特許 6248977 基板保持装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6248977

(24)【登録日】2017年12月1日

(45)【発行日】2017年12月20日

(54)【発明の名称】基板保持装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20171211BHJP

   H01J 37/317 20060101ALI20171211BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 N

   H01J37/317 B

【請求項の数】11

【全頁数】19

(21)【出願番号】特願2015-96077(P2015-96077)

(22)【出願日】2015年5月8日

(65)【公開番号】特開2016-213331(P2016-213331A)

(43)【公開日】2016年12月15日

【審査請求日】2016年11月8日

(73)【特許権者】

【識別番号】302054866

【氏名又は名称】日新イオン機器株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100121441

【弁理士】

【氏名又は名称】西村 竜平

(74)【代理人】

【識別番号】100154704

【弁理士】

【氏名又は名称】齊藤 真大

(72)【発明者】

【氏名】中澤 喜之

(72)【発明者】

【氏名】小野田 正敏

【審査官】 山口 祐一郎

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００６−１９５０６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−２７４８１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−０９１５６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−０４２０１０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−０６０２７７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−０６７３４５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ６５Ｇ １７／００−１７／４８

Ｈ０１Ｊ ３７／３０−３７／３６

Ｈ０１Ｌ ２１／６７−２１／６８３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

概略矩形状をなす基板が載置されるプラテンと、前記プラテンとの間で前記基板を保持するクランプ機構とを具備する基板保持装置であって、
前記クランプ機構が、
前記基板の各辺に対応して設けられ、前記基板を保持する保持位置と前記基板を解放する解放位置との間で移動可能な複数のクランパと、
前記クランパを移動させるための駆動力を、前記基板の対向する２辺のうち一辺に対応して設けられた一辺側クランパと他辺に対応して設けられた他辺側クランパとの間で伝達する動力伝達機構とを備えており、
前記動力伝達機構が、前記一辺側クランパの移動、又は、前記一辺側クランパに前記駆動力を伝達する部材の移動とともに所定方向にスライド移動して、前記他辺側クランパに前記駆動力を伝達するスライド部材を有し、
前記スライド部材が、前記プラテンの基板載置面とは反対側の裏面に設けられている基板保持装置。

【請求項2】

前記一辺側クランパ及び前記他辺側クランパの対向方向が、前記プラテンに対して前記基板が搬入出される基板搬入出方向と略一致している請求項１記載の基板保持装置。

【請求項3】

前記一辺側クランパ又は前記他辺側クランパのうち基板搬入出側のクランパが、前記解放位置において、前記プラテンの基板載置面よりも下方に位置するように構成されている請求項２記載の基板保持装置。

【請求項4】

前記動力伝達機構が、
前記基板の前記対向する２辺とは異なる少なくとも１辺に対応して設けられた側辺側クランパに前記駆動力を伝達する第１伝達要素と、
前記一辺側クランパに前記駆動力を伝達する第２伝達要素とを備え、
前記第１伝達要素、前記第２伝達要素及び前記スライド部材を介して、前記駆動力が前記側辺側クランパ、前記一辺側クランパ及び前記他辺側クランパそれぞれに伝達される請求項１乃至３のうち何れか一項に記載の基板保持装置。

【請求項5】

前記クランパが、弾性部材によって前記保持位置に付勢されており、前記駆動力によって前記保持位置から前記解放位置に移動するように構成されたものであり、
前記クランパが前記保持位置にある状態において、前記クランパと前記動力伝達機構との間に前記駆動力を前記クランパに作用させないためのクリアランスが形成されている請求項１乃至４のうち何れか一項に記載の基板保持装置。

【請求項6】

前記プラテンの基板載置面よりも上方に突出したストッパをさらに具備し、
前記ストッパが、前記基板載置面に載置される基板の移動を制止する制止位置と、前記基板に対して前記制止位置よりも外側に退避した退避位置との間で移動可能に設けられている請求項１乃至５のうち何れか一項に記載の基板保持装置。

【請求項7】

前記プラテンが、前記基板を受け渡す水平姿勢と、前記水平姿勢から起立した起立姿勢との間で移動可能なものであり、
前記ストッパが、前記起立姿勢にある前記プラテンの下側に設けられている請求項６記載の基板保持装置。

【請求項8】

前記スライド部材のスライド移動に連動して所定の回転中心周りに回転する回転部材と、
前記回転部材の回転駆動力を前記ストッパの移動方向に沿った直線駆動力に変換する変換機構とをさらに具備し、
前記変換機構によって変換された前記直線駆動力が前記ストッパに伝達されるように構成されている請求項６又は７記載の基板保持装置。

【請求項9】

前記変換機構が、前記回転部材又は前記ストッパを保持する保持プレートの一方に設けられた摺動体と他方に形成されて前記摺動体がスライドするスライド空間とからなり、
前記回転部材の回転に伴って、前記摺動体が前記スライド空間をスライドし、前記保持プレートが前記ストッパの移動方向に沿って移動するように構成されており、
前記ストッパが前記制止位置にある状態において、前記プラテンが起立姿勢に移動した場合に、前記摺動体が、前記回転中心の鉛直上方に位置するように構成されている請求項８記載の基板保持装置。

【請求項10】

概略矩形状をなす基板が載置されるプラテンと、前記プラテンとの間で前記基板を保持するクランプ機構とを具備する基板保持装置であって、
前記クランプ機構が、
前記基板の各辺に対応して設けられ、前記基板を保持する保持位置と前記基板を解放する解放位置との間で移動可能な複数のクランパと、
前記クランパを移動させるための駆動力を、前記基板の対向する２辺のうち一辺に対応して設けられた一辺側クランパと他辺に対応して設けられた他辺側クランパとの間で伝達する動力伝達機構とを備えており、
前記動力伝達機構が、前記一辺側クランパの移動、又は、前記一辺側クランパに前記駆動力を伝達する部材の移動とともに所定方向にスライド移動して、前記他辺側クランパに前記駆動力を伝達するスライド部材を有し、
前記一辺側クランパ及び前記他辺側クランパの対向方向が、前記プラテンに対して前記基板が搬入出される基板搬入出方向と略一致しており、
前記一辺側クランパ又は前記他辺側クランパのうち基板搬入出側のクランパが、前記解放位置において、前記プラテンの基板載置面よりも下方に位置するように構成されている基板保持装置。

【請求項11】

概略矩形状をなす基板が載置されるプラテンと、前記プラテンとの間で前記基板を保持するクランプ機構とを具備する基板保持装置であって、
前記クランプ機構が、
前記基板の各辺に対応して設けられ、前記基板を保持する保持位置と前記基板を解放する解放位置との間で移動可能な複数のクランパと、
前記クランパを移動させるための駆動力を、前記基板の対向する２辺のうち一辺に対応して設けられた一辺側クランパと他辺に対応して設けられた他辺側クランパとの間で伝達する動力伝達機構とを備えており、
前記動力伝達機構が、前記一辺側クランパの移動、又は、前記一辺側クランパに前記駆動力を伝達する部材の移動とともに所定方向にスライド移動して、前記他辺側クランパに前記駆動力を伝達するスライド部材と、
前記基板の前記対向する２辺とは異なる少なくとも１辺に対応して設けられた側辺側クランパに前記駆動力を伝達する第１伝達要素と、
前記一辺側クランパに前記駆動力を伝達する第２伝達要素とを備え、
前記第１伝達要素、前記第２伝達要素及び前記スライド部材を介して、前記駆動力が前記側辺側クランパ、前記一辺側クランパ及び前記他辺側クランパそれぞれに伝達される基板保持装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板を保持する基板保持装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

この種の基板保持装置としては、特許文献１に示すように、基板にイオンビームを照射するイオンビーム照射装置に用いられ、概略矩形状をなす基板が載置されるプラテンと、該プラテンとの間で基板を保持するクランプ機構とを具備するものがある。

【0003】

具体的にこのクランプ機構は、基板の互いに対向する２辺それぞれに対応して設けられた一対のクランパと、各クランパに対応して設けられ、基板を保持する保持位置と基板を解放する解放位置との間で各クランパを移動させるアクチュエータとを具備している。

【0004】

ところが、上述した構成の基板保持装置では、基板を対向する２辺のみで保持しているだけなので、この対向方向と直交する方向に基板が位置ずれする恐れがある。
このことは、特にイオンビーム注入装置が、水平に載置された基板を起立させ、イオンビームを注入する際に、イオンビームと交差する方向に基板を走査するものである場合により顕著となる。

【0005】

一方、基板の各辺それぞれに対応してクランパを設けると、クランパを増やした分だけアクチュエータが必要となり、装置構成の複雑化や装置全体の大型化を招いてしまう。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００１−１０７２３５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

そこで本発明は、上記問題点を解決すべくなされたものであって、装置構成の複雑化や装置全体の大型化を引き起こすことなく、基板を確実に保持することをその主たる課題とするものである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

すなわち本発明に係る基板保持装置は、概略矩形状をなす基板が載置されるプラテンと、前記プラテンとの間で前記基板を保持するクランプ機構とを具備するものであって、前記クランプ機構が、前記基板の各辺に対応して設けられ、前記基板を保持する保持位置と前記基板を解放する解放位置との間で移動可能な複数のクランパと、前記クランパを移動させるための駆動力を、前記基板の対向する２辺のうち一辺に対応して設けられた一辺側クランパと他辺に対応して設けられた他辺側クランパとの間で伝達する動力伝達機構とを備えており、前記動力伝達機構が、前記一辺側クランパの移動、又は、前記一辺側クランパに前記駆動力を伝達する部材の移動とともに所定方向にスライド移動して、前記他辺側クランパに前記駆動力を伝達するスライド部材を有していることを特徴とするものである。

【0009】

このような基板保持装置であれば、クランパが基板の各辺に対応して設けられているので、基板を確実に保持することができるうえ、スライド部材が、一辺側クランパの移動又はこの一辺側クランパに駆動力を伝達する部材の移動とともにスライド移動して、他辺側クランパに駆動力を伝達するので、共通のアクチュエータを用いて一辺側クランパ及び他辺側クランパを移動させることができ、装置構成の簡単化及び装置全体の小型化を図ることができる。

【0010】

前記一辺側クランパ及び前記他辺側クランパの対向方向が、前記プラテンに対して前記基板が搬入出される基板搬入出方向と略一致している構成が好ましい。
この構成であれば、一辺側クランパ及び他辺側クランパに共通して用いるアクチュエータを、基板搬入出側を避けて配置することができ、アクチュエータが基板の搬入出を妨げない。
これに対して、従来のように各クランパにそれぞれ対応してアクチュエータを設ける構成では、一辺側クランパ及び他辺側クランパの対向方向と基板搬入出方向とを一致させようとすると、基板搬入出側に配置されたアクチュエータが基板の搬入出を妨げる。

【0011】

前記一辺側クランパ又は前記他辺側クランパのうち基板搬入出側のクランパが、前記解放位置において、前記プラテンの基板載置面よりも下方に位置するように構成されていることが好ましい。
この構成であれば、クランパによって基板の搬入出が妨げられないので、搬入出される基板の高さ位置を既存の設定にしたまま、言い換えれば、プラテンに基板を搬送する搬送ロボット等の設定を変更することなく、基板を搬入出することができる。

【0012】

前記動力伝達機構が、前記基板の前記対向する２辺とは異なる少なくとも１辺に対応して設けられた側辺側クランパに前記駆動力を伝達する第１伝達要素と、前記一辺側クランパに前記駆動力を伝達する第２伝達要素とを備え、前記第１伝達要素、前記第２伝達要素及び前記スライド部材を介して、前記駆動力が前記側辺側クランパ、前記一辺側クランパ及び前記他辺側クランパそれぞれに伝達されることが好ましい。
この構成であれば、共通のアクチュエータからの駆動力で、基板の少なくとも３辺それぞれに対応して設けられたクランパを移動させることができ、更なる装置構成の簡単化及び装置全体の小型化を図ることができる。

【0013】

前記クランパが、弾性部材によって前記保持位置に付勢されており、前記駆動力によって前記保持位置から前記解放位置に移動するように構成されたものであり、前記クランパが前記保持位置にある状態において、前記クランパと前記動力伝達機構との間に前記駆動力を前記クランパに作用させないためのクリアランスが形成されているものが好ましい。
この構成であれば、保持位置にある各クランパは、駆動力が作用されない状態、つまり互いに独立した状態で、別々に基板を保持するので、仮に１つのクランパが基板上にあるパーティクル等を挟み込んで保持位置よりも僅かに浮き上がったとしても、その他のクランパによって基板を確実に保持することができる。

【0014】

基板保持装置が、前記プラテンの基板載置面よりも上方に突出したストッパをさらに具備し、前記ストッパが、前記基板載置面に載置される基板の外縁に接触して該基板の移動を制止する制止位置と、前記基板に対して前記制止位置よりも外側に退避した退避位置との間で移動可能に設けられていることが好ましい。
このような構成であれば、制止位置にあるストッパが基板の外縁に接触することで過度な基板の位置ずれや基板の落下を防止することができるうえ、搬送ロボットにより基板を持ち上げる場合は、ストッパを制止位置から退避位置に移動させてストッパと基板とを非接触にすることで、基板端面とストッパとが擦れてパーティクルが発生することを防ぐことができる。
これに対して、ストッパが予め所定位置に固定されている場合、搬送ロボットにより基板を持ち上げる際に、基板端面とストッパとが擦れてパーティクルが発生する可能性がある。

【0015】

前記プラテンが、前記基板を受け渡す水平姿勢と、前記水平姿勢から起立した起立姿勢との間で移動可能なものであり、前記ストッパが、前記起立姿勢にある前記プラテンの下側に設けられていることが好ましい。
この構成であれば、プラテンを水平姿勢から起立姿勢に移動させる際などに、基板がプラテンから落下することを防ぐことができる。

【0016】

上記の基板保持装置が、前記スライド部材のスライド移動に連動して所定の回転中心周りに回転する回転部材と、前記回転部材の回転駆動力を前記ストッパの移動方向に沿った直線駆動力に変換する変換機構とをさらに具備し、前記変換機構によって変換された前記直線駆動力が前記ストッパに伝達されるように構成されていることが好ましい。
この構成であれば、スライド部材の移動に連動して直線駆動力がストッパに伝達されるので、クランパとストッパとを連動させることができ、ストッパを移動させるための専用のアクチュエータを不要にすることができる。

【0017】

前記変換機構が、前記回転部材又は前記ストッパを保持する保持プレートの一方に設けられた摺動体と他方に形成されて前記摺動体がスライドするスライド空間とからなり、前記回転部材の回転に伴って、前記摺動体が前記スライド空間をスライドし、前記保持プレートが前記ストッパの移動方向に沿って移動するように構成されており、前記ストッパが前記制止位置にある状態において、前記プラテンが起立姿勢に移動した場合に、前記摺動体が、前記回転中心の鉛直上方に位置するように構成されていることが好ましい。
この構成であれば、プラテンを起立させた場合に、ストッパが制止位置にある状態で保持プレートに荷重が加わったとしても、摺動体が回転中心の鉛直上方に位置させているので、この摺動体は回転せず、保持プレートは動かない。これにより、例えば、基板が落下した場合であっても、ストッパが下方にずれることを防ぐことができる。

【発明の効果】

【0018】

このように構成した本発明によれば、装置構成の複雑化や装置全体の大型化を招くことなく、基板を確実に保持することができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】本実施形態の基板保持装置を表側から視た模式図。

【図2】本実施形態の基板保持装置を裏側から視た模式図。

【図3】本実施形態の第１伝達機構を説明する模式図。

【図4】本実施形態の第１クランパの動作を説明する図（Ａ１−Ａ１’断面図）。

【図5】本実施形態の第２伝達機構を説明する模式図。

【図6】本実施形態の第２クランパの動作を説明する図（Ａ２−Ａ２’断面図）。

【図7】本実施形態の第３伝達機構を説明する模式図。

【図8】本実施形態のストッパの動作を説明する模式図。

【図9】本実施形態の連動機構を説明する模式図。

【図10】変形実施形態の連動機構を説明する模式図。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下に本発明に係る基板保持装置の一実施形態について図面を参照して説明する。

【0021】

本実施形態に係る基板保持装置１００は、例えばイオンビーム照射装置に用いられて、処理対象たる基板Ｗを保持するものであり、図１及び図２に示すように、概略矩形状をなす薄板状の基板Ｗが載置されるプラテン１０と、該プラテン１０との間で基板Ｗを保持するクランプ機構２０とを具備するものである。

【0022】

前記プラテン１０は、図示しない搬送ロボットとの間で基板Ｗが受け渡されるものであり、基板Ｗが載置される水平姿勢と、前記水平姿勢から起立した起立姿勢との間を軸Ｉ周りに回転可能に構成されている。
なお、ここでいう水平姿勢には、水平方向から傾いた姿勢が含まれ、起立姿勢には、鉛直方向に沿って起立した姿勢や鉛直方向から傾いた姿勢が含まれる。

【0023】

本実施形態では、基板Ｗにイオンビームが照射される処理室内において、前記搬送ロボットが、前記水平姿勢にあるプラテン１０に対して所定の基板搬入出方向で基板Ｗを搬送して載置する。そして、プラテン１０は、前記処理室内で水平姿勢から起立姿勢となり、基板Ｗにイオンビームが照射される際に、イオンビームと交差する方向に走査される。
以下では、説明の便宜上、図２に示すように、前記基板搬入出方向を上下方向とし、この上下方向に直交する方向を左右方向と定義する。なお、上下方向における上側は基板搬入出側であり、左右方向における左側及び右側はプラテンを裏面から視たときの左側及び右側である。

【0024】

具体的にこのプラテン１０は、図１に示すように、複数（ここでは４本）の櫛歯１１が所定間隔で並んだ櫛形状をなすものであり、その表面が基板Ｗが載置される基板載置面１２として設定されている。
なお、プラテン１０の形状は、上述したものに限られず、概略矩形状などであっても良い。
また、基板載置面１２は、必ずしもプラテン１０の表面に設定する必要はなく、例えば、プラテン１０が、表面に取り付けられたピン等の複数の高さ調整部材を有している場合は、これら複数の高さ調整部材の先端によって形成された仮想平面が基板載置面１２として設定される。

【0025】

前記クランプ機構２０は、図１及び図２に示すように、基板Ｗの各辺に対応して設けられた複数のクランパ２１と、外部から入力された駆動力を前記複数のクランパ２１の間で伝達する動力伝達機構２２とを備えている。

【0026】

本実施形態では、図１及び図２に示すように、プラテン１０の左辺部、右辺部、上辺部、及び下辺部それぞれに複数のクランパ２１が互いに離間して設けられている。
以下では、各辺部に設けられたクランパ２１を区別する場合、左右方向に沿って互いに対向するクランパ２１を第１クランパ２１ａといい、上下方向に沿って互いに対向するクランパ２１のうち、下側のクランパ２１を第２クランパ２１ｂといい、上側のクランパ２１を第３クランパ２１ｃという。

【0027】

前記クランパ２１は、図３〜図７に示すように、プラテン１０との間で基板Ｗを保持する保持位置Ｘと、基板Ｗを解放する解放位置Ｙとの間で移動可能に構成されたものであり、ここでは、水平姿勢にあるプラテン１０の基板載置面１２より下方（基板載置面１２よりもプラテン１０の裏面側）に設けられた回転軸Ｌ周りに回転可能に構成されている。本実施形態では、例えば前記回転軸Ｌに捩じりバネ等の弾性部材Ｂが設けられており、この弾性部材Ｂによって各クランパ２１を保持位置Ｘに付勢している。

【0028】

より具体的に各クランパ２１は、特に図４及び図６に示すように、前記保持位置Ｘにおいて基板Ｗに当接する一対の当接部２１１を有したものである。
ここでは、第１クランパ２１ａ及び第３クランパ２１ｃは互いに同じ形状をなし、柱状の当接部２１１を有したものであり、第２クランパ２１ｂは、平板状の当接部２１１を有したものである。
なお、各クランパ２１の形状や当接部２１１の形状は、種々変更して構わない。

【0029】

本実施形態では、プラテン１０が水平姿勢にある状態において、第３クランパ２１ｃの上方を基板Ｗが搬入出されることから、前記第３クランパ２１ｃによって基板Ｗの搬入出が妨げられないように、解放位置Ｙにある第３クランパ２１ｃが、プラテン１０の基板載置面１２よりも下方（基板載置面１２よりもプラテン１０の裏面側）に位置するように構成されている。
ここでは、前記第３クランパ２１ｃの保持位置Ｘと解放位置Ｙとの開き角度は、解放位置Ｙにある第３クランパ２１ｃの全体が前記基板載置面１２よりも下方（基板載置面１２よりもプラテン１０の裏面側）に位置するように設定されている。

【0030】

次に、動力伝達機構２２について説明する。

【0031】

前記動力伝達機構２２は、図示しないアクチュエータからクランパ２１を移動させるための駆動力が与えられるとともに、この駆動力を、基板Ｗの１辺に対応して設けられたクランパ２１と、その他の少なくとも１辺に対応して設けられたクランパ２１との間で伝達するものであり、ここでは、第１クランパ２１ａ、第２クランパ２１ｂ、及び第３クランパ２１ｃの間で前記駆動力を伝達するように構成されている。
本実施形態では、図２に示すように、一対の動力伝達機構２２が、プラテン１０の左右両側に独立して設けられており、各動力伝達機構２２は、基板Ｗの３辺に対応して設けられたクランパ２１（左右片側の第１クランパ２１ａ、第２クランパ２１ｂ、及び第３クランパ２１ｃ）の間で前記駆動力を伝達するように構成されている。
なお、ここでは前記一対の動力伝達機構２２は左右対称の構成であり、以下では、これらを代表して左側の動力伝達機構２２について説明する。

【0032】

前記動力伝達機構２２は、図２に示すように、第１クランパ２１ａに駆動力を伝達する第１伝達要素２２ａ、第２クランパ２１ｂに駆動力を伝達する第２伝達要素２２ｂ、及び第３クランパ２１ｃに駆動力を伝達する第３伝達要素２２ｃとを備える。

【0033】

前記第１伝達要素２２ａは、図３に示すように、第１クランパ２１ａを回転軸Ｌａ周りに回転させて保持位置Ｘから解放位置Ｙに移動させるものであり、駆動力によって上下方向にスライド移動する縦スライダ３と、縦スライダ３の移動に伴って左右方向にスライド移動する横スライダ４と、縦スライダ３及び横スライダ４の間に介在して、上下方向の駆動力を左右方向の駆動力に変換する方向変換機構５とを有している。

【0034】

縦スライダ３は、プラテン１０の裏面側における上端部から下端部に亘って上下方向に沿って設けられた棒状をなすものであり、ここでは、図示しないアクチュエータの駆動力が伝達されて回転中心Ｏｚ周りに回転するレバーＺが接続されている。本実施形態のレバーＺは、縦スライダ３における上側及び下側の第１クランパ２１ａの間に接続されているが、上側の第１クランパ２１ａの上方や下側の第１クランパ２１ａの下方に接続されていても構わない。
なお、縦スライダ３の一部は、一対のガイドローラＲに挟まれている。

【0035】

横スライダ４は、縦スライダ３と第１クランパ２１ａとの間に介在して、第１クランパ２１ａを保持位置Ｘから解放位置Ｙに移動させるものであり、図２に示すように、複数の第１クランパ２１ａそれぞれに対応した位置に設けられている。

【0036】

より具体的に説明すると、図４に示すように、前記横スライダ４又は前記第１クランパ２１ａの一方に引っ掛かり部Ｍａが設けられており、他方に前記引っ掛かり部Ｍａが引っ掛かる被引っ掛かり部Ｎａが設けられている。また、引っ掛かり部Ｍａと被引っ掛かり部Ｎａとの間には、第１クランパ２１ａが保持位置Ｘにある状態において、駆動力を第１クランパ２１ａに作用させないためのクリアランスＳａを形成してある。
本実施形態では、前記引っ掛かり部Ｍａとして、横スライダ４に断面略Ｕ字形状の凹溝が形成されており、前記被引っ掛かり部Ｎａとして、第１クランパ２１ａに回転軸Ｌａに平行な棒体が設けられており、前記凹溝の内周面４１と前記棒体の外周面との間に上述したクリアランスＳａが形成されている。

【0037】

方向変換機構５は、図３に示すように、縦スライダ３に伝達された上下方向の駆動力を左右方向に変換するものであり、具体的には、前記縦スライダ３又は前記横スライダ４の一方に設けられ、上下方向及び左右方向と交差する斜め方向に延びる斜め孔５１と、他方に設けられ、前記斜め孔５１内を摺動可能な摺動部５２とを有している。
本実施形態では、前記横スライダ４に例えば上下方向及び左右方向から４５度傾いた斜め孔５１が形成されており、前記縦スライダ３に摺動部５２たる突起部が設けられている。
なお、斜め孔５１は、必ずしも貫通孔である必要なく、凹溝であっても良い。

【0038】

続いて、上述した第１伝達要素２２ａと第１クランパ２１ａとの動作について、図３及び図４を参照しながら説明する。

【0039】

まず、図３（ａ）に示すように、第１クランパ２１ａが弾性部材Ｂによって保持位置Ｘに付勢されている状態で、図示しないアクチュエータからの駆動力がレバーＺに与えられると、レバーＺが回転中心Ｏｚ周りに回転するとともに、縦スライダ３は上側から下側に向かってスライド移動する。

【0040】

このとき、前記縦スライダ３のスライド移動に連動して、前記摺動部５２が前記斜め孔５１に沿って移動し、これにより、前記横スライダ４が左側から右側（プラテン１０の外側から内側）に向かってスライド移動する。

【0041】

そして、図４に示すように、この横スライダ４のスライド移動に伴い、前記引っ掛かり部Ｍａたる凹溝の内周面４１が前記被引っ掛かり部Ｎａたる棒体を左側から右側に向かって引き寄せ、これにより第１クランパ２１ａが回転軸Ｌａ周りに回転する。

【0042】

本実施形態では上述したクリアランスＳａが形成されているため、第１クランパ２１ａが保持位置Ｘにある状態において、引っ掛かり部Ｍａと被引っ掛かり部Ｎａとは非接触である（図４ａ）。そして、この状態から前記横スライダ４が左側から右側にスライド移動することで、引っ掛かり部Ｍａが被引っ掛かり部Ｎａと接触し（図４ｂ）、さらに前記横スライダ４が左側から右側にスライド移動することで、引っ掛かり部Ｍａから被引っ掛かり部Ｎａに前記駆動力が作用して、第１クランパ２１ａが解放位置Ｙに移動する（図４ｃ）。

【0043】

一方、図示しないアクチュエータからの駆動力が遮断された場合、図３（ｂ）に示すように、弾性部材Ｂの付勢力によって第１クランパ２１ａが解放位置Ｙから保持位置Ｘに移動する。

【0044】

次に、第２伝達要素２２ｂについて説明する。

【0045】

前記第２伝達要素２２ｂは、図５に示すように、第２クランパ２１ｂを回転軸Ｌｂ周りに回転させて、保持位置Ｘから解放位置Ｙに移動させるものである。

【0046】

ここで、本実施形態では、前記第１伝達要素２２ａが、少なくとも１つの第２クランパ２１ｂに駆動力を伝達するように構成されており、前記第２伝達要素２２ｂが、その他の第２クランパ２１ｂに駆動力を伝達するように構成されている。

【0047】

より詳細には、図５に示すように、一対の第２クランパ２１ｂが共通の回転軸Ｌｂ周りに回転するように構成されており、第１伝達要素２２ａは、前記一対の第２クランパ２１ｂのうち左側の第２クランパ２１ｂ（以下、左側第２クランパ２１ｂｌともいう）に駆動力を伝達し、第２伝達要素２２ｂは、右側の第２クランパ２１ｂ（以下、右側第２クランパ２１ｂｒともいう）に駆動力を伝達する。

【0048】

まず、左側第２クランパ２１ｂｌと第１伝達要素２２ａとの関係について説明する。
前記左側第２クランパ２１ｂｌは、図５に示すように、第１伝達要素２２ａの縦スライダ３の下端部近傍に配置されており、この縦スライダ３のスライド移動に伴って、保持位置Ｘと解放位置Ｙとの間を移動するように構成されている。

【0049】

より具体的に説明すると、図６に示すように、前記左側第２クランパ２１ｂｌ又は前記縦スライダ３の一方に引っ掛かり部Ｍｂが設けられており、他方に前記引っ掛かり部Ｍｂが引っ掛かる被引っ掛かり部Ｎｂが設けられている。また、引っ掛かり部Ｍｂと被引っ掛かり部Ｎｂとの間には、左側第２クランパ２１ｂｌが保持位置Ｘにある状態において、駆動力を左側第２クランパ２１ｂｌに作用させないためのクリアランスＳｂを形成してある。
本実施形態では、前記引っ掛かり部Ｍｂとして、縦スライダ３の下端部に固定された固定部材６に断面略Ｕ字形状の凹溝が形成されており、前記被引っ掛かり部Ｎｂとして、左側第２クランパ２１ｂｌに回転軸Ｌｂに平行な棒体が設けられており、前記凹溝の内周面６１と前記棒体の外周面との間に前記クリアランスＳｂが形成されている。

【0050】

上述した構成により、図６に示すように、縦スライダ３が上側から下側に向かってスライド移動すると、前記引っ掛かり部Ｍｂたる凹溝の内周面６１が前記被引っ掛かり部Ｎｂたる棒体を上側から下側（プラテン１０の内側から外側）に向かって引き寄せ、これにより左側第２クランパ２１ｂｌが回転軸Ｌｂ周りに回転する。

【0051】

本実施形態では上述したクリアランスＳｂが形成されているため、左側第２クランパ２１ｂｌが保持位置Ｘにある状態において、引っ掛かり部Ｍｂと被引っ掛かり部Ｎｂとは非接触である（図６ａ）。そして、この位置から前記縦スライダ３が上側から下側にスライド移動することで、引っ掛かり部Ｍｂが被引っ掛かり部Ｎｂと接触し（図６ｂ）、さらに前記縦スライダ３が上側から下側にスライド移動することで、引っ掛かり部Ｍｂから被引っ掛かり部Ｎｂに前記駆動力が作用して、左側第２クランパ２１ｂｌが解放位置Ｙに移動する（図６ｃ）。

【0052】

次に、第２伝達要素２２ｂと右側第２クランパ２１ｂｒとの関係について説明する。
本実施形態の第２伝達要素２２ｂは、図５に示すように、左側第２クランパ２１ｂｌに伝達された駆動力を右側第２クランパ２１ｂｒに伝達するものであり、ここでは、これらの各第２クランパ２１ｂｌ、２１ｂｒを接続する回転軸Ｌｂである。
この構成により、右側第２クランパ２１ｂｒは、前記駆動力によって左側第２クランパ２１ｂｌと連動して回転し、保持位置Ｘと解放位置Ｙとの間を移動する。

【0053】

続いて、第３伝達要素２２ｃについて説明する。

【0054】

前記第３伝達要素２２ｃは、図７に示すように、第３クランパ２１ｃを回転軸Ｌｃ周りに回転させて保持位置Ｘから解放位置Ｙに移動させるものであり、所定方向に沿ってスライド移動するスライド部材７を有している。

【0055】

前記スライド部材７は、図５及び図７に示すように、右側第２クランパ２１ｂｒと第３クランパ２１ｃとの間に介在して、右側第２クランパ２１ｂｒから第３クランパ２１ｃに前記駆動力を伝達するものであり、ここでは、上述した縦スライダ３と平行に設けられた棒状をなすものである。

【0056】

より具体的に説明すると、図６に示すように、前記スライド部材７の下端部又は前記右側第２クランパ２１ｂｒの一方に引っ掛かり部Ｍｂが設けられており、他方に引っ掛かり部Ｍｂが引っ掛かる被引っ掛かり部Ｎｂが設けられている。
また、図７に示すように、前記スライド部材７の上端部又は前記第３クランパ２１ｃの一方に引っ掛かり部Ｍｃが設けられており、他方に引っ掛かり部Ｍｃが引っ掛かる被引っ掛かり部Ｎｃが設けられている。

【0057】

本実施形態では、スライド部材７の下端部及び右側第２クランパ２１ｂｒの構成は、上述した縦スライダ３及び左側第２クランパ２１ｂｌの構成と同様であり、スライド部材７の上端部及び第３クランパ２１ｃとの構成は、上述した第１クランパ２１ａと横スライダ４と同様の構成である。

【0058】

すなわち、図６に示すように、引っ掛かり部Ｍｂとして、スライド部材７の下端部に固定された固定部材６に断面略Ｕ字形状の凹溝が形成されており、被引っ掛かり部Ｎｂとして、右側第２クランパ２１ｂｒに回転軸Ｌｂに平行な棒体が設けられている。
また、図７に示すように、引っ掛かり部Ｍｃとして、スライド部材７の上端部に断面略Ｕ字形状の凹溝が形成されており、被引っ掛かり部Ｎｃとして、第３クランパ２１ｃに回転軸Ｌｃに平行な棒体が設けられている。

【0059】

なお、前記引っ掛かり部Ｍｂ、Ｍｃと前記被引っ掛かり部Ｎｂ、Ｎｃとの間には、右側第２クランパ２１ｂｒや第３クランパ２１ｃが保持位置Ｘにある状態において、前記駆動力を右側第２クランパ２１ｂｒや第３クランパ２１ｃに作用させないためのクリアランスＳｂ、Ｓｃを形成してある。

【0060】

上述した構成により、右側第２クランパ２１ｂｒの保持位置Ｘと解放位置Ｙとの間における移動に伴って前記スライド部材７が上下方向に沿ってスライド移動し、このスライド部材７のスライド移動に伴って第３クランパ２１ｃが保持位置Ｘと解放位置Ｙとの間で移動する。

【0061】

より具体的には、右側第２クランパ２１ｂｒが保持位置Ｘから解放位置Ｙに移動することで、前記被引っ掛かり部Ｎｂたる棒体が上側から下側（プラテン１０の内側から外側）に向かって前記引っ掛かり部Ｍｂたる凹溝の内周面６１に押し当てられ、これにより前記スライド部材７が上側から下側に向かってスライド移動する。

【0062】

そして、スライド部材７が上側から下側に向かってスライド移動することで、前記引っ掛かり部Ｍｃたる凹溝の内周面が前記引っ掛かり部Ｎｃたる棒体を上側から下側（プラテン１０の外側から内側）に引き寄せ、これにより第３クランパ２１ｃが回転軸Ｌｃ周りに回転する。

【0063】

上述した動力伝達機構２２により、本実施形態では、第１クランパ２１ａに連動して左側第２クランパ２１ｂｌが回転し、左側第２クランパ２１ｂｌに連動して右側第２クランパ２１ｂｒが回転し、右側第２クランパ２１ｂｒに連動して第３クランパ２１ｃが回転する。つまり、第１クランパ２１ａ、第２クランパ２１ｂ、及び第３クランパ２１ｃは、互いに連動して保持位置Ｘと解放位置Ｙとの間を移動し、本実施形態では、各クランパ２１ａ〜ｃは、同時に保持位置Ｘに到達し、同時に解放位置Ｙに到達する。

【0064】

しかして、本実施形態の基板保持装置１００は、プラテン１０に載置された基板Ｗの移動を規制するストッパ８をさらに具備してなる。

【0065】

ここでは、起立姿勢にあるプラテン１０から基板Ｗが落下することを防ぐべく、図２に示すように、起立姿勢にあるプラテン１０の下側に前記ストッパ８を複数設けており、具体的には縦スライダ３の下端部近傍とスライド部材７の下端部近傍とに配置している。

【0066】

前記各ストッパ８は、プラテン１０が水平姿勢にある状態において、基板載置面１２よりも上方（基板載置面１２よりもプラテン１０の表面側）に突出するものであり、図８に示すように、基板載置面１２に載置される基板Ｗに接触して当該基板Ｗの移動を制止する制止位置Ｐと、前記基板Ｗに対して前記制止位置Ｐよりも外側に退避した退避位置Ｑとの間で移動可能に設けられている。
前記制止位置Ｐは、基板Ｗが搬送ロボットによってプラテン１０に載置される位置（載置位置）にある基板Ｗと前記ストッパ８とが非接触な位置であり、前記退避位置Ｑは、前記ストッパ８が前記制止位置Ｐよりも基板Ｗから外側に離れる位置である。

【0067】

前記ストッパ８は、図９（ａ）、（ｂ）に示すように、保持プレート８１に保持されており、この保持プレート８１が、例えばガイド部材Ｇにガイドされた状態で上下方向に移動するように構成されている。

【0068】

前記保持プレート８１は、前記ストッパ８が起立して設けられており、例えば前記ストッパ８と一体成型されたものである。本実施形態では、前記保持プレート８１をプラテン１０の裏面側に設けており、プラテン１０及び縦スライダ３、或いは、プラテン１０及びスライド部材７に貫通して形成された貫通孔Ｈを前記ストッパ８が裏面側から表面側に貫通するようにしている。

【0069】

本実施形態では、図９に示すように、基板保持装置１００が、前記ストッパ８と上述した動力伝達機構２２とを連動させる連動機構９をさらに具備しており、前記ストッパ８が、前記動力伝達機構２２から伝達される駆動力によって前記制止位置Ｐと前記退避位置Ｑとの間を移動するように構成されている。

【0070】

前記連動機構９は、各ストッパ８それぞれに対応して設けられている。
以下では、ストッパ８とスライド部材７との間に介在する連動機構９の構成について説明するが、ストッパ８と縦スライダ３との間に介在する連動機構９の構成も同様である。

【0071】

前記連動機構９は、プラテン１０に回転可能に設けられた回転部材９０と、スライド部材７の移動方向に沿った直動駆動力を回転部材９０の回転駆動力に変換する第１直回動変換機構９１と、前記回転部材９０の回転駆動力をストッパ８の移動方向に沿った直動駆動力に変換する第２直回動変換機構９２とを備える。

【0072】

前記回転部材９０は、回転中心Ｏ周りに回転可能なものであり、ここでは、一対の前記回転部材９０がスライド部材７の左右両側に設けられている。

【0073】

前記第１直回動変換機構９１は、図９（ｃ）、（ｄ）に示すように、スライド部材７に固定された固定部材９３又は前記回転部材９０の一方に設けられた第１摺動体９４と他方に形成されて前記第１摺動体９４がスライドするスライド空間９ｈ１とからなる。
なお、図９（ｃ）、（ｄ）は、図９（ａ）、（ｂ）における保持プレート８１を取り外した状態を示している。

【0074】

本実施形態では、前記第１摺動体９４として、前記回転中心Ｏ周りに回転する回転ローラが前記回転部材９０に設けられており、前記第１スライド空間９ｈ１として、前記固定部材９３の左右両側に一対に切り欠きが形成されている。

【0075】

上述した構成により、スライド部材７に連動して固定部材９３が上下方向にスライド移動することで、第１摺動体９４が第１スライド空間９ｈ１内を移動しながら回転中心Ｏ周りに回転し、一対の回転部材９０が互いに反対向きに回転する。

【0076】

前記第２直回動変換機構９２は、図９（ａ）、（ｂ）に示すように、前記回転部材９０又は上述した保持プレート８１の一方に設けられた第２摺動体９５と他方に形成されて前記第２摺動体９５がスライドするスライド空間９ｈ２とからなる。

【0077】

本実施形態では、前記第２摺動体９５として、前記回転部材９０における前記第１摺動体９４とは別の位置に前記回転中心Ｏ周りに回転する回転ローラが設けられており、前記第２スライド空間９ｈ２として、前記保持プレート８１に左右両側に長孔が形成されている。

【0078】

上述した構成により、回転部材９０の回転に連動して前記第２摺動体９５が回転しながら第２スライド空間９ｈ２内をスライド移動して、保持プレート８１が上下方向にスライド移動する。

【0079】

本実施形態では、スライド部材７が上側から下側に向かって移動することにより、上述した連動機構９を介して、保持プレート８１が上側から下側（プラテン１０の内側から外側）に向かって移動するように構成されている。つまり、動力伝達機構２２によりクランパ２１を保持位置Ｘから解放位置Ｙに移動させると、このクランパ２１の動きに連動してストッパ８が制止位置Ｐから退避位置Ｑへ移動し、クランパ２１を解放位置Ｙから保持位置Ｘへ移動させると、このクランパ２１の動きに連動してストッパ８が退避位置Ｑから制止位置Ｐへ移動する。

【0080】

ここで、前記第２摺動体９５は、ストッパ８が制止位置Ｐにある状態において、プラテン１０が起立姿勢に移動した場合に、回転部材９０の回転中心Ｏの鉛直上方に位置するよう構成されている。つまり、ストッパ８が制止位置Ｐに移動した場合に、前記第２摺動体９５の重心と回転部材９０の回転中心Ｏとが鉛直線上に位置するように構成されている。

【0081】

なお、本実施形態では、上述した動力伝達機構２２及び連動機構９は、図２等に示すように、プラテン１０の裏面に形成された収容凹部Ｖに収容されており、プラテン１０が水平姿勢にある状態において、動力伝達機構２２を構成する各部材及び連動機構９を構成する各部材がプラテン１０の裏面からはみ出さないようにしている。
この収容凹部Ｖは、図示しないカバー部材によって閉塞されるように構成されている。

【0082】

このように構成された本実施形態に係る基板保持装置１００によれば、クランパ２１が基板Ｗの各辺に対応して設けられているので、基板Ｗを確実に保持することができるうえ、動力伝達機構２２が第１クランパ２１ａ、第２クランパ２１ｂ、及び第３クランパ２１ｃの間で駆動力を伝達するので、各クランパ２１に共通のアクチュエータを用いることができ、装置構成の簡単化及び装置全体の小型化を図ることができる。

【0083】

また、各クランパ２１に共通のアクチュエータを用いることができるので、このアクチュエータを例えばプラテン１０の下側や左右側に設けることで、基板Ｗの搬入出が妨げられない。

【0084】

さらに、解放位置Ｙにある第３クランパ２１ｃの全体が、プラテン１０が水平姿勢にある状態において、プラテン１０の基板載置面１２よりも下方（基板載置面１２よりもプラテン１０の裏面側）に位置するので、第３クランパ２１ｃは基板Ｗを搬入出する妨げとならず、搬入出される基板Ｗの高さ位置を既存の設定にしたまま、つまり、プラテン１０に基板Ｗを搬送する搬送ロボット等の設定を変更することなく、基板Ｗを搬入出することができる。

【0085】

加えて、各引っ掛かり部Ｍａ〜ｃと各被引っ掛かり部Ｎａ〜ｃとの間に、駆動力をクランパ２１に作用させないためのクリアランスＳａ〜ｃが形成されているので、個々のクランパ２１が別々に保持位置Ｘに付勢されており、仮に、１つのクランパ２１が基板Ｗ上にあるパーティクル等を挟み込んで保持位置Ｘよりも僅かに浮き上がったとしても、その他のクランパ２１によって確実に基板Ｗを保持することができる。

【0086】

さらに加えて、プラテン１０の下側に複数の可動式のストッパ８を設けているので、制止位置Ｐにあるストッパ８によって基板Ｗの落下を防止することができるうえ、搬送ロボットが基板Ｗを持ち上げる際は、ストッパ８を制止位置Ｐから退避位置Ｑに移動させてストッパ８と基板Ｗとを非接触にすることで、ストッパ８と基板Ｗが擦れず、パーティクルの発生を防ぐことができる。
また、仮に搬送ロボットに対して基板Ｗが位置ずれした状態で搬送された場合などは、基板載置面１２に載置された基板Ｗが所定の載置位置からずれることがある。このような場合は、前記ストッパ８を退避位置Ｑから制止位置Ｐへ移動させることにより、ストッパ８で基板Ｗの外縁を押して基板Ｗの位置調整をすることができる。

【0087】

そのうえ、ストッパ８が制止位置Ｐにある状態において、プラテン１０が起立姿勢に移動した場合に、第２摺動体９５の重心が、回転部材９０の回転中心Ｏの鉛直上方に位置するようにしているので、保持プレート８１に荷重が加わったとしても、第２摺動体９５は回転せず、基板Ｗの落下等によりストッパ８が制止位置Ｐから下方にずれることを防ぐことができる。

【0088】

さらに、動力伝達機構２２及び連動機構９が、プラテン１０の裏面に形成された収容凹部Ｖに収容されているので、装置全体をプラテン１０の厚み方向においてコンパクトにすることができる。
加えて、前記収容凹部Ｖは、図示しないカバー部材によって閉塞されるように構成されているので、動力伝達機構２２や連動機構９を構成する各部材が擦れてパーティクルが発生したとしても、このパーティクルが処理室内に飛散することを防ぐことができる。

【0089】

なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。

【0090】

例えば、前記実施形態では、動力伝達機構が、基板の３辺に対応して設けられたクランパの間で駆動力を伝達するように構成されていたが、基板の４辺に対応して設けられたクランパ（左右方向に対向する第１クランパの両方、第２クランパ、及び第３クランパ）の間で駆動力を伝達するように構成しても良い。このための具体的実施態様としては、前記実施形態のように回転軸Ｌｂを複数本設けず、一本の回転軸Ｌｂによって複数の第２クランパ２１ｂが移動する構成が挙げられる。なお、この場合、レバーＺは、左右片側に設けておけば良い。
この構成により、基板の４辺に対応して設けられたクランパが連動して移動するので、１つのアクチュエータを用いて全てのクランパを移動させることができ、装置全体をよりコンパクトにすることができる。

【0091】

また、動力伝達機構は、第１伝達要素、第２伝達要素及び第３伝達要素とを備えるものであったが、伝達要素や各伝達要素を構成する部材の個数は限られるものではない。
さらに、前記実施形態では、第１伝達要素にレバーが接続されていたが、レバーは第２伝達要素や第３伝達要素に接続されていても良い。つまり、図示しないアクチュエータの駆動力がレバーを介して第２伝達要素を構成する回転軸に与えられるようにしても良いし、前記アクチュエータの駆動力がレバーを介して第３伝達要素のスライド部材に与えられるようにしても良い。

【0092】

前記実施形態の第１伝達要素は、第２クランパに駆動力を伝達するものであったが、第２クランパを介さずに、第２伝達要素に駆動力を伝達するように構成されていても良い。
具体的には、例えばラックアンドピニオンを利用して、第１伝達要素の縦スライダに設けたラックと、第２クランパの回転軸に設けたギアとを噛み合わせることにより、前記縦スライダの移動方向に沿った直線駆動力を回転駆動力に変換して前記回転軸に伝達する構成が挙げられる。

【0093】

前記実施形態では、一対の第２クランパが共通の回転軸周りに回転するように構成されていたが、複数の第２クランパを左右方向にスライドする横スライダ部材に連動させるようにしても良い。
この場合、第２伝達要素は、前記横スライダ部材を有しており、第１伝達要素の縦スライダと第２伝達要素の横スライダ部材との間には、前記実施形態における方向変換機構などを設けておけば良い。

【0094】

前記実施形態の第３伝達要素は、第２クランパから駆動力が伝達されるように構成されていたが、第２クランパに動力を伝達する部材、つまり第２伝達要素から駆動力が伝達されるようにしても良い。
具体的には、例えば、上述したラックアンドピニオンを利用した構成が挙げられる。すなわち、第２伝達要素の回転軸に設けたギアと、前記第３伝達要素のスライド部材に設けたラックとを噛み合わせることにより、前記回転軸の回転駆動力を直線駆動力に変換して前記スライド部材に伝達する構成が挙げられる。

【0095】

動力伝達機構の構成は上述したように種々の構成が考えられることから、左右両側に設けられた一対の動力伝達機構は、前記実施形態のように左右対称の構成である必要はなく、互いに異なる構成であっても良い。

【0096】

また、前記実施形態では、スライド移動する各部材は、上下方向又は左右方向に沿って移動するものであったが、上下方向又は左右方向から傾いた方向に沿って移動するようにしても良い。

【0097】

さらに、前記実施形態では、プラテンの下側にストッパを設けていたが、前記プラテンの上側や左右片側又は左右両側にストッパを設けても良い。
この構成により、水平姿勢にあるプラテンに載置された基板の位置を、上下方向及び左右方向に沿って調整することができる。

【0098】

加えて、前記実施形態では、ストッパが制止位置にある状態において、プラテンが起立姿勢に移動した場合に、第２摺動体が、回転部材の回転中心の鉛直上方に位置するよう構成されていたが、例えば、図１０に示すように、ストッパ８が制止位置Ｐと退避位置Ｑとの途中に経由する経由位置Ｒに移動した場合に、第２摺動体９５が回転部材９０の回転中心Ｏの鉛直上方に位置するようにしても良い。
上述した構成により、クランパ２１を解放位置Ｙから保持位置Ｘへ移動させた場合、前記第２摺動体９５の回転に伴って、保持プレート８１が、プラテン１０に対して内側に向かって移動した後、外側に向かって移動する。このことから、前記ストッパ８は、退避位置Ｑから、該退避位置Ｑよりも基板Ｗに接近する前記経由位置Ｒを経て、該経由位置Ｒよりも基板Ｗから離間する制止位置Ｐへ移動する。
これにより、前記実施形態のように、プラテン１０が起立姿勢にある状態において、仮に基板Ｗが位置ずれしてストッパ８に接触したとしても、プラテン１０を水平姿勢にして搬送ロボットで基板Ｗを持ち上げる際は、ストッパ８を基板Ｗと非接触な退避位置Ｑに移動させるので、ストッパ８と基板Ｗが擦れず、パーティクルの発生を防ぐことができる。
そのうえ、仮に基板Ｗが基板載置面１２における所定の載置位置からずれて載置されたとしても、ストッパ８が経由位置Ｒを経由したあと制止位置Ｐに移動するので、ストッパ８が経由位置Ｒに移動することで基板Ｗを前記所定の載置位置に移動させることができ、基板Ｗを確実に前記所定の載置位置においてクランプすることができる。

【0099】

また、前記実施形態では、クランパとストッパとが連動するように構成されていたが、クランパとストッパとは別々に独立に移動するように構成しても良い。
具体的な実施態様としては、例えばストッパを電動モータ等に接続して制止位置と退避位置との間を移動させるようにする構成が挙げられ、この場合は、前記実施形態の連動機構は不要である。

【0100】

また、前記実施形態の動力伝達機構は、第１クランパ、第２クランパ及び第３クランパとの間で駆動力を伝達するものであったが、上下両側のクランパ（第２クランパと第３クランパ）の間のみで駆動力を伝達するものであってもよい。この場合は、動力伝達機構は、少なくとも前記実施形態のスライド部材を有していれば良く、このスライド部材の移動に連動して上下両側のクランパが保持位置と解放位置との間で移動するように構成すれば良い。
もちろん、動力伝達機構は、左右両側のクランパ（対向する第１クランパ）の間のみで駆動力を伝達するものであっても良い。

【0101】

さらに、第２クランパ及び第３クランパは、前記実施形態では上下方向（搬入出方向）に沿って互いに対向するように設けられていたが、上下方向からやや傾いた方向に沿って互いに対向するように設けても良い。
また、左右の第１クランパに関しても同様であり、左右の第１クランパは、左右方向からやや傾いた方向に沿って互いに対向するように設けても良い。

【0102】

その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。

【符号の説明】

【0103】

１００・・・基板保持装置
Ｗ ・・・基板
１０ ・・・プラテン
１２ ・・・基板載置面
２０ ・・・クランプ機構
２１ ・・・クランパ
２２ ・・・動力伝達機構
Ｘ ・・・保持位置
Ｙ ・・・解放位置
７ ・・・スライド部材
８ ・・・ストッパ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】