特許第6245609号(P6245609)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6245609無欠陥領域を有するエピタキシャル膜を基板上に形成する方法及び無欠陥領域を有するエピタキシャル膜付き基板
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