技術分野
この発明は、同一のサンプルガス中に含まれる異なる複数種類のガス成分を同時、かつ、高感度に検出することができるガス分析計
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
しかしながら、特許文献1に記載されたものは、水分の検出波長をターゲットとした1組のキャビティに1波長レーザ光を共振器に結合する構成であるため、水分に加えて他の種類のガスを検出することは難しい。すなわち、特許文献1に記載されたものでは、異なる複数種類のガスを検出することは困難であるという問題点があった。
この発明は、に鑑みてなされたものであって、同一のサンプルガス中に含まれる異なる複数種類のガス成分を同時、かつ、高感度に検出することができるガス分析計を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
上述した課題を解決し、目的を達成するために、この発明にかかるガス分析計は、キャビティリングダウン分光法をもとにサンプルガス中の異なる特定の複数種類のガス濃度を同時に測定するガス分析計であって、前記サンプルガスを流通するガスセルと、前記ガスセル内で前記異なる特定の複数種類のガスの吸収が観測できるように、光電場が共鳴して存在するように設けられた複数の光共振器と、前記異なる特定の複数種類のガスの吸・・・ 続きを
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【発明の効果】
この発明によれば、ガスセル内で異なる特定の複数種類のガスの吸収が観測できるように、光電場が共鳴して存在するように複数の光共振器が設けられるので、各光共振器を用いて、同一のサンプルガス中に含まれる異なる複数種類のガス成分を同時、かつ、高感度に検出することができる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】 図1は、この発明の実施の形態1であるガス分析計の全体構成を示す模式図である。
【図2】 図2は、この発明の実施の形態2であるガス分析計の全体構成を示す模式図である。
【図3】 図3は、この発明の実施例であるガス分析計の全体構成を示す模式図である。
【図4】 図4は、波長1.6μm帯でのメタンガス12 CH4 の吸収線とメタンガス13 CH4 の吸収線における検出感度を示す図である。
【図5】 図5は、波長1.6μm帯と波長3.2μm帯でのメタンガスの吸収強度の違いを示す図である。
【図6】 図6は、メタンガス12 CH4 を波長1.6μm帯の吸収線で測定し、メタンガス13 CH4 を波長3.2μm帯の吸収線で測定した場合における検出感度を示す図である。
1,1a,1b ガス分析計
1,11,12 レーザ素子
2 ガスセル
2a サンプルガス入口
2b サンプルガス出口
3 温度計
4 圧力計
21,22 光検出器
31,32 圧電素子
C1,C2 光共振器
G1,G2 ガス成分
M1〜M6,M3a,M6a ミラー
λ1,λ2 波長
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