発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

従来のポジ型の感光性組成物では、膜を形成して感光後に熱硬化させることで形成された硬化膜が柔軟性に欠け、硬化膜に応力がかかった場合に、クラックが発生しやすいという欠点があった。 また、ポジ型の感光性組成物では、塗布により膜を形成した後、露光により光が照射された領域において、アルカリ溶解等により膜が除去されることになるが、その際に膜の現像残渣が基板上に残留し、細かいパターニング形成に支障が生じるという問題があった。 本発明は、以上の現状に鑑み、現像感度、現像残渣の抑制といった現像性に優れているとともに、柔軟性が高く、クラックが生じにくい硬化膜を与えることができるポジ型感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によると、感光性樹脂組成物から形成された硬化膜の柔軟性が向上し、硬化膜にクラックが生じるのを防止することができ、かつ、現像感度が良好であることに加えて、現像時に生じる残渣の発生が減少するために細かいパターニング形成が容易になる感光性樹脂組成物を提供することができる。 好ましくは、以上の効果に加えて、感光性樹脂組成物から形成された膜と基板との密着性が向上した感光性樹脂組成物を提供することができる。これにより、感光性樹脂組成物から形成された膜表面に無電解めっきを行う際に、めっき液が基板と膜との間に浸透し、膜が基板から剥がれてしまうという不都合を抑制することができ、無電解めっき耐性に優れた感光性樹脂組成物を提供することができる。