発明の名称 自己組織化単分子膜のパターニング装置、光照射装置及び自己組織化単分子膜のパターニング方法
出願人 ウシオ電機株式会社 (識別番号 102212)
特許公開件数ランキング 262 位(128件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 414 位(64件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-6241384
公報発行日 2017年12月6
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6241384
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