発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

上述したように、従来からレシピを修正して最適化することが行われている。しかしながら、１台の基板処理装置、例えば熱処理装置で実施する熱処理の種類は、例えば、膜種や膜厚毎に多数有り、必要なレシピの数も多くなる。一方、レシピの最適化を行う作業には時間がかかり、１つのレシピを実行し、膜厚測定、最適化計算等を実施して最適化するためには、例えば４時間程度の時間を要する。このため、多数のレシピを最適化するためには多くの時間を必要とし、生産性向上の妨げとなるという問題があった。なお、予め、変更する可能性のあるデータをプロセスパラメータとして定義しておき、レシピを変更する際に、プロセスパラメータを一括して呼び出して変更する技術においても、1つずつレシピを最適化する必要がある点は同様であり、多数のレシピを最適化するためには多くの時間を必要とする。 本発明は、従来の事情に対処してなされたものであり、従来に比べてレシピの最適化に要する時間を短縮することができ、生産性の向上を図ることのできる基板処理装置及び基板処理装置の制御装置を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、従来に比べてレシピの最適化に要する時間を短縮することができ、生産性の向上を図ることのできる基板処理装置及び基板処理装置の制御装置を提供することができる。