特許 6244424 真空ポンプ又は回転ユニットの漂遊ベクトル磁場の減少の為の方法並びに真空ポンプ及び回転ユニット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6244424

(24)【登録日】2017年11月17日

(45)【発行日】2017年12月6日

(54)【発明の名称】真空ポンプ又は回転ユニットの漂遊ベクトル磁場の減少の為の方法並びに真空ポンプ及び回転ユニット

(51)【国際特許分類】

   F04D 19/04 20060101AFI20171127BHJP

   F16C 32/04 20060101ALI20171127BHJP

【ＦＩ】

   F04D19/04 A

   F16C32/04 Z

【請求項の数】18

【外国語出願】

【全頁数】19

(21)【出願番号】特願2016-159885(P2016-159885)

(22)【出願日】2016年8月17日

(65)【公開番号】特開2017-82757(P2017-82757A)

(43)【公開日】2017年5月18日

【審査請求日】2016年8月17日

(31)【優先権主張番号】10 2015 113 681.3

(32)【優先日】2015年8月18日

(33)【優先権主張国】DE

(31)【優先権主張番号】16182636.7

(32)【優先日】2016年8月3日

(33)【優先権主張国】EP

(73)【特許権者】

【識別番号】391043675

【氏名又は名称】プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー

(74)【代理人】

【識別番号】100069556

【弁理士】

【氏名又は名称】江崎 光史

(74)【代理人】

【識別番号】100111486

【弁理士】

【氏名又は名称】鍛冶澤 實

(74)【代理人】

【識別番号】100173521

【弁理士】

【氏名又は名称】篠原 淳司

(74)【代理人】

【識別番号】100153419

【弁理士】

【氏名又は名称】清田 栄章

(72)【発明者】

【氏名】アドリーアン・ヴィルト

(72)【発明者】

【氏名】アンドレアス・リップル

【審査官】 所村 陽一

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１６−０８９８２４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ０４Ｄ １９／０４

Ｆ１６Ｃ ３２／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

真空ポンプ、又は真空ポンプの回転ユニットの漂遊ベクトル磁場の減少の為の方法であって、その際、漂遊ベクトル磁場が、少なくとも部分的に少なくとも一つの永久磁石支承部（９０，６０１，７０１）によって発生され、この永久磁石支承部が、真空ポンプまたは回転ユニットのローター（１６）とステーターの反対方向に回転可能な支承の為に形成されており、
その際、漂遊ベクトル場の少なくとも一つの成分（Ｋｒ）が，少なくとも参照点（Ｐ）において決定され、そして、
バランスマグネット（３００）の磁場（Ｍ）は、これが漂遊ベクトル場の成分（Ｋｒ）を少なくとも参照点（Ｐ）において減少する、又は補償するよう選択される、又は長期にわたって変更されることを特徴とする方法。

【請求項2】

参照点（Ｐ）において、漂遊ベクトル場の成分（Ｋｒ）の関数が、永久磁石支承部（９０，６０１，７０１）の、回転軸（１４）を中心として回転するローター側の部材において、永久磁石支承部（９０，６０１，７０１）のローター側の部材の角度位置に応じて、回転軸（１４）を中心とした永久磁石支承部（９０，６０１，７０１）のローター側の部材の少なくとも一つの完全な周回に対して計測されること、及び、バランスマグネット（３００）の磁場（Ｍ）は，これが特にバランスマグネットの為に設けられた組込位置において、永久支承部（９０，６０１，７０１）のローター側の部材の角度位置によらず、参照点において計測可能な漂遊ベクトル場の成分（Ｋｒ）を減少させるか、又は少なくとも近似的に補償するように、及び／又は、これが特にバランスマグネットの為に設けられた組込位置において、永久支承部（９０，６０１，７０１）のローター側の部材の角度位置によらず、成分（Ｋｒ）の、少なくとも参照点（Ｐ）において計測可能な、時間的に変化する部分を減少させるか、又は補償するように変更されることを特徴とする請求項１に記載の方法。

【請求項3】

各漂遊ベクトル場成分に対して、其々、少なくとも一つのバランスマグネット（３００）が、この漂遊ベクトル場成分の強度の減少又は補償の為に使用されることを特徴とする請求項１または２に記載の方法。

【請求項4】

磁石支承部（９０）が、リングマグネット（１０４，１０６）の複数の対から形成され、又はリングマグネット（１０４，１０６）の複数の対を有し、その際、其々、一つの対の一方のリングマグネット（１０６）がステーターに、そして当該対の他方のリングマグネット（１０４）がローターに設けられていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の方法。

【請求項5】

バランスマグネットが、複数のリングマグネット対のうちの一対のリングマグネット（１０４，１０６）であることを特徴とする請求項４に記載の方法。

【請求項6】

バランスマグネット（３００）が、永久磁石支承部（９０）のマグネット（１０４，１０６）に対して追加的に設けられる永久磁石であることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の方法。

【請求項7】

バランスマグネット（３００）が、リングマグネットとして形成されている、及び／又はローター（１６）に設けられていることを特徴とする請求項６に記載の方法。

【請求項8】

永久磁石支承部（６０１，７０１）が少なくとも一つの磁気的中空シリンダー（６０３，６０５，７０３，７０５）を有し、この中空シリンダーが、軸方向において連続する二以上の部分（６０７，６０９，７０７，７０９）を有し、その際、互いに隣接する部分（６０７，６０９，７０７，７０９）が、少なくとも基本的に反対の磁極方向を有し、そしてその際、バランスマグネット（３００）が、中空シリンダー（６０３，６０５，７０３，７０５）に対して独立したリングマグネットから形成されることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の方法。

【請求項9】

永久磁石支承部（６０１，７０１）が少なくとも一つの磁気的中空シリンダー（６０３，６０５，７０３，７０５）を有し、この中空シリンダーが、軸方向において連続する二以上の部分（６０７，６０９，７０７，７０９）を有し、その際、互いに隣接する部分（６０７，６０９，７０７，７０９）が、少なくとも基本的に反対の磁極方向を有し、そしてその際、バランスマグネット（３００）が、中空シリンダー（６０３，６０５，７０３，７０５）の部分内に形成されているか、又は形成されることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の方法。

【請求項10】

バランスマグネット（３００）の磁場（Ｍ）が、形状の局所的な変更によって、特に材料の局所的な除去によって、及び／又は材料特有の永久磁石特性の局所的変更によって、特に少なくとも部分的な局所的脱磁化によって変更されることを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の方法。

【請求項11】

成分（Ｋｒ）の関数に基づいて、特に少なくとも一つのレーザー（５１０）を有する、処理装置の制御部の為の処理関数が決定されること、処理関数内に、バランスマグネット（３００）の形状、及び／又はその材料特有の永久磁石の特性がどのように変更されるべきか特定されていること、及びバランスマグネット（３００）の形状及び／又は材料特有の永久磁石の特性を処理するために、処理装置が、処理関数に基づいて制御されることを特徴とする請求項２から１０のいずれか一項に記載の方法。

【請求項12】

バランスマグネット（３００）として、永久磁石、特にリングマグネットが提供され、これが、減少すべき又は補償すべき漂遊ベクトル場成分（Ｋｒ）において明かな磁性を有することを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の方法。

【請求項13】

バランスマグネット（３００）が、真空ポンプ内又は回転ユニット内のその組込位置において処理されるか、又はまず処理され、そして処理の後にその組込位置に配置されることを特徴とする請求項１から１２のいずれか一項に記載の方法。

【請求項14】

請求項１から１３のいずれか一項に記載の方法によって得られる、又は得られ得る真空ポンプ、又は真空ポンプの為の回転ユニット。

【請求項15】

真空ポンプ、又は真空ポンプの為の回転ユニットであって、これが、ローター（１６）及びステーター及び永久磁石支承部（９０，６０１，７０１）を有し、これが、ローター（１６）及びステーターの反対の回転可能な支承の為に形成されており、
その際、バランスマグネット（３００）の磁場（Ｍ）が、真空ポンプ又は回転ユニットの外側の参照点（Ｐ）における、永久磁石支承部（９０，６０１，７０１）の漂遊ベクトル磁場の少なくとも一つの成分（Ｋｒ）を減少させる、又は補償するよう形成されている、又は変更されていることを特徴とする真空ポンプ。

【請求項16】

真空ポンプ内、又は回転ユニット内、特に永久磁石支承部のハウジング部材（５０４）内に、バランスマグネット（３００）を局所的にレーザー光線により付勢するために、その意図される組込位置に設けられたバランスマグネット（３００）への少なくとも一つのアクセスチャネル（５０６）が形成されていることを特徴とする請求項１４または１５に記載の真空ポンプ。

【請求項17】

バランスマグネット（３００）が、ローター（１６）の軸方向の端部に、特に永久磁石支承部（９０）のローター側の永久磁石のリング積層部の上に設けられている、
及び／又は、
永久磁石支承部（６０１，７０１）が少なくとも一つの磁気的中空シリンダー（６０３，６０６，７０３，７０５）を有し、これが軸方向に連続する二以上の部分（６０７，６０９，７０７，７０９）を有し、その際、互いに隣接する部分（６０７．６０９．７０７．７０９）が少なくとも基本的に反対の磁極方向を有し、そしてその際、バランスマグネット（３００）が、中空シリンダー（６０３，６０５，７０３，７０５）に対し独立したリングマグネットにより形成されることを特徴とする請求項１４から１６のいずれか一項に記載の真空ポンプ。

【請求項18】

バランスマグネット（３００）が、ローター（１６）の軸方向の端部に、特に永久磁石支承部（９０）のローター側の永久磁石のリング積層部の上に設けられている、
及び／又は、
永久磁石支承部（６０１，７０１）が少なくとも一つの磁気的中空シリンダー（６０３，６０６，７０３，７０５）を有し、これが軸方向に連続する二以上の部分（６０７，６０９，７０７，７０９）を有し、その際、互いに隣接する部分（６０７．６０９．７０７．７０９）が少なくとも基本的に反対の磁極方向を有し、そしてその際、バランスマグネット（３００）が、中空シリンダー（６０３，６０５，７０３，７０５）内の一部に形成されていることを特徴とする請求項１４から１６のいずれか一項に記載の真空ポンプ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプ、又は真空ポンプの為、特にターボ分子ポンプの為の回転ユニットの漂遊ベクトル磁場の減少の為の方法と、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプ、又は真空ポンプの為、特にターボ分子ポンプの為の回転ユニットであって、これが少なくとも一つの永久磁石支承部を有するローター及びステーターを有し、これが真空ポンプ又は回転ユニットのローター及びステーターの反対の回転可能な支承の為に形成されているものに関する。

【背景技術】

【0002】

真空ポンプのセンタリングの為の方法、及び／又は真空ポンプ又は真空ポンプの回転ユニットの漂遊磁場の減少の為の方法が特許文献１から公知である。

【0003】

特許文献２から、真空ポンプの為の少なくとも四つの永久磁石リングを有する磁石支承部の組立の方法が公知である。この方法において、各リングマグネットの為に、その漂遊ベクトル磁場が少なくとも、参照点において１次及び２次に関して計測され、リングマグネットの為の最適な配置が演算され、その中でリングマグネットが、回転する磁石支承部において、最小の時間変化可能な磁場を発生し、そしてリングマグネットは、演算された最適な配置において組み立てられる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】欧州特許出願公開第 ２ ７０８ ７５３ Ａ２号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本発明は、真空ポンプ、又は真空ポンプの為の回転ユニットの漂遊ベクトル磁場の減少のための改善された方法であって、当該方法によって、特に、永久磁石支承部を形成する複数の永久磁石の磁的特性の品質が強く変動する場合に、漂遊ベクトル場の少なくとも一つの成分の重要な減少又は場合によってはその補償さえも行うものを提供することを課題とする。本発明の課題は更に、その運転の間に低い漂遊ベクトル磁場を有する真空ポンプ又は真空ポンプの為の回転ユニットの課題である。

【課題を解決するための手段】

【0006】

この課題は、請求項１に記載の特徴を有する方法又は請求項１１または１２に記載の特徴を有する真空ポンプ又は回転ユニットによって解決される。本発明の好ましい実施形及び発展形は、従属請求項に記載されている。

【0007】

発明に従い、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプ、又は真空ポンプの為、特にターボ分子ポンプの為の回転ユニットの漂遊ベクトル磁場の減少の為の方法が記載され、その際、漂遊ベクトル磁場は、少なくとも部分的に、少なくとも一つの永久磁石支承部によって発生され、これは、真空ポンプ又は回転ユニットの反対方向の回転可能な支承の為に形成されており、そしてその際、本方法は、
少なくとも一つの参照点における漂遊ベクトル磁場の少なくとも一つの成分が決定され、そして、
バランスマグネットの磁場が、漂遊ベクトル場の成分を、少なくとも参照点において減少し、好ましくは補償するよう選択され、又は長期にわたって変更される、
というステップを有する。本発明に係る方法においては、特に、永久磁石支承部の各マグネットの漂遊ベクトル磁場が、測定される必要が無いという点、有利である。むしろ、参照点において、全体のまとめられた永久磁石支承部によって発生される、減少すべき又は補償すべき漂遊ベクトル場成分が測定されると十分である。発明に係る方法においては、よって、永久磁石支承部の個々のマグネットリングの漂遊ベクトル場に置かれず、永久磁石支承部の全装置の結果として生じる漂遊ベクトル磁場に置かれる。この漂遊ベクトル磁場は、バランスマグネットの磁場の長期にわたる変更によって少なくとも参照点において減少される、又は補償される。永久磁石支承部の阻害的な磁気的影響は、よって、少なくとも参照点において、減少され、又は取り除かれさえすることが可能である。その上、個々の永久磁石（これらから、支承部が纏められる）は、磁化のその永久磁石としての方向に関して、より低い空間的普遍性を有する。というのは、発明に係る方法に従い、結果として生じる漂遊ベクトル磁場の減少が達成されることが可能だからである。

【0008】

漂遊ベクトル場は、永久磁石支承部が、計測装置内に配置され、この計測装置によって、永久支承部の、ローター側の部分が、真空ポンプ又は回転ユニットのローターに設けられていたであろうときのように回転されることが可能であり、他方で、所定の参照点において、少なくとも漂遊ベクトル場の成分が受け入れられることによって計測されることが可能である。

【0009】

計測は、永久磁石支承部が組み立てられた後、ポンプまたは回転ユニットにおいて実施されることが可能である。そのような計測は、測定された成分内において、真空ポンプ又は回転ユニットの電気的な駆動部によって引き起こされる貢献分も、及び／又は真空ポンプ又はローターユニットの他の装置又は部材によって引き起こされる貢献分も検出されることが可能であるというメリットを有する。この貢献分は、同様にバランスマグネットの変更される磁場によっても減少される、又は場合によっては補償されさえすることが可能である。漂遊ベクトル磁場に対するこの貢献分の減少又は補償の為の独立したシールドは、よって省略されることが可能である。

【0010】

バランスマグネットの磁場は、特に、バランスマグネットがポンプにおいて、又は回転ユニットにおいて、その意図した組込み位置に配置されているときに、漂遊ベクトル場の成分の減少又は補償の意図した効果が最大であるように変更される。

【0011】

バランスマグネットの磁場が、漂遊ベクトル場の成分を、少なくとも参照点において減少し、または好ましくは補償するよう選択される上述した代替系においては、例えば、バランスマグネットが複数の、例えば倉庫内に保管される複数のバランスマグネットから選択されることが意図されていることが可能である。選ばれたバランスマグネットにおいては、その際、多かれ少なかれ、磁場が、まさに、所望の方法及び形式で漂遊ベクトル場の成分を、少なくとも参照点において減少し、又は好ましくは補償するよう形成されている。

【0012】

好ましくは、参照点において、漂遊ベクトル場の成分の関数が、永久磁石支承部の回転するローター側の部材において、永久磁石支承部のローター側の部材の角度位置に応じて、回転軸を中心とした磁石支承部のローター側の部材の少なくとも一つの完全な周回に対して測定され、そしてバランスマグネットの磁場は、特にバランスマグネットに対して意図されている組込み位置において、永久支承部のローター側の部材の角度位置に拠らず、参照点において測定可能又は測定される漂遊ベクトル場の成分を減少し、又は少なくとも近似的に補償するよう選択される、又は変更される。

【0013】

磁場は、これが特に、バランスマグネットに対して意図されている組込み位置において、永久支承部のローター側の部材の角度位置によらず、少なくとも参照点において計測可能である、成分の時間的に変更可能な部分を減少させ、又は好ましくは補償するよう選択される、又は変更されることも可能である。参照点においては、回転する真空ポンプにおいて、又は回転ユニットにおいて、よって基本的に少なくとも近似的に一定の漂遊磁場のみが計測可能である。

【0014】

漂遊ベクトル場の成分の測定が、真空ポンプ又は回転ユニット内に組み込まれた永久磁石支承部において行われるとき、永久磁石支承部のローター側の部分の回転動作は、真空ポンプ又は回転ユニットのローターの回転動作に相当する。視認上の観点から、以下ではローターの回転動作又はその角度位置という。しかし、永久磁石支承部が真空ポンプ又は回転ユニットの外に配置されているとき、特に、計測装置が、永久磁石支承部のローター側の部材の為のホルダーとしてのある種のローターも有し、その回転動作を真空ポンプ又は回転ユニット内でシミュレートすることができるとき、永久磁石支承部の漂遊ベクトル場が測定されるバリエーションは排除されないべきである。つまり真空ポンプ又は回転ユニットのローターの回転動作又はその角度位置の次に話されとき、（適用可能である限り）この実施形は、測定が、測定装置による永久磁石支承部において実施され、そして真空ポンプにおいて又は回転ユニットにおいて直接実施されないバリエーションに対しても有効であるべきである。

【0015】

本発明の一つのバリエーションに従い、漂遊ベクトル場の成分の関数は、回転するローターにおいてローターの角度位置に応じて、その回転軸を中心としたローターの少なくとも一つの完全な周回に対して測定され、そしてバランスマグネットの磁場は、好ましくは、これが、参照点において測定される、回転するローターにおいて時間的に変化可能である成分部分を減少させ、又は好ましくは補償させるよう変更される。漂遊磁場の減少又は補償の後、成分は、回転するローターの参照点において、好ましくは基本的に一定の部分を一つのみを有し、しかし、時間的に変化する一つの少ない部分のみを有するか、又はこれを有さない。

【0016】

バランスマグネットの磁場は、しかし、これが、回転するローターにおける参照点で、漂遊ベクトル場成分の時間的に変化可能である部分も、一定のままである部分も、少なくとも基本的にゼロへと減少するよう変更されることも可能である。

【0017】

漂遊ベクトル場の成分は、ローターの回転軸に関して、好ましくは、軸方向、半径方向または方位学的な漂遊ベクトル場成分である。各成分に関して、参照点においてその値とその方向が測定されることが可能である。半径方向の成分は、例えばその値を測定され、そしてこれが半径方向外側に向けられているか、又は半径方向内側に向けられているか決定されることが可能である。

【0018】

特に好ましくは、参照点において、漂遊ベクトル磁場の半径方向の成分が測定される。さらに好ましくは、漂遊ベクトル磁場の軸方向の成分が測定される。好ましくは、方位学的な漂遊ベクトル場成分は測定されず、よって減少又は補償されない。

【0019】

好ましくは、減少すべき漂遊ベクトル場成分に対して、この漂遊ベクトル場成分の減少又は補償の為の少なくとも一つの独立したバランスマグネットが使用される。これは、別の漂遊ベクトル場成分の減少の為、又は補償の為には使用されない。例えば、半径方向の漂遊ベクトル場成分の減少の為に、第一のバランスマグネットが、そして軸方向の漂遊ベクトル場成分の減少の為に第二のバランスマグネットが使用されることが可能である。このメリットは、減少すべき各々に対して、この成分の減少の為によく適している一つのバランスマグネットが個々に選択されることが可能であるという点にある。例えば、半径方向の漂遊ベクトル場成分の減少の為に、それ自体、比較的多きな半径方向部分を有する漂遊ベクトル場を有するバランスマグネットが選択されることが可能である。相応して、軸方向の漂遊ベクトル場成分の減少の為、比較的大きな軸方向部分を有する漂遊ベクトル場を有し、よって半径方向の漂遊ベクトル場成分の減少に良好に適しているバランスマグネットが選択されることが可能である。

【0020】

好ましくは、磁石支承部は、リングマグネットの複数の対から形成されるか、又はリングマグネットの複数の対を有し、その際、一つの対の各一方のリングマグネットはステータに、そして当該対の他方のリングマグネットは、ローターに設けられている。

【0021】

交互に積層されたマグネットリングの上述した形態におけるターボ分子ポンプの永久磁石支承部の典型的に見出される構成に対する代替として、発明に係る方法は、モノリス形状（この形状において、補正リング以外の積層された個々のリングは、相応する多極帯磁部を有する同じ構造の磁気的な一つの中空シリンダーによって置換されることが可能である）の磁石支承部の磁場の補正の際に制限を有さない。

【0022】

バランスマグネットは、好ましくは、リングマグネット対の、ローターに設けられた一方のリングマグネットであることが可能である。

【0023】

バランスマグネットは、永久磁石支承部の磁石に追加的に設けられる永久磁石であることが可能である。バランスマグネットは、その際、好ましくは、その処理の前又は後に、真空ポンプ又は回転ユニット内のローターの側面に設けられる。ローターに設けることによって、支承部強度が高められることが可能である。更に、複数のバランスマグネットから設けられていることも可能である。

【0024】

バランスリングを有する永久磁石支承部形成の別の形状において、これは、モノリスの磁石支承部リングの部分であることも可能であり、例えば、ローターの磁気的中空シリンダーの軸方向の一つの端部に位置する極領域の一つとして形成されていることが可能である。バランスリングは、その際、もはや本来の意味でのリングではなく、磁気的中空シリンダーの部分、特に中空シリンダーのリング形状の部分である。

【0025】

好ましくは、永久磁石支承部は、少なくとも一つの磁気的中空シリンダーを有する。これは、軸方向に連続する二以上の部分を有する。その際、互いに隣接する部分は、少なくとも基本的に反対方向の磁極方向を有する。

【0026】

バランスマグネットは、中空シリンダーに対して独立したリングマグネットから形成されることが可能である。バランスマグネットは、代替として、中空シリンダーの一部内に形成されていることが可能である。バランスマグネットは、よって中空シリンダー内に統合されていることが可能である。中空シリンダーの部分によって発生される磁場は、適当な方法で、外部のバランスマグネットの磁場のように、つまり例えばバランスマグネットを形成する中空シリンダーの当該部分の形状の局所的な変更によって、及び／又は、当該部分の材料特有の永久磁石特性の局所的な変更によって、変更されることが可能である。

【0027】

中空シリンダーは、好ましくは磁気的な又は磁化可能な材料から成っている。

【0028】

本発明の好ましい発展形に従い、バランスマグネットの磁場は、バランスマグネットの形状の局所的な変更によって、特にバランスマグネットの材料の局所的な除去によって、及び／又は、バランスマグネットの材料特有の永久磁石特性の局所的な変更によって、特に少なくとも部分的な局所的な脱磁によって変更される。

【0029】

材料は、例えば研磨、穿孔、及び／又は旋削のような切削法によって、又はレーザー処理によって除去されることが可能である。

【0030】

少なくとも部分的な局所的な脱磁は、例えばレーザー光線の照射による局所的な加熱によって行われることが可能である。その際、バランスマグネットの永久磁石材料が、少なくとも部分的にその永久磁石特性を長期的に失う温度へと、バランスマグネットは局所的に加熱される。レーザー光線は、局所的に、バランスマグネットの所定の領域に向けられることが可能である。この領域を加熱し、これによって少なくとも部分的に脱磁を行うためである。

【0031】

好ましくは、漂遊ベクトル場の成分の測定された関数に基づいて、ローターの角度位置に応じて、特に少なくとも一つのレーザーによる処理装置の制御の為の処理関数が決定され、その際、処理関数内には、バランスマグネットの形状及び／又はその材料特有の永久磁石特性がそのように変更されるべきであるか特定され、そして処理装置は、当該処理関数に基づいて制御され、バランスマグネットの形状及び／又は材料特有の永久磁石特性を処理する。

【0032】

漂遊ベクトル場の成分Ｋ（φ）の関数は、成分の値及び強度を、連続的な又は非連続的な関数としてローターの角度位置φに応じて出力する。バランスマグネットが漂遊ベクトル場の成分を参照点において、少なくとも基本的に補償することができるように、本発明の好ましい態様に従い、バランスマグネットの磁場Ｍ（φ）は、その推移がローターの角度位置φに応じて少なくとも近似的に、漂遊ベクトル場成分の相補関数（独語：Ｋｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｅｒｅｎ ｄｅｒ Ｆｕｎｋｔｉｏｎ）に相当する：０度から３６０度の全ての角度に対してＭ（φ）≒−Ｋ（φ）であるように変更される。

【0033】

処理関数の決定の為に、特に、経験的に得られたデータの使用の下、パラメーターが計算される。これらパラメーターは、バランスマグネットが（角度位置に関して）どのように、かつどこにおいて、局所的に加熱及び／又は材料切崩される必要があるかを提供する。これによって、バランスマグネットにおいて、磁場の推移は角度位置に応じて漂遊ベクトル場成分の相補関数に相当する。演算されたパラメーターは、バランスマグネットの相応する処理のための処理装置の為の制御指令内へと変換されることが可能である。

【0034】

処理装置は、バランスマグネットの材料の材料の局所的な除去の為の装置を有することが可能である。これは例えばフライス又はドリルである。

【0035】

処理装置は、レーザーを有することが可能である。これによってバランスマグネットが、少なくとも部分的な局所的な脱磁の為に局所的に加熱されることが可能である。バランスマグネットは、レーザーによって提供されるレーザー光線の焦点に対して回転可能である、又は調整可能であることが可能であるので、バランスマグネットの処理すべき各領域は、焦点内に移動させられることが可能である。バランスマグネットの処理の為のレーザーの使用において特に有利であるのは、正確な局所的処理が可能であることである。その上、バランスマグネットの処理は、その意図される組込み位置において可能である。

【0036】

バランスマグネットの処理の前に、その磁場、特に相応する漂遊ベクトル場成分が、回転するローターにおいてローターの角度位置に応じて参照点で測定される。この測定は、好ましくは、永久磁石支承部なしで行われる。引き続いて、バランスマグネットの磁場が、相応する磁場成分が、ローターの角度位置に応じて、少なくとも基本的に漂遊ベクトル場成分の推移の相補に、ローターの角度位置にわたって相当する推移を有するよう、長期的に変更されることが可能である。

【0037】

バランスマグネットとして、特に永久磁石、特にリングマグネットが提供される。これは、減少すべき、または補償すべき漂遊ベクトル場成分中に明らかな磁化（又は帯磁部分、独語：Ｍａｇｎｅｔｉｓｉｅｒｕｎｇ）を有する。磁石の処理によって、特に、その形状の変更によって、及び局所的な加熱によって、そのような磁石において成分が、値において、比較的大きな領域にわたって変更され、これによって永久磁石支承部の漂遊ベクトル場成分の減少又は補償が達成されることが可能である。

【0038】

バランスマグネットは、その組込位置において処理されることが可能であり、又はまず処理され、そしてその後、真空ポンプ又は回転ユニットにおけるその組込位置に配置されることが可能である。

【0039】

本発明は、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプ、又は真空ポンプ、特にターボ分子ポンプの為の回転ユニットに関する。これは、本発明に従い実施される方法によって得られる、又は得られることが可能である。

【0040】

本発明は更に、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプ、または真空ポンプ、特にターボ分子ポンプの為の回転ユニットに関する。これは、少なくとも一つの永久磁石支承部を有し、この支承部は、真空ポンプ又は回転ユニットの回転子及び固定子の反対方向の回転可能な支承の為に形成されており、その際、バランスマグネットの磁場は、永久磁石支承部の漂遊ベクトル磁場の少なくとも一つの成分を、真空ポンプ又は回転ユニットの外の少なくとも一つの参照点において減少させる、及び好ましくは補償するよう形成される、又は変更される。

【0041】

真空ポンプ又は回転ユニット内、特に固定子のハウジング内には、少なくともその意図される組込み位置に配置されるバランスマグネットへの一つのアクセスチャネルが形成されていることが可能である。その際、アクセスチャネルは、真空ポンプ又は回転ポンプの外から来るレーザー光線によるバランスマグネットの局所的な付勢を許容する。

【0042】

バランスマグネットは、好ましくは、ローターの軸方向端部に、特に磁石支承部のローター側の永久磁石のリング積層部の上に設けられている。これによって、バランスマグネットはレーザー光線による処理のために、良好にアクセス可能である。

【0043】

バランスマグネットに対する内容は、多極帯磁部を有する磁気的な中空シリンダーの一部に対しても同様に有効である。多極帯磁部は、バランスマグネットを形成する又は漂遊ベクトル場の減少又は補償に関しその機能を提供するものである。

【0044】

以下に本発明を添付の図面を参照しつつ例示的に説明する。

【図面の簡単な説明】

【0045】

【図1】真空ポンプの一例の断面図

【図2】バランスマグネットの斜視図

【図3】バランスマグネットを有する永久磁石支承部の横断面図

【図4】変更された永久磁石支承部の横断面図

【図5】バランスマグネットを有する別の永久磁石支承部の横断面図

【図6】永久磁石支承部のローター側の磁石中空シリンダーの一部に形成されたバランスマグネットを有する更に別の永久磁石支承部の横断面図

【発明を実施するための形態】

【0046】

図１に示された真空ポンプは、インレットフランジ１１によって取り囲まれたポンプインレット１０と、図示されていないポンプアウトレット１０並びに、ポンプインレット１０付近に存在するプロセスガスをポンプアウトレットに搬送するための複数のプロセスガスポンプ段を有する。真空ポンプは、ハウジング６４と、ハウジング６４内に設けられたローター１６を有する。ローターは、回転軸１４を中心として回転可能に支承されたローター軸１５を有している。

【0047】

ポンプは、ターボ分子ポンプとして形成されており、そして、互いにシリアルに接続され、ポンプ作用を奏する、ターボ分子的な複数のポンプ段を有する。ポンプ段は、ローター軸１５に固定された半径方向の複数のローターディスク６６と、これらローターディスク６６の間に設けられ、そしてハウジング６４内に固定された複数のステーターディスク６８を有する。その際、ローターディスク６６と隣接するステーターディスク６８は、各一つのターボ分子的ポンプ段を形成する。ステーターディスク６８は、スペーサーリング７０によって互いに所望の軸方向間隔に保持されている。

【0048】

真空ポンプは、その上、半径方向においれ入れ子式に設けられ、そしてポンプ作用を奏する、互いにシリアルに接続された四つのホルベックポンプ段を有する。ホルベックポンプ段のローターは、ローター軸１５と一体に形成されたローターハブ７２と、ローターハブ７２に固定され、そしてこれによって担持されたシリンダー側面形状の二つのホルベックロータースリーブ７４，７６を有し、これらホルベックロータースリーブが、回転軸１４に対し同軸に向けられ、そして半径方向において入れ子式に接続されている。更に、シリンダー側面形状の二つのホルベックステータースリーブ７８，８０が設けられている。これらは、同様に回転軸１４に同軸に向けられており、そして半径方向において互いに入れ子式に接続されている。第三のホルベックステータースリーブは、ハウジング６４の収容部分１３２によって形成されている。この収容部分は、後述するように、駆動モーター２０の収容及び固定の為に使用される。

【0049】

ホルベックポンプ段のポンプ効果を発する表面は、複数の側面、つまりホルベックロータースリーブ７４，７６、ホルベックステータースリーブ７８，８０及び収容部分１３２の半径方向内側面及び外側面によって形成されている。外側のホルベックステータースリーブ７８の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙８２を形成しつつ外側のホルベックロータースリーブ７４の半径方向外側面と向き合っており、そしてこれと第一のホルベックポンプ段を形成する。外側のホルベックロータースリーブ７４の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙８４を形成しつつ内側のホルベックステータースリーブ８０の半径方向外側面と向き合っており、そしてこれと第二のホルベックポンプ段を形成する。内側のホルベックステータースリーブ８０の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙８６を形成しつつ内側のホルベックロータースリーブ７６の半径方向外側面と向き合っており、そしてこれと第三のホルベックポンプ段を形成する。内側のホルベックロータースリーブ７６の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙８７を形成しつつ、収容部分１３２の半径方向外側面と向き合っており、そしてこれと第四のホルベックポンプ段を形成する。

【0050】

ホルベックステータースリーブ７８，８０と収容部分１３２の上述したポンプ効果を発する表面は、其々、回転軸１４の周りをらせん形状に取り囲み軸方向へと推移する複数のホルベック溝を有している。一方、ホルベックロータースリーブ７４，７６の向き合った表面は、滑らかに形成されており、そして真空ポンプの運転の間、ガスをホルベック溝内で前進させる。

【0051】

ローター軸１５の回転可能な支承の為に、ローラー支承部８８が、ポンプアウトレットの領域に、そして永久磁石支承部９０がポンプインレット１０の領域に設けられている。

【0052】

ローラー支承部８８の領域には、ローター軸１５に円すい形のスプラッシュナット９２が設けられている。スプラッシュナットは、ローラー支承部８８の方に向かって大きくなる外直径を有している。スプラッシュナット９２は、運転媒体貯蔵部の少なくとも一つのスキマーと滑り接触している。運転媒体貯蔵部は、複数の互いに積層された吸収性のディスク９４を有する。これは、ローラー支承部８８の為の運転媒体、例えば潤滑媒体を染み込ませられている。真空ポンプの運転中は、運転媒体は、毛細管効果によって運転媒体貯蔵部からスキマーを介してスプラッシュナット９２へと伝達され、そしてその後、遠心力によってスプラッシュナット９２に沿ってスプラッシュナット９２の大きくなる外直径の方向へとローラー支承部８８に向かって搬送され、そこで例えば潤滑機能を発揮する。ローラー支承部８８と運転媒体貯蔵部は、真空ポンプの槽形状のインサート９６とカバー要素９８によって囲まれている。

【0053】

永久磁石支承部は、ローター側の支承半部１００とステーター側の支承半部１０２を有している。これらは、各一つのリング積層部（軸方向に互いに積層された永久磁石のリング１０４又は１０６からなる）を有する。マグネットリング１０４、１０６は、互いに半径方向の支承間隙１０８を形成しつつ向き合っており、その際、ローター側の永久磁石リング１０４は半径方向外側、そしてステーター側のマグネットリング１０６は半径方向内側に設けられている。支承間隙１０８内に存在する磁場は、マグネットリング１０４，１０６の間の反発力を引き起こす。これらは、ローター軸１５の半径方向の支承を行う。

【0054】

ローター側のマグネットリング１０４は、ローター軸のキャリア担持部１１０によって担持されている。これは、マグネットリング１０４を半径方向外側で取り囲んでいる。ステーター側のマグネットリングは、ステーター側のキャリア担持部分１１２によって担持されており、これは、マグネットリング１０６を通って延在し、そしてハウジング６４の半径方向の支柱１１４に懸架されている。回転軸１４に対して平行に、ローター側のマグネットリング１０４は、一方の方向ではキャリア担持部分１１０と連結されたカバー要素１１６によって、及び、他の方向では、キャリア担持部分１１０の半径方向に突き出したショルダー部分によって固定されている。ステーター側のマグネットリング１０６は、キャリア担持部分１１２と接続された固定リング１１８、及び固定リング１１８とマグネットリング１０６の間に設けられたバランス要素１２０通る一方の方向に、及びキャリア担持部分１１２と接続されたサポートリング１２２を通る他方の方向に固定されている。

【0055】

磁石支承部の内部には、緊急用又は安全用支承部１２４が設けられている。これは、真空ポンプの通常の運転では非接触で空転し、そしてローター１６がステーターに対して過剰に半径方向に変位した際に初めて介入するに至り、ローター１６の為の半径方向のストッパーを形成する。これは、ローター側の構造がステーター側の構造と衝突するのを防止する。安全用支承部１２４は、非潤滑式のローラーローラー支承部として形成され、そしてローター１６及び／又はステーターと半径方向の間隙を形成する。この間隙は、安全用支承部１２４が通常のポンプ運転中に介入させない。安全用支承部１２４が介入する半径方向の変位は、安全用支承部１２４が真空ポンプの通常の運転中に介入しないよう十分大きく寸法どられており、そして同時に、ローター側の構造がステーター側の構造と衝突することがあらゆる状況で防止されるよう十分小さく寸法どられている。

【0056】

真空ポンプは、ローター１６の回転駆動の為の駆動モーター２０を有している。駆動モーター２０は、コア３８を有するモーターステーター２２と、図１には簡略的のみ表された一または複数のコイル４２を有する。これらは、コア３８の半径方向内側面に設けられたコア３８の複数の溝内に固定されている。

【0057】

駆動モーター２０のアンカーは、ローター１６によって形成されている。そのローター軸１５は、モーターステーター２２を通って延在している。モーターステーター２２を通って延在するローター軸１５の部分には、半径方向外側に永久磁石装置１２８が固定されている。モーターステーター２２と、モーターステーター２２を通って延在するローター１６の部分の間には、中間空間２４が設けられている。これは、半径方向のモーター間隙を有し、これを介してモーターステーター２２と永久磁石装置１２８が駆動トルクの伝達の為に磁気的に影響している。

【0058】

永久磁石装置１２８は、ローター軸１５に差し込まれた固定スリーブ１２６によって軸方向でローター軸１５に固定されている。カプセル部１３０が永久磁石装置１２８をその半径方向外側において取り囲み、そしてこれを中間空間２４に対してシールしている。

【0059】

モーターステーター２２は、ハウジングハウジング６４内に、ハウジング固定の収容部分１３２によって固定されている。これは、モーターステーター２２を半径方向外側で取り囲んでおり、そしてモーターステーター２２を半径方向及び軸方向において支持している。収容部分１３２は、ローターハブ７２と共にモーター室１８を画成している。この中に駆動モーター２０が収容されている。

【0060】

モーター室１８は、中間空間２４の一方の側に設けられ、そして内側に位置する第四のホルベックポンプ段とガスを導くよう接続されたインレット２８と、中間空間２４の反対の側に設けられ、そしてポンプアウトレットとガスを導くよう接続されたアウトレットを有している。

【0061】

モーターステーター２２のコア３８は、その半径方向外側、図１の左側に示された領域内に、空所部３４を有する。この空所部は、収容部分１３２の隣接する領域と共にチャネル３２を形成する。このチャネルを通してモーター室１８内に搬送されるプロセスガスが中間空間２４を通過しインレット２８からアウトレットへと搬送可能である。

【0062】

プロセスガスがポンプインレット１０からポンプアウトレットへと至るガス経路は、図１において矢印２６によって見ることができる。プロセスガスは、ポンプインレット１０から出発し、まず順番にターボ分子的ポンプ段を、そしてその後、順番に四つのホルベックポンプ段を通って搬送される。第四のホルベックポンプ段から流出するガスは、モーター室１８内へと至り、そしてモーター室１８のインレットからチャネル３２を通って図示されていないモーター室１８のアウトレットへ、そして図示されていないポンプアウトレットへと搬送される。

【0063】

図１の真空ポンプにおいては、永久磁石支承部９０が、真空ポンプの外側の漂遊ベクトル磁場（独語：ｍａｇｎｅｔｉｓｃｈｅ Ｓｔｒｅｕｖｅｋｔｏｒｆｅｌｄ）を発生することができる。これは、特におのずから、支承部９０を形成するマグネットリング１０４，１０６の永久磁石の特性の不足する完全性に由来する。漂遊ベクトル磁場は、多くの適用事例において望まれていな可能性がある、及び／又は実施すべきプロセス又は計測に阻害的に作用する可能性がある。

【0064】

図１の真空ポンプの為に、回転軸１４に沿って推移するｚ軸、右へｚ軸に垂直に推移する極軸（ｒ軸）を有する円筒座標系が取られることが可能である。これに対して、公知の方法で、極座標又は方位学座標φが定義されている。これによって以下に、ローター１６の角度位置もまた示されている。ｚ軸に関して座標系の始点は、例えばインレット１０の少し上に記入されているように、基本的に任意の高さで回転軸に１４に沿って位置していることが可能である。

【0065】

漂遊ベクトル磁場の減少又は好ましくは補償の為に、真空ポンプの外側の参照点Ｐにおいて、漂遊ベクトル場の少なくとも一つの成分（例えば半径方向成分Ｋｒのようなもの）が、例えば磁場計測装置によって計測される。参照点は、任意に選択されていることが可能である。好ましくは、参照点Ｐは、一つの適用事例においては、真空ポンプの漂遊磁場が阻害的に影響される箇所に相当するよう選択される。

【0066】

特に成分Ｋｒの値は、測定され、その際、例えば外側に向けられた半径方向の成分Ｋｒが、正の符号を有し、そして内側に向けられた半径方向の成分Ｋｒが負の符号を有する。

【0067】

引き続いて、図２に示されたバランスマグネット３００の磁場Ｍ（これは図１には示されていない）が、測定された成分Ｋｒが減少される、又は好ましくは補償されるように長期にわたって変更される。特に、成分Ｋｒの測定が、回転する真空ポンプにおいて実施されることが意図されている。よって参照点Ｐにおいて、成分Ｋｒ（φ）の為の関数が決定されることが可能である。この関数は、ローター１６の角度位置に応じて、つまり方位学的な角度φに応じて成分の符号を有する値を、回転軸１４を中心としたローター１６の完全な周回に少なくともわたって、つまり０度から３６０度のφに対して与える。関数Ｋｒ（φ）は、その際、連続的な関数または個々の点に関する関数であることが可能である。この場合、関数値は、いくつかの角度位置のみに対して計測される。関数Ｋｒ（φ）は、よって、ローター１６の角度位置に応じて成分の推移（値及び方向）を反映している。

【0068】

バランスマグネット３０の磁場Ｍは、磁石３００の外側のあらゆる箇所において半径方向の成分ｍｒ、軸方向の成分ｍｚ及び方位学的な成分を有している。方位学的な成分が無視されるとき、磁石３００の外側の箇所における磁場Ｍは、図２に例示的に示されているように、当該箇所における半径方向の成分ｍｒと軸方向の成分ｍｚのベクトル総和に相当する。図２において記入された角度αは、当該箇所におけるｚ軸に関する磁化ベクトルＭの角度傾斜又は傾斜位置を表す。

【0069】

バランスマグネット３００においては、方位学的な角度φに応じて磁場Ｍが変化する。これは詳しく言うと、
バランスマグネット３００がその意図されている組込み状態で真空ポンプ内に組み込まれているとき、参照点におけるその半径方向の成分ｍｒ（φ）が、少なくとも基本的に値ついて同じであり、そして方向について成分Ｋｒ（φ）と反対である、つまり０度から３６０度のφに対してｍｒ（φ）≒−Ｋｒ（φ）であるよう変化する。よって、バランスマグネット３００の変更された磁場Ｍ（φ）によって、参照点における成分Ｋｒ（φ）が少なくとも基本的に、ローター１６の全ての角度位置において補償されることが可能である。

【0070】

関数Ｋｒ（φ）（減少されるべき、又は補償されるべき永久磁石支承部９０の漂遊磁場に関する）は、直接真空ポンプにおいて、又は代替的に適当に形成されたテスト位置において計測されることが可能である。真空ポンプにおいて直接計測することは、漂遊磁場に対する真空ポンプの他の部材や駆動モーター２０の永久磁石装置１２８の貢献も共に計測されることが可能であるという点で有利である。関数Ｋｒ（φ）は、よって、バランスマグネット３００の変化した磁場Ｍ（φ）によって同様に減少される、又は補償されるこれら関与分を含んでいる。

【0071】

その上、計測結果は、参照点Ｐにおける成分Ｋｒ（φ）の少なくとも近似的な補償において、真空ポンプの外側の漂遊ベクトル場の成分が、参照点Ｐの他の箇所においても減少される、又は場合によっては補償されさえするということを示す。

【0072】

上述した実施形に相応して、バランスマグネット３００がまず処理されることが可能である。その磁場が上述した方法で変更された後、バランスマグネット３００は真空ポンプ内に組み込まれることが可能である（図１には図示せず）。図２に示すように、バランスマグネット３００は、好ましくはリングマグネットとして形成されている。

【0073】

図１の真空ポンプの永久磁石支承部９０は、（図３に示されているよういに）転成（逆転）されることが可能である。その際、上述の実施形に相応して変更された磁場を有するバランスマグネット３００が、永久支承部９０のマグネットリング１０４の下側、ローター１６の側方に設けられていることが可能である。バランスマグネット３００は、支承部９０の中央の領域、または上方の領域９０にも設けられていることが可能である。バランスマグネット３００は、よってマグネットリング１０４の間、又はマグネットリング１０４の上にも設けられていることが可能である。その上、ステーター側では、永久支承部９０のマグネットリング１０６の下と、バランスマグネット３００の半径方向内側にも、非磁性のスペースホルダー３０２が設けられていることが可能である。バランスンマグネット３００を永久磁石支承部９０内の追加的な磁石として使用することにより、真空ポンプにおいても、漂遊ベクトル場の半径方向の成分、特に参照点において計測されるものが、回転するローター１６において減少され、または理想的には、少なくとも近似的に補償されることが可能である。これによって真空ポンプが、低い漂遊磁場を前提とする適用分野の為にも使用されることが可能である。別のマグネットリングが、軸方向の漂遊ベクトル場成分の減少の為に使用されることが可能である。その上、方位学的な漂遊ベクトル場成分の減少の為に別のマグネットリングが使用されることが可能である。

【0074】

図３において個々のマグネットリング３００、１０４及び１０６が象徴する長方形内には、複数の矢印が記入される。これらは、各リングマグネットの為に例示的にその磁化方向を示す。

【0075】

図１の真空ポンプにおいては、永久磁石支承部９０の領域が、図４に示されているように、転成（逆転）されていることが可能である。バランスマグネット３００は、軸方向外側に位置するリングマグネットとしてマグネットリング１０４の上、ローター側に設けられている。バランスマグネット３００の半径方向内側には、ステーター側にスペースホルダー３０２が設けられている。その上、永久磁石支承部９０のステーター側のハウジング部材５０４内には、シリンダー状のチャネル５０６が形成されている。バランスマグネット３００の、チャネル５０６の出口５０６ａの後方に位置する領域５０７は、レーザー５１０から発せられ、そしてチャネル５０６を通って導かれるレーザー光線５０８を付勢される。

【0076】

レーザー５１０は、高出力レーザーであることが可能である。そのレーザー光線５０８は、領域５０７を局所的に、当該領域が照射の期間に応じてその帯磁を少なくとも部分的に失うという温度に加熱するのに十分である。レーザー光線５０８による領域５０７の付勢によって、バランスマグネット３００の磁場は長期にわたって変更されることが可能である。その回転軸１４を中心としたローター１６の回転によって、ローター１６の角度位置に応じて、レーザー光線にさらされることが可能である領域が変化する。

【0077】

好ましくは、少なくとも一つの成分、バランスマグネット３００を含め、例えば永久磁石支承部９０の漂遊磁場の半径方向成分Ｋｒ（φ）が、参照点Ｐにおいてローター１６の角度位置に応じて、つまり方位学上の角度φに応じて決定される。方位学上の角度φに応じる、磁場Ｍ（φ）の関数、または磁場Ｍ（φ）の半径方向の成分の少なくとも一つの関数が、その上、バランスマグネット３００の為に組込みの前に支承部９０内で決定されるべきである。

【0078】

関数Ｋｒ（φ）とＭ（φ）に基づいて、バランスマグネットの処理の為のレーザー５１０の制御部の為の処理関数が決定されることが可能である。関数Ｋｒ（φ）とＭ（φ）と、経験により獲得されるデータに基づいて、例えばパラメーターが演算されることが可能である。これらは、どのような出力及び期間で、光線５０８が、所定の角度位置φでチャネル出口５０６の後方に位置する領域５０７上に調整されれば、磁場Ｍ（φ）は、その半径方向の成分ｍｒ（φ）が少なくとも近似的に半径方向の成分Ｋｒ（φ）の補償を行うことを示す。

【0079】

バランスマグネット３００は、図４のバリエーションにおいて、磁場の変更の為にその組込位置で処理されることが可能である。代替として、又は補足的に、バランスマグネット３００は、支承部９０の外側でも処理されることが可能である。その磁場を所望の方法で変更する為である。特に、磁石３００の形状は、材料離脱によって変更されることも可能である。

【0080】

上述した例においては、バランスマグネット３００として、追加的なマグネットリングが、永久磁石支承部９０のリングマグネット１０４，１０６に対して追加される。追加的なバランスマグネット３００が使用されず、既に存在する永久磁石支承部９０のリングマグネット１０４，１０６の内の一つが使用され、そして相応する方法で処理されることも意図され得る。

【0081】

好ましくは、漂遊ベクトル磁場の各成分の減少又は補償の為に、追加的なバランスマグネット３００が使用されることが意図されている。漂遊ベクトル磁場の変形方向の成分の減少又は補償の為に、よって、漂遊ベクトル場の軸方向の成分の減少または補償の為とは違うバランスマグネットが使用される。

【0082】

図５は、別の永久磁石支承部６０１の横断面図を示す。これは、ローター側の磁気的中空シリンダー６０３とステーター側の磁気的中空シリンダー６０５を有する。各シリンダー６０３，６０５は、多極帯磁部を有する。つまり、各中空シリンダー６０３，６０５は、互いに隣接する部分６０７，６０９が、少なくとも一つの基本的に反対の磁極方向を有するよう、回転軸１４に関して軸方向において互いに連続する複数の部分６０７，６０９を有する。よって、磁化方向は、隣接する部分６０７、６０９内において、少なくとも近似的に反対方向に推移する。

【0083】

図５において矢印によって表されているように、例えば部分６０７が、回転軸１４に沿った方向に延在する磁極方向を有することが可能である一方で、部分６０９が、回転軸１４に沿った反対の方向に延在する磁極方向を有することが可能である。

【0084】

図５の拡大部分に表されているように、矢印はＳ極ＳからＮ極Ｎへと推移すべきであり、その際矢印の先端は、Ｎ極の方向に向いている。磁極方向の概念は、よって、磁気的な中空シリンダー６０３，６０５の各部分６０７．６０９における磁石のＮ極Ｎ又は磁石のＳ極Ｓの向き又は状態を示す。磁極方向は、よって磁石のＳ極Ｓから出発して磁石のＮ極に向かう直線が延在する方向として定義される。

【0085】

図５に表された磁石支承部６０１は、真空ポンプ内において、例えば図１に表されているように使用されることが可能である。ローター側の中空シリンダー６０３は、その際、ローター側のマグネットリング１０４の少なくとも一部の代替として使用されることが可能である。これに相応して、ステーター側の中空シリンダー６０５も同様に、ステーター側のマグネットリング１０６の少なくとも一部の代替として使用されることが可能である。ステーター側の中空シリンダー６０５は、その際、図５に表されているように、真空ポンプ内で、ローター側の中空シリンダー６０３の内部及びこれに対して同軸に設けられている。

【0086】

図示されていないバリエーションにおいては、磁石支承部６０１がステーター側又はローター側のみに磁石の中空シリンダー６０３，６０５を有する一方で、中空シリンダーの無い方の側には従来のマグネットリングが使用される。

【0087】

さらに図５が示すように、ローター側では、中空シリンダー６０３の軸方向端部に、バランスマグネット３００が設けられている。これは、上述したように、少なくとも一つの参照点における漂遊ベクトル場の少なくとも一つの成分の減少のため、又は好ましくは補償の為に設けられている。ステーター側には、半径方向においてバランスマグネット３００の内部に、非磁性のリング６１１がスペースホルダーとして設けられていることが可能である。

【0088】

図６は、更に別のＡ級磁石支承部７０１の横断面図を示す。これは、ローター側の磁石の中空シリンダー７０３とステーター側の磁石の中空シリンダー７０５を有する。各中空シリンダー７０３、７０５は、互いに隣接する部分７０７，７０９が少なくとも一つの基本的に反対の磁極方向を有するよう、回転軸１４に関して軸方向に互いに連続する複数の部分７０７，７０９を有する。

【0089】

図５のバリエーションと異なり、バランスマグネット３００は、独立したマグネットリングとして設けられておらず、ローター側の中空シリンダー７０３の中に統合されている。ローター側の中空シリンダー７０３の軸方向端部に位置する部分は、これがバランスマグネット３００を形成する、又はその機能を担うよう磁化されている。ステーター側の中空シリンダー７０５の半径方向内側に位置する部分７１１は、磁化されていないことが可能である。代替として、非磁性のリングのこの領域がプレースホルダーとして形成されることが可能である（図示せず）。

【符号の説明】

【0090】

１０ ポンプインレット
１１ インレットフランジ
１４ 回転軸
１５ ローター軸
１６ ローター
１８ モーター室
２０ 駆動モーター
２２ モーターステーター
２４ 中間空間
２６ 矢印、ガス経路
２８ インレット
３２ チャネル
３４ 空所部
３８ コア
４２ コイル
６４ ハウジング
６６ ローターディスク
６８ ステーターディスク
７０ スペーサーリング
７２ ローターハブ
７４，７６ ホルベックロータースリーブ
７８，８０ ホルベックステータースリーブ
８２，８４，８６，８７ ホルベック間隙
８８ ローラー支承部
９０ 永久磁石支承部
９２ スプラッシュナット
９４ 吸収性のディスク
９６ 槽形状のインサート
９８ カバー要素
１００ ローター側の支承半部
１０２ ステーター側の支承半部
１０４，１０６ マグネットリング
１０８ 支承間隙
１１０，１１２ キャリア担持部分
１１４ 支柱
１１６ カバー要素
１１８ 固定リング
１２０ バランス要素
１２２ サポートリング
１２４ 安全用支承部
１２６ 固定スリーブ
１２８ 永久磁石装置
１３０ カプセル部
１３２ 収容部分
２００ 座標系
３００ バランスマグネット
３０２ スペースホルダーリング
５０４ ステーター側のハウジング部材
５０６ アクセスチャネル
５０６ａ チャネル出口
５０７ 領域
５０８ レーザー光線
５１０ レーザー
６０１，７０１ 永久磁石支承部
６０３，７０３ 中空シリンダー
６０５，７０５ 中空シリンダー
６０７，７０７ 部分
６０９，７０９ 部分
６１１ リング
７１１ 部分
Ｐ 参照点
Ｋｒ 成分
Ｍ 磁場
ｍｒ 半径方向の成分
ｍｚ 半径方向の成分
φ 方位学上の角度
α 角度傾斜

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】