特許6254054IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

塗布装置、接合システム、塗布方法、接合方法、プログラム、および情報記憶媒体

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

複数種類のコート液が一のカップ内に回収される際に均一に混じり合わない場合がある。例えば一のコート液に含まれる溶質が他のコート液に含まれる溶剤に溶解しない場合、コート液に含まれる溶剤同士が溶解しない場合、コート液に含まれる溶質同士が反応する場合などが挙げられる。 複数種類のコート液が一のカップ内に回収される際に均一に混じり合わない場合、カップの開口(例えば排気口、排液口)が詰まりやすく、カップの交換頻度が高かった。 本発明は、課題に鑑みてなされたものであり、複数種類のコート液がカップ内に回収される場合にカップの交換頻度を低減できる、塗布装置の提供を主な目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

課題を解決するため、本発明の一態様によれば、 被コート処理基板を水平に保持する保持部と、 前記保持部を回転させる回転駆動部と、 前記保持部と共に回転する被コート処理基板に対し、異なる種類のコート液を供給する複数の塗布ノズルと、 少なくとも1つの前記塗布ノズルから供給されるコート液に対し溶解する洗浄液を、前記保持部と共に回転する被コート処理基板に対し供給する洗浄ノズルと、 ・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
【発明の効果】
本発明の一態様によれば、複数種類のコート液がカップ内に回収される場合にカップの交換頻度を低減できる、塗布装置が提供される。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】一実施形態による接合システムの概略を示す平面図である。

【図2】一実施形態による接合システムを用いて作製される重合ウェハの側面図である。

【図3】一実施形態による接合方法のフローチャートである。

【図4】一実施形態による塗布装置の断面図である。

【図5】図4のV−V線に沿った断面図である。

【図6】一実施形態による塗布方法のフローチャートである。

【図7】一実施形態による塗布方法の別のフローチャートである。

【図8】一実施形態による塗布方法のさらに別のフローチャートである。

【図9】図8の塗布方法において用いられるカップ洗浄ディスクの断面図である。

【図10】変形例による重合ウェハの側面図である。

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

1 接合システム   2 搬入出ステーション   3 処理ステーション   5 制御装置   30 塗布装置   33 スピンチャック   331 保持部   333 回転駆動部   34 接着剤ノズル   35 剥離剤ノズル   36 カップ   37 バックリンスノズル   38 ベベルリンスノズル   39 液面レベルセンサ   41 吸引ポンプ   42 補給ノズル   40 熱処理装置   50 接合装置   80 搬送装置

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