特許 6245002 板ガラス研磨装置および板ガラス研磨方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6245002

(24)【登録日】2017年11月24日

(45)【発行日】2017年12月13日

(54)【発明の名称】板ガラス研磨装置および板ガラス研磨方法

(51)【国際特許分類】

   B24B 7/24 20060101AFI20171204BHJP

   B24B 57/02 20060101ALI20171204BHJP

   C03C 19/00 20060101ALI20171204BHJP

【ＦＩ】

   B24B7/24 A

   B24B57/02

   C03C19/00 Z

【請求項の数】4

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2014-49291(P2014-49291)

(22)【出願日】2014年3月12日

(65)【公開番号】特開2015-171753(P2015-171753A)

(43)【公開日】2015年10月1日

【審査請求日】2016年10月12日

(73)【特許権者】

【識別番号】000232243

【氏名又は名称】日本電気硝子株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100080621

【弁理士】

【氏名又は名称】矢野 寿一郎

(74)【代理人】

【識別番号】100162020

【弁理士】

【氏名又は名称】岩本 泰雄

(72)【発明者】

【氏名】岩崎 平和

(72)【発明者】

【氏名】早川 俊文

【審査官】 亀田 貴志

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００７−３１９９７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−１１７６３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−０２６７６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０５−２６９６５７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２４Ｂ ７／２２ − ７／２６

Ｂ２４Ｂ ９／１０

Ｂ２４Ｂ ５５／１２

Ｂ２４Ｂ ５７／００ − ５７／０２

Ｂ２３Ｑ １１／００

Ｃ０３Ｃ １９／００

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

ＤＷＰＩ（Ｄｅｒｗｅｎｔ Ｉｎｎｏｖａｔｉｏｎ）

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

研磨剤と水からなる研磨スラリーを用いて板ガラスを研磨するとともに、研磨後の研磨スラリーを回収して再利用する、板ガラス研磨装置であって、
研磨スラリーが付着した板ガラスを搬送する搬送手段と、
前記搬送手段により搬送される前記板ガラスに対して圧縮エアーを噴出するエアーノズルと、
前記搬送手段により搬送される前記板ガラスに対して洗浄水を噴出する洗浄ノズルと、
前記搬送手段の下方に配置され、前記圧縮エアーにより前記板ガラスから除去された研磨スラリーおよび前記板ガラスに噴出された洗浄水を受け止めて回収するシュートと、を備え、
前記エアーノズルおよび前記洗浄ノズルは、前記エアーノズルの圧縮エアー噴出位置が、前記洗浄ノズルの洗浄水噴出位置よりも、前記板ガラスの搬送方向における上流側となるようにそれぞれ配置され、
前記シュートは、前記圧縮エアーにより吹き飛ばされた研磨剤の濃度が高い再生研磨スラリーと、前記洗浄水により除去された研磨剤の濃度が低い廃棄スラリーとに分別して、前記研磨スラリーを回収可能に構成されてなる、
ことを特徴とする板ガラス研磨装置。

【請求項2】

前記搬送方向における前記エアーノズルの配置位置と洗浄ノズルの配置位置との間の下方、かつ、前記シュート内には、止水板が設けられ、
前記シュート内は、前記止水板により、前記止水板よりも前記搬送方向における上流側の空間と、前記止水板よりも前記搬送方向における下流側の空間とに区画される、
ことを特徴とする、請求項１に記載の板ガラス研磨装置。

【請求項3】

前記搬送手段は、ベルトコンベアであって、
前記洗浄ノズルは、前記搬送手段の下流側端部の近傍に配置される、
ことを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の板ガラス研磨装置。

【請求項4】

研磨剤と水からなる研磨スラリーを用いて板ガラスを研磨するとともに、使用後の研磨スラリーを回収して再利用する、板ガラス研磨方法であって、
研磨スラリーが付着した板ガラスを搬送する搬送工程と、
前記搬送工程により搬送されている前記板ガラスに対して圧縮エアーおよび洗浄水を噴出して前記板ガラスから前記研磨スラリーを除去する除去工程と、
前記除去工程で除去した研磨スラリーを、前記圧縮エアーによって吹き飛ばされた研磨剤の濃度が高い再生研磨スラリーと、前記洗浄水によって除去された研磨剤の濃度が低い廃棄研磨スラリーとに分別して、回収する回収工程と、を備え、
前記除去工程において、圧縮エアーは、前記洗浄水よりも、前記搬送工程における上流側で噴出される、
ことを特徴とする板ガラス研磨方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、研磨剤を含有する研磨スラリーを用いて板ガラスを研磨する板ガラス研磨装置および板ガラス研磨方法の技術に関し、より詳しくは、研磨後の研磨スラリーを回収して再利用する板ガラス研磨装置および板ガラス研磨方法の技術に関する。

【背景技術】

【0002】

従来から、板ガラスの研磨においては、例えば、砥粒と呼ばれる粒状の研磨剤と水とを混合した研磨スラリーが用いられている。
具体的には、板ガラスの被研磨面（研磨が施される面）に研磨スラリーを供給しつつ、研磨パッドなどの研磨手段によって当該被研磨面を押圧しながら磨き上げる。
こうして、板ガラスの研磨は、研磨スラリーを用いて行われていた。

【0003】

ところで、板ガラスの研磨後の研磨スラリーが被加工面に残っていると、板ガラスの研磨終了後に行われる工程において、被研磨面に傷や汚れ等を発生させる要因となり得る。よって、板ガラスの研磨終了後、使用された研磨スラリーを直ちに被研磨面より除去することが好ましい。
一方、研磨スラリーに含有される研磨剤としては、酸化セリウムやパーミス等の高価なものも多く、一回のみの使用によって研磨スラリーを破棄することとすれば、研磨剤のコスト増大を招くこととなる。
このようなことから、従来から、被研磨部材（例えば、板ガラスなど）の研磨終了後、使用された研磨スラリーを被研磨部材より直ちに除去するとともに、除去した研磨スラリーを回収して再利用する研磨装置が知られている（例えば、「特許文献１」を参照）。

【0004】

ここで、従来の研磨装置の一例として、板ガラス研磨装置１００（以下、適宜「研磨装置１００」と記載する）の構成について、図４を用いて説明する。
なお、以下の説明に関しては便宜上、図４の上下方向を研磨装置１００の上下方向と規定して記述する。
また、図４においては、矢印Ａの方向を板ガラスＧの搬送方向と規定して記述する。

【0005】

研磨装置１００は、板ガラスＧを水平方向に搬送するベルトコンベア１０１を備え、ベルトコンベア１０１の下方には、上方に開口する略矩形箱状のシュート１０２が配設される。また、ベルトコンベア１０１の上方、且つ下流側（矢印Ａが示す側）端部の近傍には、洗浄ノズル１０３が配設される。
なお、ベルトコンベア１０１の上方、且つ上流側（矢印Ａが示す側とは反対側）には、研磨スラリーの吐出機器や研磨パッドなどからなる研磨手段（図示せず）が配置されており、当該研磨手段によって、水平姿勢で搬送される板ガラスＧの被研磨面（上面）が研磨される構成となっている。

【0006】

シュート１０２の底面１０２ａは、中央部に向かって徐々に下方に傾斜する逆四角錐形状に形成され、その頂点には貫通孔１０２ｂが穿孔される。
また、貫通孔１０２ｂには、配管部材１０５の一端部が接続されるとともに、配管部材１０５の他端部は、シュート１０２の下方に位置する回収タンク１０４に接続される。
つまり、シュート１０２は、配管部材１０５を介して、回収タンク１０４と連通される。

【0007】

一方、洗浄ノズル１０３は、水平方向、且つベルトコンベア１０１の幅方向（矢印Ａに対する平面視直交方向）に延出して配設される。また、洗浄ノズル１０３の下端部には、複数（図４は側面図であるため、一個のみ記載）の噴出口１０３ａ・１０３ａ・・・が、洗浄ノズル１０３の延出方向に沿って一直線状に配置されている。
そして、これらの複数の噴出口１０３ａ・１０３ａ・・・から、洗浄水（例えば、常温水）ｗ・ｗ・・・が、下方に向かって噴出される。

【0008】

以上のような構成からなる従来の研磨装置１００において、ベルトコンベア１０１によって水平姿勢で搬送される板ガラスＧは、ベルトコンベア１０１の上流側にて、前述した研磨手段（図示せず）によって、その上面を研磨される。
研磨手段による研磨が終了した板ガラスＧは、ベルトコンベア１０１によって、引き続き水平姿勢で搬送される。この際、板ガラスＧの上面には、研磨後の研磨スラリーＳの一部が、板ガラスＧより落下することなく付着したままの状態となっている。
その後、ベルトコンベア１０１の下流側端部に到達した板ガラスＧの上面に向かって、洗浄水ｗが吹き付けられる。これにより、板ガラスＧの上面に付着していた研磨後の研磨スラリーＳの略全てが、板ガラスＧより除去される。

【0009】

板ガラスＧの上面より除去された、研磨後の研磨スラリーＳは、洗浄水ｗと混ざり合ってシュート１０２へと落下し、配管部材１０５を介して、回収タンク１０４内に回収される。
その後、回収タンク１０４に回収された研磨スラリーＳは、前述した研磨手段（図示せず）を構成する、研磨スラリーの吐出機器等に送られ再利用される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0010】

【特許文献1】特開２００３−６８６８４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0011】

以上に示したように、従来の板ガラス研磨装置であっても、被研磨部材（例えば、板ガラスなど）の研磨終了後、研磨後の研磨スラリーを被研磨部材より直ちに除去するとともに、除去した研磨スラリーを回収して再利用することは可能である。
ここで、研磨後の研磨スラリーには、研磨によって板ガラスから除去されたガラス片が含有されており、回収された研磨スラリーを再利用するには、当該ガラス片を取り除く必要がある。
しかしながら、従来の板ガラス研磨装置においては、研磨後の研磨スラリーが被研磨部材より除去される際、当該研磨スラリーに対して多くの洗浄水が混ざり合うため、たとえガラス片を取り除くことによって、回収された研磨スラリーを再利用することが可能になったとしても、スラリー濃度（研磨スラリー中の研磨剤の割合）が低下しており、研磨スラリーの研磨能力（単位時間当たりに、単位量の研磨スラリーが被研磨部材より除去する研磨量）が短時間で低下するという問題があった。

【0012】

本発明は、以上に示した現状の問題点を鑑みてなされたものであり、研磨能力の低下を極力防止しつつ、研磨後の研磨スラリーを回収することが可能な板ガラス研磨装置および板ガラス研磨方法を提供することを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0013】

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。

【0014】

即ち、本発明の請求項１に係る板ガラス研磨装置は、研磨剤と水からなる研磨スラリーを用いて板ガラスを研磨するとともに、研磨後の研磨スラリーを回収して再利用する、板ガラス研磨装置であって、研磨スラリーが付着した板ガラスを搬送する搬送手段と、前記搬送手段により搬送される前記板ガラスに対して圧縮エアーを噴出するエアーノズルと、前記搬送手段により搬送される前記板ガラスに対して洗浄水を噴出する洗浄ノズルと、前記搬送手段の下方に配置され、前記圧縮エアーにより前記板ガラスから除去された研磨スラリーおよび前記板ガラスに噴出された洗浄水を受け止めて回収するシュートと、を備え、前記エアーノズルおよび前記洗浄ノズルは、前記エアーノズルの圧縮エアー噴出位置が、前記洗浄ノズルの洗浄水噴出位置よりも、前記板ガラスの搬送方向における上流側となるようにそれぞれ配置され、前記シュートは、前記圧縮エアーにより吹き飛ばされた研磨剤の濃度が高い再生研磨スラリーと、前記洗浄水により除去された研磨剤の濃度が低い廃棄スラリーとに分別して、前記研磨スラリーを回収可能に構成されてなることを特徴とする。

【0015】

また、本発明の請求項２に係る板ガラスの研磨装置は、前記搬送方向における前記エアーノズルの配置位置と洗浄ノズルの配置位置との間の下方、かつ、前記シュート内には、止水板が設けられ、前記シュート内は、前記止水板により、前記止水板よりも前記搬送方向における上流側の空間と、前記止水板よりも前記搬送方向における下流側の空間とに区画されることを特徴とする。

【0016】

また、本発明の請求項３に係る板ガラス研磨装置は、前記搬送手段は、ベルトコンベアであって、前記洗浄ノズルは、前記搬送手段の下流側端部の近傍に配置されることを特徴とする。

【0017】

一方、本発明の請求項４に係る板ガラス研磨方法は、研磨剤と水からなる研磨スラリーを用いて板ガラスを研磨するとともに、使用後の研磨スラリーを回収して再利用する、板ガラス研磨方法であって、研磨スラリーが付着した板ガラスを搬送する搬送工程と、前記搬送工程により搬送されている前記板ガラスに対して圧縮エアーおよび洗浄水を噴出して前記板ガラスから前記研磨スラリーを除去する除去工程と、前記除去工程で除去した研磨スラリーを、前記圧縮エアーによって吹き飛ばされた研磨剤の濃度が高い再生研磨スラリーと、前記洗浄水によって除去された研磨剤の濃度が低い廃棄研磨スラリーとに分別して、回収する回収工程と、を備え、前記除去工程において、圧縮エアーは、前記洗浄水よりも、前記搬送工程における上流側で噴出されることを特徴とする。

【発明の効果】

【0018】

本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。

【0019】

即ち、本発明の請求項１に係る板ガラス研磨装置によれば、圧縮エアーによって吹き飛ばされた研磨後の研磨スラリーは、受け止められたシュート内において再生研磨スラリーと廃棄研磨スラリーとに分けて回収される。そのため、回収した再生研磨スラリーを再度用いても、研磨能力の低下を防止することができる。
また、圧縮エアーによって、研磨後の大部分の研磨スラリーが搬送方向の上流側にて吹き飛ばされることにより、エアーノズルに対して搬送方向の下流側に噴出する洗浄ノズルが、残りの研磨スラリーを吹き飛ばすために、必要な洗浄水の使用量および排水量を大幅に削減することができ、環境保全を図ることができる。

【0020】

本発明の請求項２に係る板ガラスの研磨装置によれば、シュートは、シュート内の、搬送方向におけるエアーノズルの配置位置と洗浄ノズルの配置位置の間に設けられた止水板により隔離されており、止水板の上流側で再生研磨スラリーを、止水板の下流側で廃棄研磨スラリー回収できる。

【0021】

本発明の請求項３に係る板ガラス研磨装置によれば、例えば、止水板によって堰き止められた、洗浄水が混合する使用後の研磨スラリーに、研磨除去された板ガラスの一部が混在していたとしても、フィルターを介して板ガラスの一部を確実に除去し、使用後の研磨スラリーのみを排出口へと導くことができる。

【0022】

本発明の請求項４に係る板ガラスの研磨方法によれば、研磨後の研磨スラリーは、再生研磨スラリーと廃棄研磨スラリーとに分けて回収される。そのため、回収した再生研磨スラリーを再度用いても、研磨能力の低下を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】本発明の一実施形態に係る板ガラス研磨装置の全体的な構成を示した一部断面側面図。

【図2】本発明の一実施形態に係る板ガラス研磨装置の全体的な構成を示した平面図。

【図3】本発明の一実施形態に係る板ガラス研磨装置の全体的な構成を示した図であって、図１中の矢印Ｘの方向から見た平面図。

【図4】従来の板ガラス研磨装置の全体的な構成を示した一部断面側面図。

【発明を実施するための形態】

【0024】

［板ガラス研磨装置１］
次に、本発明を具現化する板ガラス研磨装置１（以下、単に「研磨装置１」と記載する）の全体構成について、図１乃至図３を用いて説明する。
なお、以下の説明に関しては便宜上、図１の上下方向を研磨装置１の上下方向と規定して記述する。
また、図１乃至図３においては、矢印Ａの方向を板ガラスＧの搬送方向と規定して記述する。

【0025】

本実施形態における研磨装置１は、例えば、酸化セリウムなどの研磨剤と水とを混合した研磨スラリーＳを用いて、板ガラスＧの板面を研磨するための装置である。また、研磨装置１は、研磨能力低下の防止を図りつつ研磨後の研磨スラリーＳを回収し、回収した研磨スラリーＳを再利用することを可能とする装置である。
研磨装置１は、図１に示すように、主に、搬送手段１０、除去手段２０、および回収手段３０などにより構成される。

【0026】

搬送手段１０は、板ガラスＧを連続的に搬送するためのものであり、板ガラスＧの搬送工程を実行するものである。
搬送手段１０は、例えば、本実施形態においては、板ガラスＧを水平方向に搬送可能なベルトコンベア１１によって構成される。

【0027】

ベルトコンベア１１の上方において、板ガラスＧの搬送方向の上流側（矢印Ａが示す側とは反対側）には、研磨スラリーＳの吐出機器や研磨パッドなどからなる図示せぬ研磨手段が配置されており、板ガラスＧの研磨を行う研磨手段が構成されている。
また、ベルトコンベア１１の上方において、前記搬送方向の下流側（矢印Ａ示す側）には、後述する除去手段２０が配置されており、板ガラスＧの被研磨面（本実施形態においては、上面）に付着した、研磨後の研磨スラリーＳを除去するように構成されている。

【0028】

そして、ベルトコンベア１１は、研磨手段により研磨された板ガラスＧを、上流側から、除去手段２０が配置された下流側に向かって（より具体的には、矢印Ａの方向）連続的に搬送する。

【0029】

なお、搬送手段１０の構成については、本実施形態のようなベルトコンベア１１に限定されるものではなく、例えば、ローラーコンベアやフィーダーのような押込み装置などのように、水平姿勢の板ガラスＧを、水平方向に搬送することが可能であれば、何れの構成であってもよい。

【0030】

次に、除去手段２０について説明する。
除去手段２０は、板ガラスＧの表面に付着した研磨後の研磨スラリーＳを、板ガラスＧより除去する、除去工程を実行するためのものである。
除去手段２０は、エアーノズル２１および洗浄ノズル２２などにより構成される。

【0031】

エアーノズル２１は、べルトコンベア１１によって搬送される板ガラスＧに対して、圧縮エアーａを噴出し、研磨後の研磨スラリーＳを、板ガラスＧより吹き飛ばすためのものである。
エアーノズル２１は、ベルトコンベア１１の上方、且つ平面視にて前記搬送方向との直交方向に延出して配設される。

【0032】

そして、エアーノズル２１の下端部には、複数（図１は側面図であるため、一個のみ記載）の噴出口２１ａ・２１ａ・・・が、エアーノズル２１の延出方向に沿って一直線状に配置されている。
また、エアーノズル２１には、図示せぬコンプレッサーやソレノイドバルブなどが、配管部材を介して連結されている。

【0033】

このような構成を有することで、図２に示すように、例えば、コンプレッサー（図示せず）よりエアーノズル２１に供給された圧縮エアーａ・ａ・・・は、複数の噴出口２１ａ・２１ａ・・・（図１を参照）を介して、下方（より具体的には、下方、且つやや上流側方向）に向かって噴出し、ベルトコンベア１１の幅方向の全領域に渡って吹き付けられる。
換言すると、ベルトコンベア１１によって搬送される板ガラスＧは、被研磨面（上面）に対して均一に、エアーノズル２１より噴出される圧縮エアーａを吹き付けられる。

【0034】

洗浄ノズル２２は、図１に示すように、べルトコンベア１１によって搬送される板ガラスＧに対して、洗浄水（例えば、常温水）ｗを噴出し、圧縮エアーａによって吹き飛ばすことができなかった研磨後の研磨スラリーＳを、板ガラスＧより除去するためのものである。
洗浄ノズル２２は、ベルトコンベア１１の上方、且つ板ガラスＧの搬送方向の下流側（より具体的には、エアーノズル２１の下流側）において、平面視にて前記搬送方向との直交方向に延出して配設される。

【0035】

そして、洗浄ノズル２２の下端部には、複数（図１は側面図であるため、一個のみ記載）の噴出口２２ａ・２２ａ・・・が、洗浄ノズル２２の延出方向に沿って一直線状に配置されている。
また、洗浄ノズル２２には、図示せぬポンプや洗浄水の貯溜タンクなどが、配管部材を介して連結されている。

【0036】

このような構成を有することで、図２に示すように、例えば、ポンプ（図示せず）より洗浄ノズル２２に供給された洗浄水ｗ・ｗ・・・は、複数の噴出口２２ａ・２２ａ・・・（図１を参照）を介して、下方（より具体的には、下方、且つやや上流側方向）に向かって噴出し、ベルトコンベア１１の幅方向の全領域に渡って吹き付けられる。
換言すると、ベルトコンベア１１によって搬送される板ガラスＧは、被研磨面（上面）に対して均一に圧縮エアーａを吹き付けられた後、当該被研磨面（上面）に対してさらに均一に、洗浄ノズル２２より噴出される洗浄水ｗを吹き付けられる。

【0037】

次に、回収手段３０について説明する。
回収手段３０は、除去手段２０によって板ガラスＧより除去された研磨後の研磨スラリーＳを、研磨能力の低下を極力防止しつつ回収する、回収工程を実行するためのものである。
回収手段３０は、図１に示すように、シュート３１、回収タンク３２、および廃棄タンク３３などにより構成される。

【0038】

シュート３１は、除去手段２０による圧縮エアーａおよび洗浄水ｗによって吹き飛ばされた、研磨スラリーＳを受け止めて回収し、回収した研磨スラリーＳの内、洗浄水ｗを殆ど含まない高濃度の研磨スラリーＳを回収タンク３２に導く一方、洗浄水ｗを多く含んだ低濃度の研磨スラリーＳを廃棄タンク３３へ導くためのものである。
つまり、シュート３１は、圧縮エアーａによって吹き飛ばされた研磨能力の低下を殆ど伴わない研磨スラリーＳ（以下、適宜「再生研磨スラリーＳａ」と記載する）を回収タンク３２に導く一方、洗浄水ｗによって除去された研磨能力が低下した研磨スラリーＳ（以下、適宜「廃棄研磨スラリーＳｂ」と記載する）を廃棄タンク３３へ導くためのものである。

【0039】

シュート３１は、上方に開口する略矩形箱状に形成され、ベルトコンベア１１の直下に配設される。
具体的には、図２に示すように、平面視において、シュート３１の幅方向（矢印Ａに対する平面視直交方向）の寸法は、板ガラスＧおよびベルトコンベア１１の幅方向の寸法と比較しても、大きくなるように設定されている。
また、シュート３１の上流側端部の位置は、ベルトコンベア１１の上流側端部の位置と同等である一方、シュート３１の下流側端部の位置は、ベルトコンベア１１の下流側端部の位置に比べて、さらに下流側となるように設定されている。
なお、シュート３１の下流側端部の位置は、除去手段２０の洗浄ノズル２２の配置位置と略同等となるように設定されている。

【0040】

このように、平面視において、ベルトコンベア１１の下流側端部は、シュート３１の開口部の内部に位置するように配置されている。
これにより、除去手段２０による圧縮エアーａや洗浄水ｗによって吹き飛ばされた研磨スラリーＳは、ベルトコンベア１１の幅方向の両側、および下流側端部より、シュート３１の開口部内に落下し、確実に回収されることとなる。

【0041】

シュート３１の底面３１ａは、図１に示すように、中央部に向かって徐々に下方に傾斜する逆四角錐形状に形成され、その頂点には第一排出口３１ｂが穿孔される。
また、第一排出口３１ｂには、第一配管部材３４の一端部が接続されるとともに、第一配管部材３４の他端部は、回収タンク３２に接続される。つまり、シュート３１は、第一配管部材３４を介して、回収タンク３２と連通される。

【0042】

一方、シュート３１の底面３１ａにおいて、第一排出口３１ｂの下流側、且つシュート３１の幅方向中央部には、第二排出口３１ｃが穿孔される。
また、第二排出口３１ｃには、第二配管部材３６の一端部が接続されるとともに、第二配管部材３６の他端部は、廃棄タンク３３に接続される。つまり、シュート３１は、第二配管部材３６を介して、廃棄タンク３３と連通されている。

【0043】

そして、図３に示すように、シュート３１の底面３１ａにおいて、第一排出口３１ｂおよび第二排出口３１ｃの間には、矩形帯状の平板部材からなる止水板３５が、シュート３１の幅方向全体に渡り配設される。
このように、シュート３１内において、第一排出口３１ｂは、止水板３５の、板ガラスＧの搬送方向における上流側に設けられ、第二排出口３１ｃは、止水板３５の、板ガラスＧの搬送方向における下流側の近傍に、それぞれ設けられる。
このような構成を有することで、後述するように、除去手段２０による圧縮エアーａによって吹き飛ばされた再生研磨スラリーＳａは、第一排出口３１ｂを介して回収タンク３２に導かれる一方、洗浄水ｗによって吹き飛ばされた廃棄研磨スラリーＳｂは、第二排出口３１ｃを介して廃棄タンク３３に導かれることとなる。

【0044】

なお、第二排出口３１ｃは、フィルター３７によって覆われており、例えば、止水板３５によって堰き止められた廃棄研磨スラリーＳｂに、研磨除去された板ガラスＧの一部が混在していたとしても、板ガラスＧの一部を確実に除去し、研磨後の廃棄研磨スラリーＳｂのみを廃棄タンク３３へと導く構成となっている。

【0045】

回収タンク３２は、主に除去手段２０によって噴出される圧縮エアーａにより吹き飛ばされ、板ガラスＧより除去された研磨後の研磨スラリーＳ（より具体的には、再生研磨スラリーＳａ）を、一時的に貯溜するためのものである。
回収タンク３２は、シュート３１の下方に配置され、前述したように、第一配管部材３４を介して、シュート３１と連通される。

【0046】

そして、回収タンク３２は、例えばポンプやソレノイドバルブなどからなる図示せぬ配管機器群を介して、前述した、ベルトコンベア１１の上流側に配設される研磨スラリーの吐出機器（図示せず）と連通されており、回収タンク３２に貯溜された再生研磨スラリーＳａが再使用可能な構成となっている。

【0047】

廃棄タンク３３は、主に除去手段２０によって噴出される洗浄水ｗにより吹き飛ばされ、板ガラスＧより除去された研磨後の研磨スラリーＳ（より具体的には、廃棄研磨スラリーＳｂ）を、一時的に貯溜するためのものである。
廃棄タンク３３は、シュート３１の下方に配置され、前述したように、第二配管部材３６を介して、シュート３１と連通される。

【0048】

そして、廃棄タンク３３には、図示せぬソレノイドバルブなどが設けられており、ソレノイドバルブを介して、一時的に貯溜されていた、洗浄水ｗを多く含む廃棄研磨スラリーＳｂを、研磨装置１の外部に適宜排出可能な構成となっている。

【0049】

［板ガラス研磨方法］
次に、本発明に係る板ガラス研磨方法について、図１を用いて説明する。
本実施形態によって具現化される板ガラス研磨方法は、研磨装置１によって実施される。

【0050】

具体的には、研磨装置１において、研磨手段により研磨された矩形状の板ガラスＧが、搬送工程たるベルトコンベア１１によって水平姿勢に載置され、上流側から下流側の除去工程たる除去手段２０に向かって、水平方向（より具体的には、矢印Ａの方向）に連続的に搬送され、除去工程で除去された研磨スラリーＳが、回収工程たるシュート３１により回収される。

【0051】

ここで、研磨手段において、板ガラスＧの被研磨面（上面）には研磨スラリーＳが供給されるとともに、研磨スラリーＳが付着した被研磨面（上面）は、研磨パッド（図示せず）を用いて押圧しながら研磨される。

【0052】

その後、研磨後の研磨スラリーＳが被研磨面（上面）に付着した水平姿勢の板ガラスＧが、搬送工程であるベルトコンベア１１によって、水平方向に搬送される。

【0053】

除去工程においては、板ガラスＧの被研磨面（上面）に残った研磨後の研磨スラリーＳが、除去手段２０から噴出される圧縮エアーａや洗浄水ｗによって、板ガラスＧより除去され、回収工程たる回収手段３０によって回収される。

【0054】

ここで、回収手段３０において、シュート３１の底面３１ａには、前述したように、止水板３５が立設している。
止水板３５は、平面視において、シュート３１の、板ガラスＧの搬送方向におけるエアーノズル２１の配置位置と、洗浄ノズル２２の配置位置との間に位置するようになっており、シュート３１の内部は、止水板３５によって、止水板３５よりも上流側の空間（以降、「上流側空間」と記載する）と、止水板３５よりも下流側の空間（以降、「下流側空間」と記載する）とに区画されている。

【0055】

そして、除去手段２０による圧縮エアーａによって吹き飛ばされて、シュート３１の上流側空間内に落下した研磨スラリーＳ（より具体的には、再生研磨スラリーＳａ）は、底面３１ａの傾斜に沿って中央部の第一排出口３１ｂへと集められ、第一配管部材３４を通って回収タンク３２へと導かれるように構成されている。

【0056】

また、除去手段２０による洗浄水ｗによって除去されて、シュート３１の下流側空間内に落下した研磨スラリーＳ（より具体的には、廃棄研磨スラリーＳｂ）は、第一排出口３１ｂへと導かれるのを、止水板３５によって効果的に堰き止められる構成となっている。
即ち、洗浄水ｗによって除去された廃棄研磨スラリーＳｂには多くの洗浄水ｗが混入しているが、多くの洗浄水ｗが混じり合ってスラリー濃度（研磨スラリーＳ全体に対する研磨剤の割合）が低下し、研磨能力が低下した研磨スラリーＳが、第一排出口３１ｂを介して回収タンク３２へと導かれるのを、止水板３５によって効果的に堰き止められる構成となっている。

【0057】

そして、止水板３５によって堰き止められた、洗浄水ｗを含む研磨スラリーＳは、第二配管部材３６を通って廃棄タンク３３へと一旦集められ、研磨装置１の外部へと排出される。

【0058】

以上のように、本実施形態にける板ガラス研磨方法においては、板ガラスＧの研磨が行われ、研磨された板ガラスＧは搬送工程により搬送され、下流側に位置する除去工程にて、研磨が完了した板ガラスＧの上面に付着した、研磨後の研磨スラリーＳが、除去手段２０による圧縮エアーａおよび洗浄水ｗによって各々吹き飛ばされ、回収工程たる回収手段３０によって回収される構成となっている。
また、回収手段３０によって、再生研磨スラリーＳａはシュート３１の上流側空間内に案内され、廃棄研磨スラリーＳｂは下流側空間内に案内される構成となっている。

【0059】

その結果、再生研磨スラリーＳａは、回収タンク３２に一旦回収されて再利用される一方、廃棄研磨スラリーＳｂは、廃棄タンク３３に一旦回収されて研磨装置１の外部に排出される。
つまり、本実施形態における板ガラス研磨方法においては、研磨能力の低下を伴う破棄研磨スラリーＳｂを極力除いた、再生研磨スラリーＳａを優先的に回収することによって、研磨能力の低下を極力防止しつつ研磨後の研磨スラリーＳを回収し、研磨スラリーＳを再利用する構成となっている。

【符号の説明】

【0060】

１ 研磨装置（板ガラス研磨装置）
１０ 搬送手段
１１ ベルトコンベア
２１ エアーノズル
２２ 洗浄ノズル
３１ シュート
３１ａ 底面（傾斜面）
３１ｂ 第一排出口
３１ｃ 第二排出口
３５ 止水板
３７ フィルター
ａ 圧縮エアー
Ｇ 板ガラス
Ｓ 研磨スラリー
Ｓａ 再生研磨スラリー
Ｓｂ 廃棄研磨スラリー
ｗ 洗浄水

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】