特許 6241591 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6241591

(24)【登録日】2017年11月17日

(45)【発行日】2017年12月6日

(54)【発明の名称】液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20171127BHJP

   B41J 2/16 20060101ALI20171127BHJP

【ＦＩ】

   B41J2/14 305

   B41J2/14 613

   B41J2/16 305

   B41J2/16 503

【請求項の数】6

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2013-60913(P2013-60913)

(22)【出願日】2013年3月22日

(65)【公開番号】特開2014-184646(P2014-184646A)

(43)【公開日】2014年10月2日

【審査請求日】2016年2月16日

(73)【特許権者】

【識別番号】000002369

【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100101236

【弁理士】

【氏名又は名称】栗原 浩之

(72)【発明者】

【氏名】平出 俊憲

(72)【発明者】

【氏名】渡邉 峻介

【審査官】 加藤 昌伸

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０８−１１８６６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−０９０５２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１２／０１６２３２０（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２００５／００９９４６８（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２００１−１３８５２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−２２３９３４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ４１Ｊ ２／０１ − ２／２１５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

シリコン単結晶基板からなる流路形成基板の一方向に沿い並設して複数個形成された複数の圧力発生室と、該圧力発生室の一方側の開口を封止する封止板としても機能する可撓性部材である振動板と、前記圧力発生室内に供給される液体に前記振動板を介して圧力を発生させる圧力発生手段と、
前記圧力発生室に対し前記振動板の反対側に配設されたノズルプレートと、前記複数の圧力発生室に連通するマニホールドと、前記圧力発生手段により前記圧力発生室に発生させた圧力により前記液体を吐出するよう前記ノズルプレートに形成されたノズル開口とを有する液体噴射ヘッドであって、
前記振動板は、前記流路形成基板に接着されており、前記圧力発生室の端部と前記マニホールドとの間の領域及び並設方向で隣接する前記圧力発生室間の隔壁の延長線上の領域では、長手方向に離間した２以上の接着領域を形成し、該接着領域を介して前記流路形成基板に接着させたことを特徴とする液体噴射ヘッド。

【請求項2】

請求項１に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記振動板は、樹脂フィルムと金属板とで形成されることを特徴とする液体噴射ヘッド。

【請求項3】

請求項１又は請求項２に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記圧力発生手段を保護する空間である保持部を有する保護基板をさらに有し、
前記振動板は、前記離間した２以上の接着領域で前記流路形成基板と接着される面と反対側の面に前記保護基板が接着されることを特徴とする液体噴射ヘッド。

【請求項4】

請求項１〜請求項３の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記接着領域は、前記流路形成基板の前記振動板が接する面に形成した凹部で離隔されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。

【請求項5】

請求項１〜請求項３の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記接着領域は、円形、矩形、三角形を含む任意形状の凸部または凹部で形成したことを特徴とする液体噴射ヘッド。

【請求項6】

請求項１〜請求項５の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドを搭載していることを特徴とする液体噴射装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、液体を噴射する液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドおよびインクジェット式記録装置として有用なものである。

【背景技術】

【0002】

液体噴射装置として、インクジェット式記録ヘッドを搭載したインクジェット式記録装置がある（例えば特許文献１参照）。ここで、インクジェット式記録ヘッドでは、圧力発生手段により圧力発生室内のインクに圧力を作用させることにより、ノズルプレートに形成されたノズル開口を介してインク滴を吐出させている。圧力発生手段としては、薄膜型の圧電アクチュエーターを用いたもの、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターを用いたもの、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターを用いたものなどが提案されている。

【0003】

このように、圧電アクチュエーターとして圧電アクチュエーターを用いる従来技術に係るインクジェット式記録ヘッドは、インク滴吐出のための圧力を発生させる複数の圧力発生室と、インクの貯留部である各圧力発生室に共通のマニホールドと、マニホールドから各圧力発生室に個別にインクを供給するインク供給路と、各圧力発生室に対応してノズルプレートに形成されてインク滴を吐出するノズル開口とを備えている。かくして、この種のインクジェット式記録ヘッドでは、各圧力発生室の一方側の開口を封止する封止板としても機能する可撓性部材である振動板を介して圧電アクチュエーターが発生する圧力を各圧力発生室のインクに付与している。ここで、前述の如く各圧力発生室の一方側の開口部を封止する振動板は、薄いフィルム状の部材で、通常は、金属板（例えばＳＵＳ等）で形成した支持薄膜の表面にＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）フィルム等の樹脂で形成した絶縁性薄膜を積層して形成してあり、各圧力発生室の一方側の開口部を封止しつつ流路形成基板の表面に接着剤により貼付されている。接着剤は、インクの付着等により経時的に劣化する。一方、当該インクジェット記録ヘッドは、使用される環境等の熱の影響により変形する。この変形は流路形成基板等、当該インクジェット式記録ヘッドを構成する各部品におよぶ。この結果、圧力発生室と振動板との接合端面等にも変形に起因する歪が応力となって作用する。他にも圧電アクチュエーターの変位により振動板が振動するたびに圧力発生室と振動板との接合端面に所定の応力が作用する。このように応力が作用した状態で接着剤が劣化すると界面剥離を生起する。この界面剥離により振動板が流路形成部材の表面から剥離される。この結果、圧力発生室内のインクに所定の圧力が作用しなくなり、ノズル開口を介して吐出されるインク滴の速度が変化する結果、着弾ズレの原因となる。さらに剥離が進行すると吐出不良を生起し、ノズル抜けの原因となる。

【0004】

このように、界面剥離が生起された場合、印刷品質の劣化に直接繋がるので可及的に回避しなければならない。ここで、剥離量が少ない場合には、所定の印刷品質を確保し得る場合もある。

【0005】

さらに、かかる構造のインクジェット式記録ヘッドでは、通常、圧電アクチュエーターを保護する目的等のため、圧電アクチュエーターをケース部材の内部空間に収納する構造となっている。そこで、断面門型形状のケース部材の脚部の下面で振動板の端部を圧力発生室側に押圧して接着剤で固定している。

【0006】

なお、このようなインクジェット式記録ヘッドに限定されず、インク以外の液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特開２００２−３５５９６１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み、振動板と流路形成基板との間の接着剤の界面剥離による流路形成基板に対する振動板の剥離を可及的に防止することができる液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記目的を達成する本発明の態様は、シリコン単結晶基板からなる流路形成基板の一方向に沿い並設して複数個形成された複数の圧力発生室と、該圧力発生室の一方側の開口を封止する封止板としても機能する可撓性部材である振動板と、前記圧力発生室内に供給される液体に前記振動板を介して圧力を発生させる圧力発生手段と、前記圧力発生室に対し前記振動板の反対側に配設されたノズルプレートと、前記複数の圧力発生室に連通するマニホールドと、前記圧力発生手段により前記圧力発生室に発生させた圧力により前記液体を吐出するよう前記ノズルプレートに形成されたノズル開口とを有する液体噴射ヘッドであって、前記振動板は、前記流路形成基板に接着されており、前記圧力発生室の端部と前記マニホールドとの間の領域及び並設方向で隣接する前記圧力発生室間の隔壁の延長線上の領域では、長手方向に離間した２以上の接着領域を形成し、該接着領域を介して前記流路形成基板に接着させたことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
本態様によれば、接着剤が経年劣化により界面剥離を生起しても、離間した一方の接着領域に剥離した振動板が至った時点で座屈し、それ以上の応力の伝達が遮断される。振動板は一部でも接着されていればその機能を発揮し得る場合があり、継続して圧電アクチュエーターの変位に伴う圧力を圧力発生室内の所定の液体に伝達することができる場合がある。この結果、長期に亘り安定的な液滴吐出の安定を図ることができる。また、前記接着領域は、並設方向で隣接する前記圧力発生室間の隔壁の延長戦上の領域である理由は次の通りである。すなわち、ヘッドの剥離現象として、インク等の加水現象により接着剤内部への浸食が接着力低下を招くため、インクに晒されている箇所が剥離しやすい箇所になる。また、壁面部分は接着している面積が小さい為、機械的な荷重が加わった際の力が同じであっても応力(単位面積当たりの抵抗力)が上がってしまい、破断応力以上になり易く、ここも剥がれ易い箇所となる。したがって、両者のワースト条件が当てはまるのがここの壁面間の接着部になり、凹部を設けるには機能的に疎外しない様に圧力室は避けた延長上の箇所とする。
なお、この種の液体噴射装置は、一般に圧力発生手段を内部空間に収納するケースを有する。このケースは、内部空間に収納した圧力発生手段を保護するとともに、脚部の下面で振動板の端部を圧力発生室側に押圧して固定している。この結果、かかるケースの熱膨張係数に基づく伸縮による変形も生起し、界面剥離の原因となる。したがって、本態様によれば、ケースの熱変形に伴う問題に対しても有効に対処し得る。
ここで、前記振動板は、樹脂フィルムと金属板とで形成されることが好ましい。
また、前記圧力発生手段を保護する空間である保持部を有する保護基板をさらに有し、前記振動板は、前記離間した２以上の接着領域で前記流路形成基板と接着される面と反対側の面に前記保護基板が接着されることが好ましい。
また、前記接着領域は、前記流路形成基板の前記振動板が接する面に形成した凹部で離隔されていることが好ましく、円形、矩形、三角形を含む任意形状の凸部または凹部で形成することもできる。かかる接着領域部分にまで振動板の剥離が進行して、接着部分で振動板が座屈することでそれ以降の応力の伝達が遮断されるからである。
本発明の他の態様は、上記液体噴射ヘッドを搭載していることを特徴とする液体噴射装置にある。本態様によれば、振動板の剥離の速度を可及的に低減して長期に亘り安定的な所定の機能を継続して発揮させることができる。
また、他の態様は、流路形成基板の一方向に沿い並設して複数個形成された圧力発生室と、該圧力発生室の一方側の開口を封止する封止板としても機能する可撓性部材である振動板と、前記圧力発生室内に供給される液体に前記振動板を介して圧力を発生させる圧力発生手段と、前記圧力発生室に対し前記振動板の反対側に配設されたノズルプレートと、前記圧力発生手段により前記圧力発生室に発生させた圧力により前記液体を吐出するよう前記ノズルプレートに形成されたノズル開口とを有する液体噴射ヘッドであって、前記振動板は、前記圧力発生室の長手方向に関する前記圧力発生室の端部よりも外側の領域に、離間した２以上の接着領域を形成し、該接着領域を介して前記流路形成部材に接着させたことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
本態様によれば、接着剤が経年劣化により界面剥離を生起しても、離間した一方の接着領域に剥離した振動板が至った時点で座屈し、それ以上の応力の伝達が遮断される。振動板は一部でも接着されていればその機能を発揮し得る場合があり、継続して圧電アクチュエーターの変位に伴う圧力を圧力発生室内の所定の液体に伝達することができる場合がある。この結果、長期に亘り安定的な液滴吐出の安定を図ることができる。

【0010】

なお、この種の液体噴射装置は、一般に圧力発生手段を内部空間に収納するケースを有する。このケースは、内部空間に収納した圧力発生手段を保護するとともに、脚部の下面で振動板の端部を圧力発生室側に押圧して固定している。この結果、かかるケースの熱膨張係数に基づく伸縮による変形も生起し、界面剥離の原因となる。したがって、本態様によれば、ケースの熱変形に伴う問題に対しても有効に対処し得る。

【0011】

ここで、前記接着領域は、前記流路形成基板の前記振動板が接する面に形成した凹部で離隔されるのが望ましい。複数の接着領域を簡単かつ確実に区分けることができるからである。また、前記接着領域は、円形、矩形、三角形を含む任意形状の凸部または凹部で形成することもできる。かかる接着領域部分にまで振動板の剥離が進行して、接着部分で振動板が座屈することでそれ以降の応力の伝達が遮断されるからである。さらに、前記接着領域は、並設方向で隣接する前記圧力発生室間の隔壁の延長戦上の領域であるのが好ましい。その理由は次の通りである。すなわち、ヘッドの剥離現象として、インク等の加水現象により接着剤内部への浸食が接着力低下を招くため、インクに晒されている箇所が剥離しやすい箇所になる。また、壁面部分は接着している面積が小さい為、機械的な荷重が加わった際の力が同じであっても応力(単位面積当たりの抵抗力)が上がってしまい、破断応力以上になり易く、ここも剥がれ易い箇所となる。したがって、両者のワースト条件が当てはまるのがここの壁面間の接着部になり、凹部を設けるには機能的に疎外しない様に圧力室は避けた延長上の箇所とするのが好ましい。

【0012】

本発明の他の態様は、上記液体噴射ヘッドを搭載していることを特徴とする液体噴射装置にある。本態様によれば、振動板の剥離の速度を可及的に低減して長期に亘り安定的な所定の機能を継続して発揮させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。

【図2】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。

【図3】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。

【図4】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。

【図5】実施形態１に係る振動板の一例を抽出・拡大して示す平面図である。

【図6】実施形態１に係る振動板の他の例を抽出・拡大して示す平面図である。

【図7】本発明の一実施形態に係る記録装置の概略構成を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２は、インクジェット式記録ヘッドの液体分斜面側の平面図であり、図３（ａ）は図２のＡ−Ａ′線断面図および同図（ｂ）がその拡大図であり、図５は、圧電アクチュエーター側から見た弾性膜を抽出・拡大して示す平面図である。

【0015】

図示するように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドＩは、ヘッド本体１１、ケース部材４０、カバーヘッド１３０等の複数の部材を備え、これら複数の部材が接着剤等によって接合されている。本実施形態では、ヘッド本体１１は、流路形成基板１０と、連通板１５と、ノズルプレート２０と、保護基板３０と、コンプライアンス基板４５と、を具備する。

【0016】

ヘッド本体１１を構成する流路形成基板１０は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなり、当該流路形成基板１０には、複数の圧力発生室１２が同じ色のインクを吐出する複数のノズル開口２１が並設される方向に沿って並設されている。以降、この方向を圧力発生室１２の並設方向、又は第１の方向Ｘと称する。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２が第１の方向Ｘに沿って形成された圧力発生室１２の列が複数列設された列設方向を、以降、第２の方向Ｙと称する。図３（ｂ）に示すように、このような流路形成基板１０の一方の面には圧力発生室１２の一方の開口を封止するように振動板５１が接着剤で貼着されている。振動板５１は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からなる絶縁体膜５５と、この絶縁体膜５５を支持する、例えば、ＳＵＳ等からなる金属板５０との複合板で形成されており、金属板５０側が流路形成基板１０に接合されている。例えば、本実施形態では、絶縁体膜５５は、厚さが数μｍ程度のＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）フィルムからなり、金属板５０は、厚さが数十μｍ程度のステンレス鋼板（ＳＵＳ）からなる。

【0017】

流路形成基板１０のノズルプレート２０側（振動板５１とは反対側）には、連通板１５が接合されている。連通板１５には、各圧力発生室１２に連通する複数のノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が接合されている。連通板１５には、圧力発生室１２とノズル開口２１とを繋ぐノズル連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このようにノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることでコストの削減を図ることができる。なお、本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル開口２１が開口して、インク滴が吐出される面を液体噴射面２０ａと称する。

【0018】

また、連通板１５には、マニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部１８とが設けられている。

【0019】

第１マニホールド部１７は、連通板１５を厚さ方向（連通板１５と流路形成基板１０との積層方向）に貫通して設けられている。

【0020】

また、第２マニホールド部１８は、連通板１５を厚さ方向に貫通することなく、連通板１５の液体噴射面２０ａ側に開口して設けられている。

【0021】

さらに、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部に連通するインク供給路１９が、各圧力発生室１２毎に独立して設けられている。このインク供給路１９は、第２マニホールド部１８と圧力発生室１２とを連通する。

【0022】

このような連通板１５としては、流路形成基板１０と線膨張係数が同等の材料が好ましい。つまり、連通板１５として流路形成基板１０と線膨張係数が大きく異なる材料を用いた場合、加熱や冷却されることで、流路形成基板１０と連通板１５との線膨張係数の違いにより反りが生じてしまう。本実施形態では、連通板１５として流路形成基板１０と同じ材料、すなわち、シリコン単結晶基板を用いることで、熱による反りを抑制することができる。

【0023】

また、ノズルプレート２０の材料も接着される連通板１５と線膨張係数が同等の材料が好ましく、本実施形態では、ノズルプレート２０としてシリコン単結晶基板を用いた。

【0024】

つまり、流路部材を構成する積層された基板が同一材料とは、線膨張係数が略同等の材料のことを言う。例えば、シリコン単結晶基板と線膨張係数が略同等な材料としては、鉄ニッケル合金などが挙げられる。

【0025】

一方、流路形成基板１０に貼着された振動板５１の絶縁膜である絶縁体膜５５上には、第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とからなる圧電アクチュエーター（圧力発生手段）３００が設けられている。本実施形態では、第１電極６０が複数の圧電アクチュエーター３００に共通する共通電極として機能し、第２電極８０が各圧電アクチュエーター３００で独立する個別電極として機能する。

【0026】

また、第２電極８０には、リード電極９０の一端がそれぞれ接続されている。リード電極９０の他端には、駆動回路１２０が設けられた配線基板１２１が接続されている。

【0027】

流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護するための空間である保持部３１を有する。

【0028】

また、このような構成のヘッド本体１１には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールド１００をヘッド本体１１と共に画成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接着剤によって固定されると共に、上述した連通板１５にも接着剤によって固定されている。具体的には、ケース部材４０は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する。この凹部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に流路形成基板１０等が収容された状態で凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。これにより、流路形成基板１０の外周部には、ケース部材４０とヘッド本体１１とによって第３マニホールド部４２が画成されている。そして、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８と、ケース部材４０と流路形成基板１０とによって画成された第３マニホールド部４２とによって本実施形態のマニホールド１００が構成されている。

【0029】

なお、保護基板３０の材料は、保護基板３０が接着される流路形成基板１０と線膨張係数が同等の材料が好ましく、本実施形態では、シリコン単結晶基板を用いた。

【0030】

また、連通板１５の第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口する液体噴射面２０ａ側の面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。このコンプライアンス基板４５が、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８の液体噴射面２０ａ側の開口を封止している。

【0031】

このようなコンプライアンス基板４５は、本実施形態では、封止膜４６と、固定基板４７と、を具備する。封止膜４６は、可撓性を有する薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）やステンレス鋼（ＳＵＳ）等により形成された厚さが２０μｍ以下の薄膜）からなり、固定基板４７は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板４７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部４９となっている。

【0032】

なお、ケース部材４０には、マニホールド１００に連通して各マニホールド１００にインクを供給するための導入路４４が設けられている。また、ケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通して配線基板１２１が挿通される接続口４３が設けられている。

【0033】

このような構成のインクジェット式記録ヘッドＩでは、インクを吐出する際に、インクカートリッジ等のインク貯留手段から導入路４４を介してインクを取り込み、マニホールド１００からノズル開口２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路１２０からの信号に従い、圧力発生室１２に対応する各圧電アクチュエーター３００に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター３００と共に金属板５０及び絶縁体膜５５をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室１２内の圧力が高まり所定のノズル開口２１からインク滴が吐出される。

【0034】

また、ヘッド本体１１の液体噴射面２０ａ側には、本実施形態の固定板であるカバーヘッド１３０が設けられている。カバーヘッド１３０は、コンプライアンス基板４５の連通板１５とは反対面側に接着剤等により固定されており、コンプライアンス部４９の流路（マニホールド１００）とは反対側の空間を封止する。なお、カバーヘッド１３０には、ノズル開口２１を露出する露出開口部１３１が設けられている。また、カバーヘッド１３０は、ヘッド本体１１の側面を覆うように、端部が屈曲して設けられている。

【0035】

このようなインクジェット式記録ヘッドＩの流路部材を構成する積層された基板は、互いに接着剤を介して接合されている。

【0036】

ここで、連通板１５の貫通孔２０３（図４参照）、流路形成基板１０の貫通孔２０２（図４参照）、振動板５１，５１Ａ（図５および図６参照）の貫通孔２０４、保護基板３０の貫通孔２０１（図４参照）は順次連結されており、最後にケース部材４０の貫通孔２００（図１〜図３参照）を介して大気に開放されている。

【0037】

図５は実施形態１に係る振動板の一例を抽出・拡大して示す平面図である。同図に基づき、本実施形態１をさらに詳細に説明する。同図に示すように、本形態における振動板５１は、矩形の点線で示す圧力発生室１２の一方の開口を封止して流路形成基板１０の表面に貼着される。このとき振動板５１は圧力発生室１２の長手方向に関し圧力発生室１２の端部よりも外側の領域、すなわち図５中において、上側に配設された圧力発生室１２の場合は、各圧力発生室１２上端から上方向の領域および各圧力発生室１２下端から下方向の領域であり、下側に配設された圧力発生室１２の場合は、各圧力発生室１２下端から下方向の領域および各圧力発生室１２上端から上方向の領域である。かかる各領域においてそれぞれ離間した２つの接着領域（１１０Ａ，１１０Ｂ）、（１１１Ａ，１１１Ｂ）、（１１２Ａ，１１２Ｂ）、（１１３Ａ，１１３Ｂ）を形成し、これらの接着領域１１０Ａ〜１１３Ｂを介して流路形成基板１０に振動板５１を接着している。さらに詳述すると、本形態における接着領域（１１０Ａ，１１０Ｂ）、（１１１Ａ，１１１Ｂ）および接着領域（１１２Ａ，１１２Ｂ）、（１１３Ａ，１１３Ｂ）は圧力発生室１２の並設方向に伸びる各２本の凹部として形成してある。したがって、実際には各凹部を除いた領域に接着剤が塗布される。かかる接着状態で振動板５１が圧力発生室１２の図中上側端面から、あるいは上方向に向けた剥離が発生した場合を考える。このときの振動板５１が前記上方向に剥離されて接着領域１１０Ａに至ると接着領域１１０Ａの位置で座屈する結果、剥離が進行しない。このことにより、振動板５１に剥離が発生しても、しばらくはそれ以上の剥離の進行を停止させることができる。したがって、その分安定した吐出動作を継続させることができる。他の接着領域（１１１Ａ，１１１Ｂ）、（１１２Ａ，１１２Ｂ）、（１１３Ａ，１１３Ｂ）に関しても全く同様に考えることができる。

【0038】

図６は実施形態１に係る振動板の他の例を抽出・拡大して示す平面図である。同図に基づき、本例をさらに詳細に説明する。同図に示すように、本形態における振動板５１Ａも、矩形の点線で示す圧力発生室１２の一方の開口を封止して流路形成基板１０の表面に貼着される。このとき本例では、離間した２つの接着領域の形状が異なるだけで、他は図５に示す場合と同様である。すなわち、接着領域（１１４Ａ，１１４Ｂ）、（１１５Ａ，１１５Ｂ）、（１１６Ａ，１１６Ｂ）、（１１７Ａ，１１７Ｂ）が形成してあるが、これらは圧力発生室１２の並設方向で隣接する圧力発生室１２間の隔壁の延長戦上の領域である。また、形状は円形である。円形の凸部であっても凹部であっても構わない。

【0039】

この場合も図５に示す場合と全く同様に考えることができる。すなわち、接着領域（１１４Ａ〜１１７Ｂのいずれかの位置まで剥離が進んだ場合には、振動板５１は挫屈を生起するため応力がそれ以上伝達されない。

【0040】

ここで、接着領域は所定の領域に少なくとも２個形成されていれば良い。接着領域まで進行した振動板５１のそれ以上の進行を抑制することができるからである。このとき、接着領域の形状は円形に限る必要は当然なく、矩形、三角形等であっても良好に所期の目的を達成させることができる。

【0041】

（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。

【0042】

上述した実施形態１のインクジェット式記録ヘッドの他に、薄膜型の圧電アクチュエーターを用いたもの、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターを用いたもの、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターを用いたもの等に，同様に適用でき同様の作用効果を発揮させることができる。これらの圧電アクチュエーターを用いるインクジェット式記録ヘッドでは、圧電アクチュエーターを保護する目的等のため、圧電アクチュエーターをケース部材の内部空間に収納する構造となっているおり、断面門型形状のケース部材の脚部の下面で振動板の端部を圧力発生室側に押圧して接着剤で固定構造も共通しているからである。

【0043】

また、これら各実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図７は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。

【0044】

図７に示すインクジェット式記録装置ＩＩにおいて、複数のインクジェット式記録ヘッドＩを有するインクジェット式記録ヘッドユニット１Ａ、１Ｂ（以下、ヘッドユニット１Ａ、１Ｂとも言う）は、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、このヘッドユニット１Ａ、１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。このヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。

【0045】

そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、ヘッドユニット１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。

【0046】

また、インクジェット式記録装置ＩＩの非印字領域には、ノズル開口２１を覆う吸引キャップ１４０が設けられており、この吸引キャップ１４０にチューブ１４２を介して、例えば、真空ポンプ等の吸引装置１４１が接続されている。吸引キャップ１４０は、カバーヘッドに当接する大きさを有し、吸引装置１４１によってカバーヘッドに密着した吸引キャップ１４０の内部の気体を吸引することで、ノズル開口２１を介して圧力発生室１２等の流路内のインクを吸引する吸引動作を行う。

【0047】

なお、上述したインクジェット式記録装置ＩＩでは、インクジェット式記録ヘッドＩ（ヘッドユニット１）がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッドＩが固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。

【0048】

また、上述した例では、インクジェット式記録装置ＩＩは、液体貯留手段であるインクカートリッジ２Ａ、２Ｂがキャリッジ３に搭載された構成であるが、特にこれに限定されず、例えば、インクタンク等の液体貯留手段を装置本体４に固定して、貯留手段とインクジェット式記録ヘッドＩとをチューブ等の供給管を介して接続してもよい。また、液体貯留手段がインクジェット式記録装置ＩＩに搭載されていなくてもよい。

【0049】

なお、上記実施の形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを、また液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用できる。

【符号の説明】

【0050】

Ｉ インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、 ＩＩ インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、 １Ａ、１Ｂ ヘッドユニット、 ２Ａ、２Ｂ インクカートリッジ、 ３ キャリッジ、 ４ 装置本体、 ５ キャリッジ軸、 ６ 駆動モーター、１２ 圧力発生室、 ２０ ノズルプレート、 ２１ ノズル開口、 ３０ 保護基板、４０ ケース部材、 ５１ 振動板、 １１０Ａ，１１０Ｂ〜１１７Ａ，１１７Ｂ 接着領域、 １００ マニホールド、 １３０ カバーヘッド、 １４０ 吸引キャップ、 ３００ 圧電アクチュエーター（圧力発生手段）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】