特許6258185油充填パッケージングにおける表面電荷耐性のためのＭＥＭＳ圧力センサフィールドシールドレイアウト

発明の名称　油充填パッケージングにおける表面電荷耐性のためのＭＥＭＳ圧力センサフィールドシールドレイアウト

出願人　センサータ　テクノロジーズ　インコーポレーテッド　（識別番号 506154029）

　　　　特許公開件数ランキング 14556 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12424 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6258185

公報発行日　2018年1月10

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6258185

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