特許 6242594 脱ガス処理装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6242594

(24)【登録日】2017年11月17日

(45)【発行日】2017年12月6日

(54)【発明の名称】脱ガス処理装置

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/02 20060101AFI20171127BHJP

   C23C 14/56 20060101ALI20171127BHJP

   C23C 16/02 20060101ALI20171127BHJP

【ＦＩ】

   C23C14/02 A

   C23C14/56 D

   C23C16/02

【請求項の数】6

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2013-115014(P2013-115014)

(22)【出願日】2013年5月31日

(65)【公開番号】特開2014-234522(P2014-234522A)

(43)【公開日】2014年12月15日

【審査請求日】2015年9月1日

【審判番号】不服2016-16952(P2016-16952/J1)

【審判請求日】2016年11月14日

(73)【特許権者】

【識別番号】000001199

【氏名又は名称】株式会社神戸製鋼所

(74)【代理人】

【識別番号】100067828

【弁理士】

【氏名又は名称】小谷 悦司

(74)【代理人】

【識別番号】100115381

【弁理士】

【氏名又は名称】小谷 昌崇

(74)【代理人】

【識別番号】100109058

【弁理士】

【氏名又は名称】村松 敏郎

(72)【発明者】

【氏名】瀬川 利規

(72)【発明者】

【氏名】大庭 尚樹

【合議体】

【審判長】 豊永 茂弘

【審判官】 瀧口 博史

【審判官】 宮澤 尚之

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１０−５３３８２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−１３６７２４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−２１１２９５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

C23C 14/00 - 14/58

C23C 16/00 - 16/56

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

特定方向に延びる帯状の被成膜材をその長手方向に搬送しながら加熱することにより当該被成膜材の脱ガス処理を行う装置であって、
前記被成膜材を上下方向に搬送しながらこれと直交する特定の進行方向に進行させるように当該被成膜材を案内する複数の案内ローラであって、前記進行方向に間隔をおいて配列される複数の上側ローラ及び前記上側ローラよりも下側の位置で前記進行方向に間隔をおいて配列される複数の下側ローラを含むものと、
上下方向に搬送される被成膜材のうち前記進行方向に互いに隣接する部分同士の間に立直姿勢で配設され、当該部分を加熱するように発熱する少なくとも一つのプレートヒータと、
前記案内ローラ及び前記プレートヒータを収容するチャンバと、を備え、このチャンバは、前記案内ローラ及び前記プレートヒータを囲む外壁であって当該外壁の内外を連通する開口が形成されたものを含み、
当該外壁は、前記各案内ローラの回転中心軸と平行な方向を前後方向としたとき前記案内ローラ及び前記プレートヒータの当該前後方向の両側にそれぞれ位置する前側壁及び後側壁を含み、これら前側壁及び後側壁はそれぞれ、前記各上側ローラの軸方向の端部を回転可能に支持する上側ローラ支持部と、この上側ローラ支持部よりも下側の位置で前記各下側ローラの軸方向の端部を回転可能に支持する下側ローラ支持部と、を含み、
前記開口には、前記前側壁及び後側壁のうちの少なくとも一方の側壁の内外を当該側壁の上側ローラ支持部と下側ローラ支持部との間の領域において連通するように形成されたローラ間開口が含まれ、当該ローラ間開口は上下方向に搬送される前記被成膜材及び前記各プレートヒータを前記進行方向に横切る形状を有する、脱ガス処理装置。

【請求項2】

請求項１記載の脱ガス処理装置であって、前記ローラ間開口は、前記前側壁及び前記後側壁の双方に形成されている、脱ガス処理装置。

【請求項3】

請求項１または２記載の脱ガス処理装置であって、前記外壁は前記案内ローラ及び前記プレートヒータの上下方向の両側にそれぞれ位置する天壁及び底壁を含み、前記開口として、前記天壁及び前記底壁にそれぞれ上側開口及び下側開口が形成され、前記脱ガス処理装置は、前記チャンバを下から支持して前記下側開口の下方に作業用の空間を形成する支持部材をさらに備える、脱ガス処理装置。

【請求項4】

請求項３記載の脱ガス処理装置であって、前記上側開口を通じての作業を行うための足場をさらに備え、この足場は、前記チャンバの前後方向の少なくとも一方の側で前記ローラ間開口から上下方向に外れた位置に配置される、脱ガス処理装置。

【請求項5】

請求項１〜４のいずれかに記載の脱ガス処理装置であって、前後方向に延びる軸回りに回転しながら被成膜材を前記各案内ローラへ巻出す巻出しロールと、前後方向に延びる軸回りに回転しながら被成膜材を前記各案内ローラから巻き取る巻取りロールと、をさらに備え、これら巻出しロール及び巻取りロールが前記案内ローラとともに前記チャンバ内に収容される、脱ガス処理装置。

【請求項6】

請求項５記載の脱ガス処理装置であって、前記巻出しロール及び巻取りロールは前記各案内ローラから上下方向に外れた位置で、前記各案内ローラの回転中心軸と直交する左右方向について互いに並ぶように設けられ、前記チャンバの外壁に、前記開口として、当該外壁の左右両側にそれぞれ位置する左右開口が形成されていてこれら左右開口がそれぞれ当該左右開口を通じて前記巻出しロール及び前記巻取りロールの出し入れを可能にする大きさを有する、脱ガス処理装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、帯状の被成膜材を加熱することによりその脱ガス処理を行うための装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

長尺のフィルムやシートからなる薄肉の被成膜材に対してスパッタリングやプラズマＣＶＤによって成膜を行うに先立ち、その前処理として脱ガス処理が行われる場合がある。この脱ガス処理は、前記被成膜材を加熱してこれに残留するオリゴマーや水分をガスとして当該被成膜材から除去するものであり、当該被成膜材の加熱は、例えば、プレートヒータから当該被成膜材への輻射や、加熱ローラと被成膜材との直接的な接触によって行われる。

【0003】

従来、前記プレートヒータを用いた脱ガス処理装置として、特許文献１に記載されるものが知られている。この装置は、上側及び下側にそれぞれ配列される複数のローラと、複数枚のプレートヒータと、これらを収容するチャンバと、を備える。上側のローラ及び下側のローラは、それぞれ、被成膜材を上下方向に搬送しながら水平方向に進行させるように前記進行方向に相互位置をずらして配置される。前記プレートヒータは、その搬送される被成膜材のうち前記進行方向に互いに隣接する垂直部分同士の間に立直姿勢で設けられ、当該プレートヒータの両側に位置する被成膜材の部分を輻射により加熱する。前記チャンバは、前記各フリーローラの両端を回転可能に支持する側壁を有する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１０−０５３３８２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

前記のような複数のフリーローラとプレートヒータとの組合せに基づく脱ガス処理装置では、構成要素の空間充填率が高いため、装置のコンパクト化が可能である反面、メンテナンス作業、例えば各フリーローラ及びプレートヒータの清掃や被成膜材のいわゆる通紙の作業が容易でないという課題がある。すなわち、前記チャンバ内では、複数のローラ、搬送される被成膜材において互いに進行方向に隣接する複数の部分、及びこれらの部分の間に配置されるプレートヒータが進行方向に密集しているので、これらのメンテナンス等を行うことは容易でない。

【0006】

当該メンテナンスを可能にするための一般的な手法として、前記チャンバを構成する壁のうち前記各フリーローラに支持に寄与しない天壁に大きな作業用の開口を設けることが考えられるが、当該開口によっては有効かつ効率の高いメンテナンス作業は期待しがたい。具体的に、当該開口を通じて前記フリーローラ及びプレートヒータが組み合わされた集合体を上側から見た場合、被成膜材の進行方向（フリーローラ及びプレートヒータが配列される方向）におけるフリーローラやプレートヒータ、被成膜材の間隙の寸法が小さいのに対して当該集合体の奥行きの寸法（つまり上下方向の寸法）が大きいため、当該開口から作業員が手を挿入して作業をするにしても当該作業が可能である範囲には著しい限界がある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明は、被成膜材を上下方向に搬送しながら左右方向に進行させるための複数のローラ及び複数のプレートヒータを備えた脱ガス処理装置であって、そのメンテナンスを効率よく行うことが可能なものを提供することを目的とする。

【0008】

本発明が提供するのは、特定方向に延びる帯状の被成膜材をその長手方向に搬送しながら加熱することにより当該被成膜材の脱ガス処理を行う装置であって、前記被成膜材を上下に搬送しながらこれと直交する特定の進行方向に進行させるように当該被成膜材を案内する複数の案内ローラであって、前記進行方向に間隔をおいて配列される複数の上側ローラ及び前記上側ローラよりも下側の位置で前記進行方向に間隔をおいて配列される複数の下側ローラを含むものと、上下方向に搬送される被成膜材のうち前記進行方向に互いに隣接する部分同士の間に立直姿勢で配設され、当該部分を加熱するように発熱する少なくとも一つのプレートヒータと、前記案内ローラ及び前記プレートヒータを収容するチャンバと、を備える。チャンバは、前記案内ローラ及び前記プレートヒータを囲む外壁であって当該外壁の内外を連通する開口が形成されたものを含む。当該外壁は、前記各案内ローラの回転中心軸と平行な方向を前後方向としたとき前記案内ローラ及び前記プレートヒータの当該前後方向の両側にそれぞれ位置する前側壁及び後側壁を含み、これら前側壁及び後側壁はそれぞれ、前記各上側ローラの軸方向の端部を回転可能に支持する上側ローラ支持部と、この上側ローラ支持部よりも下側の位置で前記各下側ローラの軸方向の端部を回転可能に支持する下側ローラ支持部と、を含む。前記開口には、前記前側壁及び後側壁のうちの少なくとも一方の側壁の内外を当該側壁の上側ローラ支持部と下側ローラ支持部との間の領域において連通するように形成されたローラ間開口が含まれ、当該ローラ間開口は上下方向に搬送される前記被成膜材及び前記各プレートヒータを前記進行方向に横切る形状を有する。

【0009】

この装置の前記ローラ間開口は、前側壁及び後側壁の少なくとも一方において上側ローラ支持部と下側ローラ支持部との間に形成され、かつ、上側ローラと下側ローラとの間で進行方向に密集する複数の被成膜材の部分とプレートヒータをその前側または後側で横切るものであるから、前記前側壁及び前記後側壁による各案内ローラの支持を可能としながら、前記ローラ間開口を通じて広い範囲にわたり各案内ローラ及びプレートヒータのメンテナンス作業や被成膜材のいわゆる通紙作業（前記各案内ローラに被成膜材を掛け渡す作業）を効果的にかつ効率よく行うことが可能である。

【0010】

前記ローラ間開口は、前記前側壁及び前記後側壁の双方に形成されていることが、好ましい。このことは、メンテナンス作業をさらに容易にするだけでなく、前側壁と後側壁の剛性の差を減らすことにより、前記各案内ローラから受ける荷重による前側壁及び後側壁の変形の度合いを均等化し、これにより、各案内ローラの水平度を高く保つことを可能にする。

【0011】

前記外壁には、前記開口として、前記ローラ間開口に加えてさらにそれ以外の開口が形成されることが、より好ましい。例えば、当該外壁が前記案内ローラ及び前記プレートヒータの上側及び下側に位置する天壁及び底壁を含む場合、前記開口として、前記天壁及び前記底壁にそれぞれ上側開口及び下側開口が形成されてもよい。この場合、脱ガス処理装置は、前記チャンバを下から支持して前記下側開口の下方に作業用の空間を形成する支持部材をさらに備えることが好ましい。この支持部材と前記下側開口との組合せは、前記チャンバの上側だけでなく下側からも各案内ローラやプレートヒータのメンテナンスを行うことを可能にする。

【0012】

この場合において、当該脱ガス処理装置は、前記上側開口を通じての作業を行うための足場を備えるのが好ましく、この足場は、前記チャンバの前後方向の少なくとも一方の側で前記ローラ間開口から上下方向に外れた位置に配置されるのが、よい。かかる位置に設けられた足場は、前記ローラ間開口を通じてのメンテナンス作業の障害となることがなく、また前記進行方向について前記チャンバの少なくとも一方の側に他のプロセスユニットが配置されることを許容しながら、前記上側開口を通じての作業を容易にすることができる。

【0013】

本発明に係る脱ガス処理装置は、成膜装置の一部としてこれに一体に組み込まれてもよいし、成膜装置とは独立した専用装置として構成されてもよい。例えば、本発明に係る脱ガス処理装置は、前記各案内ローラに加え、前後方向に延びる軸回りに回転しながら被成膜材を前記各案内ローラへ巻出す巻出しロールと、前後方向に延びる軸回りに回転しながら被成膜材を前記各案内ローラから巻き取る巻取りロールと、をさらに備え、これら巻出しロール及び巻取りロールが前記案内ローラとともに前記チャンバ内に収容されるものであってもよい。

【0014】

この場合、前記巻出しロール及び巻取りロールは前記各案内ローラから上下方向に外れた位置で、前記各案内ローラの回転中心軸と直交する左右方向について互いに並ぶように設けられ、前記チャンバの外壁に、前記開口として、当該外壁の左右両側にそれぞれ位置する左右開口が形成されていてこれら左右開口がそれぞれ当該左右開口を通じて前記巻出しロール及び前記巻取りロールの出し入れを可能にする大きさを有するのが、好ましい。この構成に基づくことにより、単一のチャンバ内で脱ガス処理を完結できるコンパクトな脱ガス処理専用の装置であって、原反ロールとしての巻出しロールの搬入や製品ロールとしての巻取りロールの取り出しを容易に行うことが可能なものを提供することができる。

【発明の効果】

【0015】

以上のように、本発明によれば、被成膜材を上下方向に搬送しながら左右方向に進行させるための複数のローラ及び複数のプレートヒータを備えた脱ガス処理装置であって、そのメンテナンスを効率よく行うことが可能なものを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本発明の第１の実施の形態にかかる成膜装置の断面正面図である。

【図2】図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。

【図3】本発明の第２の実施の形態にかかる成膜装置の断面正面図である。

【図4】本発明の第２の実施の形態にかかる成膜装置の平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

本発明の好ましい実施の形態を、図面を参照しながら説明する。

【0018】

図１及び図２は、本発明の第１の実施の形態に係る脱ガス処理装置を示す。この実施の形態に係る脱ガス処理装置は、例えば成膜システムを構成するユニットの一つとして構成されている。具体的に、この脱ガス処理装置は、図１に示すように、その上流側のプロセスを実行する上流側ユニットＵ１と、その下流側のプロセスを実行する下流側ユニットＵ２と、の間に配置され、前記上流側ユニットＵ１から排出される帯状の被成膜材１０をその長手方向に搬送しながら加熱することにより脱ガス処理を行い、その処理後の被成膜材１０を前記下流側ユニットＵ２に送る。前記被成膜材１０は、例えばプラスチック製のフィルムのように長尺で可撓性を有するものであり、その脱ガス処理は、前記被成膜材１０を加熱して当該被成膜材１０に含まれる残留するオリゴマーや水分をガスとして当該被成膜材から分離することにより、行われる。この脱ガス処理装置が例えば被成膜材１０の表面に成膜を施すための成膜システムに組み込まれる場合、前記上流側ユニットＵ１には例えば巻出しロールを備えた巻出しユニットが該当し、前記下流側ユニットＵ２には例えば成膜ローラを備えた成膜ユニットが該当する。

【0019】

この実施の形態に係る脱ガス処理装置は、複数の案内ローラと、複数のプレートヒータ１２と、これらの案内ローラ及びプレートヒータ１２を収容するチャンバ１４と、このチャンバ１４を下から支持する支持フレーム１６と、を備える。

【0020】

前記複数の案内ローラは、図１に示すように前記被成膜材１０を上下方向に搬送しながらこれと直交する特定の進行方向である左右方向に進行するように当該被成膜材１０を案内すべく配置されたもので、それぞれが装置の前後方向（図１の奥行き方向）に延びる軸回りに回転可能となるようにチャンバ１４に支持される。

【0021】

具体的に、前記複数の案内ローラは、複数の上側ローラ１８Ａと複数の下側ローラ１８Ｂとを含む。各上側ローラ１８Ａは、特定の高さ位置（この実施の形態ではチャンバ１４の上端近傍の高さ位置）で前記進行方向（左右方向）に下側ローラ１８Ｂの直径と略同等の間隔をおいて配列される。各下側ローラ１８Ｂは、前記上側ローラ１８Ａよりも下側の高さ位置（この実施の形態ではチャンバ１４の下端近傍の高さ位置）で、前記進行方向について互いに隣接する上側ローラ１８Ａ同士の間に位置するように、互いに間隔をおいて配列される。本発明において、案内ローラの個数は限定されないが、この実施の形態では、４個の上側ローラ１８Ａと３個の下側ローラ１８Ｂが上下にそれぞれ配列され、従ってこれらのローラ１８Ａ，１８Ｂの群に対して被成膜材１０は上側ローラ１８Ａの高さ位置から導入され、また同じ高さ位置から導出される。

【0022】

これらの上側ローラ１８Ａ及び下側ローラ１８Ｂに対し、前記被成膜材１０は、各上側ローラ１８Ａの上側及び各下側ローラ１８Ｂの下側を交互に通るようにしてこれらのローラ１８Ａ，１８Ｂにジグザグ状に掛け渡される。従って、当該被成膜材１０に対してその長手方向に沿う搬送力が与えられることにより、当該被成膜材１０は上下方向に搬送されながら左右方向に進行することができる。

【0023】

前記各プレートヒータ１２は、平板状をなし、それ自身の発熱によって前記被成膜材１０を効率よく加熱する位置に配設される。具体的に、前記のように上下方向に搬送されるべくローラ１８Ａ，１８Ｂに掛け渡された被成膜材１０は、その進行方向に並ぶ複数枚の（図１に示す例では計６枚の）垂直部分１０ａを有するが、これらの垂直部分１０ａのうち互いに隣接するもの同士の間に介在するように前記プレートヒータ１２が立直姿勢で配置される。本発明ではプレートヒータの個数も限定されないが、この実施の形態では、前記進行方向の上流側から数えて２番目及び３番目に位置する垂直部分１０ａ同士の間と、４番目及び５番目に位置する垂直部分１０ａ同士の間と、にそれぞれ前記プレートヒータ１２が配置される。

【0024】

前記チャンバ１４は、前記案内ローラ１８Ａ，１８Ｂ及び前記プレートヒータ１２を囲む外壁であって当該外壁の内外を連通する複数の開口が形成されたものを含む。前記外壁は、前側壁２０、後側壁２２、左側壁２４、右側壁２６、天壁２８、及び底壁３０を有する。

【0025】

前記前側壁２０及び前記後側壁２２は、前記のように各ローラ１８Ａ，１８Ｂの回転中心軸と平行な方向を装置の前後方向としたときに当該ローラ１８Ａ，１８Ｂ及びプレートヒータ１２の当該前後方向の両側に位置する側壁であり、立直した姿勢で当該ローラ１８Ａ，１８Ｂの軸方向の端部をそれぞれ回転可能に支持する。すなわち、前側壁２０及び後側壁２２は、上側ローラ１８Ａの軸方向の端部を回転可能に支持する上側ローラ支持部２０ａ，２２ａと、下側ローラ１８Ｂの軸方向の端部を回転可能に支持する下側ローラ支持部２０ｂ，２２ｂと、を有する。この実施の形態では、前記上側ローラ支持部２０ａ，２２ａは前側壁２０及び後側壁２２の上端近傍部位によりそれぞれ構成され、前記下側ローラ支持部２０ｂ，２２ｂは前側壁２０及び後側壁２２の下端近傍部位によりそれぞれ構成される。

【0026】

この第１の実施の形態では、前記各プレートヒータ１２も前記前側壁２０及び前記後側壁２２によって支持される。具体的には、各プレートヒータ１２の上端部がそれぞれヒータ固定具３２を介して前記前側壁２０及び前記後側壁２２の適当な部位（図１及び図２では上側ローラ１８Ａのすぐ下方の部位）に連結されている。

【0027】

前記左側壁２４及び右側壁２６は、前記被成膜材１０の進行方向を装置の左右方向としたときに前記ローラ１８Ａ，１８Ｂ及びプレートヒータ１２の当該左右方向の両側に立直姿勢で配置される側壁であり、その前後方向の両端部が前記各前側壁２０及び後側壁２２の左右方向の端部にそれぞれつながっている。

【0028】

これら左右側壁２４，２６の上部は他の部分よりも左右両外側にそれぞれ突出して導入部２４ａ及び導出部２６ａをそれぞれ構成する。導入部２４ａの端部にはチャンバ入口３４が、導出部２６ａの端部にはチャンバ出口３６が、それぞれ形成されている。導入部２４ａは、前記上流側ユニットＵ１から排出される被成膜材１０が前記チャンバ入口３４を通じてチャンバ１４内に進入するように当該上流側ユニットＵ１に接続され、導出部２６ａは、脱ガス処理後の被成膜材１０が前記チャンバ出口３６を通じて前記下流側ユニットＵ２に導入されるように当該下流側ユニットＵ２に接続される。さらに、前記チャンバ１４には図示しない排気ポンプや制御盤などが接続され、これらが協働して良好な脱ガス処理を実現する。

【0029】

前記天壁２８及び前記底壁３０は、前記各ローラ１８Ａ，１８Ｂ及び前記各プレートヒータ１２の上下方向両側に水平姿勢で配置される。これら天壁２８及び底壁３０はいずれも矩形状をなし、前記各側壁２０，２２，２４及び２６の上端部及び下端部にそれぞれつながっている。これにより、前記チャンバ１４内には略直方体状の密閉空間が形成されることが可能である。

【0030】

以上説明したチャンバ１４の外壁には、前記開口として、前後のローラ間開口４０，４２と、上側開口４４と、下側開口４６と、が形成されている。

【0031】

前記ローラ間開口４０，４２は、前記前側壁２０及び後側壁２２においてその上側ローラ支持部２０ａ，２２ａと下側ローラ支持部２０ｂ，２２ｂとの間の領域に形成され、前記のように上下方向に搬送される前記被成膜材１０の各垂直部分１０ａ及び前記各プレートヒータ１２を前記進行方向（左右方向）に横切る形状、例えば横長の矩形状を有する。

【0032】

この実施の形態では、前記各前側壁２０及び後側壁２２に前記各ローラ間開口４０，４２を開閉するための蓋である前蓋５０及び後蓋５２がヒンジを介して回動可能に取付けられている。各蓋５０，５２には覗き窓４８がそれぞれ設けられ、これらの覗き窓４８を通じて前記蓋５０，５２を閉じたままチャンバ１４内の点検を行うことが可能となっている。前記ヒータ固定具３２は前記前側壁２０及び後側壁２２のうち前記各ローラ間開口４０，４２のすぐ上側の部位に連結されている。また、これらの部位と略同等の高さ位置には、前記各プレートヒータ１２の給電のためのヒータ用配線４９を通す孔である配線ポート４７も設けられている。

【0033】

前記形状を有するローラ間開口４０，４２は、上側ローラ支持部２０ａ，２２ａと下側ローラ支持部２０ｂ，２２ｂとの間の領域において、上側ローラ１８Ａと下側ローラ１８Ｂとの間で進行方向に密集する（被成膜材１０の）複数の垂直部分１０ａとプレートヒータ１２の主要部をその前側または後側で横切るから、前記前側壁２０及び前記後側壁２２による各案内ローラ１８Ａ，１８Ｂの支持を可能としながら、前記ローラ間開口４０，４２を通じて広い範囲にわたり各ローラ１８Ａ，１８Ｂ及びプレートヒータ１２のメンテナンス作業や、各ローラ１８Ａ，１８Ｂに被成膜材１０を掛け渡す作業を効果的にかつ効率よく行うことを可能にする。

【0034】

さらに、前記ローラ間開口４０，４２は、前記プレートヒータ１２の上下方向の寸法を大きくしてその分だけ進行方向（左右方向）のチャンバ１４の寸法を小さくすることを可能にする。例えば、前記上側及び下側ローラ１８Ａ，１８Ｂ及びプレートヒータ１２に対して上側からしかアクセスできない装置では、上側ローラ１８Ａと下側ローラ１８Ｂとの離間寸法及び前記プレートヒータ１２の上下方向の寸法を大きくすると当該プレートヒータ１２の下側部分や下側ローラ１８Ｂに手やメンテナンス用の器具が届かなくなるため、当該寸法には著しい制限が存することになるのに対し、前記のようなローラ間開口を備えた装置では、前記上側ローラ１８Ａ，１８Ｂ間の距離及びプレートヒータ１２の上下方向の寸法を増大してもこれに合せて当該ローラ間開口の上下寸法を拡大すれば良好なメンテナンス作業を確保することが可能である。

【0035】

このようなローラ間開口は、前記前側壁２０及び前記後側壁２２のいずれか一方に設けられるだけでも効果的であるが、図１及び図２に示されるように両側壁２０，２２に形成されていることが、より好ましい。このことは、メンテナンス作業をより容易にするだけでなく、当該ローラ間開口の形成による前側壁２０及び後側壁２２の剛性の低減度合いの差を減らすことにより、前記上側及び下側ローラ１８Ａ，１８Ｂから受ける荷重による前側壁２０及び後側壁２２の変形の度合いを均等化し、これにより、当該ローラ１８Ａ，１８Ｂの水平度を高く保つことを可能にする。

【0036】

前記上側開口４４及び下側開口４６は、前記天壁２８及び底壁３０にそれぞれ形成されている。図１及び図２に示す例では、上側開口４４は各上側ローラ１８Ａを上方に開放する大きさを有し、下側開口４６は各下側ローラ１８Ｂを下方に開放する大きさを有する。従って、これらの開口４４，４６を通じて各ローラ１８Ａ，１８Ｂの清掃や被成膜材１０の掛け渡し作業を容易に行うことが可能である。また、前記天壁２８及び底壁３０には前記各開口４４，４６を開閉するための蓋である上蓋５４及び下蓋５６がそれぞれ水平方向のヒンジ５５を介して回動可能に取付けられている。

【0037】

前記支持フレーム１６は、上下方向に延びる複数本の柱５７を含む枠状をなし、当該柱５７をメインに前記チャンバ１４を下から支持することにより前記下側開口４６の下方で前記各柱５７の内側に作業用の空間５８を形成する。この空間５８は、作業員が無理のない姿勢で入り込むことが可能な大きさを有するのが、好ましい。この支持フレーム１６は、下側開口４６を活かして前記下側ローラ１８Ｂなどのメンテナンスや被成膜材１０のセット作業を容易にする役割を果たす。

【0038】

図２に示すように、この第１の実施の形態に係る脱ガス処理装置は、さらに、前記上側開口を通じての作業を行うための足場６０，６２を備える。これらの足場６０，６２は、前記チャンバ１４の前後方向の両側に配置されている。これらの足場６０，６２の高さ位置は、前記ローラ間開口４０，４２を通じてのメンテナンス作業を妨げないように当該ローラ間開口４０，４２から上下方向に外れた位置にあればよく、図２に実線で示されるように各ローラ間開口４０，４２よりも上側の位置でもよいし、同図に二点鎖線６０′，６２′でそれぞれ示されるように各ローラ間開口４０，４２よりも下側の位置でもよい。

【0039】

このような位置に設けられた足場６０，６２は、前記ローラ間開口４０，４２の機能を損なうことなく、しかも前記進行方向（左右方向）については図１に示されるように上流側ユニットＵ１や下流側ユニットＵ２が配置されることを許容しながら、前記上側開口４４を通じての作業を容易にすることができる。

【0040】

図３及び図４は、本発明の第２の実施の形態に係る脱ガス処理装置を示す。

【0041】

前記第１の実施の形態にかかる脱ガス処理装置は、例えば成膜システムにその一部のプロセスユニットとして組み込まれ、上流側ユニットＵ１から送られてくる被成膜材１０に対して脱ガス処理を施してから下流側ユニットＵ２に給送するものであるのに対し、第２の実施の形態に係る脱ガス処理装置は、脱ガス処理の専用装置として構成されている。

【0042】

具体的に、この第２の実施の形態に係る脱ガス処理装置は、前記第１の実施の形態と同様に、複数の上側ローラ１８Ａ及び複数の下側ローラ１８Ｂを含む複数の案内ローラと、複数のプレートヒータ１２と、これらの案内ローラ及びプレートヒータ１２を収容するチャンバ６４と、を備えるのに加え、巻出しロール６６と、巻取りロール６８と、冷却ローラ７０と、一対の張力検出ローラ７２，７４と、被成膜材１０を所定形状に案内する複数のフリーローラ７６と、を備える。

【0043】

前記上側ローラ１８Ａ、下側ローラ１８Ｂ及びプレートヒータ１２の配置は前記第１の実施の形態に係る装置のそれと同様であり、被成膜材１０を上下方向に搬送しながら左右方向に進行させるように上側ローラ１８Ａ及び下側ローラ１８Ｂが配設される点、及び、プレートヒータ１２がその搬送される被成膜材１０の垂直部分１０ａ同士の間に配置されて当該被成膜材１０を加熱する点、は第１の実施の形態に係る装置と共通している。

【0044】

この第２の実施の形態に係る装置では、前記第１の実施の形態に係る支持フレーム１６を備えておらず、その代わりに、チャンバ６４は装置の上下方向全域にわたって延びる縦長の略直方体状をなす。そして、このチャンバ６４の下部に前記巻出しロール６６及び巻取りロール６８が収容され、当該巻取りロール６８と前記下側ローラ１８Ｂとの間の位置に前記冷却ローラ７０が配置されている。

【0045】

前記巻出しロール６６は、脱ガス処理前の被成膜材１０が巻かれた、いわゆる原反を保持し、前記各ローラ１８Ａ，１８Ｂの回転軸と平行な方向（前後方向）の軸を中心に回転することにより、当該原反から前記ローラ１８Ａ，１８Ｂに向けて被成膜材１０を巻き出す。前記巻取りロール６８は、同じく前後方向の軸を中心に回転することにより、前記ローラ１８Ａ，１８Ｂを通過した被成膜材１０を巻き取る。

【0046】

前記冷却ローラ７０は、前記ローラ１８Ａ，１８Ｂと前記巻取りロール６８との間の位置で前記被成膜材１０に接触することにより、前記プレートヒータ１２により加熱された被成膜材１０を冷却する。この冷却ローラ７０は、図示しないモータに連結されることによって、被成膜材１０に搬送力を与えるドライブローラとしても機能する。前記各張力検出ローラ７２，７４は、前記のようにドライブローラを兼ねる冷却ローラ７０の上流側及び下流側における被成膜材１０の張力をそれぞれ電気信号に変換し、図示しない制御盤に入力する。これらの張力検出ローラ７２，７４により検出される張力が異常である場合、装置を自動停止させる制御が実行される。

【0047】

前記チャンバ６４は、前記第１の実施の形態に係るチャンバ１４と同様に外壁を有し、この外壁は、前側壁８０、後側壁８２、左側壁８４、右側壁８６、天壁８８及び底壁８９を有する。前側壁８０及び後側壁８２は、ローラ１８Ａ，１８Ｂ及びプレートヒータ１２の前後方向の両側に立直姿勢で配置され、左側壁８４及び右側壁８６は前記ローラ１８Ａ，１８Ｂ及びプレートヒータ１２の左右方向（被成膜材１０の進行方向）の両側に立直姿勢で配置され、天壁８８及び底壁８９は前記ローラ１８Ａ，１８Ｂ及びプレートヒータ１２の上下方向の両側に水平姿勢で配置される。

【0048】

前記前側壁８０及び前記後側壁８２は、第１の実施の形態に係る前側壁２０及び後側壁２２と同じく、上側ローラ１８Ａの軸方向の端部を回転可能に支持する上側ローラ支持部８０ａ，８２ａと、下側ローラ１８Ｂの軸方向の端部を回転可能に支持する下側ローラ支持部８０ｂ，８２ｂと、を有し、当該前側壁８０及び後側壁８２において前記上側ローラ支持部８０ａ，８２ａと前記下側ローラ支持部８０ｂ，８２ｂとの間の領域に、上下方向に搬送されながら左右方向に進行する前記被成膜材１０の各垂直部分１０ａ及びプレートヒータ１２を当該被成膜材１０の進行方向に横切るローラ間開口９０，９２がそれぞれ形成されている。前記前側壁８０及び後側壁８２には、前記ローラ間開口９０，９２を開閉する蓋１００，１０２がそれぞれヒンジを介して回動可能に取付けられ、各蓋１００，１０２にはこれらの蓋１００，１０２を閉じたままチャンバ６４内の点検を可能にする覗き窓１０４が設けられている。

【0049】

しかし、この第２の実施の形態では、前記第１の実施の形態と異なり、前記下側ローラ支持部８０ｂ，８２ｂが前側壁８０及び後側壁８２のうちその上下方向の中間部位により構成されており、当該下側ローラ支持部８０ｂ，８２ｂよりも下側の領域における部位が、前記巻出しロール６６、巻出しロール６８、冷却ローラ７０、及び張力検出ローラ７２，７４の軸方向の両端を回転可能に支持している。

【0050】

前記巻出しロール６６及び巻出しロール６８はチャンバ６４の下部において左右方向に並ぶように配置され、かつ、前記前側壁８０及び後側壁８２に対して脱着可能となるように当該壁８０，８２に支持されている。後側壁８２には、前記巻出しロール６６及び巻取りロール６８を回転駆動するためのロール駆動モータ６７，６９がそれぞれ連結され、各ロール駆動モータ６７，６９は前記巻出しロール６６及び前記巻取りロール６８とそれぞれ着脱可能に連結可能な出力軸を有している。また、チャンバ６４には、別置きのドライポンプ１０６や制御盤など、必要な付帯機器が接続されている。

【0051】

この実施の形態において、前記各プレートヒータ１２は天壁８８から吊下げられた状態で当該天壁８８により支持されている。具体的には、各プレートヒータ１２の上端と天壁８８とがヒータ固定具３８を介して連結されている。

【0052】

前記前側壁８０及び後側壁８２の上下方向の端部と前記天壁８８及び前記底壁８９の前後方向の端部とはそれぞれ一体に接合されているのに対し、前記左右側壁８４，８６の後側端部はヒンジ９４を介して上下方向の軸回りに回動可能に連結されている。すなわち、左右側壁８４，８６は、前側壁８０、後側壁８２、天壁８８及び底壁８９により囲まれた左右の開口８５，８７を開閉する扉として構成されている。

【0053】

さらに、この装置はチャンバ６４内を密閉するためのシールリング９６を備える。このシールリング９６は矩形状をなし、前記当該開口の周縁に相当する各壁８０，８２，８８，８９の左右両端面と、これらの面にそれぞれ対向する左右側壁８４，８６の外周部の内側面とのうちの一方の面に固定され、扉である左右側壁８４，８６を閉じたときに他方の面と密着することによりチャンバ６４内を密閉する。

【0054】

以上の構成は、左右側壁８４，８６により開閉される左右の開口８５，８７を通じて、１）左右の巻出しロール６６及び巻取りロール６８を搬出入する作業、２）各巻出しロール６６，６８とローラ１８Ａ，１８Ｂとの間の被成膜材１０の通紙作業（セット作業）、３）左右開口８５，８７の近傍の各ローラのメンテナンス作業、等を容易に行うことが可能である。

【0055】

さらに、前記左右側壁８４，８６には複数の覗き窓９７，９８が設けられている。覗き窓９７は、前記垂直部分１０ａ及びプレートヒータ１２の中間部位に対応する高さ位置に設けられ、覗き窓９８は、前記巻出しロール６６及び前記巻出しロール６８に対応する高さ位置に設けられている。これらの覗き窓９７，９８は、扉である左右側壁８４，８６を閉じたままの状態で前記垂直部分１０ａ、プレートヒータ１２、各ロール６６，６８等の点検を行うことを可能にしている。

【0056】

この第２の実施の形態では、左右側壁８４，８６そのものが回動して左右開口８５，８７を開閉する扉として構成されているが、左右側壁８４，８６が外壁を構成する他の壁８０，８２，８８，８９と一体につながっていて当該左右側壁８４，８６に左右開口８５，８７が形成されていてもよい。この場合も、当該左右開口８５，８７は、当該左右開口８５，８７を通じた巻出しロール６６及び巻出しロール６８の搬出入をそれぞれ許容するだけの大きさを有することが、好ましい。

【0057】

この第２の実施の形態に係る脱ガス処理装置によれば、例えば次の要領で脱ガス処理済の被成膜材１０を得ることができる。

【0058】

１）左右側壁８４，８６を開き、左右の開口を通じて、原反（未処理の被成膜材１０が巻かれたもの）を保持する巻出しロール６６と、空の巻取りロール６８と、をそれぞれチャンバ６４内にセットする。

【0059】

２）巻出しロール６６から被成膜材１０を引き出して上下の案内ローラ１８Ａ，１８Ｂの間にジグザグ状に掛け渡し、さらに張力検出ローラ７２、冷却ローラ７０及び張力検出ローラ７４の順に掛け渡して当該被成膜材１０の端部を巻取りロール６８に固定する。

【0060】

３）左右側壁８４，８６を閉じ、各モータ、制御盤その他の機器を作動させて脱ガス処理を実行する。具体的には、巻出しロール６６及び巻取りロール６８の回転駆動により、巻出しロール６６から被成膜材１０を巻き出して案内ローラ１８Ａ，１８Ｂとプレートヒータ１２との組合せにより当該被成膜材１０の脱ガス処理を順次実行し、処理後の被成膜材１０を巻取りロール６８により巻き取る。

【0061】

４）脱ガス処理完了後、左右側壁８４，８６を開いて空の巻出しロール６６と被成膜材１０を巻き取った巻取りロール６８とを取り出す。巻取りロール６８に巻き取られた脱ガス処理後の被成膜材１０は、次のプロセス（例えば成膜プロセス）に供される。

【0062】

以下、１）〜４）の手順が繰り返し行われることにより、脱ガス処理済の被成膜材を順次提供することが可能である。また、前記ローラ間開口９０，９２及び左右開口８５，８７を利用して効率のよいメンテナンス作業が行われることは上述したとおりである。

【0063】

この第２の実施の形態に係る装置において、前記ローラ間開口９０，９２を開閉する蓋１００，１０２の少なくとも一方は、前後方向にスライドすることで当該ローラ間開口を開閉するものであってもよい。例えば、前側の蓋１００はローラ間開口９０を開閉するようにヒンジを介して回動可能に前側壁８０に取付けられる一方、後側の蓋１０２は後方へ引出されるようにスライドすることでローラ間開口９２を開放するように後側壁８２に支持されてもよい。この場合、前記各プレートヒータ１２は当該蓋１０２と一体に前後方向にスライドするように当該蓋１０２に支持されることも可能である。この装置においても、メンテナンス作業を容易に行うことが可能である。例えば、後側の蓋１０２が後ろ側に引出された状態でメンテナンス作業及びいわゆる通紙作業を行った後に、当該蓋１０２をプレートヒータ１２とともに前方にスライドさせて後側のローラ間開口９２を閉じ、運転を開始することもできる。

【0064】

また、本発明は、前記プレートヒータ１２に加えて他のヒータ、例えば加熱用のローラ、が設けられるものを除外しない。すなわち、本発明は、加熱手段として少なくともプレートヒータを含むものについて適用することが可能である。

【符号の説明】

【0065】

１０ 被成膜材
１０ａ 垂直部分（被成膜材のうち進行方向に互いに隣接する部分）
１２ プレートヒータ
１４ チャンバ
１６ 支持フレーム（支持部材）
１８Ａ 上側ローラ
１８Ｂ 下側ローラ
２０ 前側壁
２０ａ，２２ａ 上側ローラ支持部
２０ｂ，２２ｂ 下側ローラ支持部
２２ 後側壁
２４ 左側壁
２６ 右側壁
２８ 天壁
３０ 底壁
４０，４２ ローラ間開口
４４ 上側開口
４６ 下側開口
５８ 空間
６０，６２ 足場
６４ チャンバ
６６ 巻出しロール
６８ 巻取りロール
８０ 前側壁
８０ａ 上側ローラ支持部
８０ｂ 下側ローラ支持部
８２ 後側壁
８４ 左側壁
８６ 右側壁
８５，８７ 左右開口
８８ 天壁
８９ 底壁
９０，９２ ローラ間開口

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】