特許6254377フォトレジスト組成物およびフォトリソグラフィパターンを形成する方法

発明の名称　フォトレジスト組成物およびフォトリソグラフィパターンを形成する方法

出願人　ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ，エル．エル．シー．　（識別番号 591016862）

　　　　特許公開件数ランキング 1670 位（14件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1541 位（12件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6254377

公報発行日　2017年12月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6254377

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