特許 6265362 ＣＩＧＳ系化合物太陽電池

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6265362

(24)【登録日】2018年1月5日

(45)【発行日】2018年1月24日

(54)【発明の名称】ＣＩＧＳ系化合物太陽電池

(51)【国際特許分類】

   H01L 31/0749 20120101AFI20180115BHJP

【ＦＩ】

   H01L31/06 460

【請求項の数】1

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2012-283071(P2012-283071)

(22)【出願日】2012年12月26日

(65)【公開番号】特開2013-211524(P2013-211524A)

(43)【公開日】2013年10月10日

【審査請求日】2015年9月24日

(31)【優先権主張番号】特願2012-40152(P2012-40152)

(32)【優先日】2012年2月27日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000003964

【氏名又は名称】日東電工株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100079382

【弁理士】

【氏名又は名称】西藤 征彦

(74)【代理人】

【識別番号】100123928

【弁理士】

【氏名又は名称】井▲崎▼ 愛佳

(74)【代理人】

【識別番号】100136308

【弁理士】

【氏名又は名称】西藤 優子

(72)【発明者】

【氏名】寺地 誠喜

(72)【発明者】

【氏名】河村 和典

(72)【発明者】

【氏名】西井 洸人

(72)【発明者】

【氏名】渡邉 太一

【審査官】 山本 元彦

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０００−３２３７３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−０９３４８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１９２６８９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ３１／０２−３１／０７８、３１／１８−３１／２０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板上に、少なくともI-III-VI族化合物半導体層と、バッファ層と、透明電極層とをこの順で備え、上記バッファ層が上記I-III-VI族化合物半導体層に接しており、上記バッファ層がIIａ族金属およびＺｎ酸化物の混晶とし、上記混晶のＸ線回折によって示される特性が、下記の式（１）〜（４）のいずれも満たしていることを特徴とするＣＩＧＳ系化合物太陽電池。
０．５≦Ａ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）＜１ ・・・（１）
０＜Ｂ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）＜０．２ ・・・（２）
０＜Ｃ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）＜０．３ ・・・（３）
０．７＜（Ａ＋Ｃ）／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）＜１ ・・・（４）
（ただし、Ａ，Ｂ，Ｃはいずれも０ではない）
Ａ：（００２）面におけるピーク強度
Ｂ：（１００）面におけるピーク強度
Ｃ：（１０１）面におけるピーク強度

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ＣＩＧＳ系化合物太陽電池に関するものである。

【背景技術】

【0002】

Ib族、IIIb族およびVIb族の元素からなるＣｕＩｎＳｅ₂（ＣＩＳ）あるいはこれにＧａを固溶させたＣｕ（Ｉｎ，Ｇａ）Ｓｅ₂（ＣＩＧＳ）化合物半導体（I-III-VI族化合物半導体）を光吸収層に用いた化合物太陽電池は、高い光変換効率（以下「変換効率」とする）を有し、薄膜に形成できるとともに、光照射等による変換効率の劣化が少ないという利点を有していることが知られている。

【0003】

このようなＣＩＳまたはＣＩＧＳ（以下「ＣＩＧＳ系」という）化合物半導体を光吸収層に用いたＣＩＧＳ系太陽電池のバッファ層には、一般に、化学析出法で形成したＣｄＳやＺｎ（Ｏ，Ｓ）等が用いられている（例えば、特許文献１参照）。しかし、化学析出法でバッファ層を形成する場合は、真空下で蒸着あるいはセレン化法によりＣＩＧＳ系化合物半導体層を形成した後に、一旦、大気下に取り出してバッファ層を形成し、再び真空下で透明電極層を形成する必要があり、生産性に劣るという問題がある。

【0004】

そこで、この問題を解決するため、バッファ層の形成を、大気下に取り出すことなく真空下で、連続的にスパッタ法により行うことが提案されている（例えば、特許文献２参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２００２−３４３９８７号公報

【特許文献2】特開２００２−１２４６８８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、特許文献２にあるように、スパッタ装置として汎用されているマグネトロンスパッタ装置を用いて真空下で連続的にバッファ層を形成すると、生産効率は改善されるものの、変換効率の改善は見込めない。このため、生産性を高めるとともに、より一層の高い変換効率を実現させることが強く望まれている。

【0007】

本発明は、上記の課題に鑑み、バッファ層を、大気下に取り出すことなく真空下で形成することができ、しかも、従来にない高い変換効率のＣＩＧＳ系化合物太陽電池を提供することをその目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記の目的を達成するため、本発明は、基板上に、少なくともI-III-VI族化合物半導体層と、バッファ層と、透明電極層とをこの順で備え、上記バッファ層が上記I-III-VI族化合物半導体層に接しており、上記バッファ層がIIａ族金属およびＺｎ酸化物の混晶とし、上記混晶のＸ線回折によって示される特性が、下記の式（１）〜（４）のいずれも満たしているＣＩＧＳ系化合物太陽電池をその要旨とする。
０．５≦Ａ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）＜１・・・（１）
０＜Ｂ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）＜０．２ ・・・（２）
０＜Ｃ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）＜０．３ ・・・（３）
０．７＜（Ａ＋Ｃ）／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）＜１ ・・・（４）
（ただし、Ａ，Ｂ，Ｃはいずれも０ではない）
Ａ：（００２）面におけるピーク強度
Ｂ：（１００）面におけるピーク強度
Ｃ：（１０１）面におけるピーク強度

【発明の効果】

【0009】

本発明のＣＩＧＳ系化合物太陽電池は、カルコパイライト構造を有するI-III-VI族化合物半導体を光吸収層として有するとともに、そのバッファ層が、IIａ族金属およびＺｎ酸化物の混晶からなっている。このため、I-III-VI族の化合物半導体層とバッファ層との境界で、高い変換効率の電流を生み出すようになっている。また、上記混晶のＸ線回折によって示される特性が、上記の式（１）を満たすようになっているため、ＣＩＧＳ系化合物太陽電池において、従来にない高い変換効率を達成することができる。

【0010】

また、混晶のＸ線回折によって示される特性が、下記の式（２）を満たしているため、バッファ層にクラックが入りにくくなるとともに、電子が透明電極層側に流れにくくなることによる電流の損失を減少させることができる。
０＜Ｂ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）＜０．２ ・・・（２）
（ただし、Ａ，Ｂ，Ｃはいずれも０ではない）
Ａ：（００２）面におけるピーク強度
Ｂ：（１００）面におけるピーク強度
Ｃ：（１０１）面におけるピーク強度

【0011】

さらに、混晶のＸ線回折によって示される特性が、下記の式（３）を満たしているため、バッファ層にクラックが入りにくくなるとともに、電子が透明電極層側に流れにくくなることによる電流の損失をより減少させることができる。
０＜Ｃ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）＜０．３ ・・・（３）
（ただし、Ａ，Ｂ，Ｃはいずれも０ではない）
Ａ：（００２）面におけるピーク強度
Ｂ：（１００）面におけるピーク強度
Ｃ：（１０１）面におけるピーク強度

【0012】

そして、混晶のＸ線回折によって示される特性が、下記の式（４）を満たしているため、バッファ層にクラックが入りにくくなるとともに、バッファ層がＣＩＧＳ層の界面とより欠陥なく結合でき、界面電子が透明電極層側に流れにくくなることによる電流の損失をさらに減少させることができる。
０．７＜（Ａ＋Ｃ）／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）＜１ ・・・（４）
（ただし、Ａ，Ｂ，Ｃはいずれも０ではない）
Ａ：（００２）面におけるピーク強度
Ｂ：（１００）面におけるピーク強度
Ｃ：（１０１）面におけるピーク強度

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本発明の一実施の形態におけるＣＩＧＳ太陽電池の断面図である。

【図2】上記ＣＩＧＳ太陽電池のバッファ層を形成する装置におけるターゲットの配置状態を示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

つぎに、本発明を実施するための形態について説明する。

【0015】

図１は、本発明の一実施の形態におけるＣＩＧＳ太陽電池の断面図である。このＣＩＧＳ太陽電池は、基板１と、裏面電極層２と、ＣＩＧＳ光吸収層（化合物半導体層）３と、バッファ層４と、透明電極層５とをこの順で備え、上記バッファ層４が、IIａ族金属およびＺｎ酸化物の混晶からなり、この混晶のＸ線回折によって示される特性が、下記の式（１）を満たすようになっている（下記Ａ，Ｂ，Ｃは以下において同じ）。
０．５≦Ａ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）＜１・・・（１）
（ただし、Ａ，Ｂ，Ｃはいずれも０ではない）
Ａ：（００２）面におけるピーク強度
Ｂ：（１００）面におけるピーク強度
Ｃ：（１０１）面におけるピーク強度

【0016】

以下に、このＣＩＧＳ太陽電池を、詳細に説明する。なお、図１において、厚み、大きさ、外観等は模式的に示したものであり、実際のものとは異なっている（図２において同じ）。

【0017】

上記基板１は、ガラス基板、金属基板、樹脂基板等を用いることができる。上記ガラス基板としては、アルカリ金属元素の含有量が極めて低い低アルカリガラス（高杢点ガラス）、アルカリ金属元素を含まない無アルカリガラス、青板ガラス等があげられる。ただし、低アルカリガラス、無アルカリガラス、金属基板、樹脂基板を用いる場合には、ＣＩＧＳ光吸収層３の形成中もしくは形成後に、Ｎａを微量添加することが望ましい。

【0018】

また、上記基板１の形状が、可撓性を有する長尺状であると、ロールトゥロール方式またはステッピングロール方式でＣＩＧＳ化合物太陽電池を製造することができるため、好ましい。上記「長尺状」とは長さ方向が幅方向の１０倍以上あるものをいい、３０倍以上あるものがより好ましく用いられる。さらに、基板１の厚みは、５〜２００μｍの範囲にあることが好ましく、より好ましくは１０〜１００μｍの範囲である。すなわち、厚みが厚すぎると、ＣＩＧＳ化合物太陽電池の屈曲性が失われ、ＣＩＧＳ化合物太陽電池を曲げた際にかかる応力が大きくなり、ＣＩＧＳ光吸収層３等の積層構造にダメージを与えるおそれがあり、逆に薄すぎると、ＣＩＧＳ化合物太陽電池を製造する際に、基板１が座屈して、ＣＩＧＳ化合物太陽電池の製品不良率が上昇する傾向がみられるためである。

【0019】

つぎに、上記基板１の上に形成された裏面電極層２は、スパッタ法、蒸着法、インクジェット法等により形成することができ、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、クロム（Ｃｒ）、チタン（Ｔｉ）等が単層もしくは複層に形成されている。また、その厚み（複層の場合は、各層の厚みの合計）は、１０〜１０００μｍの範囲にあることが好ましい。なお、基板１が裏面電極層２の機能を有する場合（導電性を有する場合）には、この裏面電極層２を設けなくてもよい。また、基板１由来の不純物が熱拡散するとＣＩＧＳ化合物太陽電池の性能が悪影響を受けるため、これを防止することを目的として、基板１または裏面電極層２の上にバリア層（図示せず）を設けてもよい。このようなバリア層は、例えば、Ｃｒ等を用いて、スパッタリング法、蒸着法、ＣＶＤ法、ゾル・ゲル法、液相析出法等によって形成することができる。

【0020】

さらに、裏面電極層２の上に形成されたＣＩＧＳ光吸収層（化合物半導体層）３は、銅（Ｃｕ）、インジウム（Ｉｎ）、ガリウム（Ｇａ）、セレン（Ｓｅ）の４元素を含む化合物半導体からなっている。そして、その厚みは、１．０〜３．０μｍの範囲にあることが好ましく、１．５〜２．５μｍの範囲にあることがより好ましい。厚みが薄すぎると、光吸収層として用いた際の光吸収量が少なくなり、太陽電池の性能が低下する傾向がみられ、逆に、厚すぎると、ＣＩＧＳ光吸収層３の形成にかかる時間が増加し、生産性に劣る傾向がみられるためである。このようなＣＩＧＳ光吸収層３の形成方法としては、真空蒸着法、セレン化／硫化法、スパッタ法等があげられる。

【0021】

また、上記ＣＩＧＳ光吸収層３におけるＣｕ、Ｉｎ、Ｇａの組成比は、０．７＜Ｃｕ／（Ｇａ＋Ｉｎ）＜０．９５（モル比）の式を満たすことが好ましい。この式を満たすようになっていると、上記ＣＩＧＳ光吸収層３内にＣｕ_(2-x)Ｓｅが過剰に取り込まれることをより阻止でき、しかも層全体としてわずかにＣｕが不足した状態にできるためである。また、同属元素であるＧａとＩｎとの比は、０．１０＜Ｇａ／（Ｇａ＋Ｉｎ）＜０．４０（モル比）の範囲にあることが好ましい。

【0022】

そして、上記ＣＩＧＳ光吸収層３の上に形成されたバッファ層４が、IIａ族金属およびＺｎ酸化物の混晶からなり、上述のとおり、この混晶がＸ線回折によって示される特性が上記式（１）を満たすようになっている。これが本発明の最大の特徴である。上記混晶の特性が上記式（１）を満たすことは、そのＡピーク強度がＢ，Ｃに比べて非常に強いことを示しており、Ａ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）＝１のときは（００２）の完全配向を示している。すなわち、上記式（１）を満たすことは、（００２）配向、すなわち、Ｃ軸（ＣＩＧＳ光吸収層３から透明電極層５に向かう方位）に、上記混晶が配向する割合が高いことを示している。その結果、ＣＩＧＳ光吸収層３で生成した電子が、粒界等で再結合することなく透明電極層に到達する割合が高まるため、変換効率が向上すると推察される。なお、Ａ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）＜０．５であると、変換効率が著しく低下し、本発明の効果を得ることができない。また、Ａ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）＝１であると、バッファ層４にクラックが生じやすくなり、ＣＩＧＳ太陽電池の電池特性の低下およびハンドリング性が悪くなる傾向がみられる。

【0023】

さらに、上記混晶の特性が上記式（１）だけでなく、上記式（２）〜（４）を満たしているため、変換効率の損失の低減ができるだけでなく、基材１としてフレキシブル基板を用いた場合であっても、バッファ層４にクラックが入りにくくなり、高い変換効率を維持することができるので好適である。すなわち、バッファ層４は、（００２）配向の結晶だけではなく、（１００）（１０１）配向の結晶をわずかに有することで、クラックが生じにくくなり、変換効率が向上する。

【0024】

上記バッファ層４は、上記ＣＩＧＳ光吸収層３とｐｎ接合できるよう、高抵抗のｎ型半導体であることが好ましく、単層だけでなく、複数の層を積層したものであってもよい。バッファ層４として、複数の層が積層したものを用いると、上記ＣＩＧＳ光吸収層３とのｐｎ接合をより良好にできる。このようなバッファ層４の形成材料としては、ＭｇおよびＺｎＯの混晶の他、ＣｄＳ、ＺｎＭｇＯ、ＺｎＣａＯ、ＺｎＭｇＣａＯ、ＺｎＭｇＳｒＯ、ＺｎＳｒＯ、ＺｎＯ、ＺｎＳ、Ｚｎ（ＯＨ）₂、Ｉｎ₂Ｏ₃、Ｉｎ₂Ｓ₃およびこれらの混晶であるＺｎ（Ｏ，Ｓ，ＯＨ）、Ｚｎ（Ｏ，Ｓ）等があげられる。また、その厚みは、５０〜２００ｎｍの範囲にあることが好ましい。

【0025】

上記バッファ層４は、例えば、対向ターゲットスパッタ法において、一対のターゲットの印加を、高周波（ＲＦ）電源を用いて、もしくは高周波（ＲＦ）電源に直流（ＤＣ）電源を重畳することによって、形成することができる。上記対向ターゲットスパッタ法は、一般的なマグネトロンスパッタ法とは異なり２枚の陰極ターゲットを対向して配置し、ターゲット表面に垂直に片方のターゲットからもう一方のターゲットに向かって磁界を印加してスパッタリングを行う方法である。この対向ターゲットスパッタ法において、基板１は、ターゲットの側面にターゲットと垂直に設置される。

【0026】

また、対向ターゲットスパッタ法のなかでも、上記１対のターゲットを、図２に示すように、基板１の層形成面から垂直状に延びる仮想中心軸Ｘを想定し、この仮想中心軸Ｘを挟んだ両側にこれら２枚のターゲット６，６’を対向して配置したものを用いると、上記式（１）に示される特性を有するバッファ層４をより得やすいため好適である。このとき、ターゲット６，６’のうち少なくとも一方のターゲットの、仮想中心軸Ｘに対する角度θが５〜１５°の範囲に設定されていると、上記式（１）に示される特性を有するバッファ層４を、一層得やすいため好ましい。なお、図２においては、基板１に形成された裏面電極層２およびＣＩＧＳ光吸収層３の図示を省略している。

【0027】

得られたバッファ層４が上記式（１）を満たすか否かは、例えば、ブルカー社製のＸＲＤ Ｄ８ ＤＩＳＣＯＶＥＲ ｗｉｔｈ ＧＡＤＴＳの装置を用い、入射角５°固定、ディテクタースキャン３°／ｍｉｎの条件で測定することにより、確認することができる。なお、上記バッファ層４が複層である場合は、少なくともＣＩＧＳ光吸収層３に接する層が、上記式（１）を満たしていればよい。また、バッファ層４が上記式（２）〜（４）を満たすか否かについても、上記同様の条件で測定することにより、確認することができる。

【0028】

つぎに、上記バッファ層４の上に形成された透明電極層５は、高透過率を有する材料により形成されることが好ましく、ＩＴＯ、ＩＺＯ、酸化亜鉛アルミニウム（ＡｌＺｎＯ）等を用いて形成することができる。また、その厚みは、５０〜３００ｎｍの範囲にあることが好ましい。そして、この透明電極層５の光透過率は、８０％を超えるものであることが好ましい。なお、このような透明電極層５は、例えば、スパッタ法、蒸着法、有機金属気相成長法（ＭＯＣＶＤ法）等により形成することができる。

【0029】

この構成によれば、バッファ層４をスパッタで連続的に得ることができ、しかも、ＣＩＧＳ光吸収層３がカルコパイライト構造を有しているため、変換効率がよい。したがって、ＣＩＧＳ光吸収層３を薄膜にでき、ＣＩＧＳ太陽電池全体を薄膜に構成できる。また、ＣＩＧＳ太陽電池を薄膜に構成できるため、利用しない波長の光を高い確率で透過させることができ、電池の使用用途、利用部位の幅を広げることができる。さらに、バッファ層４がIIａ族金属およびＺｎ酸化物の混晶からなり、上述のとおり、この混晶がＸ線回折によって示される特性が上記式（１）を満たすようになっているため、一層変換効率がよい。さらに、Ｘ線回折によって示されるバッファ層４の特性が上記（２）〜（４）を満たすようになっていると、基材１としてフレキシブル基板を用いた場合であってもバッファ層４にクラックが入りにくく、ハンドリング性に優れる。

【実施例】

【0030】

つぎに、実施例について比較例および参考例と併せて説明する。ただし、本発明は、以下の実施例に限定されるものではない。

【0031】

〔実施例１〕
（裏面電極層の形成）
まず、脱脂したソーダライムガラス（厚み０．５５ｍｍ、大きさ２０ｍｍ）からなる基板の表面に、マグネトロンスパッタ装置（アルバック社製、型番ＳＨ−４５０）を用いて、放電ガスにはアルゴンを使用し、スパッタ圧力が１Ｐａとなるよう直流（ＤＣ）電源を用い、スパッタレート６０ｍ／ｍｉｎで、厚み０．８ｍｍのＭｏからなる裏面電極層を形成した。

【0032】

（ＣＩＧＳ光吸収層の形成）
つぎに、上記で形成された裏面電極層の上に、ＣＩＧＳ光吸収層を形成した。すなわち、真空蒸着装置のチャンバー内に、Ｇａ、Ｉｎ、Ｃｕ、Ｓｅのそれぞれを蒸着源として配置し、このチャンバー内を真空度１×１０^-4Ｐａとし、基板を、昇温速度５５０℃／ｈにて５５０℃まで加熱した。このとき、上記蒸着源をそれぞれＧａ（９５０℃）、Ｉｎ（７８０℃）、Ｃｕ（１１００℃）、Ｓｅ（１４０℃）となるように加熱し、これらの元素を同時に蒸発させることにより、上記裏面電極層の上にＣＩＧＳ光吸収層を形成した。得られたＣＩＧＳ光吸収層の組成（原子数％）は、Ｃｕ／III族＝０．８９、Ｃａ／III族＝０．３１であり、膜厚は２．１μｍであった。

【0033】

（バッファ層の形成）
つづいて、上記で形成されたＣＩＧＳ光吸収層の上に、バッファ層を形成した。バッファ層は、図２に示す一対のターゲット６，６’が略Ｖ字に配置された対向ターゲットスパッタ装置（中心線に対するターゲット６，６’の角度θがそれぞれ１０°）を用いて形成した。このとき、スパッタリングターゲットには、Ｚｎ_0.85Ｍｇ_0.15Ｏなる組成のターゲットを用い、ターゲット６’のエッジ６’ａを基板１表面から１６０ｍｍ離れた位置に設置し、基板１の温度を２５℃に設定した。本ターゲット６，６’を組成分析したところ、Ｍｇに対して約３原子数％のＣａが混在していた。スパッタ時の放電ガスにはアルゴンを用い、高周波（ＲＦ）電源にて、電力密度０．７Ｗ／ｃｍ²、スパッタ圧力０．３Ｐａで、膜厚７０ｎｍとなるよう電力および形成時間を調整した。なお、ターゲット６’のエッジ６’ａは、基板１から最短距離にある個所を示している。

【0034】

（透明電極層の形成）
さらに、上記で形成されたバッファ層の上に、透明電極層を形成した。透明電極層は、マグネトロンスパッタ装置（アルバック社製、型番ＳＨ−４５０）を用いて形成した。このとき、スパッタリングターゲットは、ＩＴＯ（Ｉｎ₂Ｏ₃：９０〔原子数％〕、ＳｎＯ₂：１０〔原子数％〕）なる組成のターゲットを用いた。スパッタ時の放電ガスにはアルゴンガスおよびアルゴンガス流量の１／１０のＯ₂ガスを併用し、高周波（ＲＦ）電源にて、電力密度１．６Ｗ／ｃｍ²、スパッタ圧力０．３Ｐａ、スパッタレート２０ｎｍ／ｍｉｎで、厚み２００ｎｍのＩＴＯ膜（透明電極層）を形成し、実施例１のＣＩＧＳ太陽電池を得た。実施例１のバッファ層のＸ線回折によって示される特性は、Ａ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）＝０．６を示していた。

【0035】

〔実施例２〕
バッファ層形成の条件を、高周波（ＲＦ）電源にて、電力密度６．０Ｗ／ｃｍ²で行った他は、実施例１と同様にして、実施例２のＣＩＧＳ太陽電池を得た。実施例２のバッファ層のＸ線回折によって示される特性は、Ａ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）＝０．８を示していた。

【0036】

〔実施例３〕
バッファ層形成の条件を、直流（ＤＣ）電源（電力密度６．０Ｗ／ｃｍ²）＋高周波（ＲＦ）電源（電力密度６．０Ｗ／ｃｍ²）の重畳で行った他は、実施例１と同様にして、実施例３のＣＩＧＳ太陽電池を得た。実施例３のバッファ層のＸ線回折によって示される特性は、Ａ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）＝０．７を示していた。

【0037】

〔参考例１〕
バッファ層形成の条件を、直流（ＤＣ）電源（電力密度２．５Ｗ／ｃｍ²）＋高周波（ＲＦ）電源（電力密度０．５Ｗ／ｃｍ²）の重畳とし、スパッタ圧力０．１Ｐａで、ター
ゲット６'のエッジ６'ａを基板１表面から４０ｍｍ離れた位置に設置し（Ｙ＝４０ｍｍ）、基板１の温度を２００℃に設定して、バッファ層の形成を行った他は、実施例１と同様にして、参考例１のＣＩＧＳ太陽電池を得た。参考例１のバッファ層のＸ線回折によって示される特性は、Ａ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）＝０．６を示していた。

【0038】

〔参考例２〕
バッファ層形成の条件を、直流（ＤＣ）電源（電力密度２．５Ｗ／ｃｍ²）＋高周波（ＲＦ）電源（電力密度１．５Ｗ／ｃｍ²）の重畳とし、スパッタ圧力０．１Ｐａで、ター
ゲット６'のエッジ６'ａを基板１表面から１６０ｍｍ離れた位置に設置し（Ｙ＝１６０ｍｍ）、基板１の温度を２００℃に設定した他は、実施例１と同様にして、参考例２のＣＩＧＳ太陽電池を得た。参考例２のバッファ層のＸ線回折によって示される特性は、Ａ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）＝０．７を示していた。

【0039】

〔比較例１〕
バッファ層の形成を、一般的なマグネトロンスパッタ装置（アルバック社製、型番ＳＨ−４５０）で行った他は、実施例１と同様にして、比較例１のＣＩＧＳ太陽電池を得た。なお、マグネトロンスパッタは、直流（ＤＣ）電源（電力密度０．５Ｗ／ｃｍ²）を用いた。比較例１のバッファ層のＸ線回折によって示される特性は、Ａ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）＝０．２を示していた。

【0040】

〔比較例２〕
バッファ層形成条件を、直流（ＤＣ）電源（電力密度１．５Ｗ／ｃｍ²）で行った他は、比較例１と同様にして、比較例２のＣＩＧＳ太陽電池を得た。比較例２のバッファ層のＸ線回折によって示される特性は、Ａ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）＝０．１を示していた。

【0041】

〔比較例３〕
バッファ層形成条件を、高周波（ＲＦ）電源（電力密度０．５Ｗ／ｃｍ²）で行った他は、比較例１と同様にして、比較例３のＣＩＧＳ太陽電池を得た。比較例３のバッファ層のＸ線回折によって示される特性は、Ａ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）＝０．３を示していた。

【0042】

〔比較例４〕
バッファ層形成条件を、高周波（ＲＦ）電源（電力密度２．５Ｗ／ｃｍ²）で行った他は、比較例１と同様にして、比較例４のＣＩＧＳ太陽電池を得た。比較例４のバッファ層のＸ線回折によって示される特性は、Ａ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）＝０．２を示していた。

【0043】

〔比較例５〕
バッファ層の形成に用いる対向ターゲットスパッタ装置に、直流（ＤＣ）電源（電力密度０．７Ｗ／ｃｍ²）を印加した他は、実施例１と同様にして、比較例５のＣＩＧＳ太陽電池を得た。比較例５のバッファ層のＸ線回折によって示される特性は、Ａ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）＝０．２を示していた。

【0044】

＜変換効率の測定＞
上記実施例１〜３、参考例１，２、比較例１〜５のＣＩＧＳ太陽電池をそれぞれ２０個準備し、これらに擬似太陽光（ＡＭ１．５）を照射し、ＩＶ計測システム（山下電装社製、ＹＳＳ−１５０）を用いて、それぞれの変換効率を測定した。得られた結果（平均）を下記の〔表１〕に示す。

【0045】

【表1】

【0046】

上記の変換効率の測定の結果、実施例１〜３および参考例１，２のＣＩＧＳ太陽電池は、平均変換効率がいずれも３．３％以上あり、優れた変換効率を有することが示された。とりわけ、Ｘ線回析によって示されるバッファ層の特性が、式（１）〜（４）のすべてを満たす実施例１〜３のＣＩＧＳ太陽電池は、平均変換効率がいずれも４％を上回り、極めて優れた変換効率を有することが示された。一方、Ｘ線回折によって示されるバッファ層の特性が式（１）を満たしていない比較例１〜５のＣＩＧＳ太陽電池は、いずれも変換効率の平均が低いことが示された。

【産業上の利用可能性】

【0047】

本発明のＣＩＧＳ系化合物太陽電池は、薄型でありながら、変換効率が非常に高いため、様々な分野で利用することができる。

【符号の説明】

【0048】

１ 基板
２ 裏面電極層
３ ＣＩＧＳ光吸収層
４ バッファ層
５ 透明電極層

【図1】

【図2】