発明の名称 β−Ga2O3系単結晶体に局所的な導電性領域を形成する方法、及び局所的な導電性領域を備えたβ−Ga2O3系単結晶体
出願人 株式会社タムラ製作所 (識別番号 390005223)
特許公開件数ランキング 502 位(54件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 438 位(60件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-6248060
公報発行日 2017年12月13
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6248060
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