特許 6248105 アクチュエータ装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6248105

(24)【登録日】2017年11月24日

(45)【発行日】2017年12月13日

(54)【発明の名称】アクチュエータ装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 41/09 20060101AFI20171204BHJP

   H01L 41/047 20060101ALI20171204BHJP

   H01L 41/083 20060101ALI20171204BHJP

   H01L 41/312 20130101ALI20171204BHJP

【ＦＩ】

   H01L41/09

   H01L41/047

   H01L41/083

   H01L41/312

【請求項の数】13

【全頁数】35

(21)【出願番号】特願2015-521995(P2015-521995)

(86)(22)【出願日】2013年7月19日

(65)【公表番号】特表2015-529013(P2015-529013A)

(43)【公表日】2015年10月1日

(86)【国際出願番号】EP2013002149

(87)【国際公開番号】WO2014012672

(87)【国際公開日】20140123

【審査請求日】2015年8月6日

(31)【優先権主張番号】102012014247.1

(32)【優先日】2012年7月19日

(33)【優先権主張国】DE

(31)【優先権主張番号】102012014442.3

(32)【優先日】2012年7月20日

(33)【優先権主張国】DE

(31)【優先権主張番号】102012023521.6

(32)【優先日】2012年11月30日

(33)【優先権主張国】DE

(73)【特許権者】

【識別番号】511237623

【氏名又は名称】ピーアイ セラミック ゲーエムベーハー

【氏名又は名称原語表記】ＰＩ ＣＥＲＡＭＩＣ ＧＭＢＨ

(74)【代理人】

【識別番号】100105957

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 誠

(74)【代理人】

【識別番号】100068755

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 博宣

(74)【代理人】

【識別番号】100142907

【弁理士】

【氏名又は名称】本田 淳

(72)【発明者】

【氏名】ヘニッヒ、エーベルハルト

(72)【発明者】

【氏名】コプシュ、ダニエル

【審査官】 上田 智志

(56)【参考文献】

【文献】 国際公開第９６／００１５１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２０１０−０６２１９６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−２４５０２６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−３２０８８１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ４１／０４７，４１／０８３，４１／０９，４１／３１２

Ｈ０２Ｎ ２／００

Ｂ４１Ｊ ２／１６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

アクチュエータ装置（ＡＶ）であって、
基部体（１０ａ）と上部構造体（１０ｂ）とを備える本体（１０）であって、長手方向（Ｘ）に延在し、奥行き方向（Ｚ）は前記長手方向（Ｘ）を横断して延び、厚さ方向（Ｙ）は前記長手方向（Ｘ）と前記奥行き方向（Ｚ）を横断して延び、前記厚さ方向（Ｙ）がアプリケーションコンポーネントの接合部である上側（ＳＵ）を画定し、前側（１）と、前記アクチュエータ装置（ＡＶ）の前記長手方向（Ｘ）に前記前側（１）と対向する後側（２）と、相互に対向し、前記前側（１）と前記後側（２）間に配置されるフェース側面（ＳＦ１、ＳＦ２）と、を有する本体（１０）と、
前記上部構造体（１０ｂ）を形成し、それぞれ圧電性または電歪性材料から成り、前記基部体（１０ａ）から前記厚さ方向（Ｙ）に延在する複数のアクチュエータ（１１、１２、１３）であって、２つの隣接アクチュエータ間に凹部（Ｓ０、Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３）が形成されるように前記アクチュエータ装置（ＡＶ）の前記長手方向（Ｘ）に並んで配置され、それぞれ少なくとも２つの内側始動電極（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３、Ｅ４）を有し、少なくとも１つの第１の内側始動電極（Ｅ１、Ｅ３）が前側（１）から前記後側（２）の表面（２ａ）までの距離（ａ２）をおいて正の奥行き方向（Ｚ）に延在し、少なくとも１つの第２の内側始動電極（Ｅ２、Ｅ４）が前記後側（２）から前側（１）の表面（１１ｃ、１２ｃ、１３ｃ）までの距離（ａ１）をおいて負の奥行き方向（Ｚ）に延在し、各アクチュエータ（１１、１２、１３）の少なくとも１つの第１の内側始動電極（Ｅ１、Ｅ３）がアクチュエータ装置の第１の電気的接続柱に対して電気的に接続されるアクチュエータ（１１、１２、１３）と、
前記前側（１）に位置し、それぞれがアクチュエータ（１１、１２、１３）の各第１の内側始動電極（Ｅ１、Ｅ３）に接続される前記表面（１１ｃ、１２ｃ、１３ｃ）の対応する表面に配置されるアクチュエータ接続コーティング（３１、３２、３３）と、
前記アクチュエータ装置（ＡＶ）の長手方向（Ｘ）の一連のアクチュエータ（１１、１２、１３）の一端のフェース側面（ＳＦ１、ＳＦ２）に配置され、前記後側（２）に位置する後側部（２６ｒ）、前記フェース側面（ＳＦ１、ＳＦ２）に位置する帰還部面（２６ａ）、前記上側（ＳＵ）に位置する表面（２１ａ）を有する少なくとも１つの帰還体（２１）と、
導電性材料から成り、前記アクチュエータ装置（ＡＶ）の前記後側（２）で前記本体（１０）と前記帰還体（２１）の後側部（２６ｒ）とにわたって延在し、前記アクチュエータ（１１、１２、１３）の前記少なくとも１つの第２の内側始動電極（Ｅ２、Ｅ４）に接続される後側層（４）と、
前記後側層（４）に電気的に接続され、以下のうち一方または両方：
（ａ）前記フェース側面（ＳＦ１、ＳＦ２）に位置する前記帰還部面（２６ａ）に配置されるフェース側面層部（２４）と、
（ｂ）前記上側（ＳＵ）に位置する前記表面（２１ａ）に配置される外側層（２６ｃ）と、
から構成される外側帰還接続層（５）と、
前記アクチュエータ装置の第２の電気的接続柱への電気的接続のために前記アクチュエータ装置（ＡＶ）の前側（１）に設けられ、前記外側帰還接続層（５）に電気的に接続される帰還接続コーティング（２３ａ）と、
を備え、
前記後側（２）での第１の内側始動電極（Ｅ１、Ｅ３）の表面（２ａ）までの距離（ａ２）と第２の内側始動電極（Ｅ２、Ｅ４）の前記前側（１）までの距離（ａ１）が、前記アクチュエータ（１１、１２、１３）の圧電効果または逆圧電効果により、アクチュエータ接続コーティング（３１、３２、３３）と帰還接続コーティング（２３ａ）とがアクチュエータ装置の対向する電気的接続柱のそれぞれに接続され得るように設定されており、
前記帰還体（２１）に内側帰還電極（ＲＥ１、ＲＥ２、ＲＥ３、ＲＥ４）が配置され、少なくとも１つの第１の内側帰還電極（ＲＥ１、ＲＥ３）が前記後側（２）まで距離（ｃ２）をおいて前側（１）から正の奥行き方向（Ｚ）に延在し、少なくとも１つの第２の内側帰還電極（ＲＥ２、ＲＥ４）が前側（１）まで距離（ｃ１）をおいて前記後側（２）から負の奥行き方向（Ｚ）に延在するアクチュエータ装置（ＡＶ）。

【請求項2】

前記帰還体（２１）に配置される前記内側帰還電極（ＲＥ１、ＲＥ２、ＲＥ３、ＲＥ４）が、前記アクチュエータ（１１、１２、１３）に配置される前記内側始動電極（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３、Ｅ４）と同じ数、形状、位置で形成される請求項１に記載のアクチュエータ装置（ＡＶ）。

【請求項3】

アクチュエータ接続コーティング（３１ａ、３２ａ、３３ａ）をさらに備え、アクチュエータ接続コーティング（３１ａ、３２ａ、３３ａ）が前記複数のアクチュエータの前記アクチュエータ（１１、１２、１３）の各自の第１の内側始動電極（Ｅ１、Ｅ３）に電気的に接続され、前記アクチュエータ（１１、１２、１３）の個別始動のために前記アクチュエータ装置の複数の電気的接続柱のうちの第１の電気的接続柱にそれぞれ接続される請求項１または２に記載のアクチュエータ装置（ＡＶ）。

【請求項4】

前記外側帰還接続層（５）が、前記帰還部面（２６ａ）に配置される前記帰還体のフェース側面層部（２４）から構成される請求項１乃至３のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置（ＡＶ）。

【請求項5】

前記後側層（４）が、前記上部構造体（１０ｂ）の領域よりも前記本体（１０）の前記基部体（１０ａ）の領域において前記奥行き方向（Ｚ）に大きな厚さ（ｄｖ）を有する請求項１乃至４のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置（ＡＶ）。

【請求項6】

前記基部体（１０ａ）と前記上部構造体（１０ｂ）とを有する前記本体（１０）が前記アクチュエータ（１１、１２、１３）を形成するアクチュエータ体（１１ａ、１２ａ、１３ａ）を備え、一体形本体を形成する請求項１乃至５のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置（ＡＶ）。

【請求項7】

前記本体（１０）の前記基部体（１０ａ）と前記上部構造体（１０ｂ）がそれぞれ個々の部分体として形成される請求項１乃至４のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置（ＡＶ）。

【請求項8】

前記基部体（１０ａ）と前記上部構造体（１０ｂ）がそれぞれ異なる材料から製造され、前記基部体（１０ａ）が非圧電性材料または非電歪性材料から製造される請求項７に記載のアクチュエータ装置（ＡＶ）。

【請求項9】

前記基部体（１０ａ）と前記上部構造体（１０ｂ）が相互に貼り付けられる請求項７または８に記載のアクチュエータ装置（ＡＶ）。

【請求項10】

前記後側層（４）と前記外側帰還接続層（５）が共に一体層を形成する請求項１乃至９のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置（ＡＶ）。

【請求項11】

前記基部体（１０ａ）に少なくとも１つの板状収縮適合電極（８０、９０）が配置され、製造中に前記基部体（１０ａ）の局所収縮挙動のバランスをとるため、少なくとも１つの収縮適合電極（８０、９０）が、その縁部が２つの帰還部表面（２６ａ、２６ａ−２）のそれぞれに配置されるように前記基部（１０ａ）に位置する請求項１乃至１０のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置（ＡＶ）。

【請求項12】

前記奥行き方向（Ｚ）から見て前記帰還部表面（２６ａ、２６ａ−２）に接する収縮適合電極（８０、９０）が、前記後側（２）から接続片（２３）の領域内へ延在する請求項１１に記載のアクチュエータ装置（ＡＶ）。

【請求項13】

前記帰還部表面（２６ａ、２６ａ−２）がフェース側面層部（２４）でコーティングされる請求項１１または１２に記載のアクチュエータ装置（ＡＶ）。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明はアクチュエータ装置に関する。

【背景技術】

【0002】

米国特許第５１４４３４２号明細書、米国特許出願公開第２９１９／２２７４３２Ａ１号明細書、米国特許出願公開第２００４／２２７４３２Ａ１号明細書のそれぞれから、圧電性材料から成るアクチュエータを備えたアクチュエータ装置が周知である。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0003】

本発明の目的は、様々な製造方法により、簡易で有効な方法で製造でき、製造品質と機能上の信頼性が高い圧電性材料製のアクチュエータを備えたアクチュエータ装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0004】

この課題は、請求項１の特徴によって解決される。他の実施形態は、請求項１に再度言及する従属請求項に示される。
本発明によると、基部体と上部構造体とを備える本体を有するアクチュエータ装置が提供され、本体が長手方向Ｘに延在し、奥行き方向Ｚは長手方向Ｘを横断して延び、厚さ方向Ｙは長手方向Ｘと奥行き方向Ｚを横断して延び、本体が前側と、アクチュエータ装置の長手方向Ｘに前側と対向する後側と、相互に対向し、前側と後側間に配置される２つのフェース側面とを有し、アクチュエータ装置はさらに、
それぞれ圧電性または電歪性材料から成り、基部体から厚さ方向Ｙに延在し、上部構造体を形成する複数のアクチュエータであって、２つの隣接アクチュエータ間に凹部が形成されるようにアクチュエータ装置の長手方向Ｘに並んで配置され、それぞれ少なくとも２つの内側始動電極を有し、少なくとも１つの第１の内側始動電極が前側から後側まで距離をおいて正の奥行き方向Ｚに延在し、少なくとも１つの第２の内側始動電極が後側から前側までの距離をおいて負の奥行き方向Ｚに延在し、少なくとも１つの第１の内側始動電極が電気的接続のためにアクチュエータ装置の第１の電気的接続柱に提供される複数のアクチュエータと、
導電性材料から成り、アクチュエータ装置の後側に配置され、アクチュエータの少なくとも１つの第２の内側始動電極に接続される後側層、
本体の帰還体に配置され、後側層に電気的に接続される外側帰還接続層と、
アクチュエータ装置の第２の電気的接続柱への電気的接続のためにアクチュエータ装置の前側に設けられ、外側帰還接続層に電気的に接続される帰還接続コーティングと、を備える。

【0005】

ここでは、アクチュエータの全部または一部の基材は圧電性または電歪性材料から成ることができる、すなわち、圧電性または電歪性材料のみで構成される。基材は、ここでは、電極なしのアクチュエータの材料と理解される。

【0006】

本発明に係るアクチュエータ装置では、アクチュエータ装置の前側から少なくとも１つの第１の内側始動電極と少なくとも１つの第２の内側始動電極の両方に接触することができ、本発明に係るアクチュエータ装置により、前側から後側への非常に有効な電力帰還が可能になる。

【0007】

本発明に係るアクチュエータ装置の１実施形態によると、アクチュエータ装置がアクチュエータ接続コーティングを備え、アクチュエータ接続コーティングが複数のアクチュエータの各自の第１の内側始動電極Ｅ１、Ｅ３に電気的に接続され、個々のアクチュエータの個別始動のためにアクチュエータ装置の複数の電気的接続柱の第１の電気的接続柱にそれぞれ接続させることができると定められる。

【0008】

本発明に係るアクチュエータ装置の１実施形態によると、帰還体内側帰還電極が配置され、少なくとも１つの第１の内側帰還電極ＲＥ１、ＲＥ３が後側まで距離をおいて前側から正の奥行き方向Ｚに延在し、少なくとも１つの第２の内側帰還電極ＲＥ２、ＲＥ４が前側まで距離をおいて後側から負の奥行き方向Ｚに延在すると定められる。

【0009】

本発明に係るアクチュエータ装置の１実施形態によると、後側層が、上部構造体の領域、すなわち、アクチュエータがアクチュエータ装置の後側で形成される領域よりも本体の基部体の領域において奥行き方向Ｚに大きな厚さを有すると定められる。

【0010】

本発明に係るアクチュエータ装置の１実施形態によると、基部体と上部構造体とを有する本体がアクチュエータを形成するアクチュエータ体を備え、一体形本体を形成すると定められる
本発明に係るアクチュエータ装置の１実施形態によると、本体の基部体と上部構造体がそれぞれ別の部分体として形成されると定められる。

【0011】

本発明に係るアクチュエータ装置の１実施形態によると、基部体と上部構造体が相互に貼り付けられると定められる。
本発明に係るアクチュエータ装置の１実施形態によると、後側層と帰還接続層が共に一体層を形成すると定められる。

【0012】

本発明に係るアクチュエータ装置の１実施形態によると、アクチュエータ装置が基部体を有し、そこからアクチュエータ体またはアクチュエータが延在し、延在するアクチュエータ体またはアクチュエータが上部構造体を形成すると定められる。

【0013】

ここでは、具体的には、基部体に少なくとも１つの好ましくは板状の収縮適合電極が配置され、製造中の基部体の局所収縮挙動のバランスをとるため、少なくとも１つの収縮適合電極が、その縁部が２つの帰還部表面のそれぞれに配置されるように基部体に配置されると定めることができる。

【0014】

これらの実施形態では、帰還部表面に接する収縮適合電極が、奥行き方向から見て後側から帰還接続片の領域内へ延在すると定めることができる。
さらに、これらの実施形態では、帰還部表面が、対応するコーティングを有するフェース側面層部を備えると定めることができる。

【0015】

概して、「Ｘ方向に向く表面」などの「方向を向く表面」という表現は、各自の表面に垂直な表面がたとえば、Ｘ方向などの方向に向く、あるいは鋭角に延びることを意味する。

【0016】

「コーティング」とは通常、他の説明がない限り、本文書では導電層でのコーティングに関すると理解される。
本発明の実施形態を添付図面を参照して説明する。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明に係るアクチュエータ装置の第１の実施形態を後側から見た斜視図であり、アクチュエータ装置は主に基部体と上部構造体とを備える本体を有し、上部構造体は、アクチュエータ接続コーティングをそれぞれ有するアクチュエータ体またはアクチュエータと、帰還体接続コーティングを有する帰還体とを備える。

【図1a】本発明に係るアクチュエータ装置の１実施形態全体を非常に概略的に示す斜視図である。

【図2】アクチュエータ装置の長手方向で後側の反対に位置する前側から見た図１に示す本発明に係るアクチュエータ装置の第１の実施形態の一部を示す斜視図である。

【図3】図２に示すように本発明に係るアクチュエータ装置の第１の実施形態に基づく別の実施形態の一部を示す斜視図であり、帰還部分片において、前側または後側から、対向する後側または前側まで距離をおいて延在する帰還電極が挿入され、帰還電極は後側と前側間の電気的接続を実現しない。

【図4】前側から見た本発明に係るアクチュエータ装置の別の実施形態の一部を示す斜視図であり、図３に示す実施形態と比較して、アクチュエータ装置の別の実施形態がアクチュエータ装置の後側の領域のアクチュエータ溝によって分割されるコーティングを上側に有する。

【図5】前側から見た本発明に係るアクチュエータ装置の別の実施形態の一部を示す斜視図であり、図４に示す実施形態と比較して、アクチュエータ装置が上側にアクチュエータ装置の前側の領域のアクチュエータ溝によって分割されるコーティングを有する。

【図6】後側から見た本発明に係るアクチュエータ装置の第２の実施形態の一部を示す斜視図であり、アクチュエータ装置の実施形態が、後側とフェース側面にコーティングを有し、該コーティングは下側ＳＬに隣接する下側領域で厚さが大きい。

【図7】前側から見た本発明に係るアクチュエータ装置の図５に示す実施形態の一部を示す斜視図である。

【図8】図７に示すように図５に示す本発明に係るアクチュエータ装置の実施形態に基づく別の実施形態の一部を示す斜視図であり、帰還部分片において、前側または後側から、対向する後側または前側まで距離をおいて延在する帰還電極が挿入され、帰還電極は後側と前側間の電気的接続を実現しない。

【図9】後側から見た本発明に係るアクチュエータ装置の別の実施形態の一部を示す斜視図であり、アクチュエータ装置の実施形態はベース状の本体端部片を有する。

【図10】前側から見た図９に示す本発明に係るアクチュエータ装置の実施形態を示す斜視図である。

【図11】図１０に示すように図９に示す本発明に係るアクチュエータ装置の実施形態に基づく別の実施形態の一部を示す斜視図であり、帰還部分片において、前側または後側から、対向する後側または前側まで距離をおいて延在する帰還電極が挿入され、帰還電極は後側と前側間の電気的接続を実現しない。

【図12】図９に示すように図９の実施形態に基づく本発明に係るアクチュエータ装置の別の実施形態の一部を示す斜視図であり、帰還部分片が帰還電極を有さず、本体が本体端部片を有する。

【図13】アクチュエータ装置の長手方向で後側の反対に位置する前側から見た図１２に示すアクチュエータ装置の実施形態の一部を示す斜視図である。

【図14】図１３に示すように図１３の実施形態に基づく本発明に係るアクチュエータ装置の別の実施形態の一部を示す斜視図であり、帰還部分片が帰還電極を有する。

【図15】図１２に示すように図１２の実施形態に基づく本発明に係るアクチュエータ装置の別の実施形態の一部を示す斜視図であり、本体端部片が後側でコーティングされる。

【図15a】図１５に示す実施形態に基づくアクチュエータ装置の１実施形態の一部を示す斜視図であり、図１５の実施形態と比較して前側にさらにコーティングを有する。

【図16】前側から見た図１５の実施形態に基づくアクチュエータ装置の別の実施形態の一部を示す斜視図である。

【図16a】前側から見た図１５ａの実施形態に基づくアクチュエータ装置の別の実施形態の一部を示す斜視図である。

【図17】図１６に示すように図１５に示す本発明に係るアクチュエータ装置の実施形態に基づく別の実施形態の一部の斜視図であり、帰還部分片が帰還電極を有する。

【図18】図１５に示すように図１５に示す本発明に係るアクチュエータ装置の実施形態に基づく別の実施形態の一部を示す斜視図であり、アクチュエータ装置がアクチュエータ装置の後側に追加の第２の本体端部片を有する。

【図19】図１に示すような本発明に係るアクチュエータ装置の別の実施形態の一部を示す斜視図であり、図１に示す実施形態と比較して、帰還部分片が別の形で埋め込まれており、その支持部が低い高さで埋め込まれている。

【図20】図１９に示すアクチュエータ装置に基づく本発明に係るアクチュエータ装置の別の実施形態の一部を示す斜視図であり、図１９の実施形態と比較して、アクチュエータ装置の別の実施形態はアクチュエータ装置の後側の領域のアクチュエータ溝によって分割されるアクチュエータ体の上側コーティングを有する。

【図21】図２０に示すアクチュエータ装置に基づく本発明に係るアクチュエータ装置の別の実施形態の一部を示す斜視図であり、上側の上側導電層がアクチュエータ装置の前側の領域のアクチュエータ溝によって分割される。

【図22】図１に示すような本発明に係るアクチュエータ装置の別の実施形態の一部を示す斜視図であり、図１に示す実施形態と比較して、帰還部分片が別の方法で埋め込まれ、フェース面に支持部とコーティングが存在しない。

【図23】図２２に示すアクチュエータ装置に基づく本発明に係るアクチュエータ装置の別の実施形態の一部を示す斜視図であり、図２２の実施形態と比較して、アクチュエータ装置の別の実施形態は、アクチュエータ体の上側に、アクチュエータ装置の後側の領域でアクチュエータ溝によって分割されるコーティングが存在する。

【図24】図２２に示すアクチュエータ装置に基づく本発明に係るアクチュエータ装置の別の実施形態の一部を示す斜視図であり、アクチュエータ体の上側のコーティングが、アクチュエータ装置の前側の領域のアクチュエータ溝によって分割される。

【図25】図１９に示すように図１９の実施形態に基づく本発明に係るアクチュエータ装置の別の実施形態の一部を示す斜視図であり、帰還部分片が別の種類のコーティングを有する。

【図26】図２５に示すアクチュエータ装置に基づく本発明に係るアクチュエータ装置の別の実施形態の一部を示す斜視図であり、図２５の実施形態と比較して、アクチュエータ装置の別の実施形態は、アクチュエータ装置の後側の領域のアクチュエータ溝によって分割されるアクチュエータ体の上側コーティングを有する。

【図27】図２５に示すアクチュエータ装置に基づく本発明に係るアクチュエータ装置の別の実施形態の一部を示す斜視図であり、図２６に示す実施形態と比較して、アクチュエータ体の上側コーティングはアクチュエータ装置の前側の領域で分割される。

【図28】図２５に示すように図２５の実施形態に基づく本発明に係るアクチュエータ装置の別の実施形態の一部を示す斜視図であり、図２２の実施形態と比較して、帰還部分片がフェース側面のコーティングを含まない。

【図29】図２８に示すアクチュエータ装置に基づく本発明に係るアクチュエータ装置の別の実施形態の一部を示す斜視図であり、図２８の実施形態と比較して、アクチュエータ装置の別の実施形態はアクチュエータ装置の後側の領域のアクチュエータ溝によって分割されるアクチュエータ体の上側コーティングを有する。

【図30】図２８に示すアクチュエータ装置に基づく本発明に係るアクチュエータ装置の別の実施形態の一部を示す斜視図であり、図２９に示す実施形態と比較して、アクチュエータ体の上側コーティングがアクチュエータ装置の前側の領域のアクチュエータ溝によって分割される。

【図31】図１に示すような本発明に係るアクチュエータ装置の別の実施形態の一部を示す斜視図であり、図１に示す実施形態と比較して、アクチュエータ装置の後側上のコレクタ電極が内側電極として配置される。

【図32】図３１に示すように図３１の実施形態に基づく本発明に係るアクチュエータ装置の別の実施形態の一部を示す斜視図であり、図３１に示す実施形態と比較して、帰還部分片が支持部を有していない。

【図33】図１に示すように本発明に係るアクチュエータ装置の別の実施形態の一部を示す斜視図であり、図１に示す実施形態と比較して、基部体収縮適合電極が内側電極として配置される。

【図34】図１〜３３に示す実施形態のうちの一つを製造するための本体中間製品の１実施形態を示す図であり、中間製品は一体ブロックである。

【図35】図３４の処理に従う中間製品とは別の中間製品の１実施形態を示す図である。

【図36】図３４および３５に示す本発明に係るアクチュエータ装置の製造用の本体中間製品の１実施形態の製造方法を示す図であり、中間製品は帰還体を固定することのできる一体ブロックである。

【図37】図３６に示す中間製品とは別の中間製品を示す図であり、図３７に示す中間製品は帰還体を有する。

【図38】本発明に係るアクチュエータ装置の製造のための上部構造体中間製品の１実施形態を示す図であり、本体が図３８に示す基部体中間製品と上側体中間製品の個々の部品から構成される。

【図39】本発明に係るアクチュエータ装置の製造のための本体中間製品の１実施形態を示す図であり、本体中間製品が別々の中間製品である図３８に示す上側体中間製品と基部体中間製品とから成る。

【図40】図３９に示す本体中間製品から形成される別の中間製品の１実施形態を示す図であり、複数のアクチュエータ体と帰還体の支持部とが上側体中間製品から形成される。

【図41】アクチュエータ体と帰還体の支持部とが別の形で形成されることによって、図４０に示す中間製品の実施形態とは異なって形成される別の中間製品の１実施形態を示す図である。

【図42】アクチュエータ体と帰還体の支持部とが別の形で形成されることによって、図４０に示す中間製品の実施形態とは異なって形成される別の中間製品の１実施形態を示す図である。

【図43】中間製品の帰還体が別個の中間製品として形成されることによって、図４０に示す中間製品の実施形態とは異なって形成される別の中間製品の１実施形態を示す図である。

【図44】中間製品の帰還体が支持部を有していないことによって、図４０に示す中間製品の実施形態とは異なって形成される別の中間製品の１実施形態を示す図である。

【図45】図４４に示すアクチュエータ装置に基づく本発明に係るアクチュエータ装置の別の中間製品の一部を示す斜視図であり、例示の実施形態では、帰還部分片は図１に示す支持部よりも高さが低く、図４０の実施形態と比較して、アクチュエータ装置の別の実施形態はアクチュエータ装置の後側の領域に上側アクチュエータ溝を有する。

【図46】図４４に示すアクチュエータ装置に基づく本発明に係るアクチュエータ装置の別の中間製品の一部を示す斜視図であり、例示の実施形態では、帰還部分片は図１に示す支持部の実施形態よりも高さが低く、図４４の実施形態と比較して、アクチュエータ装置の別の実施形態はアクチュエータ装置の前側の領域に上側アクチュエータ溝を有する。

【図47】本体中間製品の別の実施形態を示す図であり、図３９に示す本体中間製品の実施形態と比較して、基部体中間製品は第１の本体端部片と第２の本体端部片とを有する。

【図48】図４７に示す本体中間製品から形成される別の中間製品の１実施形態を示す図であり、複数のアクチュエータ体と支持部を備える帰還体とが中間製品から形成される。

【図49】図４８に示すアクチュエータ装置に基づく本発明に係るアクチュエータ装置の別の中間製品の一部を示す斜視図であり、図４８の実施形態と比較して、アクチュエータ装置の別の実施形態はアクチュエータ装置の後側の領域に上側アクチュエータ溝を有する。

【図50】図４８に示すアクチュエータ装置に基づく本発明に係るアクチュエータ装置の別の中間製品の一部を示す斜視図であり、例示の実施形態では、図４８の実施形態と比較して、アクチュエータ装置の前側の領域に上側アクチュエータ溝が存在する。

【発明を実施するための形態】

【0018】

本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶは複数のアクチュエータを有しており、図面では分かりやすくするために３つのアクチュエータ１１、１２、１３のみを概略的に示す。本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶはたとえば１００〜５００個の複数のアクチュエータを有すると考えられる。また、本発明に係るアクチュエータ装置は２つのみのアクチュエータを有することも考えられる。アクチュエータ１１、１２、１３は電極以外は圧電性または電歪性材料から形成される、あるいは圧電性または電歪性材料から成る。アクチュエータ１１、１２、１３は、アクチュエータ１１、１２、１３の電極と電気的に接続される図示しない電気始動装置を用いて個別に電気的に始動することができる。本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶを説明するため、図面には座標系が導入され、本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの長手部分ＬであるＸ方向に、アクチュエータ１１、１２、１３が相互に隣接して配置される。Ｙ方向は本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの厚さ方向または垂直方向を指し、Ｚ方向は本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの奥行き方向または幅方向を指す。

【0019】

アクチュエータ装置ＡＶは主に、基部体１０ａと上部構造体１０ｂとを備えるアクチュエータ装置本体１０（略称本体１０）を有し、上部構造体１０ｂはアクチュエータ接続コーティング３１ａ、３２ａ、３３ａをそれぞれ有するアクチュエータ１１、１２、１３と、帰還接続層５を有する帰還体２１とを有する。

【0020】

図１５の実施形態では、表面２９ａがコーティングされていない。本実施形態では、図１５ａおよび１６ａに示すように表面２９ａをコーティングすることもできる。表面２９ａは層２９ｈでコーティングされ、表面２９ｉはフェース側面ＳＬの一部を成す。

【0021】

本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶでは、アクチュエータ１１、１２、１３は、電気アクチュエータ装置の始動により、すなわち、電圧の作用により厚さ方向Ｙに拡張または収縮させることができる。このように、これらのアクチュエータは例えば、移動させることができる、あるいは形状を変化させることができるアプリケーションコンポーネントの部品または一部に作用することができる。

【0022】

本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶはたとえばピエゾモータとして具体化することができる。また、本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶは超音波トランスデューサ、特に超音波アレイまたはリニアアレイとして具体化することができる。さらに、本発明の適用に際し、アプリケーションコンポーネントは、印刷手段のコンテナ装置や、プリンタ、特に形状を変更可能な複数の個々の部分的コンテナを備えたインクジェットプリンタの供給装置とすることができ、本発明に係るアクチュエータによる部分的コンテナの形状変化を通じて、インクジェットプリンタの場合のように含まれる印刷手段では、インクをノズルを通じて変位させることができる。他のアプリケーションコンポーネントはエンジンの注入装置とすることができ、部分的コンテナは部分的にコンテナに接して配置される本発明に係るアクチュエータによって燃料を収容および注入するコンテナとすることができる。

【0023】

上述の用途は、電圧印加によってアクチュエータまたはアクチュエータ部品が変形されるいわゆる逆圧電効果を利用する。しかしながら、同様に本発明に係るアクチュエータ装置を使用して、圧電効果をセンサの形状で利用することも考えられる。複数のアクチュエータを使用するとき、たとえば位置検出センサが考えられる。

【0024】

アクチュエータ装置ＡＶは、前側１と、アクチュエータ装置ＡＶの長手方向Ｘで前側１と反対側に位置する後側２とをさらに有し、下側ＳＬが負のＹ方向を向き、上側ＳＵは正のＹ方向を向く。前側１は、長手方向Ｘから見て、アクチュエータ１１、１２、１３の部位に関して、後側２と反対に位置する。したがって、前側１はアクチュエータ１１、１２、１３に関して後側２の反対側に位置する。本体１０の後側２は、均等な、具体的には平坦な表面を構成する表面２ａから成る。このコンテキストで「均等な」とは、表面がＸ方向に沿って延在することを意味すると理解される。具体的には、表面２ａが全体にわたって均等な湾曲を有する、すなわち、山や谷を有していないと定めることができる。

【0025】

本体１０は、基部体１０ａと、基部体１０ａから厚さ方向Ｙに外側に延在するアクチュエータ体１１ａ、１２ａ、１３ａを備えた上部構造体１０ｂとを有し、上部構造体１０ｂからアクチュエータ体のアクチュエータ１１、１２、１３が形成される。アクチュエータ体１１ａ、１２ａ、１３ａはＰＺＴなどの圧電性または電歪性材料から成り、少なくとも一部に、アクチュエータ装置によって始動可能な始動電極が配置される。始動電極を配置したアクチュエータ体１１ａ、１２ａ、１３ａはそれぞれアクチュエータ１１、１２、１３を形成する。各アクチュエータ体１１ａ、１２ａ、１３ａは、上側ＳＵの一部を成す上側表面１１ｅ、１２ｅ、１３ｅをそれぞれ有する。

【0026】

本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶのアクチュエータ体１１ａ、１２ａ、１３ａのＸ方向に延びる幅ｂとＺ方向に延びる長さまたは奥行きｔ０は均等なサイズとすることができる。

【0027】

本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの例示の実施形態では、アクチュエータ１１、１２、１３は、２つのアクチュエータ間、たとえばアクチュエータ１１、１２、１３間に、Ｘ方向に延在する幅ＤＳ１またはＤＳ２とＹ方向を向く表面４１、４２とを有する凹部Ｓ１、Ｓ２が形成されるように、相互に隣接して配置される、あるいはＸ方向に並んで配置される。したがって、凹部Ｓ１とＳ２は、表面４１または４２、および隣接アクチュエータ１１と１２または１２と１３の対向する側面ＡＳ１、ＡＳ２によって画定される。Ｘ方向に隣接して配置されるアクチュエータ（たとえば、アクチュエータ１１、１２）間でＸ方向に延在する幅（たとえば、ＤＳ１、ＤＳ２）は均等なサイズにすることができる。もしくは、異なる幅も提供することができる。また、アクチュエータ１１と帰還体２１間には、Ｘ方向に延びる幅ＤＳ０とＹ方向に向く表面４０とを有する凹部Ｓ０が配置される。具体的には、Ｘ方向に隣接する２つのアクチュエータ間の幅ＤＳ１、ＤＳ２は、帰還体２１と隣接アクチュエータ１１間の幅ＤＳ０に一致すると定めることができる。

【0028】

Ｙ方向から見て凹部Ｓ０、Ｓ１、Ｓ２の表面４０、４１、４２まで延在する本体１０の部分が基部体１０ａを形成する。図１は、たとえば、凹部Ｓ３の高さｈ４３を示す。したがって、基部体１０ａは高さｈ４３を有する。

【0029】

好ましくは、本体１０はブロックとして形成されるため、基材から均質に形成されると定められる。また、ここでは、本体１０の外側表面で形成される外形が立方体形状を成すと定めることができる。本体１０の仮想上の上側は部分的には、表面４０、４１、４２とそれらの間を接続する仮想上の接続面とから成る。仮想上の接続面は、各接続面から見て表面４０、４１、４２間でできる限り小さな湾曲を有するように画定することができる。アクチュエータ１１、１２、１３は好ましくは、本体１０に一体的に接続され、本体１０との各自の接続領域において面状に確実に接続されるため、アクチュエータ１１、１２、１３全体も各アクチュエータ１１、１２、１３の部分も本体１０に対する自由度を有していない。

【0030】

本体１０または上部構造体１０ｂのアクチュエータ体１１ａ、１２ａ、１３ａは、本発
明に係るアクチュエータ装置ＡＶのアクチュエータ体１１ａ、１２ａ、１３ａのサイズと同一の高さでＹ方向に基部体１０ａから延在する。図１では、たとえばアクチュエータ体１３ａの高さｈ１３ａが入力される。

【0031】

アクチュエータ１１、１２、１３はそれぞれ複数のアクチュエータに配置される少なくとも２つの内側始動電極を有し、そのうち少なくとも１つの第１の内側始動電極Ｅ１、Ｅ３はアクチュエータ装置ＡＶの前側１から後側２までの距離ａ２をおいて延在し、少なくとも１つの第２の内側始動電極Ｅ２、Ｅ４は後側２から前側１までの距離ａ１をおいて延在する。少なくとも１つの第１の内側始動電極Ｅ１、Ｅ３と少なくとも１つの第２の内側始動電極Ｅ２、Ｅ４を、始動電極に接続されるアクチュエータ装置を通じて相互に反対の極性で電気的に始動すると、２つの電極間に配置される圧電性または電歪性材料製のアクチュエータはそれらが位置するＹ方向に拡張または収縮する。

【0032】

Ｙ方向に向く、本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの１実施形態の表面は、図１に示すように導電層を備えたアクチュエータ１１、１２、１３の領域に設けることができる。本実施形態では、Ｘ方向を向くアクチュエータ１１、１２、１３の表面１１ｅ、１２ｅ、１３ｅと側壁、および凹部Ｓ２、Ｓ３の表面４１、４２はコーティングされない。

【0033】

アクチュエータ装置は、前側１で第１の電極Ｅ１、Ｅ３に第１の電気的接続柱を接続することができる。このため、始動される各アクチュエータ１１、１２、１３は、第１の内側始動電極Ｅ１、Ｅ３と電気的に接続される、特に直接接続されることによりアクチュエータ装置ＡＶの第１の電気的接続柱を形成することのできる、導電性材料、特に金属材料の直接接続コーティング、第１の接続層、またはアクチュエータ接続コーティング３１ａ、３２ａ、３３ａを有することができる。アクチュエータ接続コーティング３１ａ、３２ａ、３３ａは、負のＺ方向を向く各アクチュエータ１１、１２、１３の側面またはフェース面１１ｃ、１２ｃ、１３ｃに配置される導電性材料、特に金属材料の層３１ａ、３２ｃ、３３ｃから形成される。層３１ｃ、３２ｃ、３３ｃは第１の内側始動電極Ｅ１、Ｅ３と電気的に接続し、直接接続される。

【0034】

アクチュエータ装置ＡＶの例示の実施形態では、各アクチュエータ体１１ａ、１２ａ、１３ａはＺ方向に延在する階段状または舌状接続片または舌状拡張部１１ｂ、１２ｂ、１３ｂを有するため、アクチュエータ体始動片ＢとＺ方向に延びる奥行きまたは長さｔ３０の接続片１１ｂ、１２ｂ、１３ｂとから形成される。接続片１１ｂ、１２ｂ、１３ｂはＹ方向に向く表面において、導電性材料、特に金属材料のアクチュエータ接続コーティング３１ａ、３２ａ、３３ａでコーティングされる。したがって、本実施形態では、アクチュエータ接続コーティング３１ａ、３２ａ、３３ａは、アクチュエータ体始動片Ｂの側面に配置される部分層、または厚さｄ３１ｃ、ｄ３２ｃ、ｄ３３ｃを有する始動片接続層３１ｃ、３２ｃ、３３ｃと厚さｄ３１ｂ、ｄ３２ｂ、ｄ３３ｂを有する舌状拡張部３１ｂ、３２ｂ、３３ｂに配置されるアクチュエータ接続コーティングによって形成される。さらに、負のＺ方向を向くアクチュエータ１１、１２、１３の側面１１ｃ、１２ｃ、１３ｃに配置される部分層３１ｃ、３２ｃ、３３ｃは始動片接続層３１ｃ、３２ｃ、３３ｃに接続され、均一な第１の接続層３１ａ、３２ａ、３３ａを形成するために始動片接続層３１ｃ、３２ｃ、３３ｃと一体的に形成することができる。このように、アクチュエータ装置の第１の電気的接続柱はアクチュエータ接続コーティング３１ａ、３２ａ、３３ａにそれぞれ接続することができる。

【0035】

本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの別の実施形態では、アクチュエータ接続コーティング３１ａ、３２ａ、３３ａを備えた舌状接続片または舌状拡張部１１ｂ、１２ｂ、１３ｂを設けずに、部分層または始動片接続層３１ｃ、３２ｃ、３３ｃがアクチュエータ装置または第１の電気的接続柱との電気的接続を形成するように具体化することもできる。

【0036】

本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶは、第２の電気的接続柱の形成のための帰還部分片２０を有する。帰還部分片２０は帰還体２１、負のＸ方向を向く帰還部表面２６ａを有する帰還部２６、そこからＹ方向に延在する支持部２５を有する。Ｙ方向から見ると、帰還部２６は高さｈ２６を有し、支持部２５は高さｈ２５を有するため、図１の実施形態では、帰還体２１は高さｈ２１＝ｈ２６＋ｈ２５を有する。

【0037】

本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの１実施形態では、アクチュエータ体１１ａ、１２ａ、１３ａは長手方向またはＸ方向から見て並んで配置され、帰還体２１はＸ方向から見てアクチュエータ体１１ａ、１２ａ、１３ａの列の背後に配置される。ここでは、帰還体２１の表面２６ｒと本体１０の後側２の表面２ａが均等な、特に平坦な表面を形成すると定めることができる。「均等な」とは本明細書では、表面がＸ方向に沿って延在することを意味すると理解される。具体的には、表面は全体にわたって均等な湾曲を有する、すなわち、山と谷を持たないと定めることができる。

【0038】

帰還部２６が後側２で発生する表面領域には参照符号２６ｒを付す。
図１ａでは、本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの１実施形態は、Ｘ方向に対向するフェース側面ＳＦ１、ＳＦ２に帰還部分片２０−１、２０−２を有する。他の図面では、帰還部分片は参照符号２０によって表され、本願に記載の実施形態はフェース側面ＳＦ１、ＳＦ２のそれぞれに配置することができる。帰還部分片２０−１または２０−２は上述の実施形態のうちの一つにより構成することができる、具体的には同一に構成することができる。図１ａでは、アクチュエータは、参照符号１１ｉで概略的に提示される個々の線として図示される。
本願で使用する座標系のＸ座標は、座標系の原点が帰還部表面２６ａと下側ＳＬとを接続する縁部の中心点に位置するように定義することができる。Ｘ座標はここではアクチュエータ１１、１２、１３の長手範囲にわたって横方向に延び、前側１から後側２まで下側ＳＬを終点とする縁部の中心点を通って正のＸ方向に延在し、具体的には縁部は、Ｙ方向に帰還部表面２６ａに対向して向く下側ＳＬの面と接続し、下側ＳＬに接する縁部とすることができる。

【0039】

座標系の定義のため、Ｚ軸はアクチュエータ装置ＡＶの２つの最前部、すなわち、帰還部表面２６ａに位置する下側角の点Ｚ１，Ｚ２を通って延びる。ここでは、点Ｚ１は前側１の下側ＳＬと帰還部表面２６ａとの交点、点Ｚ２は後側２の下側ＳＬと帰還部表面２６ａとの交点である。

【0040】

上記の縁部または点Ｚ１またはＺ２に関しては、本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの１実施形態または実物において、縁部または点が想定される位置で円形の移行部または円形の角部が存在する場合、理想的な縁部または理想的な点を使用することができる。この場合、本願での定義により、縁部または点は、アクチュエータ装置ＡＶの座標系の位置を定義するため、このために使用される表面または側面、すなわち、帰還部表面２６ａ、前側１、下側ＳＬ、帰還部表面２６ａ、または後側２の範囲を拡大することによって形成される。

【0041】

ここでは、縁線または点の定義のために円形面を用い、理想的な縁線または理想的な点は、相互に向かって延びる２つの隣接面の範囲の延長の交点から生じる。ここでの範囲は、各表面が関連し定義する方向に延在する長さの１／１０の長さを意味すると理解できる。

【0042】

Ｙ方向に向く帰還体２１の表面２１ａは図１の実施形態ではコーティングされていないため、帰還体２１の表面２１ａは帰還部分片２０の表面２１ａと同一である。
負のＸ方向に向く帰還部表面２６ａのコーティングの代わりに、またはそれに加えて、本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの実施形態では、正のＸ方向に向き、アクチュエータ１１に面する帰還部表面２６ｂも導電層でコーティングすることができる。

【0043】

帰還部２６は、具体的には支持部として具体化され、負のＺ方向から見て接続片１１ｂ、１２ｂ、１３ｂの領域に配置される帰還追加片または帰還接続片２３を有することができる。帰還接続片２３は、Ｙ方向から見て表面４０にわたって高さｈ２３だけ隆起する。本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの実施形態では、接続片２３は導電性、特に金属製の帰還接続コーティングを有する正のＹ方向を向く表面２３ｄ、またはアクチュエータ装置の接続のための第２の電気的接続柱を形成する厚さｄ２３ａの外側接続層２３ａでコーティングされると定めることができる。

【0044】

本体１０の後側２は導電性材料、特に金属材料の後側層４でコーティングされる。後側層４の厚さはＸ方向およびＺ方向に一定とすることができる。また、概して、本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの実施形態では、基部体１０ａの領域または下側ＳＬに接する基部体１０ａの領域における後側層４の厚さｄ４ｂは上部構造体１０ｂの領域または上側ＳＵに接する上部構造体１０ｂの領域における後側層４の厚さｄ４ａよりも大きい、具体的には厚さｄ４ｂが厚さｄ４ａの１．５倍となるように定めることができる。

【0045】

後側層４はアクチュエータ装置ＡＶの第２の内側始動電極Ｅ２、Ｅ４と電気的に接続され、特に該始動電極に直接接続される。後側層４は帰還外側層５と電気的に接続され、特に帰還外側層５と一体的に形成され、次いで帰還外側層５は帰還接続コーティング２３ａと接続され、帰還接続コーティング２３ａと一体的に形成することができる。

【0046】

図１の実施形態では、帰還外側層５は、後側層４の一部である後側層部２２と電気的に接続される、表面２４ａを有するフェース側面層部２４から形成される。フェース側面層部２４の厚さはＹ方向およびＺ方向で一定である。また、概して本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの実施形態では、下側の領域の厚さｄ２４ｂが上側ＳＵの領域のフェース側面層部２４の厚さｄ２４ａよりも大きくなるように、具体的には、厚さｄ２４ｂが厚さｄ２４ａの１．５倍となるように定めることができる。

【0047】

設けられたアクチュエータ１１、１２、１３またはアクチュエータ１１、１２、１３のうちいくつかを個別に始動するため、電気アクチュエータ装置は複数の第１の電気的接続柱を有することができ、第１の電気的接続柱のそれぞれに対して異なる制御電圧または制御電流を生成することができるように構成されるため、本実施形態のアクチュエータ装置はアクチュエータ１１、１２、１３を個別に異なって始動することができる。別の実施形態によると、アクチュエータ装置ＡＶのすべてのアクチュエータ１１、１２、１３またはアクチュエータ１１、１２、１３のうちいくつかは、同じように始動されるように単独の第１の電気的接続柱に接続されると定めることができる。

【0048】

アクチュエータ装置の第２の電気的接続柱も同様にアクチュエータ装置ＡＶの前側１、図１に示す実施形態では帰還接続コーティング２３ａに接続することができる。このため、本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶは、好ましくは外側接続層または、後側層４と一体に電気的に接続される帰還接続層５を有する。

【0049】

帰還体２１は基部体１０ａの素子である帰還部２６のみから構成することもでき、帰還部２６はＹ方向に配置される支持部２５を有していないため（図１９〜３０）、帰還体２１は、高さｈ２１＝ｈ２６を有する。

【0050】

本体１０またはアクチュエータ装置ＡＶの製造方法に応じて、帰還体２１は本体１０の
アクチュエータ領域９と一体的に、全体として一体ブロックで構成することができる。これに代わり、本体１０またはアクチュエータ領域９を有するアクチュエータ装置ＡＶの別の製造方法によると、帰還体２１はアクチュエータ領域９に貼り付けられる別個の片として具体化することができる。この場合の接着層５０を図１および２に示す。

【0051】

帰還体２１の実施形態に応じて、接着層５０は別の位置に置くことができ、具体的には図１に示す位置に対してＸ方向に移動させることができる。ここでは、帰還体２１は、凹部４０が配置される、Ｙ方向に延在する本体１０の領域の一部も形成することができるため、Ｘ方向から見て接着層５０は凹部４０の領域に配置される。接着層５０は斜めに延び、ここではたとえばＺ方向に沿ってＹ軸に対して鋭角に延びることができる。

【0052】

帰還部２６と支持部２５から帰還体２１を形成する際、Ｙ方向から見て帰還体２１の上側２１ａがアクチュエータ１１、１２、１３のアクチュエータ体表面１１ｅ、１２ｅ、１３ｅと同じ高さ、したがってｈ０＝ｈ２１に置かれ、形状を変更可能なアプリケーションコンポーネントを本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの上側ＳＵ、アクチュエータ１１、１２、１３またはアクチュエータ体１１ａ、１２ａ、１３ａ、表面２１ａに装着することができると定めることができる。本発明に係るアクチュエータ装置の本実施形態では、支持部２５を備えた帰還体２１は、このようなアプリケーションコンポーネントの対応部分を収容および支持する支持部２５を用いることで、帰還接続層５への電流帰還の機能に加えて支持機能も有する。この場合、図１に示すように、上側２１ａは導電性材料でコーティングされないと定めることができる。図１に示す実施形態では、帰還接続層５は後側２の層部２２と第１のフェース側面ＳＦ１の層部２４から形成され、次いで帰還接続コーティング２３ａと接続される。これらの層は導電性材料から成る。このようにして、本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの簡易で好適な製造方法により非常に有効な電流の流れが確保される。本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの実施形態では、帰還部分片２０が負のＸ方向を向くフェース側面ＳＦ１点に形成されるように定めることができる。本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの正のＸ方向を向くフェース側面（図示せず）にも、本願に記載の１実施形態に係る帰還部分片２０を同様に形成することができ、対向フェース側面に位置する帰還部分片２０と同一にまたは異なって具体化することができる。それに代わり、正のＸ方向を向く本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶのフェース側面（図示せず）にアクチュエータを配置することもできる。

【0053】

図３はアクチュエータ装置ＡＶの別の実施形態を示し、図１および２に示す実施形態と比較して、前側１から後側２までの距離ｃ２をおいて正のＺ方向に延在する少なくとも１つの第１の内側帰還電極ＲＥ１、ＲＥ３と、後側２から前側１までの距離ｃ１をおいて負のＺ方向に延在する少なくとも１つの第２の内側帰還電極ＲＥ２、ＲＥ４とを帰還体２１に有する。本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの実施形態では通常、帰還電極を設けることができる。

【0054】

図４に示す本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの実施形態では、Ｙ方向に延びる溝１５１、１５２、１５３が各アクチュエータ体１１ａ、１２ａ、１３ａの上側に導入される。さらに、各アクチュエータ１１、１２、１３は導電層でコーティングされ、各自の溝１５１、１５２、１５３は各自の層の厚さよりも深いため、各アクチュエータ１１、１２、１３は負のＺ方向に溝の側方に位置する層（アクチュエータ１３では参照符号１５３−１）と負のＺ方向に溝の側方に位置する層（アクチュエータ１３では参照符号１５３−２）とを有する。したがって、アクチュエータ１１、１２、１３の溝に対する２つの対向層は電気的に分離される。例示のため、図４に、アクチュエータ１３の場合の層１５３−２の厚さｄ１５３−２ａと溝１５３の奥行きｔ１５３を示す。負のＺ方向に溝の側方に位置する層（アクチュエータ１３では参照符号１５３−１）はアクチュエータ接続コーティング３１ａ、３２ａ、３３ａ、特に始動片接続層３１ｃ、３２ｃ、３３ｃに接続される。さら
に、正のＺ方向に溝の側方に位置する層（アクチュエータ１３では参照符号１５３−２）は後側層４に接続される。

【0055】

各アクチュエータに溝と共に層を実現することは、偏向のための始動で、電極Ｅ４とアクチュエータ体１１ａ、１２ａ、１３ａの上側間の領域も各アクチュエータの偏向に寄与できるという利点を備える。

【0056】

図４に示す本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの実施形態では、Ｙ方向に延びる溝１２０も帰還体２１の上側２１ａに導入されると定めることができる。さらに、帰還体２１は導電層でコーティングされ、溝１２０は各層の厚さよりも深いために、帰還体２１が負のＺ方向に溝の側方に位置する層（アクチュエータ１３では参照符号１５３−１）と負のＺ方向に溝の側方に位置する層（アクチュエータ１３では参照符号１５３−２）とを有する。したがって、帰還体２１ａの溝に対する２つの対向層は電気的に分離される。例示のため、図４はアクチュエータ１３の場合の層１５３−２の厚さｄ１５３−２ａと溝１５３の奥行きｔ１５３を示す。負のＺ方向に溝の側方に位置する層（アクチュエータ１３では参照符号１５３−１）はアクチュエータ接続コーティング３１ａ、３２ａ、３３ａ、特に始動片接続層３１ｃ、３２ｃ、３３ｃに接続される。さらに、正のＺ方向に溝の側方に位置する層（アクチュエータ１３では参照符号１５３−２）は後側層４に接続される。

【0057】

各アクチュエータ体１１ａ、１２ａ、１３ａの溝は、Ｚ方向に延びる各アクチュエータ体１１ａ、１２ａ、１３ａの長手範囲のＸ座標に沿った中心線（ｔ１＝ｔ２）である中心線Ｍ０（例示の実施形態では、アクチュエータ体１１ａ、１２ａ、１３ａはＺ方向に同一の長さを有するため、すべてのアクチュエータ体１１ａ、１２ａ、１３ａにとって中心線Ｍ０は同一である）に対して横方向、すなわち前側１（図１）が後側２（図４）のいずれかに近く配置される。具体的には、Ｙ方向に向く表面１１ｆ、１２ｆ、１３ｆの中心線は、中心線Ｍ０から量ｔ１またはｔ２の５０％を超えて側方に配置されると定めることができる。アクチュエータ１１、１２、１３の各自の溝が前側１に近いか後側２に近いかに応じて、各アクチュエータ１１、１２、１３の変形に関して独自の効果が生じる。

【0058】

また、図４および５を参照して説明したアクチュエータ１１、１２、１３の上側ＳＵ、および任意で帰還体２１の上側２１ａに設けられた溝の特徴は、本願に記載および図示する本発明の他の実施形態と組み合わせて本発明により提供することができる。

【0059】

図５に示すアクチュエータ装置ＡＶの実施形態の溝の位置では、最も近い内側電極（参照符号Ｅ４）が後側層４で接続され、各層１５１−１ａ、１５２−１ａ、１５３−１ａが各層３１ｃ、３２ｃ、３３ｃからａ１よりも短い距離延在し、そのために各層１５１−１ａ、１５２−１ａ、１５３−１ａが最も近い内側電極（参照符号Ｅ４）と重複せず、最も近い内側電極（参照符号Ｅ４）に対して各層１５１−１ａ、１５２−１ａ、１５３−１ａの反対極性による電極Ｅ４と各層１５１−１ａ、１５２−１ａ、１５３−１との電圧の重複領域が生成されないとき、層１５１−１ａ、１５２−１ａ、１５３−１ａとそれに最も近い内側電極（参照符号Ｅ４）間でアクチュエータ体層の追加始動は行われない。

【0060】

最も近い内側電極（参照符号Ｅ４）が後側層４に接続され、各層１５１−１ａ、１５２−１ａ、１５３−１ａが各層３１ｃ、３２ｃ、３３ｃから見て最も近い内側電極（参照符号Ｅ４）に重複し、それによって生じる重複領域で、各層１５１−１ａ、１５２−１ａ、１５３−１ａと最も近い内側電極（参照符号Ｅ４）に関して反対極性が生成されるとき、層１５１−１ａ、１５２−１ａ、１５３−１ａとそれに最も近い内側電極（参照符号Ｅ４）間でアクチュエータ体層の追加始動が行われる。

【0061】

図６は、本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの別の実施形態の一部を示す斜視図であ
る。本実施形態では、負のＹ方向での後側２の後側層４とフェース側面ＳＦの帰還体側面層２４とにおいて厚さ６０が階段状に増加する。後側２の階段は参照符号６１で示し、フェース側面ＳＦの階段は参照符号６２で示す。階段状の側面６１ａまたは６２ａもＸＺ面から斜めに延びることができる。このコンテキストでは、階段６０は、Ｙ方向に延びる部分で発生する、ｄ４ｃまたはｄ２４ｃの量よりも小さな差ｄ４ｃまたはｄ２４ｃの厚さの減少を意味すると理解される。例示の実施形態では、高さｈ６０の下側ＳＬに接する縁部は、Ｙ方向から見て後側２の後側層４とフェース側面層部２４の上方の領域よりも厚く具体化される。

【0062】

厚さの変化によって、後側２の後側層４、あるいはフェース側面層部または帰還体側面層２４を通じて配給可能な電力を簡易に設定し、各アクチュエータ装置ＡＶの要件に適合させることができる。もう１つの利点は、帰還体側面層、フェース側面層部２４、または後側層４の具体例において、帰還体側面層２４または後側層４の下側領域に大きな厚さｄ２４ｃまたはｄ４ｃを設けることによって、帰還体２１に内側帰還電極（たとえば、ＲＥ１、ＲＥ２、ＲＥ３、ＲＥ４）を有さずにアクチュエータ装置ＡＶを具体化することができる点である。

【0063】

アクチュエータ装置ＡＶの本実施形態の変形によると、厚さは、帰還体側面層またはフェース側面層部２４でのみ変化し、後側層４では変化しない。
概して、ここでは、Ｙ方向の帰還体側面層２４または後側層４の範囲にわたる下側領域の帰還体側面層２４または後側層４の平均厚（たとえば、ｄ４ｂまたはＤ２４ｂ）は、Ｙ方向の帰還体側面層２４または後側層４の範囲にわたる階段６１または６２の上方の領域の帰還体側面層２４または後側層４の平均厚（たとえば、ｄ４ｂまたはｄ２４ｂ）の１．５倍であると定めることができる。

【0064】

図８は本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの別の実施形態を示し、図６および７に示す実施形態と比較して、前側１から後側２までの距離ｃ２をおいて正のＺ方向に延在する少なくとも１つの第１の内側帰還電極ＲＥ１、ＲＥ３と、後側２から前側１までの距離ｃ１をおいて負のＺ方向に延在する少なくとも１つの第２の内側帰還電極ＲＥ２、ＲＥ４とを帰還体２１に有する。

【0065】

図９および１０に示すアクチュエータ装置ＡＶの実施形態は本体端部片２９を有する。この本体端部片２９は、本願のアクチュエータ装置ＡＶの実施形態に追加して設けることができる。本体端部片２９は、下側ＳＬと帰還部２６の中央部から負のＸ方向へと延在する。下側ＳＬから見ると、本体端部片２９は高さｈ２９ａでＹ方向に延在し、負のＸ方向に向く表面２９ａと、そこから帰還部表面２６ａに向かって延び奥行きｔ２９ａを形成する上側２９ｃとを形成する。この位置に層厚さｄ２４ｅが存在し、層厚さｄ２４ｅは厚さｄ２４ａと同一にすることも、厚さｄ２４ａと異ならせる、具体的には厚さｄ２４ａよりも大きくすることができる。アクチュエータ装置ＡＶの後側２で、本体端部片２９は表面２９ｄを有する。図９に示すアクチュエータ装置ＡＶの実施形態では、表面２９ａ、２９ｃ、２９ｄはコーティングされていない。アクチュエータ装置ＡＶは同様に、フェース側面ＳＦ１に対向する別のフェース側面に本体端部片２９（図示せず）を有することもできる。図９および１０に示す本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの実施形態は、帰還部２６の帰還体２１に内側帰還電極（たとえば、図３に示すＲＥ１、ＲＥ２、ＲＥ３、ＲＥ４）を有さずに実現される。

【0066】

図９および１０に示すアクチュエータ装置ＡＶの実施形態の本体端部片２９の利点は、本体端部片２９を用いることで、アプリケーションシステムへの設置に対するアクチュエータ装置ＡＶの適合を簡易に実行できる点である。

【0067】

図１１は本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの別の実施形態を示し、図９および１０に示す実施形態と比較して、前側１から後側２までの距離ｃ２をおいて正のＺ方向に延在する少なくとも１つの第１の内側帰還電極ＲＥ１、ＲＥ３と、後側２から前側１までの距離ｃ１をおいて負のＺ方向に延在する少なくとも１つの第２の内側帰還電極ＲＥ２、ＲＥ４とを帰還体２１に有する。帰還体側面層またはフェース側面層部２４と共に帰還電極ＲＥ１、ＲＥ２、ＲＥ３、ＲＥ４を通じて、前側１から後側２への最小電力帰還のためにアクチュエータ装置ＡＶを適合させることができる。

【0068】

図１２および１３に示すアクチュエータ装置ＡＶの実施形態も同様に本体端部片２９を有する。本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの本実施形態は、帰還部２６の帰還体２１に内側帰還電極（たとえば、図３に示すＲＥ１、ＲＥ２、ＲＥ３、ＲＥ４）を備えずに実現される。本体端部片２９の表面２９ｃには、Ｙ方向に向く表面２９ｆを備えた導電層２９ｅが加えられ、それにより後側２への追加電力の帰還が行われる。

【0069】

図１４は本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの別の実施形態を示し、図１２および１３に示す実施形態と比較して、前側１から後側２までの距離ｃ２をおいて正のＺ方向に延在する少なくとも１つの第１の内側帰還電極ＲＥ１、ＲＥ３と、後側２から前側１までの距離ｃ１をおいて負のＺ方向に延在する少なくとも１つの第２の内側帰還電極ＲＥ２、ＲＥ４とを帰還体２１に有する。帰還体側面層２４と共に帰還電極ＲＥ１、ＲＥ２、ＲＥ３、ＲＥ４を用いて、後側２への追加電力の帰還と、後側への最小電力帰還のためのアクチュエータ装置ＡＶの適合が可能になる。

【0070】

図１５および１６は本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの別の実施形態を示し、本体端部片２９の表面２９ｄも後側層部２２の導電層部２２ｄによってコーティングされる。アクチュエータ装置ＡＶは同様に、フェース側面ＳＦ１に対向する別のフェース側面に本体端部片２９（図示せず）を有することもできる。本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの本実施形態は、帰還体２１または帰還部２６に内側帰還電極（たとえば、図３に示すＲＥ１、ＲＥ２、ＲＥ３、ＲＥ４）を有さずに実現される。

【0071】

図１７は本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの別の実施形態を示し、図１５および１６に示す実施形態と比較して、前側１から後側２までの距離ｃ２をおいて正のＺ方向に延在する少なくとも１つの第１の内側帰還電極ＲＥ１、ＲＥ３と、後側２から前側１までの距離ｃ１をおいて負のＺ方向に延在する少なくとも１つの第２の内側帰還電極ＲＥ２、ＲＥ４とを帰還体２１に有する。帰還体側面層２４と共に帰還電極ＲＥ１、ＲＥ２、ＲＥ３、ＲＥ４を用いて、後側２への追加電力の帰還と、後側への最小電力帰還のためのアクチュエータ装置ＡＶの適合が可能になる。

【0072】

図１８に示すアクチュエータ装置ＡＶの実施形態は、本体端部片２９または第１の本体端部片２９に加えて別のまたは第２の本体端部片２８を有する。本体端部片２８の表面２８ｃには、Ｙ方向を向く表面２８ｆを備えた導電層２８ｅが加えられ、それにより後側２への追加電力の帰還が行われる。アクチュエータ装置ＡＶは同様に、フェース側面ＳＦ１に対向する別のフェース側面にも本体端部片２９（図示せず）である上記本体端部片を有することができる。本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの本実施形態は、帰還体２１または帰還部２６に内側帰還電極（たとえば、図３に示すＲＥ１、ＲＥ２、ＲＥ３、ＲＥ４）を有さずに実現される。

【0073】

図１９に示す本発明に係るアクチュエータ装置の実施形態によると、帰還部２６はＹ方向に延在する支持部２５を有さずに構成され、下側ＳＬから高さｈ４３と等しい高さｈ２６（図１を参照）だけ延在するため、帰還体２１ａと所与の実施形態では帰還部２６とはＹ方向から見て表面４０と同じ高さを有し、Ｘ方向から見て表面４０に隣接する。したが
って、本実施形態では、帰還部２６は支持機能を備えていない。帰還接続片２３は帰還部２６の要素と理解することができる。本実施形態では、Ｙ方向に向く帰還体２１の表面２１ａは、帰還接続コーティング２３ａを形成し、後側２で後側層部２２、フェース側面ＳＦでフェース側面層部２４と電気的に接続され、一体的に実現される厚さｄ２６ｃの外側層２６でコーティングされる。この結果、本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの非常に簡易で好適な製造方法と、後側２へ比較的大きな電流を帰還させることができる非常に有益な解決策とによって、非常に有効な電流の流れが確保される。

【0074】

図２０および２１は本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの別の実施形態を示し、図１および２に示す実施形態と比較して、図４および５を参照して説明したように、アクチュエータ１１、１２、１３の上側と、任意で帰還体２１の上側２１ａにも溝１５１、１５２、１５３を有する。

【0075】

図２２に示す本発明に係るアクチュエータ装置の実施形態は図１９に示す実施形態に基づき、第１のフェース側面ＳＦ１の帰還部表面２６ａが導電性材料でコーティングされないため、図１０に示す実施形態と比較して、フェース側面層部２４が設けられない。それにより、帰還部表面２６ａはアプリケーションシステムの接続点または固定装置に適合させることができるため、本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの機械的統合が向上する。

【0076】

図２３および２４は図２２に示す実施形態に基づく本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの別の実施形態を示し、図１および２に示す実施形態と比較して、アクチュエータ１１、１２、１３の上側、および任意で帰還体２１の上側２１ａに、図４および５を参照して機能を説明した溝１５１、１５２、１５３を有する。

【0077】

図２５に示す本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの別の実施形態は帰還接続片２３と一体的に形成される帰還部２６を有し、帰還部２６は、図１９に示すアクチュエータ装置ＡＶの実施形態に関してＺ方向から見て、アクチュエータ装置ＡＶの奥行き全体にわたって延在し、後側２では高さｈ２５、前側１では高さｈ２１ａで凹部表面４０から立ち上がり、帰還体２１を形成する。本実施形態では、帰還体接続コーティング２３ａは後側２から前側１まで延在し、後側層４に接続される。

【0078】

図２６および２７はそれぞれ、各アクチュエータ体１１ａ、１２ａ、１３ａの上側にＹ方向に延びる溝１５１、１５２、１５３を有する本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの別の実施形態を示す。さらに、各アクチュエータ１１、１２、１３は導電層でコーティングされ、各自の溝１５１は各自の層の厚さよりも深いため、各アクチュエータ１１、１２、１３は負のＺ方向に溝の側方に位置する層（アクチュエータ１３では参照符号１５３−１）と負のＺ方向に溝の側方に位置する層（アクチュエータ１３では参照符号１５３−２）とを有する。したがって、アクチュエータ１１、１２、１３の溝に対する２つの対向層は電気的に分離される。

【0079】

図２８に示す本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの別の実施形態は図２５に示す実施形態に基づき、図２８に示す実施形態と比較して、負のＸ方向を指す帰還部表面２６ａがコーティングされない。

【0080】

図２９および３０は本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの別の実施形態を示し、図２５および２６に示す実施形態と比較して、各アクチュエータ体１１ａ、１２ａ、１３ａの上側にＹ方向に延びる溝１５１、１５２、１５３を有する。さらに、各アクチュエータ１１、１２、１３は導電層でコーティングされ、各自の溝１５１、１５２、１５３は各自の層の厚さよりも深いため、各アクチュエータ１１、１２、１３は負のＺ方向で溝の側方に位置する層（アクチュエータ１３では参照符号１５３−１）と、負のＺ方向で溝の側方に
位置する層（アクチュエータ１３では参照符号１５３−２）とを有する。したがって、アクチュエータ１１、１２、１３の溝に関する２つの対向層は電気的に分離される。

【0081】

図３１に示す本発明に係るアクチュエータ装置の実施形態によると、コレクタ電極７０は後側２に配置され、後側層４と接続され、具体的には後側層４に連通する。このように、図１〜３０の実施形態によると、電流はもはや後側層４だけではなくコレクタ電極７０も流れないため、後側２での電流の流れがサポートされる。これは、凹部Ｓ２、Ｓ３の領域での電流の流れをサポートするのに特に有益である。

【0082】

図３１に示す実施形態では、帰還部分片２０は図１に示すように形成され、図３１に示す実施形態では、帰還部分片２０は図１９に示すように形成される。図３２は図３１に示すように図３１の実施形態に基づく本発明に係るアクチュエータ装置の別の実施形態の一部を示す斜視図であり、図３２に示す実施形態と比較して、帰還部分片２０が支持部を備えていない。

【0083】

もしくはまたはさらに、図３１および３２に示す実施形態では、同じ技術上の理由により、Ｚ方向から見て後側層４が１０ｂよりも後側２の本体１０の基部体１０ａにより大きな厚さｄ４ｂを有し、アクチュエータ１１、１２、１３がアクチュエータ装置ＡＶの後側２に形成される（図４）と定めることができる。

【0084】

図３３に示す本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの実施形態によると、少なくとも１つの収縮適合電極または収縮適合電極８０、９０が基部体１０ａに導入される。これらは、特に焼結工程での圧電性または電歪性材料による本体１０の製造において、本体１０が大きく均一に収縮する収縮作用を達成することができる。図１〜３２に示す実施形態のそれぞれで収縮適合電極８０、９０をアクチュエータ装置ＡＶに追加して設けることができ、たとえば図１および２に示す実施形態で例示されたように配置される。

【0085】

概して、収縮適合電極８０、９０は基部体１０ａに位置する。これらの実施形態では、基部体１０ａはＹ方向から見て凹部表面４０、４１、４２の下に配置される本体１０の一部である。アクチュエータ１１、１２、１３の領域では、基部体１０ａは、Ｙ方向から見て、各アクチュエータの縁線（たとえば、アクチュエータ１１の場合は縁線Ｋ１１−１とＫ１１−２）が各自の接続片（たとえば、アクチュエータ１１の場合は接続片１１ｂ）と共に位置する接続面によって境界を定められる。帰還体２１の領域では、基部体は、縁線４０ａまたは少なくとも縁線４０ａの最高点がＹ方向から見て配置されるＸＺ面によって正のＹ方向に境界を定められる。この基部体１０ａの境界は、本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの個々のまたはすべての実施形態の基部体１０ａに概して適用することができる。

【0086】

したがって、基部体１０ａは、概して本体１０の一部と理解することができ、そこから上部構造体１０ｂを形成するアクチュエータが、アクチュエータ１１ｂ、１２ｂ、１３ｃの接続片、該当する場合は帰還部分片２０の帰還接続片２３、該当する場合は支持部２５と共に延在する。図１９〜２１は本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの実施形態を示し、アクチュエータ領域９および帰還部２６と共に基部体１０ａから延在する接続片２３（図１９〜２４）も支持部２５（図１〜１８と図２５〜３０）も存在しない。もしくは、帰還部２６は、凹部表面４０の面状範囲の拡張部まで下側ＳＬから延在する領域として定義することができる。本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの実施形態は、凹表面４０、４１、４２が、基部体１０ａの延在する境界と理解することもできる面または凹面に位置するように構成することができる。

【0087】

したがって、アクチュエータ装置ＡＶは基部体１０ａを有し、そこからアクチュエータ
１１、１２、１３が延在する。
収縮適合電極８０、９０は板状であり、ＺＸ面に沿って延在するように具体化され、具体的にはＺＸ面から１５度に相当する収縮適合電極の最大偏位角度を提供することができる。収縮適合電極８０、９０は開始材料、特に各アクチュエータ装置ＡＶの形成用の基部体１０ａの製造の際に配置される。

【0088】

収縮適合電極８０、９０は、たとえば図４０〜５０に示し、これらの図面を参照して説明したように、アクチュエータ装置ＡＶが別々の素子として、少なくとも部分的に基部体１０ａを有し、アクチュエータ１１、１２、１３を有していない第１の装置素子と、アクチュエータ１１、１２、１３を有する第１の装置素子とから成るときに設けられる。

【0089】

収縮適合電極８０、９０または少なくとも１つの収縮適合電極は、アクチュエータ装置ＡＶにおいて様々に構成し配置することができる。好ましくは、収縮適合電極８０、９０はフェース側面ＳＦ１、ＳＦ２に配置される。また、少なくとも１つの収縮適合電極は縁部が帰還部表面２６ａに接して配置されると定めることができる。このように、側面、特に帰還部表面２６ａが配置される、まさに本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの縁部では、製造工程において縁領域での基部体１０ａの収縮、ひいてはＸ軸に沿った（Ｚ軸を中心とする）基部体１０ａの歪みまたは湾曲が防止される。さらに、少なくとも１つの収縮適合電極は後側層４に接して配置されると定めることができる。さらに、このように配置される上記の収縮適合電極は後側層４と電気的に接続される。

【0090】

少なくとも１つの収縮適合電極８０、９０は帰還接続層５に接して配置されると定めることができる。具体的には、少なくとも１つの収縮適合電極８０、９０は、アクチュエータ装置ＡＶの１つ以上の側面、たとえば、少なくとも帰還部表面２６ａと同時に後側２と後側部２６ｒに接して配置されると定めることができる。

【0091】

さらに、少なくとも１つの収縮適合電極８０、９０は後側２から前側１までＺ方向に延在すると定めることができる。また、各収縮適合電極は２つの側のうち一方、すなわち、後側２または前側１に接して配置されると定めることができる。収縮適合電極８０、９０は縁部が帰還部表面２６ａから距離をおいて延在することができる。一方、収縮適合電極は後側から延在し、後側に接して前側１まで、さらに前側に接して配置されると定めることができる。他方、各収縮適合電極は、後側２から延在し、そこから間隔をおいて前側１まで、そしてそこから間隔をおいて配置されると定めることができる。各収縮適合電極と後側２または前側１間の距離は、Ｚ方向に帰還部表面２６ａの長手範囲の最大２０％に設定することができる。

【0092】

概して、収縮適合電極は両フェース側面ＳＦ１、ＳＦ２または２つのフェース側面ＳＦ１、ＳＦ２のいずれかの帰還部表面２６ａに配置させることができる。
また、複数の収縮適合電極の少なくとも１つの層を設けることができる。このコンテキストにおいて、層とは、複数の収縮適合電極が、Ｚ方向に帰還部表面２６ａの長手範囲の１５％の偏位でＸＺ面に配置されることを意味する。図３３に示す本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの実施形態は、第１のフェース側面ＳＦ１に収縮適合電極の第１の層８０と第２の層９０とを有する。同じアクチュエータ装置ＡＶの第２のフェース側面ＳＦ２にも同様に、収縮適合電極を同じまたは別の位置に配置することができる。基本的に、収縮適合電極の単独層または２つ以上の層が基部体１０ａに配置されると定めることができる。

【0093】

図３３に示す収縮適合電極の第１の層８０と第２の層９０は、後側４で縁部８１ａまたは８２ａに配置される、すなわち基部体１０ａから延在する収縮適合電極８１、８２を有する。さらに、図３３に示す収縮適合電極の第１の層８０と第２の層９０は、後側４で縁
部８３ｂまたは９３ｂと、帰還部表面２６ａで縁部８３ａまたは９３ａと共に配置される収縮適合電極８３、９３を有する。図３３に示す収縮適合電極の第１の層８０と第２の層９０は、帰還部表面２６ａで縁部８４ａ、８５ａまたは９４ａ、９５ａと共に配置される２つの収縮適合電極８４、８５または９４、９５も有する。

【0094】

例示の実施形態では、異なる層の個々の収縮適合電極、すなわち、たとえば収縮適合電極８１と９１はＹ方向に並んで配置されると定めることができる。ここでは、重ねて配置される収縮適合電極は同一の形状を有すると定めることができる。図面に示す寸法パラメータでは、本発明に係る用途では、具体的には以下の寸法を提供することができる。
ｂ２０ ０．０５〜５ｍｍ
ｈ１ ０．５ｍｍ〜３ｍｍ
ｈ２ ０．１ｍｍ〜１．５ｍｍ
ｈ０ １ｍｍ〜２．５ｍｍ
ｄ１、ｄ２、ｄ３ 薄層（ＰＶＤ）工程では０．５μｍ〜１．５μｍ、化学ガルバニ製造では２μｍ〜７μｍ、スクリーン印刷法では１０μｍ〜１００μｍ
ｈ２０ １ｍｍ〜２．５ｍｍ
ｂ１ ０．０５ｍｍ〜２．５ｍｍ
ｂ２ ０．０５ｍｍ〜２．５ｍｍ、特にｂ１＝ｂ２
ａ１ ０．１ｍｍ〜１ｍｍ
ａ２ ０．１ｍｍ〜１ｍｍ、特にａ１＝ａ２
ＤＳ１ ０．０２ｍｍ〜１ｍｍ
ＤＳ２ ０．０２ｍｍ〜１ｍｍ、特にＤＳ１＝ＤＳ２
基本的に、本発明によると、帰還体２１はアクチュエータ装置ＡＶのフェース側面の一方に配置されることが必須ではなく、２つのアクチュエータ１１、１２、１３間に配置することもできる。

【0095】

概して、本発明に係るアクチュエータ装置は複数の帰還体２１を有することもできる。具体的には、ここでは、帰還体２１はアクチュエータ装置ＡＶの対向するフェース側面のそれぞれに配置されるため、アクチュエータ１１、１２、１３はこれらの帰還体間に位置すると定めることができる。

【0096】

帰還体２１は圧電性または電歪性材料から成り、具体的には基部体１０ａおよびアクチュエータ１１、１２、１３と一体的に形成することができる。基部体１０ａとそこから延在するアクチュエータ１１、１２、１３とが異なる材料から製造され、基部体１０ａが非圧電性材料または非電歪性材料から成る実施形態では、帰還体２１も同様に非圧電性材料または非電歪性材料から製造されると定めることができる。別の実施形態によると、帰還体２１と基部体１０ａは一体的に製造されると定めることもできる。

【0097】

アクチュエータ装置ＡＶの１実施形態によると、基部体１０ａとそこから延在するアクチュエータ１１、１２、１３とは一体に、すなわち、一体から生成され、圧電性または電歪性材料から成る。本実施形態では、基部体１０ａとそこから延在するアクチュエータ１１、１２、１３とから成る構成要素が作製されて、最初に立方体の形状の圧電性または電歪性材料の開始体が製造され、その後、アクチュエータ１１、１２、１３が凹部Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の生成によって形成される。ここでは、凹部Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３は開始体の研削、のこ引き、または研磨などの対応する除去工程によって作製されると定めることができる。

【0098】

図１〜３３に示す１実施形態による本体１０の本発明に係る製造方法によると、一体ブロック１００が、厚さ方向Ｙに積層される圧電性または電歪性材料の層から第１の中間製品として製造される（図３４）。一体ブロックは垂直方向Ｙに少なくともｈ０またはｈ２
０の高さを有する。一体ブロックには、電極Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３、Ｅ４が圧電性または電歪性材料の層間にＸＺ面に沿って面状に延在する層として含まれる。さらなるステップで、全体のコーティング（図示せず）が実行される。すなわち、実施形態に応じて、一体ブロックの外面のコーティングでは、コーティング材料は電導性である。該方法の第１の実施形態によると、一体ブロック１００は、アクチュエータ１１、１２、１３または少なくとも１つの帰還部分片２０の形成のための次のコーティングが行われる、このアクチュエータ体１１ａ、１２ａ、１３ａと帰還体２１とから形成することができる（図３４）。凹部Ｓ０、Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の成型、具体的にはのこ引き、研削、または研磨によって、基部体１０ａを有する本体１０、アクチュエータ体１１ａ、１２ａ、１３ａ、支持部２５を有する帰還体２１（図３５）が一体ブロックから形成され、帰還体２１はアクチュエータ体１１ａ、１２ａ、１３ａと同じ材料から成る。さらに、帰還体２１は、アクチュエータ体１１ａ、１２ａ、１３ａおよび基部体１０ａと同じ材料から形成することができる。この方法シーケンスは、帰還体２１またはその支持部２５が、製造される本体１０のアクチュエータ１１、１２、１３と同じ数、形状、位置の電極を含む場合に特に有益である（たとえば、図３に示す実施形態）。また、ここでは、上側溝の製造のために２つの追加の方法ステップを設けることができる（たとえば、図４に示す実施形態）。次いで、上側コーティングが最初に生成される。これは全体コーティングの生成ステップで行うことができる。図１に示す実施形態では、全体コーティングは第１の接続層３１ａ、３２ａ、３３ａ、帰還接続コーティング２３ａ、後側層４、帰還接続層５を備える。次いで、表面溝の作製が行われる。

【0099】

もしくは、表面溝の製造は、一体ブロックの形成後、かつ凹部Ｓ０、Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の形成前に行うことができる。しかしながら、ここでは、全体コーティングの作成の際、本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの各自の実施形態ではコーティングされない表面領域の被覆を行わなければならない。

【0100】

これに代わって、一体ブロック２００が、そこから帰還体２１を除き（図３６）、基部体とアクチュエータ体１１ａ、１２ａ、１３ａが作製可能である、あるいは作製されるように製造されると定めることができる。この場合、具体的には、最初に凹部Ｓ０、Ｓ１、Ｓ２が成型、特にのこ引きまたは研削によって一体ブロックから作製され、帰還体２１の形成のために、凹部４０を形成する基部体１０ａの部分片１０ｃ上で、追加ブロックＺ−２１を一体ブロックに貼り付ける（図３７）。このようにして、基部体、アクチュエータ体１１ａ、１２ａ、１３ａ、帰還体２１（ここでは支持部２５を有する）を備えた本体１０が製造される。この方法シーケンスは、特に、製造される本体１０のアクチュエータ１１、１２、１３の場合と同じ数、形状、位置の電極、たとえば、収縮適合電極が帰還体２１ａに含まれないときに有効である。

【0101】

これに代わり、アクチュエータ装置ＡＶの製造の１実施形態によると、材料ブロック３０１、具体的には電極Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３、Ｅ４を埋め込んだ圧電性または電歪性材料性の第１の部分体または一体ブロック３０１は、本体１０の別個の部分として製造される（図３８）。

【0102】

続く方法ステップでは、第１の部分体３０１は第２の部分体３０２の表面３０２ａを有する接続層３０３を介して表面３０１ｂと接続され、接続層は好ましくは接着層である。たとえば、半田付けまたは溶接（図３９）など、対応する接続層３０３との別の種類の接続も考えられる。ここでは、第２の部分体３０２は圧電性または電歪性材料と非圧電性または非電歪性材料の両方から成ることができる。第２の部分体はＡｌ２０３を含む、あるいはＡｌ２０３から成る。図３９に示すように、第１の部分体３０１はＺ方向で第２の部分体３０２と異なる、たとえば第２の部分体３０２よりも小さいと定めることができる。同様に、第１の部分体と第２の部分体はＺ方向から見て同じ寸法を有すると定めることが
できる。

【0103】

他の方法シーケンスでは、凹部Ｓ０、Ｓ１、Ｓ２の成型、特にのこ引き、研削、研磨によって、基部体１０ａ、アクチュエータ体１１ａ、１２ａ、１３ａ、支持部２５を有する帰還体２１を備えた本体１０が形成されると定めることができる。ここでは、凹部Ｓ０、Ｓ１、Ｓ２は接続層３０３まで延在する。また、凹部Ｓ０、Ｓ１、Ｓ２の領域で、接続層３０３が成型工程によって除去されて、凹部が第２の部分体３０２まで延在すると定めることができる。

【0104】

別の方法では、アクチュエータ体１１ａ、１２ａ、１３ａまたは支持部２５を別体として作製するため、部分体３０１を図３８に示す方法ステップで個々の部分に分割し、別の方法ステップで、基部体１０ａを形成する第２の部分体３０２に個別に配置し、第２の部分体３０２に実質上接続し、好ましくは貼り付ける（図４０）。

【0105】

図４１に示す本発明に係る方法の１実施形態では、中間製品３２０の形成のため、凹部Ｓ０、Ｓ１、Ｓ２は、第１の部分体３０１の表面３０１ｂから見て、接続層３０３とは交差しないように接続層３０３の上方に正のＹ方向に距離ＤＡ１、ＤＡ２、ＤＡ３をおいて延在すると定めることができる。

【0106】

図４２に示す本発明に係る方法の別の実施形態では、別の中間製品３３０の形成のため、凹部Ｓ０、Ｓ１、Ｓ２は第２の部分体３０２の表面３０２ａから見て、接続層３０３と交差するように第２の部分体３０２へ距離ＤＢ１、ＤＢ２、ＤＢ３分延在すると定めることができる。このように、移行部Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３、Ｕ２１は、基部体３０２または１０ａで、厚さ方向Ｙから見てアクチュエータ体１１ａ、１２ａ、１３ａにそれぞれ隣接する。したがって、長手方向Ｘから見て立ち上がった圧電性または電歪性材料製のアクチュエータ体１１ａ、１２ａ、１３ａは、凹部Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の表面４１、４２、４３と境界を成す下側領域を形成する。

【0107】

さらに、別の中間製品３４０のため、研磨などの成型が接続層３０３に精密に行われると定めることができる（図４３）。図４３に示すこの方法に続いて、１つの端部片または２つの端部片が圧力嵌めで接続される素子３４１または端部片３４２の対向フェース側面に配置され、これは本発明の１実施形態に係る帰還体２１の形成に適する。

【0108】

このようにして中間製品３０１、３０２を形成し貼付し、
図１９〜２４に示す実施形態のアクチュエータ装置ＡＶを製造することができる中間製品３５０（図４４）が作製される、
図２５または２６に示す実施形態のアクチュエータ装置ＡＶを製造することができる中間製品３６０（図４５）が作製される、
図２７に示す実施形態のアクチュエータ装置ＡＶを製造することができる中間製品３７０（図４６）が作製される、
ように成型を実行することができる。

【0109】

さらに、図９〜１７では本体端部片２９、図１８では２つの端部片である本体端部片２８と２９とを備えた本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの１実施形態を形成する際、中間製品４００は、電極Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３、Ｅ４とたとえば図３８の素子３０１とを有する第１の開始製品４０１、および第２の開始製品４０２から本願に記載する方法により圧力嵌めで製造されると定めることができる。開始製品４０１、４０２を相互に貼り付け、
図１８に示す実施形態のアクチュエータ装置ＡＶを製造することができる中間製品４１０（図４８）が作製される、
後側２の近くに溝１２０、１５１、１５３をさらに形成した（図４を参照）本発明に係
るアクチュエータ装置ＡＶの１実施形態が形成される（図４９）、
前側１の近くに溝１２０、１５１、１５３をさらに形成した（図５を参照）本発明に係るアクチュエータ装置ＡＶの１実施形態が形成される（図５０）、
ように成型を実行することができる。

【図1】

【図1a】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図15a】

【図16】

【図16a】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】

【図28】

【図29】

【図30】

【図31】

【図32】

【図33】

【図34】

【図35】

【図36】

【図37】

【図38】

【図39】

【図40】

【図41】

【図42】

【図43】

【図44】

【図45】

【図46】

【図47】

【図48】

【図49】

【図50】