうち、表側（正面側）の基板２０がカラーフィルタ基板２０とされ、裏側（背面側）の基板３０がアレイ基板（回路基板の一例）３０とされる。両基板２０，３０の内面側には、図３に示すように、液晶層１１Ａに含まれる液晶分子を配向させるための配向膜１１Ｂ，１１Ｃがそれぞれ形成されている。また、両基板２０，３０を構成するガラス基板２０Ａ，３０Ａの外面側には、それぞれ偏光板１１Ｄ，１１Ｅが貼り付けられている。

【0025】

カラーフィルタ基板２０は、図２に示すように、短辺寸法がアレイ基板３０とほぼ同等であるものの、長辺寸法がアレイ基板３０よりも小さく、アレイ基板３０に対して長辺方向についての一方の端部（図２に示す上側）を揃えた状態で貼り合わされている。従って、アレイ基板３０のうち長辺方向についての他方の端部（図１に示す下側）は、所定範囲に亘ってカラーフィルタ基板２０が重なり合うことがなく、表裏両板面が外部に露出した状態とされており、ここにＩＣチップ１７及びフレキシブル基板１８の実装領域が確保されている。アレイ基板３０を構成するガラス基板３０Ａは、その主要部分にカラーフィルタ基板２０及び偏光板１１Ｅが貼り合わされており、ＩＣチップ１７及びフレキシブル基板１８の実装領域が確保された部分がカラーフィルタ基板２０及び偏光板１１Ｅと非重畳とされている。

【0026】

続いてアレイ基板３０及びカラーフィルタ基板２０における表示領域Ａ１内の構成について説明する。アレイ基板３０を構成するガラス基板（基板の一例）３０Ａの内面側（液晶層１１Ａ側）には、図３及び図４に示すように、３つの電極３２Ａ〜３２Ｃを有するスイッチング素子であるＴＦＴ（Thin Film Transistor）３２及びＩＴＯ（Indium Tin Oxide）等の透明導電膜からなる画素電極３３が多数個並んで設けられている。これらＴＦＴ３２及び画素電極３３の周りには、図４に示すように、格子状をなすゲート配線３４及びソース配線３５が取り囲むようにして配設されている。ゲート配線３４とソース配線３５はそれぞれＴＦＴ３２のゲート電極３２Ａとソース電極３２Ｂとに接続され、画素電極３３がドレイン配線（不図示）を介してＴＦＴ３２のドレイン電極３２Ｃに接続されている。

【0027】

また、アレイ基板３０には、ゲート配線３４に並行するとともに画素電極３３に対して平面に視て重畳する容量配線３６が設けられている。容量配線３６は、Ｙ軸方向についてゲート配線３４と交互に配されている。ゲート配線３４がＹ軸方向に隣り合う画素電極３３の間に配されているのに対し、容量配線３６は、各画素電極３３におけるＹ軸方向のほぼ中央部を横切る位置に配されている。このアレイ基板３０の端部には、ゲート配線３４及び容量配線３６から引き回された端子部及びソース配線３５から引き回された端子部が設けられており、これらの各端子部には、図１に示すコントロール基板１９から各信号または基準電位が入力されるようになっており、それによりＴＦＴ３２の駆動が制御される。

【0028】

一方、カラーフィルタ基板２０を構成するガラス基板２０Ａの内面側（液晶層１１Ａ側）には、図３に示すように、アレイ基板３０の各画素電極３３と平面に視て重畳する位置に多数個のカラーフィルタが並んで設けられている。カラーフィルタは、Ｒ（赤色），Ｇ（緑色），Ｂ（青色）を呈する各着色部２２がＸ軸方向に沿って交互に並ぶ配置とされる。カラーフィルタを構成する各着色部２２間には、混色を防ぐための略格子状の遮光部（ブラックマトリクス）２３が形成されている。遮光部２３は、アレイ基板３０側のゲート配線３４、ソース配線３５、及び容量配線３６に対して平面に視て重畳する配置とされる。また、各着色部２２及び遮光部２３の表面には、アレイ基板３０側の画素電極３３と対向する対向電極２４が設けられている。液晶パネル１１では、Ｒ（赤色），Ｇ（緑色），Ｂ（青色）の３色の着色部２２及びそれらと対向する３つの画素電極３３の組によって表示単位である１つの表示画素が構成されている。

【0029】

ここで、アレイ基板３０に設けられたスイッチング素子であるＴＦＴ３２について詳しく説明する。ＴＦＴ３２は、図４及び図５に示すように、アレイ基板３０上に複数の膜を積層した構成とされている。具体的には、図５に示すように、下層側（ガラス基板３０Ａ側）から順に、ゲート配線３４に接続されたゲート電極３２Ａ、ゲート絶縁膜３７、半導体膜３８、ソース配線３５に接続されたソース電極３２Ｂ及び画素電極３３に接続されたドレイン電極３２Ｃ、層間絶縁膜３９、保護膜４０が積層されている。

【0030】

ゲート電極３２Ａは、ゲート配線３４と同一材料からなるとともにゲート配線３４と同一工程にてアレイ基板３０上にパターニングされており、アルミニウム（Al）、クロム（Cr）、タンデル（Ta）、チタン（Ti）、銅（Cu）等の金属膜単体又はこれらの金属窒化物との積層膜で形成することができる。ゲート絶縁膜３７は、例えばシリコン酸化膜（SiOx）からなり、ゲート電極３２Ａと半導体膜３８との間を絶縁する。半導体膜３８は、例えばアモルファスシリコン（a−Si）又は透明なアモルファス酸化物半導体（InGaZnOx）からなり、一端側がドレイン電極３２Ｃに、他端側がソース電極３２Ｂにそれぞれ接続されることで、相互間の導通を図るチャネル領域として機能する。

【0031】

ソース電極３２Ｂ及びドレイン電極３２Ｃは、ソース配線３５と同一材料を含むとともにソース配線３５と同一工程にてアレイ基板３０上にパターニングされている。ソース電極３２Ｂ及びドレイン電極３２Ｃは、下層側（半導体膜３８側）の第１導電膜３２Ｂ１，３２Ｃ１と上層側（層間絶縁膜３９側）の第２導電膜３２Ｂ２，３２Ｃ２とを積層した構成とされる。下層側の第１導電膜３２Ｂ１，３２Ｃ１は、リン（P）等のｎ型不純物を高濃度にドーピングしたアモルファスシリコン（n+Si）からなり、オーミックコンタクト層として機能する。上層側の第２導電膜３２Ｂ２，３２Ｃ２は、異なる金属膜を積層してなる２層構造とされており、そのうち下層側の金属膜がチタン（Ti）からなり、上層側の金属膜がアルミニウム（Al）からなる。

【0032】

上記したソース電極３２Ｂ及びドレイン電極３２Ｃは、所定の間隔（開口領域）を挟んで対向状に配されているため、相互が直接的には電気的に接続されていない。しかし、ソース電極３２Ｂ及びドレイン電極３２Ｃは、その下層側の半導体膜３８を介して間接的に電気的に接続されており、この半導体膜３８における両電極３２Ｂ，３２Ｃ間のブリッジ部分が、ドレイン電流が流れるチャネル領域として機能する。

【0033】

層間絶縁膜３９は、例えばシリコン酸化膜（SiOx）からなり、上記したゲート絶縁膜３７と同一材料とされる。保護膜４０は、有機材料であるアクリル樹脂（例えばポリメタクリル酸メチル樹脂（PMMA））やポリイミド樹脂からなる。従って、この保護膜４０は、他の無機材料からなるゲート絶縁膜３７、層間絶縁膜３９に比べて膜厚が厚いものとされるとともに、平坦化膜として機能する。なお、ＴＦＴ３２における各絶縁膜（ゲート絶縁膜３７、層間絶縁膜３９及び保護膜４０）は、それぞれアレイ基板３０においてＴＦＴ３２の形成領域以外の領域を含みつつ概ね全域に亘って均一な膜厚で形成されている。

【0034】

上記したＴＦＴ３２、画素電極３３、及び各配線３４，３５，３６等の薄膜をアレイ基板３０上に形成するに際しては、既知のフォトリソグラフィ法が用いられ、そのために各種製造装置５０〜５６が用いられている。具体的には、製造装置５０〜５６としては、図６に示すように、洗浄装置５０、成膜装置５１、レジスト塗布装置５２、露光装置５３、現像装置５４、エッチング装置５５、及びレジスト剥離装置５６が用いられる。そして、アレイ基板３０を構成するガラス基板３０Ａには、洗浄装置５０による洗浄工程、成膜装置５１による成膜工程、レジスト塗布装置５２によるレジスト塗布工程、露光装置５３による露光工程、現像装置５４による現像工程、エッチング装置５５によるエッチング工程、レジスト剥離装置５６によるレジスト剥離工程を経ることで、目的の薄膜が所定のパターンで形成され、この手順を各薄膜について繰り返し行うことで、各薄膜が順に積層されて形成される。

【0035】

具体的には、洗浄工程では、洗浄装置５０により、各薄膜を形成する前のガラス基板３０Ａ上に洗浄液を噴射することでガラス基板３０Ａを洗浄し、ガラス基板３０Ａ上の塵や埃等の異物を除去する。成膜工程では、成膜装置５１により、形成する薄膜の材料をガラス基板３０Ａの板面に対して均一な膜厚となるように成膜する。この成膜装置５１としては、具体的には、ＣＶＤ装置、スパッタ装置、真空蒸着装置等が用いられる。レジスト塗布工程では、レジスト塗布装置５２により、成膜装置５１によって成膜された材料膜に対してフォトレジストを均一な膜厚となるように塗布して積層形成する。このとき、フォトレジストとしては、ポジ型、またはネガ型のものが用いられる。露光工程では、露光装置５３により、レジスト塗布装置５２により塗布されたフォトレジストに対して、所定のパターンを有するフォトマスクを介してＵＶ光等を照射することで、フォトマスクのパターンに応じた範囲を露光する。

【0036】

現像工程では、現像装置５４により、ガラス基板３０Ａの板面上に現像液を供給することで、フォトレジストを現像し、露光領域又は非露光領域のいずれかを除去する。エッチング工程では、エッチング装置５５により、材料膜のうち残されたフォトレジストによって覆われていない領域をエッチングして除去することで、材料膜をパターニングする。エッチング装置５５としては、具体的には、エッチングガスやイオン、ラジカルによって材料膜をエッチングするドライエッチング装置やエッチング液によって材料膜をエッチングするウェットエッチング装置等が用いられる。このうちウェットエッチング装置では、ガラス基板３０Ａの板面上にエッチング液を供給することで、材料膜をエッチングする。レジスト剥離工程では、レジスト剥離装置５６により、ガラス基板３０Ａの板面上にレジスト剥離液を供給することで、残されたフォトレジストを除去する。

【0037】

上記した各製造装置５０〜５６のうち、洗浄装置５０は、上記した成膜前の洗浄工程以外にも、他の製造装置５１〜５６による工程の後で使用される場合がある。具体的には、成膜装置５１による成膜工程の後に、成膜に伴う残余物質やゴミを除去するために洗浄工程を行う場合があり、その洗浄工程において洗浄装置５０が用いられる。これ以外にも、例えばエッチング装置５５としてドライエッチング装置を用いた場合、そのエッチング工程の後にドライエッチングによる残渣物を除去するために洗浄工程を行う場合があり、その洗浄工程においても、上記した洗浄装置５０が用いられる。

【0038】

続いて洗浄装置５０の構成について詳しく説明する。洗浄装置５０は、図７及び図８に示すように、外部雰囲気から隔てられた洗浄槽５０Ａと、この洗浄槽５０Ａ内に配設された搬送装置６０と、後述するノズル７０，７２が取り付けられた複数の配管８０と、を備える構成とされる。なお、図７〜図１３では、Ｘ軸方向がガラス基板３０Ａの搬送方向（前後方向）とされ、Ｙ軸方向が左右方向（搬送されるガラス基板３０Ａの幅方向）とされ、Ｚ軸方向が洗浄装置５０の上下方向とされる。また、図７及び図８では、図の左側が搬送方向の上流側、図の右側が搬送方向の下流側とされる。洗浄装置５０において、ガラス基板３０Ａは、薄膜の形成面又は形成予定面が上側に向けられた状態で搬送方向の上流側に投入され、その長辺方向がＸ軸方向に沿うとともにその短辺方向がＹ軸方向に沿った姿勢で、搬送装置６０によって搬送方向の上流側から下流側へと搬送される（図７及び図８の矢印参照）。

【0039】

先に搬送装置６０の構成について説明する。搬送装置６０は、図７及び図８に示すように、軸状に延在し、ガラス基板３０Ａを搬送方向に沿って搬送する複数の搬送ローラ６２と、各搬送ローラ６２の両端部をその軸周りに回転可能に支持する軸受部６４と、所定の高さ位置に固定されて軸受部６４を保持する一対のフレーム６６とを備えている。このうち一対のフレーム６６は、ガラス基板３０Ａの搬送方向に沿って延在する形状とされ、各搬送ローラ６２の取付位置に対応する位置に凹状に凹んでなる複数の凹状部６６Ａ１を有している。各凹状部６６Ａは、上方に開口する形で、ガラス基板３０Ａの搬送方向に沿って間欠的に設けられている。

【0040】

各搬送ローラ６２は、一対のフレーム６６の間に架け渡され、その延在方向がＹ軸方向に沿った姿勢で、搬送方向に沿って所定の間隔で並列配置されている。各搬送ローラ６２は、図示しない回転機構によってその軸周りに回転されるようになっている。各搬送ローラ６２は、図７及び図８に示すように、金属製のシャフト部６２Ａと、シャフト部６２Ａに取り付けられた合成樹脂製の複数の基板支持部６２Ｂとを有している。各基板支持部６２Ｂは、シャフト部６２Ａよりも径大な円板状とされ、搬送ローラ６２の延在方向において所定の間隔を空けてシャフト部６２Ａに取り付けられている。ガラス基板３０Ａは、薄膜の形成面又は形成予定面とは反対側の板面が搬送ローラ６２の基板支持部６２Ｂによって継続的に支持されながら、搬送方向に沿って搬送される。

【0041】

軸受部６４は、いわゆるボールベアリングであり、搬送ローラ６２のシャフト部６２Ａの延在方向の両端部において、軸周りの外側に配されている。軸受部６４は、その下側部分が各フレーム６６の凹状部６６Ａに接着固定されることで、フレーム６６に対して保持されている。なお、搬送装置６０は、図７に示すように、搬送方向の下流側に配された一つの搬送ローラ６２と対向する形で当該搬送ローラ６２の上側に配された一つの上乗せローラ６８を備えている。この上乗せローラ６８は、搬送ローラ６２と同様の構成であり、その回転機構についても搬送ローラ６２と同様とされる。この上乗せローラ６８は、対向する搬送ローラ６２との間にガラス基板３０Ａを挟み込んだ形で当該ガラス基板３０Ａを搬送方向の下流側に送り出すものとされる。このように対向する一対のローラ６２，６８の間にガラス基板３０Ａを挟み込むことで、ガラス基板３０Ａがその板面方向に滑ることを防止ないし抑制することができる。

【0042】

次に配管８０の構成について説明する。各配管８０は、図８に示すように、搬送方向に沿って延在する主管部８０Ａと、主管部８０Ａから分岐して左右方向に沿って延在する複数の分岐管部８０Ｂと、を備えている。各配管８０の主管部８０Ａは搬送装置の左右方向における一端側に位置しており、各配管８０の分岐管部８０Ｂは搬送装置の左右方向における一端側から他端側に至るまで伸びている。また、各配管８０において、各分岐管部８０Ｂの搬送方向における間隔は略等しいものとされる。各配管８０における各分岐管部８０Ｂには、搬送装置６０によって搬送されるガラス基板３０Ａ上に洗浄液を噴射する複数のノズル７０，７２が搬送方向と直交する方向（Ｙ軸方向）に直線状に並列した形で取り付けられている。複数のノズル７０，７２は、各分岐管部８０Ｂにおいて略等間隔で間欠的に設けられており、各分岐管部８０Ｂにおけるノズル７０，７２の数、及びノズル７０，７２の配置はいずれも等しいものとされる。なお、各配管８０の主管部８０Ａには、図示しない供給管から洗浄液が供給されるようになっている。主管部８０Ａに供給された洗浄液は、各分岐管部８０Ｂまで流れて各ノズル７０，７２から噴射される。

【0043】

複数のノズル７０，７２の大部分は、搬送装置６０によって搬送されるガラス基板３０Ａの板面に対して垂直に当たるように下方に向かって真っすぐに洗浄液を噴射する垂直ノズル（洗浄用ノズルの一例）７０とされる。ここで、図９における鎖線、及び図１０における一点鎖線は、各垂直ノズル７０から噴射される洗浄液の噴射範囲を示している。図９及び図１０に示すように、垂直ノズル７０から噴射される洗浄液は、やや傾いた形で左右方向に拡がるように垂直ノズル７０の噴射口からガラス基板３０Ａ側に向かって噴射される。また、図９及び図１０に示すように、各垂直ノズル７０から噴射される洗浄液は、その噴射範囲が左右方向の両側において隣り合う洗浄液の噴射範囲と重なり合うものとされる。このため、搬送装置６０によって搬送されるガラス基板３０Ａは、垂直ノズル７０が取り付けられた分岐管部８０Ｂの直下を通過する際、分岐管部８０Ｂの直下に位置するガラス基板３０Ａの板面の部位が幅方向の全域に亘って洗浄液に当たるようになっている。

【0044】

一方、搬送方向の最も下流側に位置する分岐管部８０Ｂに取り付けられた各ノズル７０，７２のうち、左右方向の一端側に位置する３つのノズル７２と左右方向の他端側に位置する３つのノズル７２は、搬送装置６０によって搬送されるガラス基板３０Ａの板面に対して斜め方向から当たるように下方に向かって洗浄液を噴射する傾斜ノズル７２とされる。ここで、図１１における鎖線、及び図１２における一点鎖線は、各垂直ノズル７０及び各傾斜ノズル７２から噴射される洗浄液の噴射範囲を示している。図９及び図１０に示すように、傾斜ノズル７２から噴射される洗浄液は、やや傾いた形で前後方向に拡がるように傾斜ノズル７２の噴射口からガラス基板３０Ａ側に向かって噴射される。詳しくは、傾斜ノズル７２では、洗浄液の噴射方向Ｄ１が、搬送されるガラス基板３０Ａの板面と直交する平面Ｐ１に対して傾けられている（図１１及び図１３参照）。これに対し上記垂直ノズル７０は、洗浄液の噴射方向がこの平面Ｐ１に沿うものとされる。

【0045】

傾斜ノズル７２の構成及び傾斜ノズル７２による洗浄液の噴射態様についてさらに詳しく説明する。傾斜ノズル７２は、図１１及び図１３に示すように、搬送方向の上流側にわずかに傾けられた垂直ノズル７０の噴射口に、略クランク状に屈曲して伸びる延長ノズル７２Ａを取り付けた構成とされる。延長ノズル７２Ａは、その噴射口がガラス基板３０Ａの左右方向における両端部側に向けられた姿勢で取り付けられている。このため、傾斜ノズル７２からガラス基板３０Ａ上に噴射される洗浄液は、ガラス基板３０Ａの左右方向における両端部側に向かうようになっている。詳しくは、図１２において、図の右端側に位置する３つの傾斜ノズル７２では、噴射される洗浄液がガラス基板３０Ａの右端部側に向かうように噴射方向が傾いており、図の左端側に位置する３つの傾斜ノズル７２では、噴射される洗浄液がガラス基板３０Ａの左端部側に向かうように噴射方向が傾いている。また、傾斜ノズル７２による洗浄液の噴射方向は、垂直ノズル７０による洗浄液の噴射方向に比べて、搬送方向の上流側にわずかに傾いている（図７参照）。

【0046】

各分岐管部８０Ｂに取り付けられた傾斜ノズル７２が上記のような構成とされることで、図１４に模式的に示すように、搬送装置６０によって搬送されるガラス基板３０Ａ上の塵や埃等の異物Ｒ１は、傾斜ノズル７２から噴射される洗浄液によってガラス基板３０Ａの左右方向における両端部側から当該ガラス基板３０Ａの外側に流し落とされる（図１４に示す矢印参照）。このため、ガラス基板３０Ａの左右方向における両端部側に洗浄液が滞留することが防止ないし抑制され、洗浄液によってガラス基板３０Ａ上から剥離された異物Ｒ１がガラス基板３０Ａ上に再び付着することが防止ないし抑制されるようになっている。

【0047】

ところで、洗浄装置５０では、各ノズル７０，７２から噴射された洗浄液は回収され、図示しない循環装置により循環されて再び洗浄液として使用される。アレイ基板３０の製造過程において、洗浄装置５０が他の製造装置５１〜５６による工程の後で使用されると、上記異物Ｒ１が混入した洗浄液がガラス基板３０Ａ上に噴射されることがある。このため、洗浄装置５０が他の製造装置５１〜５６による工程の後で使用される場合、ガラス基板３０Ａ上に洗浄液が滞留すると、洗浄液に混入した異物Ｒ１がガラス基板３０Ａ上に成膜された上記ゲート絶縁膜３７や上記層間絶縁膜３９に付着し、ゲート絶縁膜３７や層間絶縁膜３９の一部と共にガラス基板３０Ａから剥がれ、ゲート絶縁膜欠損又は層間絶縁膜欠損として検出されることがある。このような欠損が検出されたアレイ基板３０は、不良品とされる。これに対し本実施形態では、上記のようにガラス基板３０Ａ上に洗浄液が滞留することが防止ないし抑制されるため、再利用される洗浄液に含まれる異物Ｒ１がガラス基板３０Ａ上のゲート絶縁膜３７や層間絶縁膜３９等に付着することが防止ないし抑制されるようになっている。

【0048】

ここで図１５のグラフに、本実施形態に係る洗浄装置５０の適用前後において、ガラス基板３０Ａ上に成膜されたゲート絶縁膜３７のゲート絶縁膜欠損、及びガラス基板３０Ａ上に成膜された層間絶縁膜３９の層間絶縁膜欠損をそれぞれ検出した結果を示す。なお、図１５のグラフにおける横軸は１枚のアレイ基板３０当たりに発生したパターン欠陥（上記ゲート絶縁膜欠損及び上記層間絶縁膜欠損）が何箇所発生したのかを示しており、縦軸はパターン欠陥の発生数毎にその発生頻度を百分率（％）で示している。また、丸印を結んだ線は本実施形態に係る洗浄装置５０の適用前を示しており、四角印を結んだ線は本実施形態に係る洗浄装置５０の適用後を示している。図１５のグラフに示すように、パターン欠陥の発生数が６０を超えるものについては、本実施形態に係る洗浄装置５０の適用前よりも適用後の方が大きく下回っている。従って、本実施形態の洗浄装置５０を適用することにより、ガラス基板３０Ａの表面に洗浄液が滞留することが防止ないし抑制されており、ガラス基板３０Ａ上への異物Ｒ１の再付着によるパターン欠陥の発生数が低減されている。

【0049】

以上説明したように本実施形態に係る洗浄装置５０では、搬送方向の最も下流側に位置する分岐管部８０Ｂに取り付けられた複数のノズル７０，７２のうち、左右方向の両端部側に配された計６つの傾斜ノズル７２について、洗浄液の噴射方向が搬送されるガラス基板３０Ａの板面と直交する平面に対して傾けられている。これにより、これらの６つの傾斜ノズル７２から、搬送されるガラス基板３０Ａの左右方向の両端部側に向かうようにガラス基板３０Ａ上に洗浄液が噴射される。このため、搬送されるガラス基板３０Ａ上に洗浄液が滞留したとしても、傾斜ノズル７２から噴射される洗浄液によって、ガラス基板３０Ａ上に滞留した洗浄液が、ガラス基板３０Ａの左右方向の両端部からガラス基板３０Ａの外側に流し落とされる。その結果、ガラス基板３０Ａ上に滞留した洗浄液に含まれる異物Ｒ１がガラス基板３０Ａに再付着することを抑制することができる。

【0050】

さらに、本実施形態に係る洗浄装置５０において、各配管８０に取り付けられる各ノズル７０，７２は、各配管８０の分岐管部８０Ｂに直線状に並列した形で配される。このため、洗浄装置５０の製造過程において、複数のノズル７０，７２が直線状以外の形状（例えばＶ字型に屈曲した形状）に並列して配される構成と比べて簡単な工程で複数のノズル７０，７２を配することができる。

【0051】

また本実施形態では、傾斜ノズル７２が垂直ノズル７０よりも搬送方向の下流側に配されており、垂直ノズル７０による洗浄液の噴射方向が、搬送されるガラス基板３０Ａの板面と直交する平面Ｐ１に沿っている。このような構成とされていることで、垂直ノズル７０からガラス基板３０Ａ上に噴射された洗浄液が上記平面Ｐ１に対して傾かない形でガラス基板３０Ａに当たることとなるので、搬送方向に沿って搬送されるガラス基板３０Ａを傾斜ノズル７２の下方に至るまでの間に垂直ノズル７０によって効果的に洗浄することができる。

【0052】

ところで本実施形態では、傾斜ノズル７２が搬送方向の最も下流側に配されており、傾斜ノズル７２からガラス基板３０Ａの板面に対して傾いた形で洗浄液が噴射されるので、搬送方向の下流側において傾斜ノズル７２からの洗浄液がガラス基板３０Ａと搬送ローラ６２との間に入り込み、ガラス基板３０Ａがその板面方向に滑る虞がある。この点、本実施形態では、搬送方向の下流側において、搬送ローラ６２と上乗せローラ６８との間にガラス基板３０Ａが挟み込まれ、搬送方向のさらに下流側に当該ガラス基板３０Ａが送り出されるため、ガラス基板３０Ａが搬送ローラ６２上をその板面方向に滑ることが防止ないし抑制されるようになっている。

【0053】

＜実施形態２＞
図１６を参照して実施形態２を説明する。実施形態２は、傾斜ノズル７２，１７３，１７４の噴射態様が実施形態１のものと異なっている。その他の構成については実施形態１と同様であるため、構造、作用、及び効果の説明は省略する。本実施形態の洗浄装置では、図１６に示すように、実施形態１と同様に、搬送方向の最も下流側に位置する分岐管部８０Ｂに取り付けられた複数のノズル７０，７２，１７３，１７４のうち、左右方向の一端側に位置する３つのノズル７２，１７３，１７４と左右方向の他端側に位置する３つのノズル７２，１７３，１７４がそれぞれ傾斜ノズル７２，１７３，１７４とされる。このうち内側（分岐管部８０Ｂの左右方向における中央側）にそれぞれ位置する２つの傾斜ノズル７２は、実施形態１の傾斜ノズル７２と同様のものとなっている。

【0054】

一方、実施形態１と同様の傾斜ノズル７２の外側（分岐管部８０Ｂの左右方向における両端部側）にそれぞれ位置する２つの傾斜ノズル１７３は、その延長ノズル１７３Ａがより外側に傾けられている。具体的には、これら２つの傾斜ノズル１７３は、洗浄液の噴射方向が、上述した平面Ｐ１に対して実施形態１と同様の傾斜ノズル７２よりも外側にさらに略５°傾いた構成となっている。さらに、この２つの傾斜ノズル１７３の外側にそれぞれ位置する２つの傾斜ノズル１７４、即ち、分岐管部８０Ｂの左右方向における両端にそれぞれ位置する２つの傾斜ノズル１７４は、その延長ノズル１７４Ａがより外側に傾けられている。具体的には、これら２つの傾斜ノズル１７３は、洗浄液の噴射方向が、上述した平面Ｐ１に対して実施形態１と同様の傾斜ノズル７２よりも外側にさらに略１０°傾いた構成となっている。

【0055】

このように本実施形態では、分岐管部８０Ｂの左右方向における両端部側に近づくにつれて、傾斜ノズル７２，１７３，１７４による洗浄液の噴射方向の上記平面Ｐ１に対する傾き角度が大きくなるものとされる。ここで、搬送装置によって搬送されるガラス基板３０Ａ上では、ガラス基板３０Ａの左右方向における両端部側に近づくほど、洗浄液が滞留し易い。本実施形態では、各傾斜ノズル７２，１７３，１７４が上記のような構成とされていることで、ガラス基板３０Ａ上のうち洗浄液が滞留し易い側に近づくほどガラス基板３０Ａ上に噴射される洗浄液の噴射方向の傾き角度が大きくなるので、ガラス基板３０Ａ上に滞留した洗浄液を、ガラス基板３０Ａの左右方向における両端部から当該ガラス基板３０Ａの外側に効果的に流し落とすことができる。

【0056】

＜実施形態３＞
図１７を参照して実施形態３を説明する。実施形態３は、傾斜ノズル７２，２７５，２７６の噴射態様が実施形態１及び実施形態２のものと異なっている。その他の構成については実施形態１と同様であるため、構造、作用、及び効果の説明は省略する。本実施形態の洗浄装置では、図１７に示すように、実施形態１及び実施形態２と同様に、搬送方向の最も下流側に位置する分岐管部８０Ｂに取り付けられた複数のノズル７０，７２，２７５，２７６のうち、左右方向の一端側に位置する３つのノズル７２，２７５，２７６と左右方向の他端側に位置する３つのノズル７２，２７５，２７６がそれぞれ傾斜ノズル７２，２７５，２７６とされる。このうち内側（分岐管部８０Ｂの左右方向における中央側）にそれぞれ位置する２つの傾斜ノズル７２は、実施形態１の傾斜ノズル７２と同様のものとなっている。

【0057】

一方、実施形態１と同様の傾斜ノズル７２の外側にそれぞれ位置する２つの傾斜ノズル２７５は、その延長ノズル２７５Ａから噴射される洗浄液の噴射力が、実施形態１と同様の傾斜ノズル７２の噴射力よりも大きいものとされる。さらに、この２つの傾斜ノズル２７５の外側にそれぞれ位置する２つの傾斜ノズル２７５、即ち、分岐管部８０Ｂの左右方向における両端にそれぞれ位置する２つの傾斜ノズル２７６は、その延長ノズル２７６Ａから噴射される洗浄液の噴射力が、その内側にそれぞれ位置する上記傾斜ノズル２７５の噴射力よりも大きいものとされる。

【0058】

このように本実施形態では、分岐管部８０Ｂの左右方向における両端部側に近づくにつれて、傾斜ノズル７２，２７５，２７６による洗浄液の噴射力が大きくなるものとされる。このような構成とされていることで、搬送されるガラス基板３０Ａ上のうち洗浄液が滞留し易い側（ガラス基板３０Ａの左右方向における両端部側）に近づくほどガラス基板３０Ａ上に噴射される洗浄液の噴射力が大きくなるので、ガラス基板３０Ａ上に滞留した洗浄液を、ガラス基板３０Ａの左右方向における両端部から当該ガラス基板３０Ａの外側に効果的に流し落とすことができる。

【0059】

上記の各実施形態の変形例を以下に列挙する。
（１）上記の各実施形態では、搬送方向の最も下流側に位置する分岐管部にのみ傾斜ノズルが取り付けられた構成を例示したが、傾斜ノズルが取り付けられる位置については限定されない。傾斜ノズルが搬送方向の上流側に配されてもよいし、傾斜ノズルが搬送方向の途中に配されてもよい。

【0060】

（２）上記の各実施形態では、洗浄装置が計６つの傾斜ノズルを備える構成を例示したが、傾斜ノズルの数については限定されない。

【0061】

（３）上記の各実施形態では、傾斜ノズルが垂直ノズルに延長ノズルを取り付けた構成とされた例を示したが、傾斜ノズルは直線状に並列した形で配されればよく、傾斜ノズルの構成及び噴射態様については限定されない。

【0062】

（４）上記の各実施形態では、洗浄装置の搬送装置によって搬送される板状体の一例としてガラス基板を例示したが、傾斜ノズルからの洗浄液が噴射される板状体はガラス基板に限定されない。

【0063】

以上、本発明の各実施形態について詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。

【符号の説明】

【0064】

１０：液晶表示装置、１１：液晶パネル、１４：バックライト装置、２０：カラーフィルタ基板、３０：アレイ基板、３０Ａ：ガラス基板、３７：ゲート絶縁膜、３９：層間絶縁膜、５０：洗浄装置、５０Ａ：洗浄槽、６０：搬送装置、６２：搬送ローラ、６６：フレーム、６８：上乗せローラ、７０：垂直ノズル、７２，１７３，１７４，２７５，２７６：傾斜ノズル、７２Ａ，１７３Ａ，１７４Ａ，２７５Ａ，２７６Ａ：延長ノズル、８０：配管、８０Ａ：主管部、８０Ｂ：分岐管部、Ｄ１：（傾斜ノズルからの洗浄液の）噴射方向、Ｐ１：（搬送されるガラス基板と直交する）平面、Ｒ１：異物

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】